CN103791843B - 可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统及方法 - Google Patents

可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103791843B
CN103791843B CN201310543043.XA CN201310543043A CN103791843B CN 103791843 B CN103791843 B CN 103791843B CN 201310543043 A CN201310543043 A CN 201310543043A CN 103791843 B CN103791843 B CN 103791843B
Authority
CN
China
Prior art keywords
axis
measured
reflector mirror
cross
angle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201310543043.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN103791843A (zh
Inventor
张学敏
魏儒义
宋兴
段战军
闫肃
侯晓华
李华
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
XiAn Institute of Optics and Precision Mechanics of CAS
Original Assignee
XiAn Institute of Optics and Precision Mechanics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by XiAn Institute of Optics and Precision Mechanics of CAS filed Critical XiAn Institute of Optics and Precision Mechanics of CAS
Priority to CN201310543043.XA priority Critical patent/CN103791843B/zh
Publication of CN103791843A publication Critical patent/CN103791843A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103791843B publication Critical patent/CN103791843B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Telescopes (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明涉及一种可实现离轴反射镜离轴量及离轴角精确测量的系统及方法,该系统包括直角弯板、基准轴形成部件以及测微光管;待测离轴反射镜以及所述基准轴形成部件分别设置在直角弯板的两个直角边上;待测离轴反射镜设置在测微光管的出射光路上并在直角弯板上沿直角边进行自如上下移动;所述基准轴形成部件设置在经待测离轴反射镜的反射光路上。本发明提供了一种测量精度高的可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统及方法。

