CN103647002A - 一种太阳能电池及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及太阳能光伏技术领域，公开了一种太阳能电池及其制备方法，所述太阳能电池的制备方法，包括：形成位于衬底上的透明导电膜；将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃～25℃；在酸液中对调整温度后的透明导电膜进行制绒，形成绒面透明导电膜，制绒时长为30～100秒，其中，所述酸液按重量百分比计，含有0.0365%～0.365%氯化氢，0.04%～0.4%氟化氢，0.1%～0.5%草酸及0.1%～0.5%醋酸；形成位于所述绒面透明导电膜上的硅基薄膜层以及位于所述硅基薄膜层上的背电极。采用本发明技术方案，可有效减少烧膜现象，进而提高太阳能电池的良率。

Description

一种太阳能电池及其制备方法
技术领域
本发明涉及太阳能光伏技术领域，特别是涉及一种太阳能电池及其制备方法。
背景技术
近年来，作为可再生能源的光伏电池和大面积光伏组件的发展引起了人们的广泛关注。尤其是非晶硅和纳米微晶硅叠层电池，以其独特的优势迅速崛起，成为市场应用的主流产品。透明导电氧化物薄膜作为硅基薄膜太阳电池的透明电极是必不可少的，而掺铝氧化锌（Al-doped ZnO，简称AZO）透明导电膜的原材料丰富、无毒、价格便宜，并且在氢等离子体中稳定性好，应用于硅基薄膜电池中，能够增大太阳能电池的短路电流，提高电池的光电转换效率。因此，以AZO薄膜材料为主的太阳能光伏玻璃被认为是下一个发展主流，批量生产大面积AZO透明导电膜玻璃对光伏产业的发展具有划时代意义。
如图1所示，图1为现有技术包括AZO透明导电膜的太阳能电池的结构示意图，该太阳能电池包括前板玻璃1、位于前板玻璃1上的AZO透明导电膜2、位于AZO透明导电膜2上的非晶硅层3以及背电极4，当该包括AZO透明导电膜的太阳能电池通过加载反向电压来消除并联电阻（Shunt Remove）这一步骤时，在AZO透明导电膜和非晶硅层的界面处出现了膜层剥落及塌陷现象，即烧膜现象，如图1所示的烧膜处5。然而，太阳能电池组件加载反向电压来消除并联电阻是薄膜太阳能电池组件制作过程中的必要环节，此过程可提高填充因子（Filling Factor，简称FF），进而提高光电转化效率。
现有技术的缺陷在于，在对太阳能电池进行消除并联电阻时，在透明导电膜和硅基薄膜层的界面处容易发生烧膜现象，导致产品良率较低。
发明内容
本发明的目的是提供一种太阳能电池及其制备方法，用以减少加载反向电压时引起的烧膜现象，提高太阳能电池的良率。
本发明太阳能电池的制备方法，包括：
形成位于衬底上的透明导电膜；
将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃～25℃；
在酸液中对调整温度后的透明导电膜进行制绒，形成绒面透明导电膜，制绒时长为30～100秒，其中，所述酸液按重量百分比计，含有0.0365%～0.365%氯化氢，0.04%～0.4%氟化氢，0.1%～0.5%草酸及0.1%～0.5%醋酸；
形成位于所述绒面透明导电膜上的硅基薄膜层以及位于所述硅基薄膜层上的背电极。
发明人发现绒面透明导电膜的绒面的形貌对烧膜现象有至关重要的决定性，当绒面均匀性较差时，即当绒面的腐蚀凹坑大小、深浅不一时，造成透明导电膜和硅基薄膜之间的接触有好有差，当太阳能电池加载反向电压时，接触较差点的电阻较小，单位面积上通过电流相对过大，形成局部放电，因此产生了膜层剥落的现象，因此，在本发明技术方案中，发明人对制绒工艺进行了深入研究，发现先调整透明导电膜的温度至18℃～25℃，再采用含有氯化氢（HCl）、氟化氢（HF）、草酸（HOOC-COOH）及醋酸（CH3COOH）的酸液对透明导电膜进行制绒形成的绒面透明导电膜的形貌较好，并可提高绒面的均匀性，进而可减少太阳能电池的烧膜现象，提高了太阳能电池的良率。所述酸液为含有氯化氢、氟化氢、草酸及醋酸的水溶液，若HCl和HF的重量分数较大，则刻蚀凹坑过大、腐蚀速率较快，并很难控制均匀性；若HCl和HF的重量分数较小，则刻蚀深度不够,绒面结构的凹凸效果不明显；若草酸和醋酸的重量分数较大，则刻蚀速度极难控制，导致绒面结构重复性差；若草酸和醋酸的重量分数较小，则腐蚀速率较慢，不利于批量生产的时效性和稳定性。
