CN103884489B - 光学元件测量装置和测量方法 - Google Patents

Abstract

一种光学元件测量装置和测量方法，装置包括连续光纤激光器，沿该连续光纤激光器的输出光束方向依次是光纤准直器、第一偏振分光棱镜、半波片、标准法拉第旋光器、第二偏振分光棱镜、待测光学元件置放台、全反射镜和第三偏振分光棱镜。本发明可对法拉第旋光器、λ/4波片、λ/2波片、电光开关的性能进行测量，还有系统自检功能。该装置具有操作方便，结构紧凑，测量精度高的特点。

Description

光学元件测量装置和测量方法

技术领域

本发明涉及光学元件测量，特别是一种光学元件测量装置和测量方法，该装置可用于法拉第旋光器、λ/4波片、λ/2波片、电光开关的性能测量，该装置的优点是多种光学元件测量光路集成，操作方便，结构紧凑，测量精度高。

背景技术

实验过程中，实验设备的好坏直接决定了实验进行的顺利与否，很多情况下，我们对实验设备的性能判断完全来源于商家参数，可是当实验设备出现问题时，若是没有相关的检测设备，就很难判断问题所在，给实验的顺利进行带来困难。

利用法拉第旋光器的非互易性,即它可以将同一波长的正向入射光及反向入射光的偏振面都向同一个方向旋转同一个角度，而与光束传播方向无关。如果将一个入射光束的偏振面旋转45度的法拉第旋光器置于一对彼此呈45度正交放置的偏振器之间，构成光隔离器，它只允许正向传输的光束通过该系统，而将反向传输的光束阻断。法拉第旋光器广泛应用于各种激光系统中，如多级激光放大器、光参量振荡器、环形激光器、掺饵光纤放大器、种子注入型激光器、光开关、光调制器等。

λ/4波片是具有一定厚度的双折射单晶薄片，当光法向入射透过时，寻常光(o光)和非常光(e光)之间的位相差等于π/2或其奇数倍。当线偏振光垂直入射1/4波片,并且光的偏振和云母的光轴面(垂直自然裂开面)成θ角，出射后成椭圆偏振光，特别当θ＝45°时，出射光为圆偏振光，反之，圆偏光经过λ/4波片后变为线偏振光。λ/4波片可与偏振分光棱镜配合使用，实现光隔离器的功能。

λ/2波片可以改变线偏振光的振动方向，也就是说，当某一平面偏振光穿过半波片时，出射光仍为平面偏振光，只不过偏振光的振动面旋转了一定角度(2θ)，并且此旋转角的大小只取决于入射光振动平面与晶体光轴间的夹角θ。它的用途非常广泛，可以与偏振分束棱镜(PBS)配合使用，旋转二分之一波片就可实现可变分光比的一个分光棱镜组合，与法拉第旋光器配合使用，实现光隔离作用。

电光开关晶体是根据DKDP晶体电光系数高的特性制作的性能优良的调Q器件。其调制效果稳定、脉冲宽度小，适用范围广，已广泛应用于多个激光领域。主要特性：使用简便、损伤阈值高、调制效果稳定。

上述的四种光学元件在激光光路中应用非常多，扮演的角色也至关重要，出现问题不仅对光束传输和光束质量产生影响，甚至有可能引起对其他光学元件的损伤，例如，在再生放大器中，如果半波片与法拉第旋光器组合而成的光隔离器效果很差的话，反向光束传输到光纤头上，能量到达一定范围就有可能引起光纤头的损坏，如果此时只是单纯更换光纤头的话，就会对新的光纤头带来损伤，而且还无法找到问题所在，因此，必须引入一种性能测试装置，对使用的光学元件进行检测来达到省时省力的目的。

发明内容

本发明的目的是提供一种光学元件性能测量装置，该装置能够对法拉第旋光器、λ/4波片、λ/2波片、电光开关性能测量，而且还能够实现系统装置的自检功能。该装置最大的优点是集成多种光学元件的测试光路，操作方便，结构紧凑。

