CN103763333A - 桥接通讯模块及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种桥接通讯模块，包括配置子模块和通讯子模块。其中，配置子模块存储配置文件，该配置文件记录用于在分布式管理系统和桥接通讯模块之间建立通讯的第一通讯信息和用于在设备管理系统和桥接通讯模块之间建立通讯的第二通讯信息。通讯子模块根据第一通讯信息与分布式管理系统建立连接，根据第二通讯信息与设备控制系统建立连接，从而在分布式管理系统和设备控制系统之间的建立通讯，实现采用不同软件的分布式管理系统和设备控制系统之间的数据交互。
Description
技术领域
本发明涉及半导体设备通信技术领域，特别涉及一种用于半导体工厂设备分布式管理系统和设备控制系统的桥接通讯模块及方法。
背景技术
半导体工厂内设置的半导体设备数量众多，并且这些半导体设备在工厂里的分布也比较松散，如果工厂中未配置足够多的程师去现场管理每一台设备，可能无法及时获取和管理每一台设备的工作状态，所以，现有技术中提供一种分布式管理系统来辅助半导体工厂中的工程师来管理更多的同类设备。分布式管理系统通常包括可视化的客户端和服务器。服务器与设备控制系统相连。设备控制系统采集各半导体设备的状态数据和工艺数据并输出至分布式管理系统的服务器，由该服务器发送至远程客户端。此外，设备控制系统接收分布式管理系统的远程终端发送的指令并根据该指令操作各半导体设备完成相应动作。远程终端接收服务端发送的来自设备控制系统的设备状态数据和工艺数据并显示在可视化的界面上，可供使用者根据该设备状态数据发送指令，或根据工艺数据进行分析处理。
然而，由于设备控制系统采用的控制软件和分布式管理系统采用的管理软件是两种不同类型的软件，造成分布式管理系统和设备控制系统之间无法正常通讯，因此有必要解决这一分布式管理系统和设备控制系统间信息交互的问题。
发明内容
本发明的主要目的旨在提供一种解决分布式管理系统和设备控制系统之间通讯耦合问题的装置和方法。
为达成上述目的，本发明提供一种桥接通讯模块，用于在半导体设备的分布式管理系统和设备控制系统之间建立通讯以进行数据传输，其中所述分布式管理系统包括客户端和服务端，所述设备控制系统用于控制所述半导体设备。所述桥接通讯模块包括配置子模块和通讯子模块。其中，配置子模块用于储存一配置文件，该配置文件记录用于在所述分布式管理系统与所述桥接通讯模块之间建立通讯的第一通讯信息和用于在所述设备管理系统与所述桥接通讯模块之间建立通讯的第二通讯信息；通讯子模块与所述配置子模块相连，其根据所述配置文件的第一通讯信息与所述分布式管理建立连接，根据所述配置文件的第二通讯信息与所述设备控制系统建立连接，以在所述分布式管理系统和所述设备控制系统之间进行数据传输。
优选地，所述第一通讯信息包括用于在所述分布式远程管理系统和所述桥接通讯模块之间进行数据传输的第一通讯地址、第一通讯端口和第一通讯协议；所述第二通讯信息包括用于在所述设备控制系统和所述桥接通讯模块之间进行数据传输的第二通讯地址、第二通讯端口和第二通讯协议。
优选地，所述桥接通讯模块基于WCF技术与所述分布式管理系统建立连接，所述桥接通讯模块基于.Net远程处理技术与所述设备控制系统建立连接。
优选地，所述第一通讯协议和第二通讯协议为以太网协议，所述分布式管理系统的客户端和服务端之间通过AMQP协议通讯。
优选地，所述配置文件为XML格式。
优选地，所述通讯子模块在所述桥接通讯模块和所述分布式管理系统之间，以及所述桥接通讯模块和所述设备控制系统之间建立json数据格式的数据通道以进行所述数据的传输。
优选地，所述桥接通讯模块和所述分布式管理系统之间为异步通讯，所述桥接通讯模块和所述设备控制系统之间为异步通讯。
本发明还提供了一种桥接通讯方法，用于在半导体工厂设备的远程管理系统和设备控制系统之间建立通讯以进行数据传输，其中所述分布式管理系统包括客户端和服务端，所述设备控制系统用于控制所述半导体设备。所述桥接通讯方法包括读取一配置文件，所述配置文件存储于一桥接通讯模块中，其记录用于在所述分布式管理系统与所述桥接通讯模块之间建立通讯的第一通讯信息和用于在所述设备管理系统与所述桥接通讯模块之间建立通讯的第二通讯信息；根据所述配置文件的第一通讯信息与所述分布式管理系统建立连接，根据所述配置文件的第二通讯信息与所述设备控制系统建立连接；以及通过所述桥接通讯模块在所述分布式管理系统和所述设备控制系统之间进行数据传输。