优选的，所述酸液含有0.0365%～0.182%氯化氢，0.04%～0.2%氟化氢，0.1%～0.3%草酸及0.1%～0.3%醋酸。采用较优的技术方案中的酸液对透明导电膜进行制绒，得到的绒面透明导电膜的绒面均匀性较好。
优选的，所述酸液含有0.182%氯化氢，0.08%氟化氢，0.2%草酸及0.1%醋酸；或者，所述酸液含有0.0365%氯化氢，0.04%氟化氢，0.1%草酸及0.1%醋酸；或者，所述酸液含有0.182%氯化氢，0.2%氟化氢，0.3%草酸及0.3%醋酸。
优选的，所述制绒时长为30秒、50秒、60秒、100秒或120秒。
较佳的，所述酸液含有0.182%氯化氢，0.08%氟化氢，0.2%草酸及0.1%醋酸，所述制绒时长为60秒。采用该较佳的技术方案中的酸液对透明导电膜进行制绒，得到的绒面透明导电膜的绒面波峰范围50～150nm，波谷范围为50～150nm，宽度为100～300nm，粗糙度为25～40nm，可见得到的绒面的宽度和深度一致，均匀性较好。
优选的，所述将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃～25℃具体为：将形成有透明导电膜的衬底浸润在18℃～25℃的去离子水中，使其温度调整至18℃～25℃。
优选的，所述将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃～25℃具体为：将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃、20℃或25℃。
在该技术方案中，首先将需要进行制绒的透明导电膜进行温度调整，以利于制绒，合适的温度范围为18℃～25℃，更优选的范围为18℃～20℃，例如温度为18℃、19℃、20℃、22℃、24℃或25℃。采用去离子水进行浸润，在将透明导电膜调整到合适温度的同时，还对透明导电膜进行了预清洗。当然，也可以采用其他方法对需要进行制绒的透明导电膜的温度进行调整，例如风刀等。
优选的，所述形成位于衬底之上的透明导电膜具体为：采用磁控溅射镀膜的方法在衬底上形成透明导电膜。例如，采用物PVD磁控溅射的工艺参数为：气体压强为0.1～1.0Pa氩气环境，衬底温度为0～300℃，直流溅射功率为1～60kW。
优选的，所述形成位于所述绒面透明导电膜之上的硅基薄膜层以及位于所述硅基薄膜层之上的背电极具体包括：
采用激光刻划所述绒面透明导电膜；
在刻划后的绒面透明导电膜上形成硅基薄膜层；
采用激光刻划穿硅基薄膜层；
在刻划后的硅基薄膜层上形成背电极层；
采用激光刻划穿背电极层和硅基薄膜层，形成背电极。
优选的，所述硅基薄膜层的材质为非晶硅或微晶硅。
优选的，所述透明导电膜的材质为掺铝氧化锌，其中铝的掺杂浓度为1%～1.2%，例如铝的掺杂浓度为1%、1.1%、1.15%或1.2%。
较佳的，所述透明导电膜的厚度为700～1200nm（纳米），例如，厚度为700nm、900nm、1000nm、1100nm或1200nm，更优的，所述透明导电膜的厚度为1000nm。
本发明太阳能电池，通过上述任一种太阳能电池的制备方法得到。通过上述任一种制备方法得到的太阳能电池，由于得到的绒面透明导电膜具有良好的绒面均匀性，因此可以减少烧膜现象，进而提高太阳能电池的良率，并可用于得到大面积的太阳能电池。
本发明所提供的太阳能电池的制备方法中，所述酸液中氯化氢可以电解出氢离子与透明导电膜中的氧化物进行反应，形成金属离子，例如可与氧化锌薄膜中的氧化锌进行反应，形成锌离子。同时，醋酸分子相对水分子较大，其空间位阻较大，可阻挡氢离子移动至氧化锌表面，进而能够减缓反应速率，提高表面均匀性，当加载反向电压时减少烧膜现象，进而可以提高太阳能电池的良率并提高光电转化效率，并且可应用于大面积太阳能电池的制作之中。
