CN103336256B - Wat探针卡智能处理系统及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种WAT探针卡智能处理系统及方法，该系统包括如下步骤：实时记录并统计探针卡扎针次数；检测探针卡的累积扎针次数；判断探针卡的累计扎针次数是否超过设定的上限，若未超过，则继续测试，否则进入下一步；发出提示信息，通过本发明，不仅可以于探针卡的累积扎针次数超过上限时及时提醒操作人员换卡，提高了效率，而且实现了对探针卡整个使用过程中的维修记录的快捷查询和所有探针卡状态的管理，实现了WAT探针卡的智能管理。

Description

WAT探针卡智能处理系统及方法
技术领域
本发明关于一种WAT探针卡的管理系统及方法，特别是涉及一种WAT探针卡智能处理系统及方法。
背景技术
WAT(WaferAcceptanceTest，晶片允收测试)测试一般需通过探针卡来连接实际的器件和测试仪器以实现对不同尺寸和不同形状的器件的测试。随着半导体技术的发展，WAT测试的结构越来越小，所以探针的针尖也越来越小。探针卡在使用一定的时间后由于针尖的磨损针尖会变粗所以需要对探针做维修，当针尖的磨损达到一定程度后还需要更换探针(rebuild)。用探针卡的扎针次数来确定探针卡的维修频率能很好的控制探针卡的质量。由于fab(芯片工厂)测试的产品多，需要的探针卡类型就多，所以对于探针卡进行高效有序的管理是非常重要的。
目前的WAT测试软件记录探针卡的扎针次数，当探针卡达到扎针次数上限后机台不会提示换卡，只会停止在测试画面。而且每次探针卡维修完成后需要工程师手动重置机台上的探针卡扎针记录，手动记录探针卡的维修记录在纸本文件上，这些纸本的记录需要查询时很不方便，而且不能及时查看到所有卡的状态。
发明内容
为克服上述现有技术存在的不足，本发明之目的在于提供一种WAT探针卡智能处理系统及方法，其可以通过对探针卡扎针次数的控制来进行探针卡的维修，对达到扎针次数上限的卡自动提示，并通过访问机台上记录扎针次数的文件，实现快速地重置机台扎针记录并将历史记录存入数据库，实现对探针卡整个使用过程中的维修记录的快捷查询和所有探针卡状态的智能管理。
为达上述及其它目的，本发明提出一种WAT探针卡智能处理系统，至少包括：
统计模组，实时记录并统计探针卡扎针次数；
检测模组，检测探针卡的累积扎针次数；
判断模组，判断探针卡的累计扎针次数是否超过设定的上限，若未超过，则继续测试，否则启动提示模组；
提示模组，于该判断模组的判断结果为超过设定的上限时，发出提示信息。
进一步地，该系统还包括：
读取模组，用于访问机台上记录扎针次数的文件；
重置模组，于探针卡维修或换针后，将该探针卡在机台上的探针卡扎针记录重置。
进一步地，该系统还包括存储模组，以于探针卡维修或换针后，将该探针卡的历史记录存入数据库。
进一步地，该提示信息为弹出提示画面或发出相应的提示音或其组合。
进一步地，该读取模组及该重置模组利用开发的外围软件直接访问机台上记录扎针次数的文件。
为达到上述及其他目的，本发明还提供一种WAT探针卡智能处理方法，包括如下步骤：
步骤一，实时记录并统计探针卡扎针次数；
步骤二，检测探针卡的累积扎针次数；
步骤三，判断探针卡的累计扎针次数是否超过设定的上限，若未超过，则继续测试，否则进入步骤四；
步骤四，发出提示信息。
进一步地，于步骤四后，还包括如下步骤：
当探针卡维修完成或换针完成后，访问机台上记录卡扎针次数的文件；
将机台上的记录存入数据库，并将对应的记录重置。
进一步地，于步骤二中，于每次测试开始时自动检测探针卡的累积扎针次数。
进一步地，于步骤二中，于测试进行中，每测试完一片晶圆自动检测探针卡的累积扎针次数。
进一步地，于步骤二中，于一个批次测试完成后自动检测探针卡的累积扎针次数。