优选地，所述第一通讯信息包括用于在所述分布式远程管理系统和所述桥接通讯模块之间进行数据传输的第一通讯地址、第一通讯端口和第一通讯协议；所述第二通讯信息包括用于在所述设备控制系统和所述桥接通讯模块之间进行数据传输的第二通讯地址、第二通讯端口和第二通讯协议。
优选地，所述桥接通讯模块基于WCF技术与所述分布式管理系统建立连接，所述桥接通讯模块基于.Net远程处理技术与所述设备控制系统建立连接。
优选地，所述第一通讯协议和第二通讯协议为以太网协议，所述分布式管理系统的客户端和服务端之间通过AMQP协议通讯。
优选地，所述配置文件为XML格式。
优选地，在所述桥接通讯模块和所述分布式管理系统之间，以及所述桥接通讯模块和所述设备控制系统之间建立json数据格式的数据通道以进行所述数据的传输。
优选地，所述桥接通讯模块和所述分布式管理系统之间为异步通讯，所述桥接通讯模块和所述设备控制系统之间为异步通讯。
本发明所提出的桥接通讯模块和方法，通过通讯子模块查询配置文件信息分别与分布式管理系统和设备控制系统建立连接，能够实现采用不同软件的分布式管理系统和设备控制系统之间的数据交互。
附图说明
图1为本发明一实施例桥接通讯模块的方块图；
图2为本发明一实施例桥接通讯方法的流程图。
具体实施方式
为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容作进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。
图1为本发明一实施例的桥接通讯模块的方块图，以下将结合图1对本发明进行详细的说明。
如图1所示，桥接通讯模块10用于在分布式管理系统20和设备控制系统30之间建立通讯，以在分布式管理系统20和设备控制系统30之间进行数据传输。其中，设备控制系统30安装于每一台半导体设备上以对其进行控制，分布式管理系统包括相连的服务端21和可视化的远程客户端22。较佳的，分布式管理系统内部，即服务端21和客户端22之间通过AMQP协议进行通讯。采用AMQP这一应用层协议的好处在于可以解决大规模数据传输时通讯压力大以及通讯延迟的问题。当使用者想要进行数据查询或分析时，可通过远程客户端22发送数据查询或数据分析的请求信息，该请求信息发送至服务器21，通过桥接通讯模块10将服务器输出的请求信息发送至设备控制系统30，设备控制系统30则根据请求信息从半导体设备采集相关数据。设备控制系统30所采集的半导体设备的相关数据再通过桥接通讯模块10输出至分布式管理系统20的服务端21，由该服务端21发送至远程客户端22，使用者可在远程客户端查看相关数据。另一方面，设备控制系统也可通过桥接通讯模块10接收来自分布式管理系统的远程客户端22的指令并根据该指令操作半导体设备完成相应动作。
接下来将详细说明桥接通讯模块的构成。如图1所示，本实施例中，桥接通讯模块10配置于每一台半导体设备中，以实现分布式管理系统20和每一台半导体设备的设备控制系统30之间进行数据传输。桥接通讯模块10包括配置子模块11和通讯子模块12。其中配置子模块11用于储存一配置文件，该配置文件可为XML格式，其中所记录的内容可分为两部分，第一部分内容记录桥接通讯模块10与分布式管理系统20之间的通讯信息，第二部分内容记录桥接通讯模块10与设备控制系统30之间的通讯信息。具体来说，每一个通讯信息可包括通讯地址、通讯端口以及通讯所采用的协议等。如在本实施例中，第一部分的通讯信息记录了桥接通讯模块10用于分布式管理系统20的数据的接收地址，该接收地址的具体端口，用于向分布式管理系统20输出数据的输出地址，该输出地址的具体端口，以及和分布式管理系统20之间采用的通讯协议。相类似的，第二部分的通讯信息记录了桥接通讯模块10与设备控制系统30进行数据传输的接收地址及其具体端口，输出地址及其具体端口，以及采用的通讯协议。本实施例中的桥接通讯模块10，其与设备控制系统30之间，以及其与分布式管理系统20之间所采用的通讯协议均为以太网协议，例如以太网的TCP协议。