CN103838409A

CN103838409A - 一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置

Info

Publication number: CN103838409A
Application number: CN201210480424.3A
Authority: CN
Inventors: 任伟锋; 俞忠; 曹贇
Original assignee: Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp
Current assignee: Shanghai Huahong Grace Semiconductor Manufacturing Corp
Priority date: 2012-11-23
Filing date: 2012-11-23
Publication date: 2014-06-04

Abstract

本发明公开了一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置，该装置设置在湿法清洗设备的触摸屏上，该装置包括一块防护板，防护板上设置多个贯通的开口，开口的位置与触摸屏上需使用的功能键的位置相对应。所述的开口设置为各种不同的几何形状，各个开口根据触摸屏上显示的需使用的功能键的大小设置为不同的尺寸和位置。防护板为透明材料。多个开口的位置与触摸屏上显示的不同菜单的需使用的功能键的位置相对应。防护板与触摸屏之间留有间隙，将防护板与触摸屏隔离。本发明能够预防对湿法清洗设备误操作造成突然停机，减少由此造成的产品报废，提高产品合格率，减少故障停机时间，并且该装置使用方便，成本低廉。

Description

一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置

技术领域

本发明涉及一种晶片湿法清洗设备，尤其涉及一种晶片湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置。

背景技术

在晶片生产中，每天在固定的时间需对湿法清洗设备进行化学液更换作业，此时，由于设备检测到的信号与正常生产时检测到的信号不同，设备会发出报警信息，为了消除报警信息需要点击清洗设备触摸屏上显示的菜单中的“故障清除”功能键，以使清洗设备重新检测各种信号，以促进化学液进程继续进行。由于某些湿法清洗设备的菜单中“故障清楚”功能键和“停止”功能键离得很近，日常操作中经常发生点击“故障清除”功能键时误碰触到旁边的“停止”功能键，而一旦发生这样的误操作，会使得正在正常生产的清洗设备突然停止，造成产品报废。现有的方法是通过修改湿法清洗设备的软件进行解决，但此方法成本高昂。

发明内容

本发明提供了一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置，能够预防对湿法清洗设备误操作造成突然停机，减少由此造成的产品报废，提高产品合格率，减少故障停机时间，并且该装置使用方便，成本低廉。

本发明通过以下技术方案实现：

一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置，设置在湿法清洗设备的触摸屏上，其特点是，所述的装置包括一块防护板，所述的防护板上设置多个贯通的开口，所述的开口位置与触摸屏上需使用的功能键的位置相对应。

上述的一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置，其特点是，所述的开口设置为各种不同的几何形状，各个所述的开口根据触摸屏上显示的需使用的功能键的大小设置为不同的尺寸和位置。

上述的一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置，其特点是，所述的防护板为透明材料。

上述的一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置，其特点是，多个所述的开口的位置与触摸屏上显示的不同菜单的需使用的功能键的位置相对应。

上述的一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置，其特点是，所述的防护板与触摸屏之间留有间隙，将防护板与触摸屏隔离。

本发明具有以下有益效果：本发明一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置由于包含防护板，防护板与湿法清洗设备的触摸屏之间留有间隙，并且防护板上设置有多个开口，因此操作人员仅能通过各个开口触碰操作触摸屏上显示的菜单中对应于防护板上各个开口位置的功能键，而不会触碰到其它任何功能键，预防了对触摸屏误操作的发生，防止了由于误操作造成突然停机而造成的产品报废，减少了由于误操作引起的故障停机时间，从而改善了湿法清洗设备的运行时间；本发明由于包含的防护板为透明材料，在实现预防误操作的同时能够清晰的观察触摸屏上显示的菜单和数据信息；本发明由于包含的防护板上设置的多个开口的形状、尺寸、位置根据触摸屏上显示的不同菜单进行设置，其位置与触摸屏上显示的不同菜单的需使用的功能键的位置相对应，因此适应性强，一个湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置可以对同一设备触摸屏上显示的不同菜单的功能键操作并预防误操作，不需频繁更换湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置，方便易用；本发明由于结构简单，安装与拆卸方便，不需更改现有湿法清洗设备的软件和硬件，因此成本低廉。

