CN103175582B - 流体计量方法和装置 - Google Patents

Abstract

公开了一种流体计量方法和装置，该方法包括：在流体流经计量装置时，以预定采样周期，从流量传感器获取输出电压值，从密度传感器获取流体的密度信息，根据质量流速‑流量传感器输出电压值的关系曲线，获得与电压值对应的质量流速，并根据质量流速和密度信息，计算当前采样周期上的流体流量和体积。对至少两个采样周期期间流经计量装置的流体的总质量和/或总体积进行累积，并用累积的总质量和/或总体积来更新计量装置中先前记录的质量和/或体积数据。根据本发明实施例的流体计量方法和装置，能够实时地检测流体的质量流速和密度，获得质量和体积，操作简便，过程清晰，能够兼容现有体积计量模式，并且便于未来向质量计量和热量计量的新标准拓展。

Description

流体计量方法和装置

技术领域

本发明涉及流体计量技术领域，具体涉及能够与传统体积计量方法兼容的流体计量方法和装置。

背景技术

在燃气行业内，传统的机械计量，例如模式表、涡轮、腰轮等仪表占有绝大多数的比例，只有极少量超声波表开始小范围的试用。无论哪种机型，基于机械推动原理的燃气表，在使用过程中不可避免地会因为机械老化而出现精度下降的现象，同时机械装置的推动也会造成压力损失，进而造成计量收费上的损失。根据行业统计，每年因为机械磨损造成的计量损耗占燃气消耗总量的6％以上。以一个中等规模(100万户民用用户，1000个工业用户)的燃气运营企业为例，每年机械损耗造成的计量损失有10亿人民币以上，拓展到整个燃气行业，这个数字会达到上千亿人民币，造成的经济损失触目惊心。

为了应对传统机械计量带来的巨大损失，基于超声波原理的燃气表计和基于MEMS原理的工业流量计开始出现小批量试用，尚未实现完全商用。这两类产品的设计思路分别为：

1)超声波表的原理是超声波的传播速度与所在介质的流动速度相关，通过对被测气体的运动情况进行检测，然后将获得的模拟信号通过导线引出能量介质的传输环境，然后再通过A/D转换和MCU的计算，获得单位时间内通过气体的体积，进而通过积分累加获得通过气体的总量，实现体积计量；

2)用于工业领域内标准气体测量的MEMS流量计，事先使用被测的高纯度标准气体做对比测试，并将测试结果直接存储，然后用于该气体的实时测量。由于被测气体的流速特性已经做了充分地先验测试，因而在严格限制使用范围的前提下，可以达到预定的精度要求。

上述技术方案在用于燃气表的过程中，都存在一些技术缺陷和应用障碍，主要表现在：

1)辅助装置带来的额外成本增加

目前很多能量测量系统中，基于超声波原理的方法和方案得到应用。由于超声波测量装置的工作原理是：首先主动产生一束超声波；超声波在通过被测介质的时候，其传播速度、方向、相位等特性发生变化；再通过一个可检测超声波传播特性的器件，检测上述变化，最后转换为需要的物理量。所以在这类产品中，需要额外增加若干个的超声波发射装置，而这些附加的装置，其成本、尺寸、重量、功耗数据往往会占整个设备的50％以上，降低了产品的成本优势，阻碍了产业化和市场化的推动。

2)体积计量原理在未来的拓展受限问题

从原理上来说，超声波表是一种体积计量的装置，虽然可以适应目前的燃气计量市场需求。然而从国家战略上看，更能反映燃气实际使用状况的质量计量和热值计量在不远的未来一定会成为国家强制标准。所以超声波表无法适应未来这些更加合理和科学的计量需求。

3)被测对象受限和变化跟踪问题

现有的MEMS工业流量计，只在单纯的某种标准气体范围内标定和使用，对于成分复杂且多变的燃气环境，如何跟踪其变化特性，缺乏必要的技术手段，而且对于民用燃气表的小流量的精度也远远不能满足要求。此外，由于工艺、市场、产品性能等问题没有根本解决，目前这种产品仍处于试验阶段，没有得到市场化的推广应用。