Description

可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统及方法
技术领域
本发明属于光学检测领域,涉及一种可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统及方法,尤其涉及一种可实现离轴反射镜离轴量及离轴角精确测量的系统及方法。
背景技术
随着航天、航空事业的不断发展,光学系统形式从传统的同轴系统向离轴多反射式光学系统发展。对于离轴多反射光学系统,由于离轴反射镜中心光轴部分缺失,给系统穿心带来困难,造成系统同轴度降低,像质较难达到设计要求。离轴反射镜的离轴参数包括离轴量和离轴角,离轴量为离轴反射镜中心到理论光轴的距离,离轴角为离轴反射镜实际光轴与理论光轴的夹角。如果已知离轴反射镜的离轴量以及离轴角,通过机械精确定位的方式实现反射镜的初始定位,定位精度分别约为0.05mm、5”;初定位完成后采用计算机辅助装调即可实现反射镜的精确定位。但是离轴量在加工过程中的测量精度为mm量级,离轴角的测量精度约为30”,使得初始定位精度太低,不能满足使用计算机辅助装调进行精确定位的条件,从而难以实现反射镜的精确定位。因此,精确测量离轴反射镜的离轴量以及离轴角对于离轴反射镜的装配是十分必要的。
发明内容
为了解决背景技术中存在的上述技术问题,本发明提供了一种测量精度高的可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统及方法。
本发明的技术解决方案是:本发明提供了一种可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统,其特殊之处在于:所述系统包括直角弯板、基准轴形成部件以及测微光管;待测离轴反射镜以及所述基准轴形成部件分别设置在直角弯板的两个直角边上;待测离轴反射镜设置在测微光管的出射光路上并在直角弯板上沿直角边进行自如上下移动;所述基准轴形成部件设置在经待测离轴反射镜的反射光路上。
上述待测离轴反射镜的背面设置有第三十字分划板目标;所述测微光管、第三十字分划板目标在同一光路上;所述测微光管与第三十字分划板目标所形成的光路与待测离轴反射镜背面所在的平面垂直。
上述基准轴形成部件包括依次设置在同一光轴上的第一十字分划板目标、第二十字分划板目标以及内调焦望远镜;所述第一十字分划板目标、第二十字分划板目标以及内调焦望远镜所处的光轴形成基准轴;所述第二十字分划板目标设置在经待测离轴反射镜的反射光路上。
上述可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统还包括设置在直角弯板上的直线导轨;待测离轴反射镜通过直线导轨设置在直角弯板的直角边上并在直线导轨上沿直角弯板的直角边进行自如上下移动。
上述直角弯板是高精度90°直角弯板;所述直线导轨是高精度直线导轨。
一种基于如上所述的可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统的方法,其特殊之处在于:所述方法包括以下步骤:
1)建立待测离轴反射镜的基准轴;在直角弯板上安装第一十字分划板目标以及第二十字分划板目标;所述第一十字分划板目标以及第二十字分划板目标处于同一光轴上;所述光轴是待测离轴反射镜的基准轴;
2)建立待测离轴反射镜的指向光轴;将待测离轴反射镜安装在高精度直线导轨上,待测离轴反射镜的背面贴第三十字分划板目标,第三十字分划板目标的光轴与待测离轴反射镜的背面相垂直,所述第三十字分划板目标的光轴形成待测离轴反射镜的指向光轴;
3)调节测微光管,使测微光管与待测离轴反射镜的指向光轴自准直,同时将此时的测微光管读数设置为零;
4)调节第二十字分划板目标,使第二十字分划板目标距离待测离轴反射镜中心距离是R,所述R是待测离轴反射镜中心环带的半径值;
5)将待测离轴反射镜向远离基准轴的方向平移距离x,移动内调焦望远镜找到第二十字分划板目标经过待测离轴反射镜的反射像,测出此时内调焦望远镜的移动量y;
6)根据公式y=2(x+Rsinα)以及y=2(x-Rsinα)计算得到待测离轴反射镜的指向光轴与基准轴的夹角α;
7)将离轴反射镜旋转α角,调节测微光管并使测微光管与待测离轴反射镜的指向光轴自准直;
8)读取此时测微光管的读数值,此数值即为离轴角的差值;
9)在精度直线导轨上平移待测离轴反射镜的位置,使得第二十字分划板目标经过待测离轴反射镜反射后沿原路返回,即在内调焦望远镜的视场中能同时观察到第二十字分划板目标以及第二十字分划板目标经过离轴反射镜反射的像,测量此时基准轴距离轴反射镜端面的距离d1