本发明的技术解决方案如下：

一种光学元件测量装置，其特点在于：该装置包括连续光纤激光器，沿该连续光纤激光器的输出光束方向依次是光纤准直器、第一偏振分光棱镜、半波片、标准法拉第旋光器、第二偏振分光棱镜、待测光学元件置放台、全反射镜和第三偏振分光棱镜。

利用上述的测量装置对法拉第旋光器的测试方法，该方法包括下列步骤：

①放入待测法拉第旋光器前，启动所述的连续光纤激光器，将功率计分别置于所述的第一偏振分光棱镜后的光路中测量光功率为P_C、标准法拉第旋光器后的光路中测量光功率为P_B，则所述的半波片+标准法拉第旋光器的透过率为a％＝P_B/P_C，将所述的全反射镜放置在光路中，将待测法拉第旋光器置于待测光学元件置放台上的光路中；

②启动所述的连续光纤激光器，该连续光纤激光器的输出光经光纤准直器耦合后输出连续光，经第一偏振分光棱镜变为P光，经半波片和标准法拉第旋光器后仍为P光，经第二偏振分光棱镜和待测法拉第旋光器并由全反射镜的反射光依次通过待测法拉第旋光器、第二偏振分光棱镜、标准法拉第旋光器和半波片后变为S光，该S光经第一偏振分光棱镜反射输出，即所述的第一偏振分光棱镜的反射光束方向(A)输出；

③将光功率计置于所述的第一偏振分光棱镜的反射光束方向测量的光功率值为P_A，按下式计算待测法拉第旋光器的隔离比：

$b=a\%*\frac{P_B}{P_A}=P_B^2/(P_C*P_A),$

将该值与待测法拉第旋光器预期隔离比进行比较决定是否可用。

利用上述的测量装置对λ/4波片的测试方法，包括下列步骤：

①放入待测λ/4波片前，启动所述的连续光纤激光器，将功率计分别置于所述的第一偏振分光棱镜后的光路中测量的光功率为P_C、在标准法拉第旋光器后的光路中测量的光功率为P_B，则所述的半波片+标准法拉第旋光器的透过率为a％＝P_B/P_C，将所述的全反射镜放置在光路中，将待测λ/4波片置于待测光学元件置放台上的光路中；

②启动所述的连续光纤激光器，连续光纤激光器的输出光经光纤准直器耦合后输出连续光，经第一偏振分光棱镜变为P光，经半波片、法拉第旋光器后仍为P光，经第二偏振分光棱镜，然后通过待测λ/4波片，经所述的全反射镜的反射光依次通过待测λ/4波片、第二偏振分光棱镜、标准法拉第旋光器和半波片,若待测λ/4波片存在问题，输出光变为椭圆偏振光，在所述的第一偏振分光棱镜的反射光束方向会有部分反射光输出；

③将光功率计置于所述的第一偏振分光棱镜的反射光束方向测量光功率值P_A，按下式计算待测λ/4波片偏失量：

$c\%=\frac{P_A}{P_B*a\%}=(P_C*P_A)/P_B^2,$

根据由此可知，在λ/4波片自由转动过程中，α＝45°时，c为最小值，上式简化为将计算值与允许角度偏失量值进行比较决定是否可用。

利用上述的测量装置对λ/2波片的测试方法，该方法包括下列步骤：

①将所述的待测的λ/2波片置于待测光学元件置放台上的光路中，将所述的全反射镜移出光路，将光功率计置于所述的第三偏振分光棱镜的透射方向，即F位置；

②启动所述的连续光纤激光器，连续光纤激光器的输出光经光纤准直器耦合后输出连续光，经第一偏振分光棱镜变为P光，经半波片、法拉第旋光器后仍为P光，经第二偏振分光棱镜，然后通过待测λ/2波片，若待测λ/2波片存在问题，则P光变为椭圆偏振光，部分光透过第三偏振分光棱镜，利用空间光功率计在第三偏振分光棱镜的透射方向F位置测量透射光功率值P_F；

