CN103532015A - 一种用于激光加工的高功率半导体激光光源系统 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种用于激光加工的高功率半导体激光光源系统。该高功率半导体激光器光源系统的半导体激光器叠阵具有多个巴条,多个巴条整体划分为A、B两组,A、B两组巴条的偏振态一致;所述的整形模块包括二分之一波片、反射镜及偏振合束片;偏振合束片设置于A组巴条出光光路上,反射镜设置于B组巴条出光光路上,反射镜镜面与偏振合束片平行设置,所述二分之一波片设置于反射镜的入射光路或反射光路上,使得B组巴条的激光与A组巴条的激光在偏振合束片处形成合束出射。本发明光学系统结构简明,且反射镜和偏振合束片放置位置可紧靠半导体激光器,使得系统体积较小;选用偏振态一致的半导体激光器叠阵,加工方便,实现成本较低。
Description
技术领域
本发明属于激光加工技术领域,涉及一种高功率半导体激光光源系统。
背景技术
高功率半导体激光器具有体积小、重量轻、效率高、寿命长等优点,已广泛用于激光加工、激光医疗、激光显示及科学研究领域,成为新世纪发展快、成果多、学科渗透广、应用范围大的核心器件。半导体激光器正朝着高功率的方向发展,尤其在激光加工等领域,半导体激光器的千瓦级连续输出已成为必然需求。并且随着对加工件的加工深度增大,更高输出功率,更小光斑的半导体激光器急需研制。但是,与其他激光器相比,半导体激光器的光束质量比较差,快慢轴的光束质量不均匀,远场光强呈椭圆高斯分布,聚焦难度较大,实现较小光斑的激光输出不易。
半导体激光器慢轴方向BPP(光束质量参数)很大,其慢轴方向光束质量很差,而快轴方向BPP(光束质量参数)比较小,这样同一巴条类半导体激光器快轴方向和慢轴方向BPP不匹配限制了其应用,需平衡快轴方向和慢轴方向的BPP,需要复杂的光学整形来实现。
一般用多个棱镜进行切割重排的光学整形方式,此种方法是将BPP大的方向的压力分担到BPP小的方向,切割重排形式复杂,能量损失大。
发明内容
为解决现有技术存在的上述缺陷,本发明提供一种用于激光加工的高功率半导体激光光源系统。
本发明的技术方案如下:
一种用于激光加工的高功率半导体激光器光源系统,包括半导体激光叠阵和整形模块;半导体激光器叠阵具有多个巴条,多个巴条整体划分为A、B两组,A、B两组巴条的偏振态一致;所述的整形模块包括二分之一波片、反射镜及偏振合束片;所述偏振合束片设置于A组巴条出光光路上,所述反射镜设置于B组巴条出光光路上,反射镜镜面与偏振合束片平行设置,所述二分之一波片设置于反射镜的入射光路或反射光路上,使得B组巴条的激光经反射至偏振合束片与A组巴条的激光合束出射。
上述反射镜和偏振合束片均在所处光路中成45度角设置。
上述A组巴条与B组巴条数量相等。
根据半导体激光器叠阵中相邻巴条的间距,也可以调整反射镜、偏振合束片的位置,使得B组巴条的激光在偏振合束片处与A组巴条的激光插空合束出射。即,反射镜与偏振合束器错开排列,偏振合束器反射的光与透射的光错位进行合束,偏振合束器的功率压力较小,若合束在一起偏振合束器所承载的功率密度阈值要求较高;而且合束后的光斑均匀性好。
本发明具有以下优点:
本发明光学系统结构简明,仅利用二分之一波片、反射镜及偏振合束片这三种常见的光学器件,即实现了高功率激光输出。反射镜和偏振合束片放置位置可紧靠半导体激光器,使得系统体积较小。
本发明选用偏振态一致的半导体激光器叠阵,加工方便,实现成本较低。
附图说明
图1为本发明的一个实施例的示意图。
图2为本发明的另一个实施例的示意图。
图3为图1等同的一个实施例的示意图。
附图标号说明:
1-半导体激光器叠阵A组巴条;2-半导体激光器叠阵B组巴条;3-二分之一波片;4-反射镜;5-偏振合束片;6-整形模块;7-A组巴条所发射激光;8-B组巴条经过二分之一波片后所发射的激光;9-合束后的激光;10-半导体激光器叠阵;11-直接出射的激光。
具体实施方式
如图1所示,该高功率半导体激光器光源系统包括半导体激光叠阵、整形模块;半导体激光器叠阵10具有多个巴条,将所有巴条分成A、B两组。A组巴条1和B组巴条2的偏振态一致。整形模块5包括二分之一波片3、反射镜4及偏振合束片5;其中偏振合束片对TE(或TM)进行透射,对TM(或TE)进行反射。在A组巴条1激光出射方向设置偏振合束片5,在B组巴条2激光出射方向依次设置二分之一波片3、反射镜4,或者也可以将二分之一波片3设置于反射镜4与偏振合束片5之间的反射光路上(如图2所示)。
半导体激光器叠阵10偏振态为TE(或TM),A组巴条的激光透射偏振合束片5,B组巴条的激光出射方向设置二分之一波片3将B组巴条的激光由偏振态TE(或TM)旋转为TM(或TE),然后经过反射镜4反射至偏振合束片5,由于此时B组巴条的激光的偏振态与A组偏振态不同,因此,反射至偏振合束片5的B组巴条的激光经偏振合束片5反射,与透射偏振合束片5的A组巴条的激光形成合束。
如图3所示,半导体激光叠阵的所有巴条也可以整体划分为三个部分,即在前述A组巴条与B组巴条之间还间隔有少量巴条,相应的,偏振合束片与反射镜在出光光路径向上保持一定间隔,使得所述少量巴条的激光从偏振合束片与反射镜之间直接穿过出射。由于这部分少量的激光实际上未经过整形,不涉及整形模块,因此,该种实施方案可视作前述方案的等同方案,亦应在本发明的保护范围内。
本发明可以实现千瓦级以上的高功率输出。
Claims (4)
1.一种用于激光加工的高功率半导体激光器光源系统,包括半导体激光叠阵和整形模块;其特征在于:半导体激光器叠阵具有多个巴条,多个巴条整体划分为A、B两组,A、B两组巴条的偏振态一致;所述的整形模块包括二分之一波片、反射镜及偏振合束片;所述偏振合束片设置于A组巴条出光光路上,所述反射镜设置于B组巴条出光光路上,反射镜镜面与偏振合束片平行设置,所述二分之一波片设置于反射镜的入射光路或反射光路上,使得B组巴条的激光与A组巴条的激光在偏振合束片处形成合束出射。
2.根据权利要求1所述的用于激光加工的高功率半导体激光器光源系统,其特征在于:反射镜和偏振合束片均在所处光路中成45度角设置。
3.根据权利要求1所述的用于激光加工的高功率半导体激光器光源系统,其特征在于:A组巴条与B组巴条数量相等。
4.根据权利要求1所述的用于激光加工的高功率半导体激光器光源系统,其特征在于:根据半导体激光器叠阵中相邻巴条的间距,调整反射镜、偏振合束片的位置,使得B组巴条的激光在偏振合束片处与A组巴条的激光插空合束出射。
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