10)待测离轴反射镜的实际离轴量d=d1+D/2,所述D是离轴反射镜口径;所述离轴反射镜的光轴与反射镜背面十字分划板夹角为α。
本发明的优点是:
本发明基于自准直原理,进行反射光路分析,得出离轴反射镜位置与反射像位置的数学关系,并基于以上数学关系提出一种可精确测量离轴反射镜离轴量以及离轴角的系统,该系统包括高精度90°直角弯板、高精度直线导轨、中心定位特种工装、内调焦望远镜以及测微光管,该系统测量离轴量以及离轴角的精度分别为±0.05mm、±10”。
附图说明
图1是本发明所提供系统的结构示意图;
图2是基于本发明所提供方法所形成的第一光路走向示意图;
图3是基于本发明所提供方法所形成的第二光路走向示意图;
图4是基于本发明所提供方法所形成的第三光路走向示意图;
其中:
1-直角弯板;2-直线导轨;3-待测离轴反射镜;4-第一十字分划板目标;5-第二十字分划板目标;6-内调焦望远镜;7-测微光管。
具体实施方式
参见图1,本发明提供了一种可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统,该系统包括直角弯板1、直线导轨2、离轴反射镜3,第一十字分划板目标4、第二十字分划板目标5,内调焦望远镜6,测微光管7,如图1所示。
待测离轴反射镜以及基准轴形成部件分别设置在直角弯板1的两个直角边上;待测离轴反射镜3设置在测微光管7的出射光路上并在直角弯板1上沿直角边进行自如上下移动;基准轴形成部件设置在经待测离轴反射镜的反射光路上。
待测离轴反射镜3的背面设置有第三十字分划板目标;测微光管7、第三十字分划板目标在同一光路上,并与离轴反射镜背面垂直。
基准轴形成部件包括依次设置在同一光轴上的第一十字分划板目标4、第二十字分划板目标5以及内调焦望远镜6;第一十字分划板目标4、第二十字分划板目标5以及内调焦望远镜6所处的光轴形成基准轴;第二十字分划板目标5设置在经经待测离轴反射镜3的反射光路上。
可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统还包括设置在直角弯板1上的直线导轨2;待测离轴反射镜3通过直线导轨2设置在直角弯板1的直角边上并在直线导轨2上沿直角弯板1的直角边进行自如上下移动。
首先建立一基准轴,此基准轴由第一十字分划板目标4以及第二十字分划板目标5确定,当离轴反射镜理想光轴与基准轴重合并且第二十字分划板目标5中心距O点距离等于R(R为离轴反射镜中心环带曲率半径)时,第二十字分划板目标5发出的光线经待测离轴反射镜3反射后沿原路返回,其光路结构如图2所示,此时待测离轴反射镜3的中心轴与基准轴的距离等于待测离轴反射镜3的离轴量D。
当基准轴向上平移距离x且与离轴反射镜光轴夹角为α时,α角为负值,其像点变化量y=2(x+Rsinα)(1),光路如图3所示。
当基准轴向上平移距离x且与离轴反射镜光轴夹角为α时,α角为正值,其像点变化量y=2(x-Rsinα)(2),光路如图4所示。
基于如上提供的系统,本发明的具体测量方法是:
1、将待测离轴反射镜3安装在直线导轨2上,直线导轨2安装在直角弯板1上,待测离轴反射镜3的背面贴第三十字分划板,第三十字分划板的光轴与待测离轴反射镜背面垂直,在此定义为待测离轴反射镜指向光轴;
2、调节测微光管7,使得测微光管7与待测离轴反射镜3的指向光轴自准直,将此时的测微光管7读数设置为零;
3、调节第二十字分划板目标使得第二十字分划板目标距离待测离轴反射镜3中心距离为R,R为离轴反射镜中心环带的半径值;
4、将待测离轴反射镜3向远离基准轴方向平移距离x,移动内调焦望远镜6找到十字分划板经过待测离轴反射镜3的反射像,测出此时内调焦望远镜6的移动量y;
5、根据公式(1)、(2)计算出待测离轴反射镜3的光轴与基准轴的夹角α。
6、在测微光管7的监视下,将待测离轴反射镜3旋转α角;
7、调节测微光管7,使得测微光管与反射镜指向光轴自准直;
8、重复步骤4、5、6、7,直到α=0;
9、读取此时测微光管7的读数值,此数值即为离轴角的差值;
10、在直线导轨2上平移待测离轴反射镜3的位置使得第二十字分划板目标5经过待测离轴反射镜3反射后沿原路返回,即在内调焦望远镜6的视场中能同时观察到第二十字分划板目标以及第二十字分划板目标经过待测离轴反射镜3反射的像,测量此时基准轴距离轴反射镜端面的距离d1
11、待测离轴反射镜3的实际离轴量d=d1+D/2(D为离轴反射镜口径),实际光轴与反射镜背面十字分划板夹角为α。在装调过程中可以根据测量得到的d以及α,准确的确定离轴反射镜在系统中的初始位置,定位精度为0.02mm、2”。

