CN103532430A - 基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器及制备方法 - Google Patents
基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器及制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103532430A CN103532430A CN201310429871.0A CN201310429871A CN103532430A CN 103532430 A CN103532430 A CN 103532430A CN 201310429871 A CN201310429871 A CN 201310429871A CN 103532430 A CN103532430 A CN 103532430A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- layer
- piezoelectric
- flexible
- piezoelectricity
- collecting device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
本发明公开了一种基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器,包括:压电层、第一电极层、第二电极层、摩擦层、衬底层;压电层的上下两侧从内向外均依次设置有第一电极层、摩擦层、第二电极层、衬底层;摩擦层包括带有微米级结构的凸块。本发明还提供相应的制备方法。本发明采用经旋涂、沉积或静电纺丝工艺所得的PVDF等柔性压电材料,采用溅射、旋涂和蒸发等工艺获得各层金属电极层及金属化合物,采用倒模的方法制备柔性聚合物凸块静电摩擦层,同时采用柔性基底聚合物,同时结合压电与摩擦电原理,制作由中心压电层堆成的汉堡结构微型能量采集器。该器件具有结构简单,微细加工实现容易,体积可大可小,频带宽,转换效率高等特点。
Description
技术领域
本发明涉及的是一种能源技术领域的器件,更具体地说,同时涉及压电和摩擦电耦合柔性微型能量采集器及其制备方法。
背景技术
近年来随着微机械加工技术及无线传感技术的迅速发展,对微型能量采集器的性能和应用范围提出新的要求和挑战。基于静电和压电的微型振动能量采集器,作为一种新型的自供能微能源器件,能够将所处环境下能量采集器发生的形变通过压电效应将振动能转化为电能,同时利用摩擦起电和静电感应原理而产生摩擦电,提供给微型电子器件,在新能源备受关注的现时期受到更多的广泛研究。
目前,采用MEMS技术制备的压电能量采集器,大部分为刚性结构,且采集的振动频率较高。同时目前微型静电能量采集器采用硅基工艺,需要大型设备和特殊工艺,加工成本过高,不利于能量采集器的商业化。柔性的压电能量采集器所用的压电材料大部分为PVDF及其二元聚合物,其介弹性系数不如刚性压电材料如PZT高,明显降低能量采集器的共振频率。摩擦电和静电是一种非常普遍现象,存在于我们日常生活中,通过利用摩擦起电和静电感应原理从而摩擦产生电能或将日常生活中不规则的动能转化为电能,从而实现微型电子器件的供电问题。
对现有技术文献的检索发现,HAN MengDi在《Nano letters》撰文“Frequency-Multiplication High-Output Triboelectric Nanogenerator forSustainably Powering Biomedical Microsystems”(“用于持续供电生物医学微系统的倍频高输出静电纳米能量采集器”《纳米快报》)。该文对具有纳米结构的摩擦电能量采集器进行设计及性能测试。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术存在的不足,提出一种对称结构耦合摩擦电和压电两种转换机制的柔性微型能量采集器及其制备方法。本发明实质是通过耦合两种机制的能量采集器,大大提高器件的转换效率,改善器件的输出性能。整个能量采集器则依靠摩擦电的充电泵效应和压电效应,将带有金属电极的聚合物摩擦层和压电层贴合在以前组成器件,在外力作用下器件产生形变,导致两层聚合物薄膜之间发生相互摩擦,从而产生电荷分离形成电势差,两个金属基板作为能量采集器的电能输出端,通过静电感应在表面生成感应电荷,感应电荷在摩擦电电势驱动下流经供能的微电子器件而形成电流。同时在压电层的上下两层金属电极在器件形变下产生输出电压,作为电能输出端。该器件是一种对称的三明治结构,通过简单加工工艺实现一种高效转换的能量采集器,拓宽器件的应用范围。
根据本发明的一个方面,提供一种基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器,包括:压电层、第一电极层、第二电极层、摩擦层、衬底层;
压电层的上下两侧从内向外均依次设置有第一电极层、摩擦层、第二电极层、衬底层;
摩擦层包括带有微米级结构的凸块。
优选地,为由位于中心的压电层对应的上下对称结构。
优选地,摩擦层为阵列的带有微米或纳米级的凸块的柔性聚合物,其中,凸块为圆柱形、锥形、或四面体形这些突起结构。
优选地,摩擦层包括相连接的内层和外层,其中,内层为摩擦电摩擦层,摩擦电摩擦层为带有微小凸块的柔性聚合物,外层为金属层或者聚合物层。
优选地,第一电极层、第二电极层为:
-Au、或Al这些金属;或者
-ITO(氧化铟锡)、碳纳米管、或石墨烯这些导电层。
优选地,压电层为具有柔性的压电材料或沉积在柔性衬底上压电材料。
优选地,压电层为通过旋涂或静电纺丝工艺制备的PVDF(聚偏氟乙烯)及其二元聚合物P(VDF-TrFE)膜。
优选地,衬底层为parylene(聚对二甲苯)层、PDMS(聚二甲基硅氧烷)层、PET(聚对苯二甲酸乙二酯)层、PI(聚酰亚胺)层、或PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)层;摩擦层为PDMS层。