与现有技术相比，本发明一种WAT探针卡智能处理系统及方法通过自动检查探针卡累积扎针次数，当探针卡扎针次数达到设置的扎针上限时自动提示卡需要维修，操作人员换卡后可继续测试，并利用开发的外围软件将探针卡所有维修历史存入数据库和重置机台上记录探针卡扎针次数文件记录以便重新开始记录，不仅及时提醒操作人员换卡，提高了效率，而且实现了对探针卡整个使用过程中的维修记录的快捷查询和所有探针卡状态的管理，实现了WAT探针卡的智能管理。
附图说明
图1为本发明一种WAT探针卡智能处理系统的系统架构图；
图2为本发明较佳实施例中机台上的探针卡扎针记录示意图；
图3为本发明较佳实施例中探针卡换卡提示示意图；
图4为本发明较佳实施例中机台文件访问示意图；
图5为本发明较佳实施例中数据库文件访问示意图；
图6为本发明较佳实施例中探针卡状态查询示意图；
图7为本发明一种WAT探针卡智能处理方法的步骤流程图。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例并结合附图说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的其它优点与功效。本发明亦可通过其它不同的具体实例加以施行或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不背离本发明的精神下进行各种修饰与变更。
图1为本发明一种WAT探针卡智能处理系统的系统架构图。如图1所示，本发明一种WAT探针卡智能处理系统，至少包括：统计模组10、检测模组11、判断模组12以及提示模组14。
其中，统计模组10用于实时记录并统计探针卡扎针次数；检测模组11用于检测探针卡的累积扎针次数；判断模组12用于判断探针卡的累计扎针次数是否超过设定的上限，若未超过，则不予处理，否则则启动提示模组13；提示模组13于判断模组12的判断结果为超过设定的上限时，发出提示信息，提醒用户换卡，提示信息可以为弹出提示画面，也可以为发出相应的提示音，或既弹出提示画面又发出提示音，本发明不以此为限。
较佳的，本发明一种WAT探针卡智能处理系统还包括读取模组14、重置模组15以及存储模组16，其中读取模组14用于访问机台上记录扎针次数的文件，在本发明较佳实施例中，读取模组14通过外围软件(如利用C#开发的外围软件)直接访问机台上记录扎针次数的文件，这样就可随时查看所有探针卡的使用状况；重置模组15于探针卡维修或换针(rebuild)完后，将该探针卡在机台上的探针卡扎针记录重置；存储模组16用于将该探针卡的历史记录存入数据库，这样可以保存每张探针卡所有的历史扎针记录和探针卡维修的时间，可以方便以后查询。
以下将通过一具体实例来说明本发明。1、当每次测试开始时检测模组11会自动检测探针卡的累积扎针次数(如图2中PM_Count)，如果超出设定的SPEC(上限)时(如图2中PM_Limit)机台会弹出如图3所示的提示，操作人员换卡后点击RETRY检测模组11会再对新换的卡进行检测，检测通过后可继续测试；在测试进行中，每测试完一片wafer(晶圆)，检测模组11会自动检测探针卡的累积扎针次数，如果超出设定的SPEC时，机台会弹出如图3所示的提示，操作人员换卡后点击RETRY检测模组11会再对新换的卡进行检测，检测通过后可继续测试；3、当一个lot(批次)测试完成后，检测模组11会自动检测探针卡的累积扎针次数，如果超出设定的SPEC时机台会弹出如图3所示的提示，操作人员换卡后点击RETRY机台会再对新换的卡进行检测，检测通过后检测模组11会回到等待测试的画面，可继续测试下一个lot。
在本发明较佳实施例中，读取模组14可利用C#开发的外围软件直接访问机台上记录扎针次数的文件(如图4)，可通过软件随时查看所有探针卡的使用状况。当有探针卡维修完成后，重置模组15通过外围软件可直接将该探针卡在机台上的探针卡扎针记录重置，并通过存储模组16将历史记录存入数据库中，这样可以保存每张探针卡所有的历史扎针记录和探针卡维修的时间，方便以后查询(如图5)，通过存储的文件中的PC_Status(如图6)可以查询所有卡或者某个类型的探针卡的状态(Inuse，Bank，PM，Rebuild，Scrap)，方便以后快速查看所有卡的状态。