附图说明

图1为本发明一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置实施例一的结构示意图；

图2为本发明一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置实施例二的结构示意图；

图3为本发明一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置实施例一对应于湿法清洗设备触摸屏上显示的主目录界面的示意图；

图4为本发明一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置实施例一对应于湿法清洗设备触摸屏上显示的主操作界面的示意图；

图5为本发明一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置实施例二对应于湿法清洗设备触摸屏上显示的主目录界面的示意图；

图6为本发明一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置实施例二对应于湿法清洗设备触摸屏上显示的主操作界面的示意图。

具体实施方式

以下结合附图，通过详细说明一个较佳的具体实施例，对本发明做进一步阐述。

参阅附图1和附图2所示，本发明一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置1，设置在湿法清洗设备的触摸屏2上，装置1包括一块防护板11，所述的防护板11上设置多个贯通的开口12，开口12位置与触摸屏上需使用的功能键21的位置相对应。操作人员通过防护板11上的多个开口12对触摸屏2上显示的菜单进行操作，只有触摸屏2上位置与各个开口12位置相对应的功能键21才能被碰触到，进行触摸操作。多个开口12可以设置为各种不同的几何形状，各个开口12可以根据触摸屏上显示的需使用的功能键21的大小设置为不同的尺寸和位置。

防护板11为透明材料，能够通过透明的防护板11清晰的观察触摸屏上显示的内容，不影响进程监视。

参阅附图3、4、5、6所示，多个开口12的位置与触摸屏2上显示的不同菜单的需使用的功能键21的位置相对应。

某些湿法清洗设备，其触摸屏显示不同的操作界面：主目录界面、主操作界面。在实施例一中，在防护板11上设置三个开口12，分别为左上角的矩形开口和右下角的两个圆形开口。附图3所示的主目录界面，正常生产中使用主目录界面时，该界面上只需要使用到“主操作界面”功能键和“化学品更换顺序控制”功能键。此时，在湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置1的防护板11上尺寸较大的矩形开口位置对应于主目录界面上的“主操作界面”功能键和“化学品更换顺序控制”功能键，通过这个矩形开口既可触摸操作“主操作界面”功能键，又可以触摸操作“化学品更换顺序控制”功能键；防护板11上的两个圆形开口对应于此菜单上的空白位置而不对应此菜单上的任何功能键，操作人员通过此两个圆形开口触碰触摸屏不会发生误操作；而触摸屏2上的其它功能键都无法被触摸操作。附图4所示的主操作界面，正常生产中使用主操作界面时，该界面上只需要使用到“故障清除”功能键和“主目录”功能键。此时，在湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置1的防护板11上两个尺寸较小的圆形开口位置分别对应于主操作界面上的“故障清除”功能键和“主目录”功能键，通过这两个圆形开口可以分别触摸操作“故障清除”功能键和“主目录”功能键而不会对旁边的其它功能键例如“停止”功能键发生误操作；防护板11上的矩形开口对应于此菜单上的空白位置而不对应此菜单上的任何功能键，操作人员通过此矩形开口触碰触摸屏不会发生误操作。如此，实现了一个湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置可以对同一设备触摸屏上显示的不同菜单的功能键操作并预防误操作，不需频繁更换湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置，适应性强，方便易用。