Claims (6)

1.一种可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统,其特征在于:所述可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统包括直角弯板、基准轴形成部件以及测微光管;待测离轴反射镜以及所述基准轴形成部件分别设置在直角弯板的两个直角边上;待测离轴反射镜设置在测微光管的出射光路上并在直角弯板上沿直角边进行自如上下移动;所述基准轴形成部件设置在经待测离轴反射镜的反射光路上。
2.根据权利要求1所述的可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统,其特征在于:所述待测离轴反射镜的背面设置有第三十字分划板目标;所述测微光管、第三十字分划板目标在同一光路上;所述测微光管与第三十字分划板目标所形成的光路与待测离轴反射镜背面所在的平面垂直。
3.根据权利要求2所述的可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统,其特征在于:所述基准轴形成部件包括依次设置在同一光轴上的第一十字分划板目标、第二十字分划板目标以及内调焦望远镜;所述第一十字分划板目标、第二十字分划板目标以及内调焦望远镜所处的光轴形成基准轴;所述第二十字分划板目标设置在经待测离轴反射镜的反射光路上。
4.根据权利要求1或2或3所述的可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统,其特征在于:所述可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统还包括设置在直角弯板上的直线导轨;待测离轴反射镜通过直线导轨设置在直角弯板的直角边上并在直线导轨上沿直角弯板的直角边进行自如上下移动。
5.根据权利要求4所述的可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统,其特征在于:所述直角弯板是高精度90°直角弯板;所述直线导轨是高精度直线导轨。
6.一种基于权利要求5所述的可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统的方法,其特征在于:所述方法包括以下步骤:
1)建立待测离轴反射镜的基准轴;在直角弯板上安装第一十字分划板目标以及第二十字分划板目标;所述第一十字分划板目标以及第二十字分划板目标处于同一光轴上;所述光轴是待测离轴反射镜的基准轴;
2)建立待测离轴反射镜的指向光轴;将待测离轴反射镜安装在高精度直线导轨上,待测离轴反射镜的背面贴第三十字分划板目标,第三十字分划板目标的光轴与待测离轴反射镜的背面相垂直,所述第三十字分划板目标的光轴形成待测离轴反射镜的指向光轴;
3)调节测微光管,使测微光管与待测离轴反射镜的指向光轴自准直,同时将此时的测微光管读数设置为零;
4)调节第二十字分划板目标,使第二十字分划板目标距离待测离轴反射镜中心距离是R,所述R是待测离轴反射镜中心环带的半径值;
5)将待测离轴反射镜向远离基准轴的方向平移距离x,移动内调焦望远镜找到第二十字分划板目标经过待测离轴反射镜的反射像,测出此时内调焦望远镜的移动量y;
6)根据公式y=2(x+Rsinα)以及y=2(x-Rsinα)计算得到待测离轴反射镜的指向光轴与基准轴的夹角α;
7)将离轴反射镜旋转α角,调节测微光管并使测微光管与待测离轴反射镜的指向光轴自准直;
8)读取此时测微光管的读数值,此数值即为离轴角的差值;
9)在精度直线导轨上平移待测离轴反射镜的位置,使得第二十字分划板目标经过待测离轴反射镜反射后沿原路返回,即在内调焦望远镜的视场中能同时观察到第二十字分划板目标以及第二十字分划板目标经过离轴反射镜反射的像,测量此时基准轴距离轴反射镜端面的距离d1
10)待测离轴反射镜的实际离轴量d=d1+D/2,所述D是离轴反射镜口径;所述离轴反射镜的光轴与反射镜背面十字分划板夹角为α。
CN201310543043.XA 2013-11-05 2013-11-05 可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统及方法 Expired - Fee Related CN103791843B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310543043.XA CN103791843B (zh) 2013-11-05 2013-11-05 可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310543043.XA CN103791843B (zh) 2013-11-05 2013-11-05 可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统及方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103791843A CN103791843A (zh) 2014-05-14
CN103791843B true CN103791843B (zh) 2016-08-17

Family

ID=50667732

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310543043.XA Expired - Fee Related CN103791843B (zh) 2013-11-05 2013-11-05 可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103791843B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104964648B (zh) * 2015-06-30 2017-07-28 中国科学院西安光学精密机械研究所 离轴抛物面镜关键参数的标定系统及方法
CN106932179A (zh) * 2017-02-24 2017-07-07 湖北航天技术研究院总体设计所 基于光栅尺与经纬仪标定离轴抛物镜离轴量的方法及装置
CN107024180A (zh) * 2017-05-31 2017-08-08 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 用于远距微位移测量的支撑调节装置及其工作方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4329054A (en) * 1979-08-16 1982-05-11 Spectron Development Laboratories, Inc. Apparatus for sizing particles, droplets or the like with laser scattering
CN101858735A (zh) * 2010-05-19 2010-10-13 中国科学院光电技术研究所 一种大口径离轴非球面测量和标定系统
CN102494634A (zh) * 2011-11-18 2012-06-13 中国科学院光电技术研究所 一种基于条纹反射的离轴非球面镜检测方法
CN102819014A (zh) * 2012-07-23 2012-12-12 北京理工大学 基于离轴抛物面镜的激光测距机性能测试光学系统
CN102879182A (zh) * 2012-09-27 2013-01-16 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 采用激光跟踪仪检测离轴非球面偏心量的方法
CN203605909U (zh) * 2013-11-05 2014-05-21 中国科学院西安光学精密机械研究所 可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7440114B2 (en) * 2005-12-12 2008-10-21 Coherix, Inc. Off-axis paraboloid interferometric mirror with off focus illumination

