CN103293605B - 一种高性能集成光学装置及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种高性能集成光学装置及其制备方法，所述高性能集成光学装置包括：分路器构件，所述分路器构件包括采用紫外线胶水相粘结的第一双纤尾纤、第一自聚焦透镜和分路膜片；隔离芯构件，所述隔离芯构件包括旋光片、楔角片、补偿片和磁环，所述隔离芯构件固定在玻璃管中间；以及波分复用构件，所述波分复用构件包括采用紫外线胶水相粘结的第二双纤尾纤、第二自聚焦透镜和波分复用膜片；其中，在玻璃管的两端分别插入第一自聚焦透镜和第二自聚焦透镜，所述第一自聚焦透镜、玻璃管和第二自聚焦透镜之间通过参数耦合实现集成。本发明既避免了粘结错位问题，也无需缩小整体物料的尺寸规格，工艺简单，易于集成，可靠性性能高。

Description

一种高性能集成光学装置及其制备方法

技术领域

本发明涉及一种光学装置，尤其涉及一种高性能集成光学装置，并涉及一种高性能集成光学装置的制备方法。

背景技术

掺饵光纤放大器(EDFA)的诞生是光纤通信领域革命性的突破，它使长距离、大容量、高速率的光纤通信成为可能，是DWDM系统及未来高速系统、全光网络不可缺少的重要器件；而随着通信的发展，市场对EDFA的要求不断向着高性能、小型化/集成化发展，同样对里面的核心光器件要求也亦高性能、小型化/集成化发展。EDFA需要使用光纤分路器、隔离器和波分复用器等器件，目前的做法都是采用独立功能的器件，即使独立功能器件小型化，但由于数量和技术的限制存在一定的局限性，如果能够使独立的功能器件集成并同时实现小型化势必使EDFA尺寸进一步缩小，也是目前急需解决的难题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是需要提供一种工艺难度低，集成分路器、隔离器和波分复用器的高性能集成光学装置。

对此，本发明提供一种高性能集成光学装置，包括：

分路器构件，所述分路器构件包括第一双纤尾纤、第一自聚焦透镜和分路膜片，所述第一双纤尾纤、第一自聚焦透镜和分路膜片之间采用紫外线胶水粘结，所述分路膜片通过紫外线胶水固定在第一自聚焦透镜平面上；

隔离芯构件，所述隔离芯构件包括旋光片、楔角片、补偿片和磁环，所述隔离芯构件固定在玻璃管中间；

以及，波分复用构件，所述波分复用构件包括第二双纤尾纤、第二自聚焦透镜和波分复用膜片，所述第二双纤尾纤、第二自聚焦透镜和波分复用膜片之间采用紫外线胶水粘结，所述波分复用膜片通过紫外线胶水固定在第二自聚焦透镜平面上；

其中，在所述玻璃管的两端分别插入第一自聚焦透镜和第二自聚焦透镜，所述第一自聚焦透镜、玻璃管和第二自聚焦透镜之间通过参数耦合实现集成。

现有技术中，如采用端面连接方式实现集成，虽然体积小无需多余外封玻璃管，但是在进行集成时会出现光路偏转角度偏大，在分路器、隔离器和波分复用器这3个功能集成时会出现错位问题，错位会造成端面粘结性能降低，影响产品可靠性等问题；而采用整体封装的方式可以解决因光路偏转造成的问题，但是要实现小型化时却会受到尺寸的限制，需要缩减各部件的尺寸，带来了工艺难度增加的问题，特别是将自聚焦透镜与双纤尾纤固定在一起时，小型化需要采用Φ1.0的双纤尾纤，在如此端面既要四周裹胶、又要保证中间通孔以及防止胶水流入光路中，则导致参数恶化。

本发明中，隔离芯构件固定在玻璃管中，这样分路器构件、隔离芯构件以及波分复用构件通过玻璃管承接固定，而所述玻璃管的两端分别插入第一自聚焦透镜和第二自聚焦透镜，该玻璃管承接固定在第一自聚焦透镜和第二自聚焦透镜上，分路器构件和波分复用构件通过紫外线胶水包裹其四周，中间通孔，实现光路的穿过；也就是说，本发明的关键部位隔离芯构件采用整体封装，即玻璃管承接，分路器构件和波分复用构件采用端面粘结方式，无需在第一双纤尾纤和第二双纤尾纤上再套小玻璃管，避免了大玻璃管与小玻璃管的承接，而是大玻璃管直接与第一自聚焦透镜和第二自聚焦透镜承接，既避免了粘结错位问题，也无需缩小整体物料的尺寸规格，工艺简单，可靠性性能高。