根据本发明的另一个方面,还提供一种上述的基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器的制备方法,包括如下步骤:
步骤A:通过模具压模的方法制备带有微小凸块的聚合物作为摩擦层;
步骤B:通过旋涂、静电纺丝及沉积的方法获得柔性压电层;
步骤C:在压电层的上下两侧从内向外均依次设置第一电极层、摩擦层、第二电极层、衬底层。
优选地,所述步骤A,具体为:
-在硅片上甩光刻胶图形化,得到所需要的图形后对硅湿法刻蚀和DRIE工艺,形成微小圆柱体结构;或是
-对硅片上的SU8光刻胶光刻,在光刻胶上得到圆柱形凹槽结构,然后将PDMS旋涂上然后分离得到具有微型圆柱形凸块结构的摩擦层。
与现有技术相比,本发明具有的有益效果为:本发明采用三明治对称柔性结构,耦合压电和摩擦电两种转换机制,在外界环境的作用下,压电层内部产生应力和形变的变化,在其上下电极有输出电压;静电摩擦层的凸块与电极或其他聚合物在外界作用下相互摩擦,其上下电极同样有输出电压;由于本发明采用的对称柔性结构,总共有三组电压输出,一组压电电压,两组摩擦电电压。本发明采用微细加工的方法进行制作,易于批量生产,易于微型化和阵列,同时由于采用生物兼容型材料进行加工,可以应用于生物医学器件或植入体内微电子器件进行供能,大大拓宽器件应用范围。
附图说明
通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述,本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1是本发明的结构示意图。
图中:
1为压电层;
2为电极层;
3为摩擦层;
4为衬底层。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本发明,但不以任何形式限制本发明。应当指出的是,对本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进。这些都属于本发明的保护范围。
本发明公开了一种基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器及其制备方法。该采集器包括上下对称的衬底层、摩擦电摩擦层、电极层、压电层;所述衬底层为能量采集器柔性基底,所述摩擦层为能够摩擦起静电的聚合物。制备时,通过旋涂、沉积或静电纺丝的方法获得压电聚合物层;在所述压电层上下面制作上下面电极层;通过模具压模的方法获得表面有凸块的摩擦电摩擦层;在摩擦层上叠加有电极的衬底层;将所述各层面接触制作成微型能量采集器即可。本发明采用经旋涂、沉积或静电纺丝工艺所得的PVDF等柔性压电材料,采用溅射、旋涂和蒸发等工艺获得各层金属电极层Al、Au及金属化合物ITO等,采用倒模的方法制备PDMS等柔性聚合物凸块静电摩擦层,同时采用柔性基底PI、PET、PMMA等聚合物,同时结合压电与摩擦电原理,制作由中心压电层堆成的汉堡结构微型能量采集器。该器件具有结构简单、微细加工实现容易、体积可大可小、频带宽、转换效率高等特点。
实施例1
如图1所示,本发明所公开的基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器,包括:压电层1、电极层2、摩擦层3、衬底层4。在有电极层ITO(氧化铟锡)的柔性PET(聚对苯二甲酸乙二酯)膜上用旋涂或静电纺丝的工艺制作压电层,然后将带有凸块结构的PDMS(聚二甲基硅氧烷)摩擦层对称贴合在有金属电极的压电层,最后用ITO电极层的PET衬底对称粘接在静电摩擦层PDMS上。
压电层包括P(VDF-TrFE)压电材料,电极层为ITO,静电摩擦层为具有凸块结构的PDMS与PET,衬底层包括PET。
实施例2
如图1所示,本发明所公开的基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器,包括:压电层1、电极层2、摩擦层3、衬底层4。在电极层Al、Cu或Au箔上用旋涂或静电纺丝的方法制作压电层,然后将摩擦层即带有凸块结构的PDMS对称压在压电层的上下电极层,最后用有ITO电极层的PET衬底对称粘接在摩擦层PDMS上。
压电层包括PVDF(聚偏氟乙烯)压电材料,电极层为Al、Cu、Au箔及ITO,静电摩擦层为具有凸块结构的PDMS,衬底层包括PET。
在外界对微型能量采集器的作用下,能量采集器发生形变,摩擦层通过微小形变产生静电电子序列,即静电效应从而有电能输出;同时压电层薄膜或厚膜产生压电效应,即压电材料在外界振动激励下发生形变,引起材料内部应力的变化,内部的电荷发生位移从而产生了电场。将二者金属层累积的电荷采集,实现接触式外界机械能转换为电能的过程。微型能量采集器在低频和高频的环境下应均能有电压和电流输出。
以上对本发明的具体实施例进行了描述。需要理解的是,本发明并不局限于上述特定实施方式,本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改,这并不影响本发明的实质内容。
Claims (10)
1.一种基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器,其特征在于,包括:压电层、第一电极层、第二电极层、摩擦层、衬底层;
压电层的上下两侧从内向外均依次设置有第一电极层、摩擦层、第二电极层、衬底层;
摩擦层包括带有微米级结构的凸块。
2.根据权利要求1所述的基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器,其特征在于,为由位于中心的压电层对应的上下对称结构。
3.根据权利要求1所述的基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器,其特征在于,摩擦层为阵列的带有微米或纳米级的凸块的柔性聚合物,其中,凸块为圆柱形、锥形、或四面体形这些突起结构。