因此，需要一种流体计量方法和装置，具有操作简便、过程清晰、误差可控和便于生产等特点，能够兼容现有的体积计量模式，并且便于未来向质量计量和热量计量的新标准拓展。

发明内容

根据本发明示例实施例，提出了一种流体计量方法，包括如下测量步骤：

在流体流经计量装置时，以预定采样周期，

从计量装置的流量传感器获取第一输出信号，第一输出信号指示了流体的质量流速，

从计量装置的密度传感器获取第二输出信号，第二输出信号指示了流体的密度；

根据建立的质量流速-流量传感器输出信号关系曲线，获得与第一输出信号对应的质量流速；以及

根据质量流速和第二输出信号，计算当前采样周期上的流体流量和体积；

对至少两个所述预定采样周期期间流经计量装置的流体的总质量和/或总体积进行累积，并用累积的总质量和/或总体积来更新计量装置中先前记录的质量和/或体积数据。

根据本发明示例实施例，提出了一种流体计量装置，包括：

流量传感器，检测流体的质量流速并输出第一输出信号，第一输出信号指示了流体的质量流速；

密度传感器，检测流体的密度并输出第二输出信号，第二输出信号指示了流体的密度；

存储器，存储建立的质量流速-流量传感器输出信号关系曲线、以及质量和/或体积数据；

测量器，与流量传感器、密度传感器和存储器连接，在流体流经计量装置时，以预定采样周期，从流量传感器获取第一输出信号，从密度传感器获取第二输出信号，根据质量流速-流量传感器输出信号关系曲线，获得与第一输出信号对应的质量流速，并根据质量流速和第二输出信号，计算流体的质量和体积；

测量器还对至少两个所述预定采样周期期间流经计量装置的流体的总质量和/或总体积进行累积，并用累积的总质量和/或总体积来更新存储器中先前存储的质量和/或体积数据。

根据本发明示例实施例的流体计量方法和装置，能够实时地检测流体的质量流速和密度，并获得质量和体积量，操作简便，过程清晰，能够兼容现有的体积计量模式，并且便于未来向质量计量和热量计量的新标准拓展。

附图说明

通过下面结合附图说明本发明的示例实施例，将使本发明的上述及其它目的、特征和优点更加清楚，其中：

图1示出了根据示例实施例的流体计量装置的示例；

图2示出了根据示例实施例的流体计量方法的流程图；

图3示出了根据示例实施例的曲线建立过程的流程图；

图4示出了根据示例实施例的用于曲线建立过程的示例装置；

图5示出了根据示例实施例的测试校准过程的流程图；以及

图6示出了根据示例实施例的密度检测过程的流程图。

具体实施方式

以下参照附图，对本发明的示例实施例进行详细描述，本发明不限于下述示例实施例。为了清楚描述本发明的基本思想，附图中仅示出了与本发明的技术方案密切相关的部件、功能或步骤，并且以下描述中省略了对已知技术、功能、部件或步骤的具体描述。

下文中主要采用MEMS流体计量器装置(例如，MEMS燃气表)作为示例描述本发明示例实施例，但是本领域技术人员可以理解，本发明示例实施例不限于此，而是可以应用于任何其他流体计量装置，例如对蜗轮、腰轮、皮膜表、超声波燃气表等。此外，采用气体(例如燃气或天然气)作为示例进行详细描述，但是本发明示例实施例不限于此，而是可以按照需要应用于多种其他流体或气体。

和传统的机械计量方法相比，MEMS计量技术具有小尺寸，大量程、高精度、高可靠度、低功耗、低成本等显著优势。MEMS(Micro-Electro & Mechanism System)是微机电系统的缩写，主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。此外，由于芯片在生产过程中已经做了器件的老练处理，计算和控制精度会一直保持在较高的水平上，再加上电子计量在原理上比机械方法具有天然的优势，因此基于MEMS的流体计量装置的产品成熟度和市场竞争力逐渐清晰。

MEMS计量装置采用微机电(MEMS)传感器为检测元件，MEMS流量传感器基于MEMS技术，用于实现流体流速测量，能够将流体流速转换为电信号输出，例如转换为电压信号。MEMS流量传感器包括温差式和功率式两种传感原理。无论哪种原理，MEMS流量传感器都能输出与流体质量流速相关的电信号，例如电压。

基于MEMS原理的流量传感器能够感知的是测量表面通过流体的质量流速，并通过在相应时间段上进行积分，得到质量。然而，如果要获得和传统体积计量兼容的结果，就不得不考虑流体的密度因素。