因此，本发明结合了整体封装优势，无需缩小整体物料的尺寸规格，而关键部位隔离芯构件采用玻璃管承接，分路器构件和波分复用构件采用端面粘结方式，使得该高性能集成光学装置的产品尺寸缩小，同时大大降低其工艺操作的难度；在此基础上，由于无需缩小整体物料的尺寸规格，因此也就保证了各项指标参数性能优异，实现工艺难度低、可靠性性能高的分路器、隔离器和波分复用器的集成。

本发明的进一步改进在于，还包括钢管和堵头，所述分路器构件、隔离芯构件、波分复用构件和玻璃管封入钢管内，所述钢管两端采用堵头密封。以此，对高性能集成光学装置形成整体封装，密封效果好。

本发明的进一步改进在于，还包括密封胶，所述密封胶填充于堵头和钢管的两个端口之间。通过密封胶形成第二层的密封，实现方式简单，密封效果显著提高。

本发明的进一步改进在于，还包括隔离保护层，所述隔离保护层通过粉状物填充于钢管两端的内部。所述粉状物为隔热、防潮和抗震动的粉状材料，本发明通过钢管、堵头和粉状物形成多重密封，在此基础上，还可以与密封胶配合使用，进一步提高了产品的可靠性能。

本发明的进一步改进在于，还包括灌于钢管的两个端口的硅胶，该硅胶为高弹性防护硅胶。

本发明的进一步改进在于，所述玻璃管内的间隙填充紫外线胶水，所述紫外线胶水采用高可靠紫外线胶水，实现低收缩率。

与现有技术相比，本发明结合了整体封装优势，无需缩小整体物料的尺寸规格，而关键部位隔离芯构件采用玻璃管承接，分路器构件和波分复用构件采用端面粘结方式，使得该高性能集成光学装置的产品尺寸缩小，同时大大降低其工艺操作的难度；由于无需缩小整体物料的尺寸规格，因此也就保证了各项指标参数性能优异，实现工艺难度低、可靠性性能高的分路器、隔离器和波分复用器的集成，在此基础上，本发明通过钢管、堵头、密封胶、粉状物和硅胶形成多重密封，全面保证了产品的高可靠性能。

本发明还提供一种上述的高性能集成光学装置的制备方法，包括以下步骤：

包胶固化步骤，首先将分路膜片采用紫外线胶水固定在第一自聚焦透镜平面上，将波分复用膜片采用紫外线胶水固定在第二自聚焦透镜平面上，紫外线胶水的固定方式为四周点胶；然后对分路器构件和波分复用构件进行参数调试；最后通过紫外线胶水分别将调试好的第一双纤尾纤和第一自聚焦透镜以及第二双纤尾纤和第二自聚焦透镜固定；

隔离芯固定步骤，制作隔离芯构件，所述隔离芯构件包括旋光片、楔角片、补偿片和磁环，然后将隔离芯构件固定在玻璃管中间；

组装步骤，在所述玻璃管的两端分别插入第一自聚焦透镜和第二自聚焦透镜，所述第一自聚焦透镜、玻璃管和第二自聚焦透镜之间通过参数耦合实现集成；

封装步骤，将组装步骤后的高性能集成光学装置穿入钢管内，钢管的两端内部填充粉状物；

首次密封步骤，将钢管的两端安装堵头。

现有技术中，通用的做法为分光单元（分路器）和波分复用单元的末端的双纤尾纤上各套上一根玻璃管，然后再将大玻璃管插入套上分光单元（分路器）和波分复用单元的的玻璃管内，这样产品整个尺寸增加，无法实现小型化。