③将空间光功率计置于所述的第二偏振分光棱镜的透射光路中测量功率值P_E，待测λ/2波片的透过能量与输入能量之比为c％＝P_F/P_E，则α＝45°时，c为最小值，上式简化为将计算值与允许角度偏失量值进行比较决定是否可用。

利用上述的测量装置对电光开关的测试方法，该方法包括下列步骤：

①对电光开关的四分之一波电压准确性进行测试，放入待测电光开关之前，启动所述的连续光纤激光器，将功率计依次置于所述的第一偏振分光棱镜后的光路中测量的光功率为P_C，在标准法拉第旋光器后的光路中测量的光功率为P_B，则所述的半波片+标准法拉第旋光器的透过率为a％＝P_B/P_C，将待测的电光开关置于所述的待测光学元件置放台上的光路中，将所述的全反射镜移入光路，启动所述的连续光纤激光器，将光功率计置于所述的第一偏振分光棱镜的反射光束方向处测量光功率值P_A，计算偏失量：继而得到角度偏失量 将计算值与允许角度偏失量值进行比较决定是否可用。

②将所述的全反射镜移出光路，对电光开关的二分之一波电压准确性进行测试，启动所述的连续光纤激光器，连续光纤激光器的输出光经光纤准直器耦合后输出连续光，经第一偏振分光棱镜变为P光，经半波片、标准法拉第旋光器后仍为P光，经第二偏振分光棱镜，然后通过待测电光开关，若待测电光开关存在问题，则P光变为椭圆偏振光，部分光透过第三偏振分光棱镜，利用空间光功率计在第三偏振分光棱镜的透射光方向测量透射光功率值P_F，将空间光功率计放置在第二偏振分光棱镜的透射光方向测量功率值P_E，透过能量与输入能量之比为c％＝P_F/P_E，得到角度偏失量将计算值与允许角度偏失量值进行比较决定是否可用。

③将全反射镜移出光路，在第三偏振分光棱镜的透射光方向放置连接到示波器的强流管，启动所述的连续光纤激光器，连续光纤激光器的输出光经光纤准直器耦合后输出连续光，经第一偏振分光棱镜、半波片、标准法拉第旋光器、第二偏振分光棱镜、待测电光开关、第三偏振分光棱镜，通过控制电光开关时间来观察示波器上波形，并读取电光开关的上升沿、下降沿时间。

本发明光学元件测量装置自检方法，待测光学元件置放台无光学元件，启动所述的连续光纤激光器，连续光纤激光器的输出光经光纤准直器耦合后输出连续光，经第一偏振分光棱镜变为P光，经半波片+标准法拉第旋光器后仍为P光，由于系统误差，仍然存在部分S光，利用空间光功率计在标准法拉第旋光器的透射光方向测量功率值P_B，将空间光功率计置于第二偏振分光棱镜的反射光方向测量S光功率值P_D，得到系统自身隔离比a＝P_B/P_D，若该值＞500，则该系统正常可运行。

本发明的优点在于：

1、本发明采用了多种光学元件测量光路的集成，结构简单，操作方便。

2、本发明采用了高消光比的偏振分光棱镜，相比于薄膜偏振片，这种光学元件能够大大降低了系统光路误差对测试结果的影响，进一步提高了测量装置的准确性。

3、本发明将全反射镜装配在燕尾副平移台上，可移出、移入光路，以满足不同光学元件的测试功能，操作简单，位置可标记。

附图说明

图1是本发明光学元件测量装置的结构框图。

图2是本发明中法拉第旋光器测量示意图。

图3是本发明中λ/4波片测量示意图。

图4是本发明中λ/2波片测量示意图。

图5是本发明中电光开关四分之一波电压测量示意图。

图6是本发明中电光开关二分之一波电压测量示意图。

图7是本发明中电光开关上升沿、下降沿测量示意图。

图8是本发明中系统光学元件自检测量示意图。

图中：1－光纤头；2－光纤准直器；3－偏振分光棱镜；4－半波片；5－标准法拉第旋光器；6－偏振分光棱镜；7－测量单元；8－全反射镜；9－偏振分光棱镜；71－待测法拉第旋光器；72－待测λ/4波片；73－待测λ/2波片；74－待测电光开关。