通讯子模块12与配置子模块11相连，其根据配置文件的第一部分内容的通讯信息与分布式管理系统20建立连接，根据配置文件的第二部分内容的通讯信息与设备控制系统30建立连接，从而实现分布式管理系统和设备控制系统之间的数据传输。具体来说，通讯子模块12从配置文件中获取通讯信息，如果要进行数据传输，通过相应的通讯地址、端口、并采用相应的通讯协议即可完成。需要注意的是，在本实施例中，设备控制系统30是基于.Net2.0开发，分布式管理系统20则是基于.Net4.0开发，因此较佳的通讯子模块12是基于WCF技术与分布式管理系统20建立连接，而基于.Net远程处理技术（.Net Remoting）与设备控制系统30建立连接，由此可避免发生兼容性问题。
在一较佳实施例中，桥接通讯模块10和分布式管理系统20之间为异步通讯，桥接通讯模块10和设备控制系统30之间也可以是异步通讯。具体来说，当桥接通讯模块10和分布式管理系统20之间进行数据传输时，各类的数据如半导体设备的工艺数据信息、设备运动模块的控制信息（如记录运动发生和结束时间的log等）、报警信息，报警处理信息、分布式管理系统客户端用户操作界面的信息、半导体设备参数信息等等，可随时和同时在桥接通讯模块10和分布式管理系统20之间传输，没有先后顺序的要求。同样的，对于桥接通讯模块10和设备控制系统30，各类数据也都可以随时和同时在两者间传递。在另一较佳实施例中，通讯子模块12在与设备控制系统30和分布式管理系统20分别建立连接之后，还在桥接通讯模块10和分布式管理系统20之间、以及桥接通讯模块10和设备控制系统30之间，针对不同类型的数据建立了json数据格式的多个虚拟的数据通道以进行数据传输。如将将温控数据、气体参数数据等不同工艺数据或状态数据，通过其对应的数据通道来传输，如此也可实现不同类型数据的异步传输。采用json数据格式建立数据通道更容易解析，并且传输效率要高于XML格式。
以下将结合图2说明本发明一具体实施例的桥接通讯方法。如图2所示，桥接通讯模块在启动并初始化后，从其配置子模块所存储的配置文件中读取配置信息，即桥接通讯模块10与分布式管理系统20之间的第一通讯信息，以及桥接通讯模块10与设备控制系统30之间的第二通讯信息。之后，桥接通讯模块的通讯子模块根据第一通讯信息与分布式管理系统以WCF方式建立通讯，根据第二通讯信息与设备控制系统以.NetRemoting的方式建立通讯。当进行数据传输时，通讯子模块从相应的第二通讯信息所包含的接收地址、接收端口以TCP协议获取设备控制系统的数据信息，并通过第二通讯信息中包含的输出地址、输出端口同样以TCP协议发送这些数据信息至分布式管理系统。另一方面，通讯子模块从第一通讯信息所包含的接收地址、接收端口以TCP协议获取分布式管理系统的数据信息，如数据请求或指令等，并通过第一通讯信息所包含的输出地址、输出端口同样以TCP协议发送这些数据信息至设备控制系统。较佳的，通讯子模块建立虚拟的json数据格式的数据通道，使设备控制系统和通讯子模块之间传输的数据信息根据其数据类型通过不同的数据通道传输，同样的也使得分布式管理系统和通讯子模块之间传输的数据信息根据其数据类型通过不同的数据通道传输。如此，也可实现分布式管理系统和桥接通讯模块之间、设备控制系统和桥接模块之间的不同类型的数据信息的异步通讯。
综上所述，本发明的桥接通讯系统和桥接通讯方法，通过通讯子模块查询配置文件信息从而分别与分布式管理系统和设备控制系统建立通讯连接，能够实现采用不同软件的分布式管理系统和设备控制系统之间的数据交互。
虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然所述诸多实施例仅为了便于说明而举例而已，并非用以限定本发明，本领域的技术人员在不脱离本发明精神和范围的前提下可作若干的更动与润饰，本发明所主张的保护范围应以权利要求书所述为准。
Claims (14)
1.一种桥接通讯模块，用于在半导体设备的分布式管理系统和设备控制系统之间建立通讯以进行数据传输，其中所述分布式管理系统包括客户端和服务端，所述设备控制系统用于控制所述半导体设备，其特征在于，所述桥接通讯模块包括：
配置子模块，用于储存一配置文件，所述配置文件记录用于在所述分布式管理系统与所述桥接通讯模块之间建立通讯的第一通讯信息和用于在所述设备管理系统与所述桥接通讯模块之间建立通讯的第二通讯信息；