本发明所述包胶固化步骤和隔离芯固定步骤可以同时进行；将分路膜片采用紫外线胶水固定在G-lens平面上，四周点胶，即固定在第一自聚焦透镜平面上；将波分复用膜片采用紫外线胶水也固定在G-lens平面上，四周点胶，即固定在第二自聚焦透镜平面上；隔离芯构件固定在玻璃管中间；包胶固化步骤的参数调试就是第一双纤尾纤、贴装好的分路膜片和第一自聚焦透镜以及第二双纤尾纤、贴装好的波分复用膜片和第二自聚焦透镜的参数调试，该参数调试采用高精度五维调节架耦合光最佳参数，以便满足指标。

本发明的组装步骤采用高进度五维调节架，两端为制作好的分路器构件和波分复用构件，在玻璃管两端分别插入分路器构件和波分复用构件的G-lens端，所述分路器构件和波分复用构件的G-lens端分别包含分路膜片和波分复用膜片，实现第一自聚焦透镜与玻璃管与第二自聚焦透镜的连接方式通过参数耦合即可达到集成光器件的功能；组装之后的高性能集成光学装置称为半成品，将该半成品进行高温烘烤之后穿入钢管内，钢管两端填充粉状物，该粉状物具有三重功效：抗震、隔热和吸潮；灌入粉状物后，钢管两端塞入堵头，该堵头起到隔离外界湿气的进入的作用，具有良好的密封性，所述堵头优选为不锈钢堵头。

本发明的进一步改进在于，还包括二次密封步骤，所述二次密封步骤在堵头外灌入密封胶。本发明在堵头外再次灌入密封胶，能够起到第二层密封作用。

本发明的进一步改进在于，还包括防护步骤，所述防护步骤在钢管的两个端口灌入硅胶，以便防护光纤，所述钢管口灌入的硅胶优选为高弹性硅胶。

本发明的进一步改进在于，对所述分路膜片和第一自聚焦透镜的交界处四周进行紫外线胶水包裹固化，对所述波分复用膜片和第二自聚焦透镜的交界处四周进行紫外线胶水包裹固化。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于，结合了整体封装优势，无需缩小整体物料的尺寸规格，而关键部位隔离芯构件采用玻璃管承接，分路器构件和波分复用构件采用端面粘结方式，使得该高性能集成光学装置的产品尺寸缩小，同时大大降低其工艺操作的难度；由于无需缩小整体物料的尺寸规格，因此也就保证了各项指标参数性能优异，实现工艺难度低、可靠性性能高的分路器、隔离器和波分复用器的集成，在此基础上，本发明通过钢管、堵头、密封胶、粉状物和硅胶形成多重密封，全面保证了产品的高可靠性能。

附图说明

图1是本发明一种实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本发明的较优的实施例作进一步的详细说明。

实施例1：

本例提供一种高性能集成光学装置，包括：

分路器构件，所述分路器构件包括第一双纤尾纤102、第一自聚焦透镜104和分路膜片108，所述第一双纤尾纤102、第一自聚焦透镜104和分路膜片108之间采用紫外线胶水粘结，所述分路膜片108通过紫外线胶水固定在第一自聚焦透镜104平面上；

隔离芯构件105，所述隔离芯构件105包括旋光片、楔角片、补偿片和磁环，所述隔离芯构件105固定在玻璃管107中间；

以及，波分复用构件，所述波分复用构件包括第二双纤尾纤113、第二自聚焦透镜114和波分复用膜片109，所述第二双纤尾纤113、第二自聚焦透镜114和波分复用膜片109之间采用紫外线胶水粘结，所述波分复用膜片109通过紫外线胶水固定在第二自聚焦透镜114平面上；

其中，在所述玻璃管107的两端分别插入第一自聚焦透镜104和第二自聚焦透镜114，所述第一自聚焦透镜104、玻璃管107和第二自聚焦透镜114之间通过参数耦合实现集成。

现有技术中，如采用端面连接方式实现集成，虽然体积小无需多余外封玻璃管107；但是在进行集成时会出现光路偏转角度偏大，在分路器、隔离器和波分复用器这3个功能集成时会出现错位问题，错位会造成端面粘结性能降低，影响产品可靠性等问题；而采用整体封装的方式可以解决因光路偏转造成的问题，但是要实现小型化时却会受到尺寸的限制，需要缩减各部件的尺寸，带来了工艺难度增加的问题，特别是将自聚焦透镜与双纤尾纤固定在一起时，小型化需要采用Φ1.0的双纤尾纤，在如此端面既要四周裹胶、又要保证中间通孔以及防止胶水流入光路中，则导致参数恶化。