4.根据权利要求1所述的基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器,其特征在于,摩擦层包括相连接的内层和外层,其中,内层为摩擦电摩擦层,摩擦电摩擦层为带有微小凸块的柔性聚合物,外层为金属层或者聚合物层。
5.根据权利要求1所述的基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器,其特征在于,第一电极层、第二电极层为:
-Au、或Al这些金属;或者
-ITO、碳纳米管、或石墨烯这些导电层。
6.根据权利要求1所述的基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器,其特征在于,压电层为具有柔性的压电材料或沉积在柔性衬底上压电材料。
7.根据权利要求6所述的基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器,其特征在于,压电层为通过旋涂或静电纺丝工艺制备的PVDF及其二元聚合物P(VDF-TrFE)膜。
8.根据权利要求1所述的基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器,其特征在于,衬底层为parylene层、PDMS层、PET层、PI层、或PMMA层;摩擦层为PDMS层。
9.一种权利要求1所述的基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤A:通过模具压模的方法制备带有微小凸块的聚合物作为摩擦层;
步骤B:通过旋涂、静电纺丝及沉积的方法获得柔性压电层;
步骤C:在压电层的上下两侧从内向外均依次设置第一电极层、摩擦层、第二电极层、衬底层。
10.根据权利要求9所述的基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器的制备方法,其特征在于,所述步骤A,具体为:
-在硅片上甩光刻胶图形化,得到所需要的图形后对硅湿法刻蚀和DRIE工艺,形成微小圆柱体结构;或是
-对硅片上的光刻胶光刻,在光刻胶上得到圆柱形凹槽结构,然后将PDMS旋涂上然后分离得到具有微型圆柱形凸块结构的摩擦层。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310429871.0A CN103532430B (zh) | 2013-09-18 | 2013-09-18 | 基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310429871.0A CN103532430B (zh) | 2013-09-18 | 2013-09-18 | 基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器的制备方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103532430A true CN103532430A (zh) | 2014-01-22 |
CN103532430B CN103532430B (zh) | 2015-10-14 |
Family
ID=49934185
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310429871.0A Active CN103532430B (zh) | 2013-09-18 | 2013-09-18 | 基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器的制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103532430B (zh) |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104320018A (zh) * | 2014-10-17 | 2015-01-28 | 上海交通大学 | 压电摩擦电复合式振动能量采集器 |
CN104852625A (zh) * | 2014-02-14 | 2015-08-19 | 纳米新能源(唐山)有限责任公司 | 一种硅胶摩擦发电机 |
CN104980059A (zh) * | 2014-04-04 | 2015-10-14 | 北京纳米能源与系统研究所 | 一种包含周期性弯曲结构的电信号输出装置 |
CN105871247A (zh) * | 2016-04-27 | 2016-08-17 | 北京大学 | 基于摩擦发电机与超级电容器集成的自充电能量单元及其制造方法 |
CN106301062A (zh) * | 2015-05-11 | 2017-01-04 | 北京纳米能源与系统研究所 | 可变形摩擦纳米发电机和发电方法、运动传感器和服装 |
WO2017020290A1 (zh) * | 2015-08-06 | 2017-02-09 | 深圳麦克韦尔股份有限公司 | 电子烟及其电源装置 |
CN107034679A (zh) * | 2017-05-17 | 2017-08-11 | 东华大学 | 一种基于皮/芯结构摩擦发电机的自驱动人体动作捕捉传感器及其制备方法 |
CN107453644A (zh) * | 2017-09-25 | 2017-12-08 | 大连海事大学 | 一种柔性海洋能采集装置 |
CN108599619A (zh) * | 2018-07-06 | 2018-09-28 | 北京中微融通科技有限公司 | 一种基于压电元件的半球形振动能量收集装置 |
CN110061652A (zh) * | 2019-04-17 | 2019-07-26 | 同济大学 | 一种宽频带静电微能量采集器、采集系统及其制备方法 |
CN110061530A (zh) * | 2019-04-22 | 2019-07-26 | 重庆邮电大学 | 一种应用于220v电力线的电场能量采集电源 |