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4329054A (en) * 1979-08-16 1982-05-11 Spectron Development Laboratories, Inc. Apparatus for sizing particles, droplets or the like with laser scattering
CN101858735A (zh) * 2010-05-19 2010-10-13 中国科学院光电技术研究所 一种大口径离轴非球面测量和标定系统
CN102494634A (zh) * 2011-11-18 2012-06-13 中国科学院光电技术研究所 一种基于条纹反射的离轴非球面镜检测方法
CN102819014A (zh) * 2012-07-23 2012-12-12 北京理工大学 基于离轴抛物面镜的激光测距机性能测试光学系统
CN102879182A (zh) * 2012-09-27 2013-01-16 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 采用激光跟踪仪检测离轴非球面偏心量的方法
CN203605909U (zh) * 2013-11-05 2014-05-21 中国科学院西安光学精密机械研究所 可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
三坐标轮廓测量仪测量离轴非球面的数据处理;王建明等;《光学技术》;20130731;第39卷(第4期);第291-296页 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN103791843A (zh) 2014-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1304879C (zh) 基于光程倍增补偿方法的二维光电自准直装置和测量方法
CN103292732B (zh) 一种可伸缩式的大型自由曲面在机测量装置
CN103983214B (zh) 一种利用无衍射光测量导轨四自由度运动误差的装置
CN105424322A (zh) 自校准光轴平行性检测仪及检测方法
CN108287338A (zh) 基于误差相消原理的激光测距仪检定系统及其检定方法
CN101975560B (zh) 一种面阵ccd靶面与安装定位面平行度的光学检测方法
CN103454619A (zh) 一种星载微波跟瞄雷达的电轴光学标定系统及其标定方法
CN102879182B (zh) 采用激光跟踪仪检测离轴非球面偏心量的方法
CN106403993B (zh) 一种瞄准棱镜安装误差测量方法
CN105823427B (zh) 一种平面定位装置及其测量方法
CN105414957B (zh) 一种轴系部件同轴装配方法及同轴度检测方法
CN107687832B (zh) 一种采用接触式轮廓仪检验Wolter-Ⅰ型芯轴表面质量的测试系统及方法
CN103791843B (zh) 可实现离轴反射镜离轴参数精确测量的系统及方法
US20120065912A1 (en) Calibration device and methods for use with a liquid handler
CN110455226B (zh) 一种激光准直收发一体式直线度测量的标定系统及方法
Li et al. A novel orientation and position measuring system for large & medium scale precision assembly
CN105182353B (zh) 一种非接触式激光距离测量仪与测量方法
CN104482884A (zh) 小角度测量装置及其测量方法
CN101339008B (zh) 一种检测大口径抛物面镜k值系数的装置
CN104535300A (zh) 一种大口径平行光管波前及像面位置标定装置及方法
CN107131826B (zh) 一种基于激光干涉仪的机床平动轴几何误差快速测量方法
CN105674934B (zh) 一种用于含有中空主镜的折反系统光学间隔的测定方法
Zheng et al. Study on the calibration method of USBL system based on ray tracing
CN106403810B (zh) 一种激光跟踪数字化柔性装配测量系统现场校准方法
CN104459209A (zh) 一种采用激光束进行不规则几何体内流场测量的标定方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20160817

Termination date: 20161105