图1示出了根据示例实施例的流体计量装置的示例，该流体计量装置是MEMS计量表10，能够计量例如燃气或天然气等气体，与传统体积计量方法兼容。MEMS计量表10包括流量传感器102、密度传感器104、存储器106和测量器108，其中流量传感器102和密度传感器104是基于MEMS技术的。基于热式MEMS流量检测的原理，流量传感器102的传感检测元件的电压输出与流过表面的流体的质量流速成单调变化关系。因此流量传感器102用来检测例如燃气的质量流速，在一段时间内积分，即可得到该时间段内流过气体的质量。流量传感器102还输出电压值，电压值指示了气体的质量流速。密度传感器104能够感知传感检测元件表面静止气体的密度，并且随着密度的变化输出不同的电压值，作为密度信息。在MEMS计量表10中，密度传感器104和流量传感器102可以共同配合，实现对例如燃气的体积计量。存储器106存储计量所需的参数、以及质量和/或体积数据。存储器106可以任意适合的存储器，例如RAM类型的。计量所需的参数例如可以包括预先建立的质量流速-流量传感器输出电压的关系曲线，由此根据流量传感器的输出电压，可以根据关系曲线获得质量流速，进而获得一段时间上的气体质量。根据示例实施例，该关系曲线可以是利用标准流速设定装置，例如音速喷嘴，通过曲线拟合而建立的。可以多段折线为基础模型，利用最小二乘法进行曲线拟合。这在稍后将更加详细地描述。

测量器108与流量传感器102、密度传感器104和存储器106连接。在例如燃气流经计量装置时，以预定采样周期，从流量传感器102获取输出电压值U，从密度传感器104获取密度信息P，根据存储器中存储的关系曲线，获得与输出电压值U对应的质量流速Q，并根据质量流速Q和密度信息P，计算燃气的质量M和体积V。测量器108还对至少两个预定采样周期期间流经MEMS计量表10的流体的总质量M_sum和/或总体积V_sum进行累积，并用累积的总质量M_sum和/或总体积V_sum来更新存储器中先前存储的质量和/或体积数据。由此，图1所示MEMS计量表10考虑到气体密度因素，实时地检测流速和密度，并计算气体的体积量，这与现有的体积计量技术相兼容，并且向未来的质量计量和热量计量的新标准提供了接口。

图1所示MEMS计量表10还包括温度传感器110，检测气体的温度并输出相应的电压值T，指示流体的温度。测量器108与温度传感器110连接，从温度传感器110获取温度信息T，根据温度信息T指示的温度与标准温度之间的差距，对电压值U和/或密度信息P的温度漂移进行温度补偿。可以采用本领域技术人员熟知的温度补偿或修正方法进行该温度补偿，例如修正后的体积V₁＝测量体积V₀×(P₁×T₀)/(P₀×T₁)，其中P₀，T₀为标准压力和标准温度，P₁，T₁为测量点的实际压力与温度，有关参数可以存储在存储器106中。测量器108利用补偿后的电压值U来获得相应的质量流速Q，以及/或者利用补偿后的密度信息P计算体积。在根据示例实施例的MEMS计量表10中，流量、密度、温度三个MEMS传感器同时使用，既可以满足质量计量的高精度，又能兼容现有的体积计量标准，而温度传感器则使得系统能够对温度变化作出精准的补偿和修正，保证测量的准确性。

本领域技术人员可以理解，图1所示MEMS计量表10还可以包括多个其他部件，例如燃气入口、燃气出口、表计外壳、燃气通道、对各个部件的操作进行控制的控制器、安全控制机构、显示器等等。这里为了清楚起见，仅示出了与本发明实施例有关的部分，本发明实施例的MEMS计量装置不限于上述实施例。此外，测量器108可以多种形式实现，例如数字信号处理器、可编程逻辑器件、微处理器等等，测量器108还可以具有自身的存储机构，用于存储测量计算所需的参数以及计算的中间结果。存储器10也可以包括在测量器108中，作为存储机构。

下面参照图1到6，描述根据示例实施例的流体计量装置的计量方法以及各个相关过程的流程图。

图2示出了根据示例实施例的流体计量方法的流程图。当例如用户使用燃气，燃气流经MEMS计量表10时，该方法200开始。在步骤202，测量器108以预定采样周期，从流量传感器102获取输出电压值U，从密度传感器104获取密度信息P，并从温度传感器110获取温度信息T。在步骤204，测量器108根据温度信息T指示的温度与标准温度之间的差距，对电压值U和/或密度信息P进行温度补偿。在步骤206，测量器108根据存储器106中存储的关系曲线，获得与输出电压值U对应的质量流速Q。例如，如果关系曲线是多段折线，则可以找到电压值U所在的线段，并根据该线段表示的线性关系，计算出相应的流速值Q。在步骤208，根据质量流速Q和密度信息P，计算当前采样周期中流经燃气的质量M和体积V。在至少两个采样周期之后，或者在用户停止使用燃气后，测量器108在步骤210累积得到流经MEMS计量表10的燃气体的总质量M_sum和/或总体积V_sum。在步骤212，测量器108用累积的总质量M_sum和/或总体积V_sum来更新存储器106中先前存储的质量和/或体积数据。方法200结束，MEMS燃气表10的显示器可以显示当前的质量和/或体积数据。