在实施例二中，在防护板11上设置四个开口12，分别为左上角的两个矩形开口和右下角的两个圆形开口，该左上角的两个矩形开口的位置、尺寸与实施例一中左上角的一个矩形开口的位置、尺寸相对应。附图5所示的主目录界面，正常生产中使用主目录界面时，该界面上只需要使用到“主操作界面”功能键和“化学品更换顺序控制”功能键。此时，在湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置1的防护板11上左上角的两个矩形开口位置分别对应于主目录界面上的“主操作界面”功能键和“化学品更换顺序控制”功能键，通过这两个矩形开口可以分别触摸操作“主操作界面”功能键和“化学品更换顺序控制”功能键；防护板11上的两个圆形开口对应于此菜单上的空白位置而不对应此菜单上的任何功能键，操作人员通过此两个圆形开口触碰触摸屏不会发生误操作；而触摸屏2上的其它功能键都无法被触摸操作。附图6所示的主操作界面，正常生产中使用主操作界面时，该界面上只需要使用到“故障清除”功能键和“主目录”功能键。此时，在湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置1的防护板11上两个圆形开口位置分别对应于主操作界面上的“故障清除”功能键和“主目录”功能键，通过这两个圆形开口可以分别触摸操作“故障清除”功能键和“主目录”功能键而不会对旁边的其它功能键例如“停止”功能键发生误操作；防护板11上的两个矩形开口对应于此菜单上的空白位置而不对应此菜单上的任何功能键，操作人员通过此两个矩形开口触碰触摸屏不会发生误操作。

防护板11与触摸屏2之间留有间隙，使得防护板11与触摸屏2隔离，从而保证所有的位置与各个开口12位置不对应的功能键22全都被防护板11隔离，不能被触碰到，从而不能被操作使用。

本发明一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置1，安装在湿法清洗设备触摸屏2的框架上，可以粘贴或设置卡扣等方式进行安装，能够方便的反复安装与拆卸。在对湿法清洗设备进行保养、维护、调试等操作时，可以将本发明拆卸下来对触摸屏2上的菜单中的所有功能键进行触摸操作；当正常生产时，将本发明安装在触摸屏2上，以使操作人员仅能对正常生产需使用的几个功能键21进行触摸操作，而不会触碰到其他的功能键22，预防了误操作的发生。

综上所述，本发明一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置由于包含防护板，防护板与湿法清洗设备的触摸屏之间留有间隙，并且防护板上设置有多个开口，因此操作人员仅能通过各个开口触碰操作触摸屏上显示的菜单中对应于防护板上各个开口位置的功能键，而不会触碰到其它任何功能键，预防了对触摸屏误操作的发生，防止了由于误操作造成突然停机而造成的产品报废，减少了由于误操作引起的故障停机时间，从而改善了湿法清洗设备的运行时间；本发明由于包含的防护板为透明材料，在实现预防误操作的同时能够清晰的观察触摸屏上显示的菜单和数据信息；本发明由于包含的防护板上设置的多个开口的形状、尺寸、位置根据触摸屏上显示的不同菜单进行设置，其位置与触摸屏上显示的不同菜单的需使用的功能键的位置相对应，因此适应性强，一个湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置可以对同一设备触摸屏上显示的不同菜单的功能键操作并预防误操作，不需频繁更换湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置，方便易用；本发明由于结构简单，安装与拆卸方便，不需更改现有湿法清洗设备的软件和硬件，因此成本低廉。

尽管本发明的内容已经通过上述优选实施例作了详细介绍，但应当认识到上述的描述不应被认为是对本发明的限制。在本领域技术人员阅读了上述内容后，对于本发明的多种修改和替代都将是显而易见的。因此，本发明的保护范围应由所附的权利要求来限定。

Claims

1.一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置（1），设置在湿法清洗设备的触摸屏（2）上，其特征在于，所述的装置（1）包括一块防护板（11），所述的防护板（11）上设置多个贯通的开口（12），所述的开口（12）位置与触摸屏上需使用的功能键（21）的位置相对应。

2.如权利要求1所述的一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置（1），其特征在于，所述的开口（12）设置为各种不同的几何形状，各个所述的开口（12）根据触摸屏上显示的需使用的功能键（21）的大小设置为不同的尺寸和位置。

3.如权利要求1所述的一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置（1），其特征在于，所述的防护板（11）为透明材料。

4.如权利要求1所述的一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置（1），其特征在于，多个所述的开口（12）的位置与触摸屏（2）上显示的不同菜单的需使用的功能键（21）的位置相对应。

5.如权利要求1所述的一种湿法清洗设备触摸屏误操作预防装置（1），其特征在于，所述的防护板（11）与触摸屏（2）之间留有间隙，将防护板（11）与触摸屏（2）隔离。