CN110514326A (zh) * | 2019-08-14 | 2019-11-29 | 东华大学 | 一种压电-摩擦电混合型自驱动电子皮肤及其制备方法 |
CN110514802A (zh) * | 2019-09-20 | 2019-11-29 | 吉林建筑大学 | 用于水质监测的复合式压电-纳米摩擦自供能系统 |
CN111009420A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-04-14 | 嘉兴学院 | 一种全纺织结构的复合能源器件及其制造方法 |
CN111245282A (zh) * | 2020-01-21 | 2020-06-05 | 电子科技大学 | 可重构风能能量收集-存储一体式单元与方法 |
CN111277166A (zh) * | 2020-01-21 | 2020-06-12 | 电子科技大学 | 可重构汽车振动能能量包及方法 |
CN112187101A (zh) * | 2020-11-15 | 2021-01-05 | 浙江师范大学 | 一种旋转激励的摆动式摩擦-压电发电机 |
CN112787538A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-05-11 | 北京航空航天大学杭州创新研究院 | 偶极子驱动摩擦电传感元件、制备方法及相应装置 |
CN117895823A (zh) * | 2024-03-15 | 2024-04-16 | 中北大学 | 一种与无人飞行器机翼一体式集成的振动能量采集器件 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050253486A1 (en) * | 2002-05-14 | 2005-11-17 | Enocean Gmbh | Device for converting mechanical energy into electrical energy |
EP1919071A2 (en) * | 2006-11-03 | 2008-05-07 | Danfoss A/S | A dielectric composite and a method of manufacturing a dielectric composite |
US7883832B2 (en) * | 2005-01-04 | 2011-02-08 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for direct referencing of top surface of workpiece during imprint lithography |
US20120132256A1 (en) * | 2010-08-12 | 2012-05-31 | Sager Brian M | Thermoelectric stack coating for improved solar panel function |
CN202679272U (zh) * | 2012-07-20 | 2013-01-16 | 纳米新能源(唐山)有限责任公司 | 压电和摩擦电混合薄膜纳米发电机 |
CN103107737A (zh) * | 2013-01-23 | 2013-05-15 | 北京大学 | 压电摩擦复合式微纳发电机及其制备方法 |
-
2013
- 2013-09-18 CN CN201310429871.0A patent/CN103532430B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20050253486A1 (en) * | 2002-05-14 | 2005-11-17 | Enocean Gmbh | Device for converting mechanical energy into electrical energy |
US7883832B2 (en) * | 2005-01-04 | 2011-02-08 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for direct referencing of top surface of workpiece during imprint lithography |
EP1919071A2 (en) * | 2006-11-03 | 2008-05-07 | Danfoss A/S | A dielectric composite and a method of manufacturing a dielectric composite |
US20120132256A1 (en) * | 2010-08-12 | 2012-05-31 | Sager Brian M | Thermoelectric stack coating for improved solar panel function |
CN202679272U (zh) * | 2012-07-20 | 2013-01-16 | 纳米新能源(唐山)有限责任公司 | 压电和摩擦电混合薄膜纳米发电机 |
CN103107737A (zh) * | 2013-01-23 | 2013-05-15 | 北京大学 | 压电摩擦复合式微纳发电机及其制备方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
XIAO-SHENG ZHANG ET AL.: "Frequency-Multiplication High-Output Triboelectric Nanogenerator for Sustainably Powering Biomedical Microsystems", 《NANO LETTERS》, 5 February 2013 (2013-02-05), pages 1168 - 1172 * |