由于MEMS传感元件对于流体的组份、温度和压力等比较敏感，在MEMS计量表在投入实际使用之前，需要针对实际测量的流体，建立待测流体的流量/流速与MEMS流量传感器的信号输出之间的关系曲线，以便使用该MEMS计量表准确地计量待测流体。结合图1所示示例，质量流速-流量传感器输出电压的关系曲线是需要预先建立的，该建立过程包括离线数据采样和离线数据拟合。离线数据采样即事先根据产品工作范围制定致密的采样集，并设置相关装置，例如音速喷嘴，产生对应的气体流速，并记录此时传感器的输出，最后获得多对流速-电压值。音速喷嘴是用于产生并输出标准气体质量流速的装置，利用气体在音速上工作的稳定性质，产生的标准质量流速误差在0.2％以内，一般用于气体质量流量计量设备的标准输入和误差监测。

此外，无论采样数据集如何密集，始终是有限的离散点，为了能够准确把握任何流速，同时降低软件的数据存储需求，需要进行离线数据拟合，将很多离散的采样点拟合为曲线。根据本发明示例实施例，可以基于多段折线模型，采用最小二乘法实现曲线拟合，比起非线性的高阶曲线，运算复杂度最低。

图3示出了根据示例实施例的曲线建立过程的流程图300。在步骤302，利用音速喷嘴产生至少两个气体质量流速值Q，并采集MEMS流量传感器的对应的至少两个电压值U。这里，采样数据的个数可以根据需要和/或经验设定，例如可以个数可以为40。在步骤304，对采样数据进行预处理，包括但不限于记录排除野值、数据平均、温度补偿等。在步骤306，设置误差门限＝δ，拟合线段数目K＝1，并设定该段折线的曲线拟合函数，例如高阶多项式或者分段线性法。在步骤308，将流速值Q代入拟合函数，计算相应的电压值U。在步骤310，利用最小二乘法统计最大相对误差δ_max，在步骤312，比较δ_max与δ，如果δ_max＞δ，则方法300前进到步骤314，拟合线段数目递增，K＝K+1，并设定该段的曲线拟合函数，即开始另一段折线线段。然后方法300回到步骤308，将误差不满足门限要求的流速值Q代入当前的曲线拟合函数，计算相应的电压值U，并重复步骤310和312。如果δ_max≤δ，则方法300前进到步骤316，拟合结果满足误差门限要求，记录相应的流速-电压数据对。

上述方法300可以采用自动曲线拟合的软件来实现，直到所有流速值或电压值上的拟合误差都满足误差门限为止。这样，对每一个流速值，能够科学准确地计算传感器电压输出值，得到流速-电压对应关系。

图4示出了根据示例实施例的用于曲线建立过程的示例数据采样装置40，该采样装置40包括标准气体流速产生装置，例如音速喷嘴。可以利用计算机(例如PC)对音速喷嘴NOZZ进行配置，音速喷嘴接收气体输入INPUT，产生至少两个不同流速值的气体。将每个流速值的气体通过MEMS流量传感器MEMS_SES，同时在数字信号处理板DSP上记录该流速值上的传感器电压输出信号，并将电压输出信号传输至PC。在PC上运行的自动采样软件控制音速喷嘴NOZZ的工作状态与数字信号处理板DSP记录数据之间的同步，得到每个流速值上的至少两个传感器电压采样值。这里，为了保证记录数据的准确，每个流速值上的电压采样值要有一定的数量，才能准确反映流速-电压的变化关系。如图4所示，PC的通信端口COM1经由RS232标准线与音速喷嘴相连，PC的通信端口COM2经由RS232标准线与数字信号处理板DSP的UART接口相连。MEMS流量传感器与数字信号处理板DSP之间可以通过任何适宜的模拟连接相连。这里所示采样装置40仅是示例，本发明实施例不限于此。