附图说明
图1为现有技术的包括AZO透明导电膜的太阳能电池的结构示意图；
图2为本发明实施例太阳能电池制备方法的流程示意图。
附图标记：
1-前板玻璃  2-AZO透明导电膜  3-非晶硅层  4-背电极  5-烧膜处
具体实施方式
为了减少加载反向电压时引起的烧膜现象，本发明提供了一种太阳能电池及其制备方法。在本发明技术方案中，在制作绒面透明导电膜时，首先调整透明导电膜的温度至18℃～25℃，再采用含有氯化氢、氟化氢、草酸及醋酸的水溶液对透明导电膜进行制绒，形成的绒面透明导电膜的形貌较好，并可提高绒面的均匀性，因此可以减少烧膜现象，进而提高产品的良率，并且可提高太阳能电池的光电转化效率。为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下举实施例对本发明作进一步详细说明。
本发明实施例提供一种太阳能电池的制备方法，如图2所示，为本发明实施例太阳能电池制备方法的流程示意图，所述制备方法包括：
步骤101、形成位于衬底上的透明导电膜；
步骤102、将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃～25℃；
步骤103、在酸液中对调整温度后的透明导电膜进行制绒，形成绒面透明导电膜，制绒时长为30～100秒，其中，所述酸液按重量百分比计，含有0.0365%～0.365%氯化氢，0.04%～0.4%氟化氢，0.1%～0.5%草酸及0.1%～0.5%醋酸；
步骤104、形成位于所述绒面透明导电膜上的硅基薄膜层以及位于所述硅基薄膜层上的背电极。
在本实施例技术方案中，主要对绒面透明导电膜的制作进行了研究，先调整透明导电膜的温度至18℃～25℃，再采用含有氯化氢（HCl）、氟化氢（HF）、草酸（HOOC-COOH）及醋酸（CH3COOH）的酸液对透明导电膜进行制绒形成的绒面透明导电膜的形貌较好，并可提高绒面的均匀性，进而可减少太阳能电池的烧膜现象，提高了太阳能电池的良率。所述酸液中氯化氢可以电解出氢离子与透明导电膜中的氧化物进行反应，形成金属离子，例如可与氧化锌薄膜中的氧化锌进行反应，形成锌离子。同时，醋酸分子相对水分子较大，其空间位阻较大，可阻挡氢离子移动至氧化锌表面，进而能够减缓反应速率，提高表面均匀性，所述酸液为含有氯化氢、氟化氢、草酸及醋酸的水溶液，若HCl和HF的重量分数较大，则刻蚀凹坑过大、腐蚀速率较快，并很难控制均匀性；若HCl和HF的重量分数较小，则刻蚀深度不够,绒面结构的凹凸效果不明显；若草酸和醋酸的重量分数较大，则刻蚀速度极难控制，导致绒面结构重复性差；若草酸和醋酸的重量分数较小，则腐蚀速率较慢，不利于批量生产的时效性和稳定性。
本发明一优选的实施例，所述酸液含有0.0365%～0.182%氯化氢，0.04%～0.2%氟化氢，0.1%～0.3%草酸及0.1%～0.3%醋酸。采用较优的技术方案中的酸液对透明导电膜进行制绒，得到的绒面透明导电膜的绒面均匀性较好，因此能进一步降低太阳能电池的烧膜现象。
本发明一优选的实施例，所述酸液含有0.182%氯化氢，0.08%氟化氢，0.2%草酸及0.1%醋酸；或者，所述酸液含有0.0365%氯化氢，0.04%氟化氢，0.1%草酸及0.1%醋酸；或者，所述酸液含有0.182%氯化氢，0.2%氟化氢，0.3%草酸及0.3%醋酸。
优选的，所述制绒时长为30秒、50秒、60秒、100秒或120秒。
较佳的，所述酸液含有0.182%氯化氢，0.08%氟化氢，0.2%草酸及0.1%醋酸，所述制绒时长为60秒。
采用该较佳的技术方案中的酸液对透明导电膜进行制绒，得到的绒面透明导电膜的绒面波峰范围50～150nm，波谷范围为50～150nm，宽度为100～300nm，粗糙度为25～40nm，可见得到的绒面的宽度和深度一致，均匀性较好，因此基本能克服太阳能电池的烧膜现象。