具体实施方式

下面结合实施例和附图对本发明作进一步说明，但不应以此限制本发明的保护范围。

先参阅图1，图1是本发明光学元件测量装置的结构框图。由图可见，本发明光学元件测量装置，包括连续光纤激光器1，沿该连续光纤激光器1的输出光束方向依次是光纤准直器2、第一偏振分光棱镜3、半波片4、标准法拉第旋光器5、第二偏振分光棱镜6、待测光学元件置放台7、全反射镜8和第三偏振分光棱镜9。

法拉第旋光器测量示意图参见图2。由图可见，利用上述的测量装置对法拉第旋光器的测试方法，包括下列步骤：

①放入待测法拉第旋光器71前，启动所述的连续光纤激光器1，将功率计分别置于所述的第一偏振分光棱镜3后的光路中C处测量的光功率为P_C和标准法拉第旋光器5后的光路中B处测量的光功率为P_B，则所述的半波片4+标准法拉第旋光器5的透过率为a％＝P_B/P_C，将所述的全反射镜8放置在光路中，将待测法拉第旋光器71置于待测光学元件置放台7上的光路中；

②启动所述的连续光纤激光器1，该连续光纤激光器1的输出光经光纤准直器2耦合后输出连续光，经第一偏振分光棱镜3变为P光，经半波片4和标准法拉第旋光器5后仍为P光，经第二偏振分光棱镜6和待测法拉第旋光器71，经过全反射镜8的反射光依次通过待测法拉第旋光器71、第二偏振分光棱镜6、标准法拉第旋光器5和半波片4后变为S光，该S光经第一偏振分光棱镜3反射输出，即所述的第一偏振分光棱镜3的反射光束方向A；

③将光功率计置于所述的第一偏振分光棱镜3的反射光束方向A处测量光功率值P_A，按下式计算待测法拉第旋光器71的隔离比：

$b=a\%*\frac{P_B}{P_A}=P_B^2/(P_C*P_A),$

将该值与待测法拉第旋光器71预期隔离比进行比较决定是否可用。

λ/4波片测量光路示意图参见图3，利用上述的测量装置对λ/4波片的测试方法，包括下列步骤：

①放入待测λ/4波片72前，启动所述的连续光纤激光器1，将功率计分别置于所述的第一偏振分光棱镜3后的光路C处测量的光功率为P_C、在标准法拉第旋光器5后的光路B处测量的光功率为P_B，则所述的半波片4+标准法拉第旋光器5的透过率为a％＝P_B/P_C，将所述的全反射镜8放置在光路中，将待测λ/4波片72置于待测光学元件置放台7上的光路中；

②启动所述的连续光纤激光器1，连续光纤激光器1的输出光经光纤准直器2耦合后输出连续光，经第一偏振分光棱镜3变为P光，经半波片4、标准法拉第旋光器5后仍为P光，经第二偏振分光棱镜6，然后通过待测λ/4波片72，经所述的全反射镜8的反射光依次通过待测λ/4波片72、第二偏振分光棱镜6、标准法拉第旋光器5和半波片4,若待测λ/4波片72存在问题，输出光变为椭圆偏振光，在所述的第一偏振分光棱镜3的反射光束方向A处会有部分反射光输出；