如图1所示，本例中，隔离芯构件105固定在玻璃管107中，这样分路器构件、隔离芯构件105以及波分复用构件通过玻璃管107承接固定，而在所述玻璃管107的两端分别插入第一自聚焦透镜104和第二自聚焦透镜114，该玻璃管107承接固定在第一自聚焦透镜104和第二自聚焦透镜114上，分路器构件和波分复用构件通过紫外线胶水包裹其四周，中间通孔，实现光路的穿过；也就是说，本例的关键部位隔离芯构件105采用整体封装，即玻璃管107承接，分路器构件和波分复用构件采用端面粘结方式，无需在第一双纤尾纤102和第二双纤尾纤113上再套小玻璃管107，避免了大玻璃管107与小玻璃管107的承接，而是大玻璃管107直接与第一自聚焦透镜104和第二自聚焦透镜114承接，既避免了粘结错位问题，也无需缩小整体物料的尺寸规格，工艺简单，可靠性性能高。

因此，本例结合了整体封装优势，无需缩小整体物料的尺寸规格，而关键部位隔离芯构件105采用玻璃管107承接，分路器构件和波分复用构件采用端面粘结方式，使得该高性能集成光学装置的产品尺寸缩小，同时大大降低其工艺操作的难度；在此基础上，由于无需缩小整体物料的尺寸规格，因此也就保证了各项指标参数性能优异，实现工艺难度低、可靠性性能高的分路器、隔离器和波分复用器的集成。

本例的进一步改进在于，还包括钢管111和堵头101，所述分路器构件、隔离芯构件105、波分复用构件和玻璃管107封入钢管111内，所述钢管111两端采用堵头101密封。以此，对高性能集成光学装置形成整体封装，密封效果好。

本例的进一步改进在于，还包括密封胶106，所述密封胶106填充于堵头101和钢管111的两个端口之间。通过密封胶106形成第二层的密封，实现方式简单，密封效果显著提高。

本例的进一步改进在于，还包括隔离保护层103，所述隔离保护层103通过粉状物填充于钢管111的两端内部。所述粉状物为隔热、防潮和抗震动的粉状材料，本例通过钢管111、堵头101和粉状物形成多重密封，在此基础上，还可以与密封胶106配合使用，进一步提高了产品的可靠性能。

本例的进一步改进在于，还包括灌于钢管111的两个端口的硅胶110，该硅胶110为高弹性防护硅胶。

本例的进一步改进在于，所述玻璃管107内的间隙填充紫外线胶水，所述紫外线胶水采用高可靠紫外线胶水，实现低收缩率。

与现有技术相比，本例结合了整体封装优势，无需缩小整体物料的尺寸规格，而关键部位隔离芯构件105采用玻璃管107承接，分路器构件和波分复用构件采用端面粘结方式，使得该高性能集成光学装置的产品尺寸缩小，同时大大降低其工艺操作的难度；由于无需缩小整体物料的尺寸规格，因此也就保证了各项指标参数性能优异，实现工艺难度低、可靠性性能高的分路器、隔离器和波分复用器的集成，在此基础上，本例通过钢管111、堵头101、密封胶106、粉状物和硅胶110形成多重密封，全面保证了产品的高可靠性能。

实施例2：

本例还提供一种实施例1所述的高性能集成光学装置的制备方法，包括以下步骤：

包胶固化步骤，首先将分路膜片108采用紫外线胶水固定在第一自聚焦透镜104平面上，将波分复用膜片109采用紫外线胶水固定在第二自聚焦透镜114平面上，紫外线胶水的固定方式为四周点胶；然后对分路器构件和波分复用构件进行参数调试；最后通过紫外线胶水分别将调试好的第一双纤尾纤102和第一自聚焦透镜104以及第二双纤尾纤113和第二自聚焦透镜114固定；

隔离芯固定步骤，制作隔离芯构件105，所述隔离芯构件105包括旋光片、楔角片、补偿片和磁环，然后将隔离芯构件105固定在玻璃管107中间；

组装步骤，在所述玻璃管107的两端分别插入第一自聚焦透镜104和第二自聚焦透镜114，所述第一自聚焦透镜104、玻璃管107和第二自聚焦透镜114之间通过参数耦合实现集成；

