CN103914024A - 一种氟化氢车间安全自动控制系统 - Google Patents

一种氟化氢车间安全自动控制系统 Download PDF

Info

Publication number
CN103914024A
CN103914024A CN201310000972.6A CN201310000972A CN103914024A CN 103914024 A CN103914024 A CN 103914024A CN 201310000972 A CN201310000972 A CN 201310000972A CN 103914024 A CN103914024 A CN 103914024A
Authority
CN
China
Prior art keywords
power supply
control system
power source
hydrogen fluoride
automatic control
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201310000972.6A
Other languages
English (en)
Inventor
吴建良
胡美艳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
KUNSHAN JINGKE MICRO-ELECTRONICS MATERIAL Co Ltd
Original Assignee
KUNSHAN JINGKE MICRO-ELECTRONICS MATERIAL Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by KUNSHAN JINGKE MICRO-ELECTRONICS MATERIAL Co Ltd filed Critical KUNSHAN JINGKE MICRO-ELECTRONICS MATERIAL Co Ltd
Priority to CN201310000972.6A priority Critical patent/CN103914024A/zh
Publication of CN103914024A publication Critical patent/CN103914024A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Landscapes

  • Organic Insulating Materials (AREA)

Abstract

本发明公开了一种氟化氢车间安全自动控制系统,包括可编程逻辑控制器、人机界面、滤波器、电源、备用电源和继电器,所述可编程逻辑控制器、人机界面和电源连接,所述备用电源与电源连接,电源连接滤波器接入市电电线,市电电线上设有总开关,所述电源与备用电源之间设有继电器。本发明与现有技术相比的优点是:该系统采用三层控制系统,通过可编程逻辑控制器控制器实现现场自动控制与安全联锁,通过HMI人机界面完成现场大部分人工操作,经组态软件实现对现场的监视与数据存储。

Description

一种氟化氢车间安全自动控制系统
技术领域
本发明涉及一种安全生产控制系统,尤其涉及一种氟化氢车间安全自动控制系统。
背景技术
氟化氢是一种无色透明发烟液体,为氟化氢气体的水溶液。呈弱酸性,有刺激性气味,与硅和硅化合物反应生成气态的四氟化硅,但对塑料、石蜡、铅、金、铂不起腐蚀作用,能与水和乙醇混溶。相对密度1.298。38.2%的氟化氢为共沸混合物,共沸点112.2℃。剧毒,最小致死量(大鼠,腹腔)25mG/kG。有腐蚀性,能强烈地腐蚀金属、玻璃和含硅的物体。如吸入蒸气或接触皮肤能形成较难愈合的溃疡。因此,不仅在使用中要加倍小心,在生产过程中同样要严格控制。
发明内容
本发明是为了解决上述不足,提供了一种氟化氢车间安全自动控制系统。
本发明的上述目的通过以下的技术方案来实现:一种氟化氢车间安全自动控制系统,包括可编程逻辑控制器、人机界面、滤波器、电源、备用电源和继电器,所述可编程逻辑控制器、人机界面和电源连接,所述备用电源与电源连接,电源连接滤波器接入市电电线,市电电线上设有总开关,所述电源与备用电源之间设有继电器。
本发明的工作原理:氟化氢储罐进料、气化釜加料设置重量连锁,由称重仪表提供设定重量输出开关量信号,作为可编程逻辑控制器连锁控制输入信号;氟化氢气化釜设置压力检测,作负压控制,控制汽化釜顶部放空管控制阀门;氟化氢吸收釜设置温度检测控制连锁,与汽化釜的蒸汽供热形成连锁,控制氟化氢的通气量;断电紧急情况下,由UPS提供备电,自动关闭蒸汽阀门。
本发明与现有技术相比的优点是:该系统采用三层控制系统,通过可编程逻辑控制器控制器实现现场自动控制与安全联锁,通过HMI人机界面完成现场大部分人工操作,经组态软件实现对现场的监视与数据存储。
附图说明
图1是本发明的电气图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明进一步详述:
如图1所示,一种氟化氢车间安全自动控制系统,包括可编程逻辑控制器1、人机界面2、滤波器3、电源4、备用电源5和继电器6,所述可编程逻辑控制器1、人机界面2和电源4连接,所述备用电源5与电源4连接,电源4连接滤波器3接入市电电线,市电电线上设有总开关7,所述电源4与备用电源5之间设有继电器8。
以上所述仅为本发明的实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (1)