在MEMS计量表上线实际测量之前，或者在MEMS计量表已经工作一段时间之后，可以在线地对MEMS计量表进行测试校对。图5示出了根据示例实施例的测试校准过程的流程图500。在步骤502，利用标准体积量设定装置设置至少两个标准体积量V_ref。这里，标准体积量设定装置例如可以是钟罩。

钟罩是用于产生标准体积量的气体输入装置，用于气体流量计的计量误差分析和质量鉴定。在技术监督局的计量鉴定过程中，设置钟罩的输气口径得到一系列流量值，并设定流经气体的标准体积值。计量结束后，将标准体积量与计量装置(例如燃气表)的计量结果比较，得到鉴定设备在该流量点上的计量误差。所有规定流量点上的计量误差满足误差门限，则通过鉴定，否则视为不合格的计量产品。

在步骤504，使至少两个标准体积量V_ref的流体分别流经MEMS计量表，获取对应的至少两个电压值U，并且获得密度信息P。

在步骤506，根据流速-电压值拟合曲线，获得与电压值U对应的流速值Q，并根据质量流速值Q和密度信息P，累积计算流体的体积V。

在步骤508，计算各个流体体积V与相应的标准体积量V_ref之间的误差，并选择其误差大于预定误差门限的流速值Q，作为校准点。

在步骤510，针对一个校准点，对其流速值Q所在的曲线线段进行修正，使得误差不大于预定误差门限。

在步骤512，判断是否是最后一个校准点。如果是最后一个校准点，则在步骤514记录修正后的曲线线段函数、或者相应的流速值Q和电压值U。如果不是最后一个校准点，则在步骤516选择下一校准点，并且方法500返回到步骤510。

执行上述方法500，直到所有误差都符合误差门限要求。MEMS计量表的在线测试校准进一步提高了MEMS计量表的计量精度，并且该测试校准过程的大部分步骤与实际测量过程类似，操作简单、方便。

以上所述的离线数据采样、曲线拟合以及在线测试校准过程可操作性强，适合模型未知的MEMS计量原理及产品开发。对于一致性良好的MEMS工艺来说，例如对于同一批次的MEMS器件，离线采样、曲线拟合、参数校准可以只做一次，存储和利用相同的参数，这大大降低了表计参数计算周期，而通过小比例的抽检即可满足整批产品的质量要求。

和流量检测类似，MEMS器件对于密度的感知，也缺乏准确的理论和技术模型。因此也需要根据MEMS计量表的实际工作范围(比如空气和天然气的密度区间)，配比若干种不同密度的气体，并检测不同气体的密度传感器输出电压，建立密度-电压曲线。这样，在实际测量过程中，根据密度传感器的电压输出，反向推算出被测气体的密度，用于实现质量到体积的换算。

图6示出了根据示例实施例的密度检测过程的流程图600。该密度检测过程600可应用于MEMS计量表10的密度传感器104。在步骤602，根据MEMS计量表10的工作范围，配比至少两个不同密度的燃气。在步骤604，使每个密度的燃气流经MEMS计量表10，并检测密度传感器104的输出电压值，由此获得至少两个密度与电压值对。在步骤606，根据至少两个密度与电压值对，建立密度-电压值关系曲线。这里，可以通过曲线拟合，例如利用拟合曲线函数和最小二乘法，建立密度-电压值关系曲线。在步骤608，在MEMS计量表10的存储器中记录或存储建立的关系曲线。

这样，MEMS计量表10进行测量时，在计算燃气体积时，可以根据密度-电压值关系曲线，获得与密度传感器104输出的密度信息P(即指示了当前密度的电压值)对应的密度，以利用质量和获得的密度来计算燃气体积。这实现了MEMS计量表10的密度跟踪功能，可以进一步提高质量到体积的换算的精确性。

以上所述是本发明的示例实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (12)

1.一种流体计量方法，包括如下测量步骤：

在流体流经计量装置时，以预定采样周期，

从计量装置的流量传感器获取第一输出信号，第一输出信号指示了流体的质量流速，

从计量装置的密度传感器获取第二输出信号，第二输出信号指示了流体的密度；

根据建立的质量流速-流量传感器输出信号关系曲线，获得与第一输出信号对应的质量流速；以及

根据质量流速和第二输出信号，计算当前采样周期上的流体流量和体积；

对至少两个所述预定采样周期期间流经计量装置的流体的总质量和/或总体积进行累积，并用累积的总质量和/或总体积来更新计量装置中先前记录的质量和/或体积数据；

在所述测量步骤之前，还包括如下校准步骤：

利用标准体积量设定装置设置至少两个标准体积量；

使每个标准体积量的流体流经计量装置，获取对应的第一和第二输出信号，根据所述质量流速-流量传感器输出信号关系曲线，获得与第一输出信号对应的质量流速，并根据质量流速和第二输出信号，计算流体的质量和体积；