封装步骤，将组装步骤后的高性能集成光学装置穿入钢管111内，钢管111的两端内部填充粉状物；

首次密封步骤，将钢管111的两端安装堵头101。

现有技术中，通用的做法为分光单元（分路器）和波分复用单元的末端的双纤尾纤上各套上一根玻璃管107，然后再将大玻璃管107插入套上分光单元（分路器）和波分复用单元的的玻璃管107内，这样产品整个尺寸增加，无法实现小型化。

本例所述包胶固化步骤和隔离芯固定步骤优选同时进行；将分路膜片108采用紫外线胶水固定在G-lens平面上，四周点胶，即固定在第一自聚焦透镜104平面上；将波分复用膜片109采用紫外线胶水也固定在G-lens平面上，四周点胶，即固定在第二自聚焦透镜114平面上；隔离芯构件105固定在玻璃管107中间；包胶固化步骤的参数调试就是第一双纤尾纤102、贴装好的分路膜片108和第一自聚焦透镜104以及第二双纤尾纤113、贴装好的波分复用膜片109和第二自聚焦透镜114的参数调试，该参数调试采用高精度五维调节架耦合光最佳参数，以便满足指标。

本例的组装步骤采用高进度五维调节架，两端为制作好的分路器构件和波分复用构件，在玻璃管107两端分别插入分路器构件和波分复用构件的G-lens，所述分路器构件和波分复用构件的G-lens端分别包含分路膜片108和波分复用膜片109，实现第一自聚焦透镜104与玻璃管107与第二自聚焦透镜114的连接方式通过参数耦合即可达到集成光器件的功能；组装之后的高性能集成光学装置称为半成品，将该半成品进行高温烘烤之后穿入钢管111内，钢管111两端填充粉状物，该粉状物具有三重功效：抗震、隔热和吸潮；灌入粉状物后，钢管111两端塞入堵头101，该堵头101起到隔离外界湿气的进入的作用，具有良好的密封性，所述堵头101优选为不锈钢堵头101。

本例的进一步改进在于，还包括二次密封步骤，所述二次密封步骤在堵头101外灌入密封胶106。本例在堵头101外再次灌入密封胶106，能够起到第二层密封作用。

本例的进一步改进在于，还包括防护步骤，所述防护步骤在钢管111的两个端口灌入硅胶110，以便防护光纤，所述钢管111口灌入的硅胶110优选为高弹性硅胶110。在防护步骤之后，本例优选将防护步骤之后的高性能集成光学装置放置于高低温环境中循环，在高低温环境中循环之后进行最后的终端测试，直至产品合格，否则作报废处理，以确保所有的高性能集成光学装置的可靠性能。

本例优选的制备步骤为，所述包胶固化步骤和隔离芯固定步骤同时进行；然后进入组装步骤，组装步骤之后将高性能集成光学装置进行高温烘烤处理，处理完之后穿入钢管111内，钢管111两端填充粉状物；接着在堵头101外灌入密封胶106，在钢管111的两个端口灌入硅胶110；最后将高性能集成光学装置放置于高低温环境中进行循环处理，循环处理后进入终端测试以确保产品的合格性和高可靠性。

本例的进一步改进在于，对所述分路膜片108和第一自聚焦透镜104的交界处四周进行紫外线胶水包裹固化，对所述波分复用膜片109和第二自聚焦透镜114的交界处四周进行紫外线胶水包裹固化。

与现有技术相比，本例的有益效果在于，结合了整体封装优势，无需缩小整体物料的尺寸规格，而关键部位隔离芯构件105采用玻璃管107承接，分路器构件和波分复用构件采用端面粘结方式，使得该高性能集成光学装置的产品尺寸缩小，同时大大降低其工艺操作的难度；由于无需缩小整体物料的尺寸规格，因此也就保证了各项指标参数性能优异，实现工艺难度低、可靠性性能高的分路器、隔离器和波分复用器的集成，在此基础上，本例通过钢管111、堵头101、密封胶106、粉状物和硅胶110形成多重密封，全面保证了产品的高可靠性能。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种高性能集成光学装置，其特征在于，包括：

