CN103187226A - 一种100kvr能量检测装置 - Google Patents

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Abstract

一种100KVR能量检测装置，包括：绝缘盖(1)、绝缘筒(2)、PCB板(3)、紧固螺钉(4)、底座板(5)、沉头十字螺钉(6)、沉头引出头(7)和印制板固定件(8)。其特征在于，绝缘盖(1)和底座板(5)通过十字沉头螺钉(6)与绝缘筒(2)相连，印制板固定件(8)和紧固螺钉(4)将PCB板(3)固定在绝缘筒(2)内，引出头(8)固定在PCB板(3)上。说明书对装置工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。

Description

一种100KVR能量检测装置
技术领域
本发明涉及一种涉及一种100KVR能量检测装置，特别地涉及一种用于离子注入机的能量检测装置。
背景技术
随着半导体器件集成度越来越高，半导体工艺设备越来越复杂，对离子源的的束流要求也越来越高。在半导体制造工艺设备离子注入机中，注入离子的能量是进行离子注入时需要准确控制的关键参数。高电压可以直接用静电高压计进行测量，但这很不方便，也不够安全。应用于离子注入机的常规测量，一般是采用一组高值电阻，通过测量高电压通过高值电阻的电流来实现，这种方法的测量电流表处于地电位，可直接连接到控制台上，方便观察。
发明内容
针对现有半导体工艺中离子注入机设备发展的要求，本发明设计了一种用于离子注入机能量检测装置。
本发明通过以下技术方案实现：
一种100KVR能量检测装置，包括：一种100KVR能量检测装置，包括：绝缘盖(1)、绝缘筒(2)、PCB板(3)、紧固螺钉(4)、底座板(5)、沉头十字螺钉(6)、沉头引出头(7)和印制板固定件(8)。
其中所述绝缘盖(1)和底座板(5)通过十字沉头螺钉(6)与绝缘筒(2)相连；其中所述印制板固定件(8)和紧固螺钉(4)将PCB板(3)固定在绝缘筒(2)内；所述引出头(8)固定在PCB板(3)上。
本发明专利具有如下显著优点：
1.结构连接稳定可靠，性能好特点；
2.结构连接操作方便，保证长期工作的可靠稳定性。
附图说明
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。
图1是一种100KVR能量检测装置的剖面图；
图2是绝缘盖剖面图；
图3是沉头引出头剖面图。
具体实施方式
下面结合附图的具体实施例对本发明作进一步介绍，应该理解，这些描述都是说明性的，本发明不限于此。本发明的范围仅由所附权利要求的范围所限定。
图1中示出了一种100KVR能量检测装置，其包括：绝缘盖(1)、绝缘筒(2)、PCB板(3)、紧固螺钉(4)、底座板(5)、沉头十字螺钉(6)、沉头引出头(7)和印制板固定件(8)。
其所述的绝缘盖(1)和底座板(5)通过十字沉头螺钉(6)与绝缘筒(2)相连，印制板固定件(8)和紧固螺钉(4)将PCB板(3)固定在绝缘筒(2)内，所述的引出头(8)固定在PCB板(3)上。
所述PCB板(3)采用3mm厚的环氧覆铜板，其长为471mm，宽为98mm；
图2是所述绝缘盖(1)的剖面图，沉头十字螺钉(6)通过沉孔(701)固定在绝缘筒上；引出头过孔(102)用于固定及穿过沉孔引出头(7)。
图3是所述沉孔引出头的剖面图，引出头固定孔(701)上端为沉头开孔，下端为带螺纹的过孔，PCB板(3)插入沉孔引出头狭缝(702)，再通过十字沉头螺钉(6)插入引出头固定孔(701)将其固定在PCB板(3)上。
本发明100KVR能量检测装置结构连接稳定可靠，性能好；同时结构连接操作方便，保证长期工作的可靠稳定性，满足离子注入机高可靠性高标准要求。
本发明的特定实施例已对本发明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，或者惯用手段的直接替换，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。

Claims (2)

1.一种100KVR能量检测装置，包括：绝缘盖(1)、绝缘筒(2)、PCB板(3)、紧固螺钉(4)、底座板(5)、沉头十字螺钉(6)、沉头引出头(7)和印制板固定件(8)。
2.如权力要求1所述的一种100KVR能量检测装置，其特征在于，其中所述绝缘盖(1)和底座板(5)通过十字沉头螺钉(6)与绝缘筒(2)相连；其中所述印制板固定件(8)和紧固螺钉(4)将PCB板(3)固定在绝缘筒(2)内；所述引出头(8)固定在PCB板(3)上。
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