优选的，所述将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃～25℃具体为：将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃、20℃或25℃。
本发明另一优选的实施例，所述将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃～25℃具体为：将形成有透明导电膜的衬底浸润在18℃～25℃的去离子水中，使其温度调整至18℃～25℃。
在该实施例中，首先将需要进行制绒的透明导电膜进行温度调整，以利于制绒，合适的温度范围为18℃～25℃，更优选的范围为18℃～20℃，例如温度为18℃、19℃、20℃、22℃、24℃或25℃。采用去离子水进行浸润，在将透明导电膜调整到合适温度的同时，还对透明导电膜进行了预清洗。当然，也可以采用其他方法对需要进行制绒的透明导电膜的温度进行调整，例如风刀等。
本发明另一优选的实施例，所述形成位于衬底之上的透明导电膜具体为：采用磁控溅射镀膜的方法在衬底上形成透明导电膜。例如，采用物PVD磁控溅射的工艺参数为：气体压强为0.1～1.0Pa氩气环境，衬底温度为0～300℃，直流溅射功率为1～60kW。
本发明一实施例太阳能电池的制备方法，所述形成位于所述绒面透明导电膜之上的硅基薄膜层以及位于所述硅基薄膜层之上的背电极具体包括：
采用激光刻划所述绒面透明导电膜；
在刻划后的绒面透明导电膜上形成硅基薄膜层；
采用激光刻划穿硅基薄膜层；
在刻划后的硅基薄膜层上形成背电极层；
采用激光刻划穿背电极层和硅基薄膜层，形成背电极。
优选的，所述硅基薄膜层的材质为非晶硅或微晶硅。
对于本实施例来说，硅基薄膜层的材质为非晶硅或微晶硅，也可以根据工艺需要制备非晶硅和微晶硅形成的叠层硅基薄膜层。
对上述任一实施例，所述透明导电膜的材质为掺铝氧化锌，其中铝的掺杂浓度为1%～1.2%，例如铝的掺杂浓度为1%、1.1%、1.15%或1.2%。
较佳的，所述透明导电膜的厚度为700～1200nm（纳米），例如，厚度为700nm、900nm、1000nm、1100nm或1200nm，更优的，所述透明导电膜的厚度为1000nm。
本发明实施例还提供一种太阳能电池，通过上述任一实施例中太阳能电池的制备方法得到。通过上述任一种制备方法得到的太阳能电池，由于得到的绒面透明导电膜具有良好的绒面均匀性，因此可以减少烧膜现象，进而提高太阳能电池的良率，并可用于得到大面积的太阳能电池。
以下列举实施例具体说明本发明太阳能电池及其制备方法，为了说明本发明太阳能电池及其制备方法可以应用于大尺寸的太阳能电池减少烧膜现象，在以下实施例中以尺寸为2200mm*2600mm的大尺寸的太阳能电池的制作为例，当然，对于相当尺寸或者更小尺寸的太阳能电池，本发明的技术方案也适用。并且仅以包括绒面AZO透明导电膜的太阳能电池的制作为例，本发明并不限于下述实施例。
实施例1
步骤一、形成位于衬底上的透明导电膜，具体包括：衬底可采用尺寸为2200mm*2600mm*3.2mm的超白玻璃，对超白玻璃衬底进行清洗并烘干，在PVD设备中加热衬底至0～300℃中一个合适的值，如180℃，在气体压强为0.1～1.0Pa的氩气环境中，调节直流溅射功率为1～60kW中一个合适的值，如30kW，进行磁控溅射制备一层厚度为1000nm的AZO透明导电膜，AZO透明导电膜中铝的掺杂浓度为1wt%（重量分数）；具有AZO透明导电膜的玻璃为AZO导电玻璃，采用的PVD设备为美国Apply Film公司制ATON2600型的磁控溅射设备；
步骤二、形成绒面AZO透明导电膜，具体包括以下步骤：
对PVD设备生产出的AZO导电玻璃采用去离子水进行浸润，使其浸润后温度达到20℃；