分路器构件，所述分路器构件包括第一双纤尾纤(102)、第一自聚焦透镜(104)和分路膜片(108)，所述第一双纤尾纤(102)、第一自聚焦透镜(104)和分路膜片(108)之间采用紫外线胶水粘结，所述分路膜片(108)通过紫外线胶水固定在第一自聚焦透镜(104)平面上；

隔离芯构件(105)，所述隔离芯构件(105)包括旋光片、楔角片、补偿片和磁环，所述隔离芯构件(105)固定在玻璃管(107)中间；

以及，波分复用构件，所述波分复用构件包括第二双纤尾纤(113)、第二自聚焦透镜(114)和波分复用膜片(109)，所述第二双纤尾纤(113)、第二自聚焦透镜(114)和波分复用膜片(109)之间采用紫外线胶水粘结，所述波分复用膜片(109)通过紫外线胶水固定在第二自聚焦透镜(114)平面上；

其中，在所述玻璃管(107)的两端分别插入第一自聚焦透镜(104)和第二自聚焦透镜(114)；该玻璃管(107)承接固定在第一自聚焦透镜(104)和第二自聚焦透镜(114)上；所述玻璃管(107)内的间隙填充紫外线胶水，所述分路器构件和波分复用构件通过紫外线胶水包裹其四周，中间通孔，实现光路的穿过；所述第一自聚焦透镜(104)、玻璃管(107)和第二自聚焦透镜(114)之间通过参数耦合实现集成；所述隔离芯构件(105)通过玻璃管(107)承接以实现整体封装；所述分路器构件以及波分复用构件通过玻璃管(107)承接固定。

2.根据权利要求1所述的高性能集成光学装置，其特征在于，还包括钢管(111)和堵头(101)，所述分路器构件、隔离芯构件(105)、波分复用构件和玻璃管(107)封入钢管(111)内，所述钢管(111)两端采用堵头(101)密封。

3.根据权利要求2所述的高性能集成光学装置，其特征在于，还包括密封胶(106)，所述密封胶(106)填充于堵头(101)和钢管(111)的两个端口之间。

4.根据权利要求2所述的高性能集成光学装置，其特征在于，还包括隔离保护层(103)，所述隔离保护层(103)通过粉状物填充于钢管(111)两端的内部。

5.根据权利2至4任意一项所述的高性能集成光学装置，其特征在于，还包括灌于钢管(111)的两个端口的硅胶(110)。

6.一种权利要求1至5任意一项所述的高性能集成光学装置的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

包胶固化步骤，首先将分路膜片(108)采用紫外线胶水固定在第一自聚焦透镜(104)平面上，将波分复用膜片(109)采用紫外线胶水固定在第二自聚焦透镜(114)平面上，紫外线胶水的固定方式为四周点胶；然后对分路器构件和波分复用构件进行参数调试；最后通过紫外线胶水分别将调试好的第一双纤尾纤(102)和第一自聚焦透镜(104)以及第二双纤尾纤(113)和第二自聚焦透镜(114)固定；

隔离芯固定步骤，制作隔离芯构件(105)，所述隔离芯构件(105)包括旋光片、楔角片、补偿片和磁环，然后将隔离芯构件(105)固定在玻璃管(107)中间；

组装步骤，在玻璃管(107)的两端分别插入第一自聚焦透镜(104)和第二自聚焦透镜(114)，所述第一自聚焦透镜(104)、玻璃管(107)和第二自聚焦透镜(114)之间通过参数耦合实现集成；

封装步骤，将组装步骤后的高性能集成光学装置穿入钢管(111)内，钢管(111)的两端内部填充粉状物；

首次密封步骤，将钢管(111)的两端安装堵头(101)。

7.根据权利要求6所述的高性能集成光学装置的制备方法，其特征在于，还包括二次密封步骤，所述二次密封步骤在堵头(101)外灌入密封胶。

8.根据权利要求7所述的高性能集成光学装置的制备方法，其特征在于，还包括防护步骤，所述防护步骤在钢管(111)的两个端口灌入硅胶。

9.根据权利要求8所述的高性能集成光学装置的制备方法，其特征在于，对所述分路膜片(108)和第一自聚焦透镜(104)的交界处四周进行紫外线胶水包裹固化，对所述波分复用膜片(109)和第二自聚焦透镜(114)的交界处四周进行紫外线胶水包裹固化。