通讯子模块，与所述配置子模块相连，根据所述配置文件的第一通讯信息与所述分布式管理系统建立连接，根据所述配置文件的第二通讯信息与所述设备控制系统建立连接，以在所述分布式管理系统和所述设备控制系统之间进行数据传输。
2.根据权利要求1所述的桥接通讯模块，其特征在于，所述第一通讯信息包括用于在所述分布式远程管理系统和所述桥接通讯模块之间进行数据传输的第一通讯地址、第一通讯端口和第一通讯协议；所述第二天通讯信息包括用于在所述设备控制系统和所述桥接通讯模块之间进行数据传输的第二通讯地址、第二通讯端口和第二通讯协议。
3.根据权利要求1所述的桥接通讯模块，其特征在于，所述桥接通讯模块基于WCF技术与所述分布式管理系统建立连接，所述桥接通讯模块基于.Net远程处理技术与所述设备控制系统建立连接。
4.根据权利要求2所述的桥接通讯模块，其特征在于，所述第一通讯协议和第二通讯协议为以太网协议，所述分布式管理系统的客户端和服务端之间通过AMQP协议通讯。
5.根据权利要求1所述的桥接通讯模块，其特征在于，所述配置文件为XML格式。
6.根据权利要求1所述的桥接通讯模块，其特征在于，所述通讯子模块在所述桥接通讯模块和所述分布式管理系统之间，以及所述桥接通讯模块和所述设备控制系统之间建立json数据格式的数据通道以进行所述数据的传输。
7.根据权利要求1所述的桥接通讯模块，其特征在于，所述桥接通讯模块和所述分布式管理系统之间为异步通讯，所述桥接通讯模块和所述设备控制系统之间为异步通讯。
8.一种桥接通讯方法，用于在半导体工厂设备的远程管理系统和设备控制系统之间建立通讯以进行数据传输，其中所述分布式管理系统包括客户端和服务端，所述设备控制系统用于控制所述半导体设备，其特征在于，所述桥接通讯方法包括：
读取配置文件，所述配置文件存储于一桥接通讯模块中，其记录用于在所述分布式管理系统与所述桥接通讯模块之间建立通讯的第一通讯信息和用于在所述设备管理系统与所述桥接通讯模块之间建立通讯的第二通讯信息；
根据所述配置文件的第一通讯信息在所述桥接通讯模块和所述分布式管理系统之间建立连接，根据所述配置文件的第二通讯信息在所述桥接通讯模块和所述设备控制系统之间建立连接；以及
通过所述桥接通讯模块在所述分布式管理系统和所述设备控制系统之间进行数据传输。
9.根据权利要求8所述的桥接通讯方法，其特征在于，所述第一通讯信息包括用于在所述分布式远程管理系统和所述桥接通讯模块之间进行数据传输的第一通讯地址、第一通讯端口和第一通讯协议；所述第二通讯信息包括用于在所述设备控制系统和所述桥接通讯模块之间进行数据传输的第二通讯地址、第二通讯端口和第二通讯协议。
10.根据权利要求8所述的桥接通讯方法，其特征在于，所述桥接通讯模块基于WCF技术与所述分布式管理系统建立连接，所述桥接通讯模块基于.Net远程处理技术与所述设备控制系统建立连接。
11.根据权利要求9所述的桥接通讯方法，其特征在于，所述第一通讯协议和第二通讯协议为以太网协议，所述分布式管理系统的客户端和服务端之间通过AMQP协议通讯。
12.根据权利要求8所述的桥接通讯方法，其特征在于，所述配置文件为XML格式。
13.根据权利要求8所述的桥接通讯方法，其特征在于，在所述桥接通讯模块和所述分布式管理系统之间，以及所述桥接通讯模块和所述设备控制系统之间建立json数据格式的数据通道以进行所述数据的传输。
14.根据权利要求8所述的桥接通讯方法，其特征在于，所述桥接通讯模块和所述分布式管理系统之间为异步通讯，所述桥接通讯模块和所述设备控制系统之间为异步通讯。
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN106612527A (zh) * | 2015-10-21 | 2017-05-03 | 中兴通讯股份有限公司 | 一种延长传输距离的方法及装置 |
| CN111031086A (zh) * | 2019-10-08 | 2020-04-17 | 安徽华博胜讯信息科技股份有限公司 | 一种区块链数据存储方法及系统 |
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