③将光功率计置于所述的第一偏振分光棱镜3的反射光束方向A测量光功率值P_A，按下式计算待测λ/4波片72偏失量：

$c\%=\frac{P_A}{P_B*a\%}=(P_C*P_A)/P_B^2,$

根据由此可知，在λ/4波片自由转动过程中，α＝45°时，c为最小值，上式简化为将计算值与允许角度偏失量值进行比较决定是否可用。

λ/2波片测量光路示意图参见图4，利用上述的测量装置对λ/2波片的测试方法，包括下列步骤：

①将所述的待测的λ/2波片置于待测光学元件置放台上的光路中，将所述的全反射镜移出光路，将空间光功率计置于所述的第三偏振分光棱镜的透射方向，即F位置；

②启动所述的连续光纤激光器，连续光纤激光器1的输出光经光纤准直器2耦合后输出连续光，经第一偏振分光棱镜3变为P光，经半波片4、标准法拉第旋光器5后仍为P光，经第二偏振分光棱镜6，然后通过待测λ/2波片73，若待测λ/2波片73存在问题，则P光变为椭圆偏振光，部分光透过第三偏振分光棱镜9，利用空间光功率计在第三偏振分光棱镜9后的F位置测量透射光功率值P_F；

③将空间光功率计置于所述的第二偏振分光棱镜6的透射光路中(E位置)测量功率值P_E，待测λ/2波片73的透过能量与输入能量之比为c％＝P_F/P_E，则α＝45°时，c为最小值，上式简化为将计算值与允许角度偏失量值进行比较决定是否可用。

利用上述的测量装置对电光开关的测试方法，包括下列步骤：

电光开关四分之一波电压测量光路示意图参见图5，

①放入待测电光开关74之前，启动所述的连续光纤激光器1，将功率计依次置于所述的第一偏振分光棱镜3后的光路C处测量的光功率为P_C，在标准法拉第旋光器5后的光路B处测量的光功率为P_B，则所述的半波片4+标准法拉第旋光器5的透过率为a％＝P_B/P_C，将待测的电光开关74置于所述的待测光学元件置放台7上的光路中，将所述的全反射镜8移入光路，启动所述的连续光纤激光器1，将光功率计置于所述的第一偏振分光棱镜3的反射光束方向A处测量光功率值P_A，计算偏失量： $c\%=\frac{P_A}{P_B*a\%}=(P_C*P_A)/P_B^2,$ 继而得到角度偏失量将计算值与允许角度偏失量值进行比较决定是否可用。

电光开关二分之一波电压测量光路示意图参见图6，

②将所述的全反射镜8移出光路，对电光开关的二分之一波电压准确性进行测试，启动所述的连续光纤激光器1，连续光纤激光器1的输出光经光纤准直器2耦合后输出连续光，经第一偏振分光棱镜3变为P光，经半波片4、标准法拉第旋光器5后仍为P光，经第二偏振分光棱镜6，然后通过待测电光开关74，若待测电光开关74存在问题，则P光变为椭圆偏振光，部分光透过第三偏振分光棱镜9，利用空间光功率计在第三偏振分光棱镜9的透射光方向(F位置)测量透射光功率值P_F，将空间光功率计放置在第二偏振分光棱镜6的透射光方向(E位置)测量功率值P_E，透过能量与输入能量之比为c％＝P_F/P_E，得到角度偏失量将计算值与允许角度偏失量值进行比较决定是否可用。

电光开关上升沿、下降沿测量光路示意图参见图7，

③将全反射镜8移出光路，在第三偏振分光棱镜9的透射光方向(F位置)放置连接到示波器的强流管，启动所述的连续光纤激光器1，连续光纤激光器1的输出光经光纤准直器2耦合后输出连续光，经第一偏振分光棱镜3、半波片4、标准法拉第旋光器5、第二偏振分光棱镜6、待测电光开关74、第三偏振分光棱镜9，通过控制电光开关时间来观察示波器上波形，并读取电光开关的上升沿、下降沿时间。

系统装置的自检的测量示意图参见图8，本发明光学元件测量装置的自检方法，待测光学元件置放台7无光学元件，启动所述的连续光纤激光器1，连续光纤激光器1的输出光经光纤准直器2耦合后输出连续光，经第一偏振分光棱镜3变为P光，经半波片4+标准法拉第旋光器5后仍为P光，由于系统误差，仍然存在部分S光，利用空间光功率计在标准法拉第旋光器5的透射光方向(B处)测量功率值P_B，将空间光功率计置于第二偏振分光棱镜6的反射光方向(D处)测量S光功率值P_D，得到系统自身隔离比a＝P_B/P_D，若该值＞500，则该系统正常可运行。