在刻蚀设备中进行配酸，酸液的溶质为重量分数为0.0365%的HCl，重量分数为0.04%的HF、重量分数为0.1%的草酸及重量分数为0.1%的醋酸，溶剂为去离子水；本领域技术人员可根据上述酸液中溶质的重量分数通过不同初始浓度的溶液配制而成，例如取含量为36.5%的盐酸0.1重量份、含量为40%的氢氟酸0.1重量份，含量为99.5%的草酸0.1重量份，以及含量为99%的醋酸0.1重量份以及去离子水99.6重量份混合均匀得到上述酸液；
在酸液中对调整温度后的AZO透明导电膜进行制绒，形成绒面透明导电膜，制绒时长为60秒（s）；
将制绒后的AZO导电玻璃用去离子水进行清洗，透明导电膜在酸液中制绒后，其表面还残留一些酸液，因此需要对制绒后的透明导电膜进行清洗，一般采用去离子水对制绒后的透明导电膜进行清洗，并用压缩空气烘干后，得到绒面AZO透明导电膜；
步骤三、采用激光刻划绒面AZO透明导电膜，具体为：根据生产预定的线宽和线距，用激光将绒面AZO透明导电膜刻划成相互独立的部分，目的是将整个透明导电膜分为若干块，作为若干个单体电池的电极，将刻划好的透明导电玻璃进行清洗，并吹干，确保透明导电膜的洁净；
步骤四、在刻划后的绒面透明导电膜上形成的硅基薄膜层，优选的可以采用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）技术形成非晶硅或微晶硅材质的硅基薄膜层；
步骤五、采用激光刻划穿硅基薄膜层，具体为：根据生产预定的线宽以及与透明导电膜刻划线的线间距，用激光将硅基薄膜层刻划穿，目的是让背电极与前电极（即绒面AZO透明导电膜）相连接，形成若干个单体电池的内部连接通道；
步骤六、在刻划后的硅基薄膜层上形成背电极层，优选的可以采用磁控溅射技术形成，一般为金属层，如金属银；
步骤七、采用激光刻划穿背电极层和硅基薄膜层，形成背电极，具体为：根据生产预定的线宽以及与硅基薄膜吸收层刻划线的线间距，用激光将硅基薄膜层和背电极层刻划穿，目的是将整个背电极分成若干个单体电池的背电极，进而实现整板若干个电池的串联连接，形成太阳能电池。
该实施例可根据实际需要将大尺寸电池切割成小尺寸的电池，并可形成太阳能电池组件，若形成太阳能电池组件还需进行以下步骤：
在背电极上焊接引流条、粘贴汇流条并引出正负极接头；
使用封装胶片将步骤七后的太阳能电池与背板玻璃进行层压，形成封装组件，该封装胶片优选为PVB。
该太阳能电池组件经上述步骤后还可在衬底上背离透明导电膜的一面涂覆一层减反射膜。
实施例2～7及对比例1～3
实施例2～7及对比例1～3的制备步骤与实施例1相同，除了各步骤中具体参数不同之外，各实施例和各对比例各步骤的具体工艺参数列于表1中。
表1实施例1～7及对比例1～3的各步骤的具体工艺参数表
采用原子力显微镜（Atomic Force Microscope，简称AFM）对实施例1～7及对比例1～3得到的绒面透明导电膜进行测试，测试结果如表2所示，并对太阳能电池加载反向电压后采用M-Service公司制L-JC-007型的显微镜观察烧膜点，观察结果如表2所示，并采用Berger公司制pss30HC型太阳能模拟器测试太阳能电池的短路电流和光电转化效率，测试结果如表2所示。
表2实施例1～7及对比例1～3的绒面透明导电膜及太阳能电池的测试结果表
注：A表示基本无烧膜点；B表示有轻微烧膜点；C表示有较少烧膜点；D表示有较多烧膜点。
由以上实验可以看出，采用本发明实施例所提供的太阳能电池的制备方法得到的实施例1～7绒面透明导电膜的绒面宽度和深度一致，并且粗糙度较大，特别是实施例5制得的绒面透明导电膜具有良好的绒面形貌，绒面均匀性较好，并且空间频率（Spatial Frequency，简称SF，指一定方向上单位空间波动的周期数，SF值越高，说明绒面透明导电膜与硅基薄膜层的接触越好）较高，大于15μm-2，甚至达到了30μm-2；而采用对比例1～3得到的绒面透明导电膜的形貌较差，波峰和波谷差距较大，并且宽度不一，并且空间频率小于5μm-2。本发明实施例得到的太阳能电池，由于绒面透明导电膜均匀性较好，在加载反向电压来消除并联电阻时，观察到基本无烧膜点或有轻微的烧膜点，因此，采用本发明太阳能电池的制备方法可有效解决烧膜现象，进而提高了太阳能电池的良率。