1.一种氟化氢车间安全自动控制系统,其特征在于:包括可编程逻辑控制器、人机界面、滤波器、电源、备用电源和继电器,所述可编程逻辑控制器、人机界面和电源连接,所述备用电源与电源连接,电源连接滤波器接入市电电线,市电电线上设有总开关,所述电源与备用电源之间设有继电器。
CN201310000972.6A 2013-01-05 2013-01-05 一种氟化氢车间安全自动控制系统 Pending CN103914024A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310000972.6A CN103914024A (zh) 2013-01-05 2013-01-05 一种氟化氢车间安全自动控制系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310000972.6A CN103914024A (zh) 2013-01-05 2013-01-05 一种氟化氢车间安全自动控制系统

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN103914024A true CN103914024A (zh) 2014-07-09

Family

ID=51039791

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310000972.6A Pending CN103914024A (zh) 2013-01-05 2013-01-05 一种氟化氢车间安全自动控制系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103914024A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105801738A (zh) * 2016-03-21 2016-07-27 中国石油集团东北炼化工程有限公司吉林设计院 生产乙丙橡胶的控制系统
CN106406256A (zh) * 2016-09-23 2017-02-15 江苏中德电子材料科技有限公司 全自动氢氟酸生产系统

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2518279Y (zh) * 2001-12-03 2002-10-23 周先谱 一种可冷关断又能热启动的电视机电源装置
CN201075839Y (zh) * 2007-09-14 2008-06-18 上海翔惠电子科技有限公司 备电型开关电源
CN201750208U (zh) * 2010-09-02 2011-02-16 南京财经大学 带备用蓄电池的嵌入式设备双电源自动切换电路
CN102221384A (zh) * 2011-04-15 2011-10-19 郑州中实赛尔科技有限公司 一种铝电解车间敞开式氟化氢测量的方法
CN203149357U (zh) * 2013-01-05 2013-08-21 昆山晶科微电子材料有限公司 一种氟化氢车间安全自动控制系统

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2518279Y (zh) * 2001-12-03 2002-10-23 周先谱 一种可冷关断又能热启动的电视机电源装置
CN201075839Y (zh) * 2007-09-14 2008-06-18 上海翔惠电子科技有限公司 备电型开关电源
CN201750208U (zh) * 2010-09-02 2011-02-16 南京财经大学 带备用蓄电池的嵌入式设备双电源自动切换电路
CN102221384A (zh) * 2011-04-15 2011-10-19 郑州中实赛尔科技有限公司 一种铝电解车间敞开式氟化氢测量的方法
CN203149357U (zh) * 2013-01-05 2013-08-21 昆山晶科微电子材料有限公司 一种氟化氢车间安全自动控制系统

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105801738A (zh) * 2016-03-21 2016-07-27 中国石油集团东北炼化工程有限公司吉林设计院 生产乙丙橡胶的控制系统
CN106406256A (zh) * 2016-09-23 2017-02-15 江苏中德电子材料科技有限公司 全自动氢氟酸生产系统

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103914024A (zh) 一种氟化氢车间安全自动控制系统
CN103388350A (zh) 基于plc的变频恒压供水系统
CN103248082A (zh) 带有氢气循环装置的燃料电池备用电源系统
CN203149357U (zh) 一种氟化氢车间安全自动控制系统
CN203324746U (zh) 一种水位温度远程控制装置
CN203300384U (zh) 双气囊油浸式变压器储油柜
CN202817796U (zh) 带有氢气循环装置的燃料电池备用电源系统
CN204875936U (zh) 供水系统自备自启应急设备控制系统
CN203431496U (zh) 一种液化天然气加注站bog气体回收装置
CN205028093U (zh) 注水遥控稳流装置
CN203474964U (zh) 多晶硅片制绒自动补液装置
CN201919253U (zh) 一种防潮电气控制柜
CN209149139U (zh) 一种危化品智能化监控用嵌入式系统
CN203231919U (zh) 氯化氢气体取样装置
CN202693455U (zh) 一种盐雾腐蚀试验箱的控制系统
Hou et al. On-line monitoring and optimization of performance indexes for limestone wet desulfurization technology
CN103438351A (zh) 一种液化天然气加注站bog气体回收装置
CN203586587U (zh) 一种太阳能传感器检测装置
CN204246029U (zh) 智能浴室系统
CN204388029U (zh) 基于plc的锅炉燃烧控制系统
CN104067909A (zh) 一种灌溉节水控制器
Zhao et al. Research on the measurement system of liquid weighing based on PLC
CN205035466U (zh) 一种用于汽车除碳机的全自动补液装置
CN201772253U (zh) 一种带报警保护的制氧装置
CN202530507U (zh) 基于plc的变频恒压供水系统

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20140709