实验表明，本发明可对法拉第旋光器、λ/4波片、λ/2波片、电光开关的性能进行测量，还有系统自检功能。该装置具有操作方便，结构紧凑，测量精度高的特点。

Claims (6)

1.一种光学元件测量装置，其特征在于：该装置包括连续光纤激光器(1)，沿该连续光纤激光器(1)的输出光束方向依次是光纤准直器(2)、第一偏振分光棱镜(3)、半波片(4)、标准法拉第旋光器(5)、第二偏振分光棱镜(6)、待测光学元件置放台(7)、全反射镜(8)和第三偏振分光棱镜(9)。

2.利用权利要求1所述的测量装置对法拉第旋光器的测试方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：

①放入待测法拉第旋光器(71)前，启动所述的连续光纤激光器(1)，将功率计分别置于所述的第一偏振分光棱镜(3)后的光路中(C处)测量的光功率为P_C、和标准法拉第旋光器(5)后的光路中(B处)测量的光功率为P_B，则所述的半波片(4)+标准法拉第旋光器(5)的透过率为a％＝P_B/P_C，将所述的全反射镜(8)放置在光路中，将待测法拉第旋光器(71)置于待测光学元件置放台(7)上的光路中；

②启动所述的连续光纤激光器(1)，该连续光纤激光器(1)的输出光经光纤准直器(2)耦合后输出连续光，经第一偏振分光棱镜(3)变为P光，经半波片(4)和标准法拉第旋光器(5)后仍为P光，经第二偏振分光棱镜(6)和待测法拉第旋光器(71)，经过全反射镜(8)的反射光依次通过待测法拉第旋光器(71)、第二偏振分光棱镜(6)、标准法拉第旋光器(5)和半波片(4)后变为S光，该S光经第一偏振分光棱镜(3)反射输出，即所述的第一偏振分光棱镜(3)的反射光束方向(A处)；

③将光功率计置于所述的第一偏振分光棱镜(3)的反射光束方向(A处)测量光功率值P_A，按下式计算待测法拉第旋光器(71)的隔离比：

将该值与待测法拉第旋光器(71)预期隔离比进行比较决定是否可用。

3.利用权利要求1所述的测量装置对λ/4波片(72)的测试方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：

①放入待测λ/4波片(72)前，启动所述的连续光纤激光器(1)，将功率计分别置于所述的第一偏振分光棱镜(3)后的光路(C处)中测量的光功率为P_C和标准法拉第旋光器(5)后的光路(B处)中测量的光功率为P_B，则所述的半波片(4)+标准法拉第旋光器(5)的透过率为a％＝P_B/P_C，将所述的全反射镜(8)放置在光路中，将待测λ/4波片(72)置于待测光学元件置放台(7)上的光路；

②启动所述的连续光纤激光器(1)，连续光纤激光器(1)的输出光经光纤准直器(2)耦合后输出连续光，经第一偏振分光棱镜(3)变为P光，经半波片(4)、法拉第旋光器(5)后仍为P光，经第二偏振分光棱镜(6)，然后通过待测λ/4波片(72)，经所述的全反射镜(8)的反射光依次通过待测λ/4波片(72)、第二偏振分光棱镜(6)、法拉第旋光器(5)和半波片(4),若待测λ/4波片(72)存在问题，输出光变为椭圆偏振光，在所述的第一偏振分光棱镜(3)的反射光束方向(A处)会有部分反射光输出；

③将光功率计置于所述的第一偏振分光棱镜(3)的反射光束方向(A处)测量光功率值P_A，按下式计算待测λ/4波片(72)偏失量：

根据由此可知，在λ/4波片自由转动过程中，α＝45°时，c为最小值，上式简化为将计算值与允许角度偏失量值进行比较决定是否可用。

4.利用权利要求1所述的测量装置对λ/2波片的测试方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：

①将所述的待测的λ/2波片(73)置于待测光学元件置放台(7)上的光路中，将所述的全反射镜(8)移出光路，将空间光功率计置于所述的第三偏振分光棱镜(9)的透射方向，即F处；