另外，采用本发明实施例1～7绒面透明导电膜的制备方法进行小批量（500块）生产AZO透明导电玻璃，得到产品的均匀性和重复性较好，可达到90%以上。而采用对比例1～3的方法得到的产品重复性较差，重复性在90%左右。
另外，从表2中可以得知太阳能电池的短路电流可提高5%～10%，进而太阳能电池的光电转化效率也得到了提高。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (11)

1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：
形成位于衬底上的透明导电膜；
将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃～25℃；
在酸液中对调整温度后的透明导电膜进行制绒，形成绒面透明导电膜，制绒时长为30～100秒，其中，所述酸液按重量百分比计，含有0.0365%～0.365%氯化氢，0.04%～0.4%氟化氢，0.1%～0.5%草酸及0.1%～0.5%醋酸；
形成位于所述绒面透明导电膜上的硅基薄膜层以及位于所述硅基薄膜层上的背电极。
2.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述酸液含有0.0365%～0.182%氯化氢，0.04%～0.2%氟化氢，0.1%～0.3%草酸及0.1%～0.3%醋酸。
3.如权利要求2所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述酸液含有0.182%氯化氢，0.08%氟化氢，0.2%草酸及0.1%醋酸；或者，所述酸液含有0.0365%氯化氢，0.04%氟化氢，0.1%草酸及0.1%醋酸；或者，所述酸液含有0.182%氯化氢，0.2%氟化氢，0.3%草酸及0.3%醋酸。
4.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述制绒时长为30秒、50秒、60秒、100秒或120秒。
5.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃～25℃具体为：将形成有透明导电膜的衬底浸润在18℃～25℃的去离子水中，使其温度调整至18℃～25℃。
6.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃～25℃具体为：将形成有透明导电膜的衬底的温度调整至18℃、20℃或25℃。
7.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述形成位于所述绒面透明导电膜之上的硅基薄膜层以及位于所述硅基薄膜层之上的背电极具体包括：
采用激光刻划所述绒面透明导电膜；
在刻划后的绒面透明导电膜上形成硅基薄膜层；
采用激光刻划穿硅基薄膜层；
在刻划后的硅基薄膜层上形成背电极层；
采用激光刻划穿背电极层和硅基薄膜层，形成背电极。
8.如权利要求1所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述硅基薄膜层的材质为非晶硅或微晶硅。
9.如权利要求1～8任一项所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述透明导电膜的材质为掺铝氧化锌，其中铝的掺杂浓度为1%～1.2%。
10.如权利要求9所述的太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述透明导电膜的厚度为700～1200nm。
11.一种太阳能电池，其特征在于，通过如权利要求1～10任一项所述的太阳能电池的制备方法得到。
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