Cited By (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104852625B (zh) * | 2014-02-14 | 2017-02-08 | 纳米新能源(唐山)有限责任公司 | 一种硅胶摩擦发电机 |
CN104852625A (zh) * | 2014-02-14 | 2015-08-19 | 纳米新能源(唐山)有限责任公司 | 一种硅胶摩擦发电机 |
CN104980059A (zh) * | 2014-04-04 | 2015-10-14 | 北京纳米能源与系统研究所 | 一种包含周期性弯曲结构的电信号输出装置 |
CN104980059B (zh) * | 2014-04-04 | 2018-10-16 | 北京纳米能源与系统研究所 | 一种包含周期性弯曲结构的电信号输出装置 |
CN104320018A (zh) * | 2014-10-17 | 2015-01-28 | 上海交通大学 | 压电摩擦电复合式振动能量采集器 |
CN106301062B (zh) * | 2015-05-11 | 2019-04-30 | 北京纳米能源与系统研究所 | 可变形摩擦纳米发电机和发电方法、运动传感器和服装 |
CN106301062A (zh) * | 2015-05-11 | 2017-01-04 | 北京纳米能源与系统研究所 | 可变形摩擦纳米发电机和发电方法、运动传感器和服装 |
WO2017020290A1 (zh) * | 2015-08-06 | 2017-02-09 | 深圳麦克韦尔股份有限公司 | 电子烟及其电源装置 |
CN105871247B (zh) * | 2016-04-27 | 2019-01-18 | 北京大学 | 基于摩擦发电机与超级电容器集成的自充电能量单元及其制造方法 |
CN105871247A (zh) * | 2016-04-27 | 2016-08-17 | 北京大学 | 基于摩擦发电机与超级电容器集成的自充电能量单元及其制造方法 |
CN107034679B (zh) * | 2017-05-17 | 2019-08-06 | 东华大学 | 一种基于皮/芯结构摩擦发电机的自驱动人体动作捕捉传感器及其制备方法 |
CN107034679A (zh) * | 2017-05-17 | 2017-08-11 | 东华大学 | 一种基于皮/芯结构摩擦发电机的自驱动人体动作捕捉传感器及其制备方法 |
CN107453644A (zh) * | 2017-09-25 | 2017-12-08 | 大连海事大学 | 一种柔性海洋能采集装置 |
CN108599619A (zh) * | 2018-07-06 | 2018-09-28 | 北京中微融通科技有限公司 | 一种基于压电元件的半球形振动能量收集装置 |
CN108599619B (zh) * | 2018-07-06 | 2023-09-08 | 北京中微融通科技有限公司 | 一种基于压电元件的半球形振动能量收集装置 |
CN110061652A (zh) * | 2019-04-17 | 2019-07-26 | 同济大学 | 一种宽频带静电微能量采集器、采集系统及其制备方法 |
CN110061652B (zh) * | 2019-04-17 | 2020-10-02 | 同济大学 | 一种宽频带静电微能量采集器、采集系统及其制备方法 |
CN110061530A (zh) * | 2019-04-22 | 2019-07-26 | 重庆邮电大学 | 一种应用于220v电力线的电场能量采集电源 |
CN110061530B (zh) * | 2019-04-22 | 2023-03-31 | 重庆邮电大学 | 一种应用于220v电力线的电场能量采集电源 |
CN110514326A (zh) * | 2019-08-14 | 2019-11-29 | 东华大学 | 一种压电-摩擦电混合型自驱动电子皮肤及其制备方法 |
CN110514326B (zh) * | 2019-08-14 | 2021-10-15 | 东华大学 | 一种压电-摩擦电混合型自驱动电子皮肤及其制备方法 |
CN110514802B (zh) * | 2019-09-20 | 2021-06-01 | 吉林建筑大学 | 用于水质监测的复合式压电-纳米摩擦自供能系统 |
CN110514802A (zh) * | 2019-09-20 | 2019-11-29 | 吉林建筑大学 | 用于水质监测的复合式压电-纳米摩擦自供能系统 |
CN111009420A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-04-14 | 嘉兴学院 | 一种全纺织结构的复合能源器件及其制造方法 |
CN111277166A (zh) * | 2020-01-21 | 2020-06-12 | 电子科技大学 | 可重构汽车振动能能量包及方法 |
CN111245282A (zh) * | 2020-01-21 | 2020-06-05 | 电子科技大学 | 可重构风能能量收集-存储一体式单元与方法 |
CN111245282B (zh) * | 2020-01-21 | 2023-06-16 | 电子科技大学 | 可重构风能能量收集-存储一体式单元与方法 |
CN111277166B (zh) * | 2020-01-21 | 2023-06-16 | 电子科技大学 | 可重构汽车振动能能量包及方法 |
CN112187101A (zh) * | 2020-11-15 | 2021-01-05 | 浙江师范大学 | 一种旋转激励的摆动式摩擦-压电发电机 |
CN112787538A (zh) * | 2020-12-28 | 2021-05-11 | 北京航空航天大学杭州创新研究院 | 偶极子驱动摩擦电传感元件、制备方法及相应装置 |