②启动所述的连续光纤激光器(1)，连续光纤激光器(1)的输出光经光纤准直器(2)耦合后输出连续光，经第一偏振分光棱镜(3)变为P光，经半波片(4)、法拉第旋光器(5)后仍为P光，经第二偏振分光棱镜(6)，然后通过待测λ/2波片(73)，若待测λ/2波片(73)存在问题，则P光变为椭圆偏振光，部分光透过第三偏振分光棱镜(9)，利用空间光功率计在F处测量透射光功率值P_F；

③将空间光功率计置于所述的第二偏振分光棱镜(6)的透射光路中(E位置)测量功率值P_E，待测λ/2波片(73)的透过能量与输入能量之比为c％＝P_F/P_E，则α＝45°时，c为最小值，上式简化为将计算值与允许角度偏失量值进行比较决定是否可用。

5.利用权利要求1所述的测量装置对电光开关的测试方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：

①对电光开关的四分之一波电压准确性进行测试，放入待测电光开关(74)之前，启动所述的连续光纤激光器(1)，将功率计依次置于所述的一偏振分光棱镜(3)后的光路(C处)中测量的光功率为P_C，和标准法拉第旋光器(5)后的光路(B处)中测量的光功率为P_B，则所述的半波片(4)+标准法拉第旋光器(5)的透过率为a％＝P_B/P_C，将待测的电光开关(74)置于所述的待测光学元件置放台(7)上的光路中，将所述的全反射镜(8)移入光路，启动所述的连续光纤激光器(1)，将光功率计置于所述的第一偏振分光棱镜(3)的反射光束方向(A处)处测量光功率值P_A，计算偏失量：继而得到角度偏失量 将计算值与允许角度偏失量值进行比较决定是否可用；

②将所述的全反射镜(8)移出光路，对电光开关的二分之一波电压准确性进行测试，启动所述的连续光纤激光器(1)，连续光纤激光器(1)的输出光经光纤准直器(2)耦合后输出连续光，经第一偏振分光棱镜(3)变为P光，经半波片(4)、标准法拉第旋光器(5)后仍为P光，经第二偏振分光棱镜(6)，然后通过待测电光开关(74)，若待测电光开关(74)存在问题，则P光变为椭圆偏振光，部分光透过第三偏振分光棱镜(9)，利用空间光功率计在第三偏振分光棱镜(9)的透射光方向(F位置)测量透射光功率值P_F，将空间光功率计放置在第二偏振分光棱镜(6)的透射光方向(E处)测量功率值P_E，透过能量与输入能量之比为c％＝P_F/P_E，得到角度偏失量将计算值与允许角度偏失量值进行比较决定是否可用；

③将全反射镜(8)移出光路，在第三偏振分光棱镜(9)的透射光方向(F位置)放置连接到示波器的强流管，启动所述的连续光纤激光器(1)，连续光纤激光器(1)的输出光经光纤准直器(2)耦合后输出连续光，经第一偏振分光棱镜(3)、半波片(4)、法拉第旋光器(5)、第二偏振分光棱镜(6)、待测电光开关(74)、第三偏振分光棱镜(9)，通过控制电光开关时间来观察示波器上波形，并读取电光开关的上升沿、下降沿时间。

6.如权利要求1所述的光学元件测量装置自检方法，其特征在于，该方法包括下列步骤：待测光学元件置放台(7)无光学元件，启动所述的连续光纤激光器(1)，连续光纤激光器(1)的输出光经光纤准直器(2)耦合后输出连续光，经第一偏振分光棱镜(3)变为P光，经半波片(4)+标准法拉第旋光器(5)后仍为P光，由于系统误差，仍然存在部分S光，利用空间光功率计在标准法拉第旋光器(5)的透射光方向(B处)测量功率值P_B，将空间光功率计置于第二偏振分光棱镜(6)的反射光方向(D处)测量S光功率值P_D，得到系统自身隔离比a＝P_B/P_D，若该值＞500，则该系统正常可运行。