图7为本发明一种WAT探针卡智能处理方法的步骤流程图。如图7所示，本发明一种WAT探针卡智能处理方法，包括如下步骤：
步骤701，实时记录并统计探针卡扎针次数；
步骤702，检测探针卡的累积扎针次数；
步骤703，判断探针卡的累计扎针次数是否超过设定的上限，若未超过，则继续测试，否则进入步骤704；
步骤704，发出提示信息。提示信息可以为弹出提示画面，也可以为发出相应的提示音，或既弹出提示画面又发出提示音，本发明不以此为限。
于步骤704之后，本发明之WAT探针卡智能处理方法还包括如下步骤：
当探针卡维修完成或换针完成后，访问机台上记录卡扎针次数的文件；
将机台上的记录存入数据库，并将对应的记录重置。
较佳的，于步骤702中，于每次测试开始时自动检测探针卡的累积扎针次数，于测试进行中，每测试完一片wafer(晶圆)自动检测探针卡的累积扎针次数以及于一个lot(批次)测试完成后自动检测探针卡的累积扎针次数。
综上所述，本发明一种WAT探针卡智能处理系统及方法通过自动检查探针卡累积扎针次数，当探针卡扎针次数达到设置的扎针上限时自动提示卡需要维修，操作人员换卡后可继续测试，并利用开发的外围软件将探针卡所有维修历史存入数据库和重置机台上记录探针卡扎针次数文件记录以便重新开始记录，不仅及时提醒操作人员换卡，提高了效率，而且实现了对探针卡整个使用过程中的维修记录的快捷查询和所有探针卡状态的管理，实现了WAT探针卡的智能管理。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何本领域技术人员均可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰与改变。因此，本发明的权利保护范围，应如权利要求书所列。

Claims (7)

1.一种WAT探针卡智能处理系统，至少包括：
统计模组，实时记录并统计探针卡扎针次数；
检测模组，检测探针卡的累积扎针次数；
判断模组，判断探针卡的累计扎针次数是否超过设定的上限，若未超过，则继续测试，否则启动提示模组；
提示模组，于该判断模组的判断结果为超过设定的上限时，发出提示信息；
读取模组，用于访问机台上记录扎针次数的文件，可随时查看所有探针卡的使用状况；
重置模组，于探针卡维修或换针后，将该探针卡在机台上的探针卡扎针记录重置；
存储模组，于探针卡维修或换针后，将该探针卡的历史记录存入数据库，以保存每张探针卡所有的历史扎针记录和探针卡维修的时间。
2.如权利要求1所述的一种WAT探针卡智能处理系统，其特征在于：该提示信息为弹出提示画面或发出相应的提示音或其组合。
3.如权利要求1所述的一种WAT探针卡智能处理系统，其特征在于：该读取模组利用开发的外围软件直接访问机台上记录扎针次数的文件。
4.一种WAT探针卡智能处理方法，包括如下步骤：
步骤一，实时记录并统计探针卡扎针次数；
步骤二，检测探针卡的累积扎针次数；
步骤三，判断探针卡的累计扎针次数是否超过设定的上限，若未超过，则继续测试，否则进入步骤四；
步骤四，发出提示信息；
还包括如下步骤：
当探针卡维修完成或换针完成后，访问机台上记录卡扎针次数的文件，以随时查看所有探针卡的使用状况；
将机台上的记录存入数据库，以保存每张探针卡所有的历史扎针记录和探针卡维修的时间；并将对应的记录重置。
5.如权利要求4所述的一种WAT探针卡智能处理方法，其特征在于：于步骤二中，于每次测试开始时自动检测探针卡的累积扎针次数。
6.如权利要求4所述的一种WAT探针卡智能处理方法，其特征在于：于步骤二中，于测试进行中，每测试完一片晶圆自动检测探针卡的累积扎针次数。
7.如权利要求4所述的一种WAT探针卡智能处理方法，其特征在于：于步骤二中，于一个批次测试完成后自动检测探针卡的累积扎针次数。
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