计算各个流体体积与相应的标准体积量之间的误差；以及

如果误差大于预定误差门限，根据该误差对关系曲线进行修正，使得误差均不大于预定误差门限；

其中，在测量步骤中获得质量流速时，利用修改后的质量流速-流量传感器输出关系曲线。

2.根据权利要求1所述的方法，在获得质量流速之前，还包括：

从计量装置的温度传感器获取第三输出信号，第三输出信号指示流体的温度，

根据第三输出信号指示的温度与标准温度之间的差距，对第一输出信号和/或第二输出信号进行温度补偿；

其中，在获得质量流速时利用补偿后的第一输出信号；以及/或者在计算流体体积时利用补偿后的第二输出信号。

3.根据权利要求1所述的方法，在测量步骤之前，还包括如下曲线建立步骤：

利用标准流速设定装置设置至少两个流速值；

在流体以各个流速值流经计量装置时，获取对应的至少两个第一输出信号；以及

根据各个流速值和对应的第一输出信号，进行曲线拟合，建立所述质量流速-流量传感器输出信号关系曲线。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，以多段折线为基本模型进行曲线拟合。

5.根据权利要求1所述的方法，在测量步骤之前，还包括如下密度检测步骤：

根据计量装置的工作范围，配比至少两个不同密度的流体；

使每个密度的流体流经计量装置，并检测密度传感器的相应的第二输出信号；以及

根据所述至少两个不同密度和相应的至少两个第二输出信号，建立密度-密度传感器输出信号关系曲线；

在测量步骤中计算流体体积时，根据密度-密度传感器输出信号关系曲线获得与第二输出信号对应的密度，以利用质量和获得的密度来计算流体体积。

6.一种流体计量装置，包括：

流量传感器，检测流体的质量流速并输出第一输出信号，第一输出信号指示了流体的质量流速；

密度传感器，检测流体的密度并输出第二输出信号，第二输出信号指示了流体的密度；

存储器，存储建立的质量流速-流量传感器输出信号关系曲线、以及质量和/或体积数据；

测量器，与流量传感器、密度传感器和存储器连接，在流体流经计量装置时，以预定采样周期，从流量传感器获取第一输出信号，从密度传感器获取第二输出信号，根据质量流速-流量传感器输出信号关系曲线，获得与第一输出信号对应的质量流速，并根据质量流速和第二输出信号，计算流体的质量和体积；

测量器还对至少两个所述预定采样周期期间流经计量装置的流体的总质量和/或总体积进行累积，并用累积的总质量和/或总体积来更新存储器中先前存储的质量和/或体积数据；

质量流速-流量传感器输出信号关系曲线是利用标准体积量设定装置进行误差修正后的拟合曲线。

7.根据权利要求6所述的装置，还包括：

温度传感器，检测流体的温度并输出第三输出信号，第三输出信号指示流体的温度；

其中，测量器与温度传感器连接，从温度传感器获取第三输出信号，根据第三输出信号指示的温度与标准温度之间的差距，对第一输出信号和/或第二输出信号进行温度补偿；

其中，测量器在获得质量流速时利用补偿后的第一输出信号，以及/或者在计算流体体积时利用补偿后的第二输出信号。

8.根据权利要求6所述的装置，其中，质量流速-流量传感器输出信号关系曲线是利用标准流速设定装置，通过曲线拟合而建立的。

9.根据权利要求8所述的装置，其中，质量流速-流量传感器输出信号关系曲线是拟合的多段折线。

10.根据权利要求6所述的装置，其中，测量器利用建立的密度-密度传感器输出信号关系曲线获得与第二输出信号对应的密度，以利用质量和获得的密度来计算流体体积。

11.根据权利要求10所述的装置，其中，针对至少两个不同密度的流体，测量器从密度传感器获取相应的至少两个第二输出信号，并建立密度-密度传感器输出信号关系曲线。

12.根据权利要求6所述的装置，其中，该流体计量装置是基于MEMS技术的。