CN117895823A (zh) * | 2024-03-15 | 2024-04-16 | 中北大学 | 一种与无人飞行器机翼一体式集成的振动能量采集器件 |
CN117895823B (zh) * | 2024-03-15 | 2024-05-14 | 中北大学 | 一种与无人飞行器机翼一体式集成的振动能量采集器件 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103532430B (zh) | 2015-10-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103532430B (zh) | 基于压电和摩擦电耦合的柔性微型能量采集器的制备方法 | |
Xiao et al. | Silicone-based triboelectric nanogenerator for water wave energy harvesting | |
Liu et al. | A comprehensive review on piezoelectric energy harvesting technology: Materials, mechanisms, and applications | |
Iqbal et al. | Vibration‐based piezoelectric, electromagnetic, and hybrid energy harvesters for microsystems applications: a contributed review | |
Suo et al. | Piezoelectric and triboelectric dual effects in mechanical-energy harvesting using BaTiO3/polydimethylsiloxane composite film | |
Zhang et al. | Self-powered, wireless, remote meteorologic monitoring based on triboelectric nanogenerator operated by scavenging wind energy | |
Zhou et al. | Multilayered electret films based triboelectric nanogenerator | |
Zhang et al. | Frequency-multiplication high-output triboelectric nanogenerator for sustainably powering biomedical microsystems | |
Lee et al. | Pure piezoelectricity generation by a flexible nanogenerator based on lead zirconate titanate nanofibers | |
Lin et al. | Noncontact free-rotating disk triboelectric nanogenerator as a sustainable energy harvester and self-powered mechanical sensor | |
US9178446B2 (en) | Triboelectric generator | |
Khan | Review of non-resonant vibration based energy harvesters for wireless sensor nodes | |
Rana et al. | Porosity modulated high-performance piezoelectric nanogenerator based on organic/inorganic nanomaterials for self-powered structural health monitoring | |
US9800178B2 (en) | Foldable miniature vibration generator and manufacturing method thereof | |
WO2013181952A1 (zh) | 压电和摩擦电混合纳米发电机 | |
Zhao et al. | Flexible semitransparent energy harvester with high pressure sensitivity and power density based on laterally aligned PZT single-crystal nanowires | |
CN108429428B (zh) | 电磁摩擦复合式多方向振动能量采集器及其制造方法 | |
CN103532425B (zh) | 一种磁场驱动的纳米摩擦发电机 | |
WO2014012403A1 (zh) | 压电和摩擦电混合薄膜纳米发电机 | |
CN103346694A (zh) | 基于环状叉指电极的压电微型能量采集器及其制备方法 | |
WO2013170651A1 (zh) | 一种摩擦发电机及摩擦发电机组 | |
CN101295941A (zh) | 交流纳米发电机及升压方法 | |
CN103036477B (zh) | 基于柔性聚合物压电材料的多模态复合式能量采集器 | |
CN104320018A (zh) | 压电摩擦电复合式振动能量采集器 | |
Hossain et al. | MEMS-based energy harvesting devices for low-power applications–a review |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |