CN103144436A - 一种喷头清洗装置及清洗方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种喷头清洗装置及清洗方法，用于清洗一喷头，所述喷头具有一进口和一出口，所述装置包括：第一容器，装有第一清洗液，所述喷头置于所述第一容器中，所述出口位于所述第一清洗液的液面下；第二容器，装有第二清洗液，所述第二容器具有一接口；清洗液管，连接于所述第二容器和所述进口之间；以及正负压切换装置，连接于所述接口，使得所述第二容器的内部气压在负压与正压之间切换，其中，所述负压小于大气气压。

Description

一种喷头清洗装置及清洗方法

技术领域

本发明涉及流体流动控制技术领域，尤其涉及一种喷头清洗装置及清洗方法。

背景技术

在喷墨印刷领域，大型喷墨印刷装置所使用的喷头，价格都比较昂贵，且喷头的使用状态对印刷品质量具有直接影响。而在喷头的使用过程中，墨水可能在喷头内部固化，其他杂质也有可能进入喷头，使得喷头无法正常工作。如果不针对喷头进行有效的清洗，问题将无法消除，结果只能将喷头直接丢弃，这将造成极大的成本负担。为了避免喷头的过多更换、节约成本，需要对问题喷头进行有效的清洗，一般的方法是采用清洗液对喷头内部进行清洗，一方面清洗液可以溶解已经固化的墨水，另一方面也可以带走喷头内的杂质。

然而现有技术中的清洗装置的共同特点就是清洗液在喷头中的流动方向始终是单向的，对于特定结构的喷头或堵塞严重的喷头，无法将喷头内部完全清洗干净。

发明内容

本发明提供一种喷头清洗装置及清洗方法，用以解决现有技术中存在的无法将喷头内部完全清洗干净的问题。

本发明一方面提供了一种喷头清洗装置，用于清洗一喷头，所述喷头具有一进口和一出口，所述装置包括：第一容器，装有第一清洗液，所述喷头置于所述第一容器中，所述出口位于所述第一清洗液的液面下；第二容器，装有第二清洗液，所述第二容器具有一接口；清洗液管，连接于所述第二容器和所述进口之间；以及正负压切换装置，连接于所述接口，使得所述第二容器的内部气压在负压与正压之间切换，其中，所述负压小于大气气压。

优选地，所述装置还包括：第一液位传感器，置于所述第一容器中，用于测量所述第一清洗液的液位；以及第二液位传感器，置于所述第二容器中，用于测量所述第二清洗液的液位。

优选地，所述装置还包括：泵，连接于所述第一容器与所述第二容器之间，根据所述第一液位传感器和所述第二液位传感器测量的液位信息进行开启与关闭。

优选地，所述泵包括第一泵和第二泵，所述装置还包括：第一过滤器，连接于所述第一泵与第一容器之间；第二过滤器，连接于所述第二泵与第二容器之间，其中，当所述第一液位传感器测量所述第一清洗液的液位低于第一阈值，且所述第二液位传感器测量所述第二清洗液的液位高于第二阈值时，所述第一泵和所述第一过滤器工作；当所述第一液位传感器测量所述第一清洗液的液位高于第三阈值，且所述第二液位传感器测量所述第二清洗液的液位低于第四阈值时，所述第二泵和所述第二过滤器工作。

优选地，所述第一泵的输出流量大于所述第一清洗液被吸入所述喷头内的流量；所述第二泵的输出流量大于第二清洗液被压入所述喷头内的流量。

优选地，所述装置还包括：第三容器，装有第三清洗液；泵，连接于所述第三容器与所述第二容器之间，当所述第二液位传感器测量所述第二清洗液的液位低于第五阈值时，所述泵开启。

优选地，所述装置还包括过滤器，连接于所述泵与所述第二容器之间。

优选地，所述第一清洗液和所述第二清洗液为相同的清洗液，或，所述第一清洗液和所述第二清洗液为不相同的清洗液且所述第一清洗液和所述第二清洗液互相不发生化学反应。

优选地，所述清洗液管具有一个总支及两个分支，所述总支连接于所述进口，所述装置还包括：第一流体开关，设置在所述两个分支中的一个分支上；第二流体开关，设置在所述两个分支中的另一个分支上；其中，当所述第二容器的内部气压处于负压时，所述第一流体开关开启，所述第二流体开关关闭；当所述第二容器内部气压处于正压时，所述第一流体开关关闭，所述第二流体开关开启。

优选地，所述清洗装置还包括：第一过滤器，连接于所述第一流体开关和所述第二容器之间；第二过滤器，连接于所述第二流体开关和所述第一容器之间。

本发明另一方面提供一种喷头清洗方法，用于清洗一喷头，所述喷头具有一进口和一出口，所述喷头置于一装有第一溶液的第一容器中，所述出口位于第一清洗液的液面下；第二容器，装有第二清洗液，所述第二容器具有一接口，一清洗液管连接于所述第二溶液和所述进口之间，以及正负压切换装置，连接于所述接口，使得所述第二容器的内部气压在负压与正压之间切换，其中，所述负压小于大气气压，所述方法包括：切换所述第二容器的内部气压为正压，所述第二清洗液通过所述清洗液管压入所述喷头中，再从所述出口流入所述第一容器中；以及切换所述第二容器的内部气压为负压，所述第一清洗液通过所述出口吸入所述喷头中，再通过清洗液管流入所述第二容器中。

优选地，所述方法还包括：测量所述第一清洗液的液位；测量所述第二清洗液的液位；以及根据测量的所述第一清洗液的液位信息和所述第二清洗液的液位信息调整所述第一清洗液的液位和所述第二清洗液的液位。

优选地，所述调整所述第一清洗液的液位和所述第二清洗液的液位具体为：当所述第一清洗液的液位低于第一阈值，且所述第二清洗液的液位高于第二阈值时，将所述第二清洗液输入所述第一容器中；以及当所述第一清洗液的液位高于第三阈值，且所述第二清洗液的液位低于第四阈值时，将所述第一清洗液输入所述第二容器中。

优选地，所述调整所述第一清洗液的液位和所述第二清洗液的液位具体为：当所述第一清洗液的液位低于第五阈值时，将第三清洗液输入所述第二容器中。

优选地，调节所述正压的大小，以控制所述第二清洗液流经所述喷头的流速。

优选地，所述方法还包括：调节所述负压的大小，以控制所述第一清洗液流经所述喷头的流速。

优选地，所述方法还包括：自动切换所述第二容器的内部气压为所述正压或所述负压。

优选地，所述方法还包括：调整所述自动切换的时间间隔。

优选地，所述第一清洗液与所述第二清洗液为相同清洗液，或，所述第一清洗液与所述第二清洗液为不相同的清洗液且所述第一清洗液与所述第二清洗液互相不发生化学反应。

优选地，所述第一清洗液、所述第二清洗液与所述第三清洗液为相同清洗液，或，所述第一清洗液、所述第二清洗液与所述第三清洗液为不相同的清洗液且所述第一清洗液、所述第二清洗液与所述第三清洗液互相不发生化学反应。

本发明有益效果如下：

本发明一实施例采用正负压切换装置切换第二容器的内部气压为正压或负压，当为正压时，第二容器内的清洗液从进墨口流入喷头，再从喷嘴流入第一容器中，当为负压时，第一容器内的清洗液经喷嘴吸入喷头中，再从进墨口流入第二容器中，实现了双向清洗喷头。

进一步，本发明一实施例中还在第一容器内与第二容器内安装了液位传感器，用于测量清洗液的液位，当液位低于一阈值时，补充清洗液，使得清洗液的液位维持在一定高度上。

更进一步，本发明一实施例中，在第一容器与第二容器之间设置泵，当第一容器内的液位低于第一阈值，第二容器内的液位高于第二阈值时，开启泵，清洗液从第二容器中经泵流入第一容器中，反之，清洗液从第一容器流入第二容器中，所以可以不需人工干预，长时间维持清洗液在喷头内的循环流动。

再进一步，当第二容器内的清洗液的液位低于第五阈值时，可从外部补给清洗液到第二容器中。

而且，本发明实施例的方法及装置可实现两个清洗方向的自动切换，并可调节正向清洗和反向清洗的时间比，以达到更好的清洗效果。

附图说明

图1为本发明第一实施例的清洗装置结构图；

图2为本发明第二实施例的清洗装置结构图；

图3为本发明第三实施例的清洗装置结构图；

图4为本发明第四实施例中的清洗装置结构图；

图5为本发明第五实施例中的清洗装置结构图；

图6为本发明一实施例中的清洗方法流程图。

具体实施方式

本发明第一实施例提供一种清洗装置，请参考图1，图1为本实施例中的清洗装置结构图。

如图1所示，该清洗装置用于清洗喷头1，喷头1具有一进口101和一出口102，进口101例如为进墨口，出口102例如为喷嘴。该装置包括第一容器2，装有第一清洗液201，喷头1置于第一容器2中，出口102位于第一清洗液201的液面下；第二容器4，装有第二清洗液401，第二容器4具有一接口403；清洗液管3，连接于第二容器4和进口101之间；以及正负压切换装置12，连接于接口403，使得第二容器4的内部气压在负压与正压之间切换，其中，负压小于大气气压。

第一容器2例如为清洗槽，第二容器4为罐状的容器，第一清洗液201和第二清洗液401可以是相同的清洗液，也可以是不相同的清洗液，当第一清洗液201和第二清洗液401不相同时，第一清洗液201和第二清洗液401相互不发生化学反应。

当正负压切换装置12切换使得第二容器4的内部气压为正压时，即正向清洗时，第二清洗液401通过清洗液管3压入进口101，然后流入喷头1中，再经出口102流入第一容器2中。当正负压切换装置12切换使得第二容器4的内部气压为负压时，即反向清洗时，第一清洗液201经出口102吸入喷头1中，再经进口101、清洗液管3流入第二容器4中。

本实施例中，实现了对喷头1的双向清洗，提高了清洗效率和效果。

请参考图2，图2为本发明第二实施例的清洗装置的结构图。

在第二实施例中，与第一实施例不同的是，清洗装置还包括第一液位传感器202，用来测量第一容器2中第一清洗液201的液位，第二液位传感器402，用来测量第二容器4中的第二清洗液401的液位；进一步，清洗装置还包括第三容器7，装有第三清洗液，泵6连接于第三容器7和第二容器4之间，当第二清洗液401的液位低于一阈值时，泵6开启，将第三容器7中的第三清洗液输入第二容器4中，以及时补充第二容器中的清洗液，实现不需人工干预时，对喷头的长时间清洗，进一步，并且当第一清洗液201的液位也低于另一阈值时，泵6才开启，将第三容器7中的第三清洗液输入第二容器4中。其中该阈值和该另一阈值可以相同也可以不相同，本领域技术人员可以根据实际需要进行设置。

另外，清洗装置还包括过滤器5，该过滤器5具有单向导通特性，当第三清洗液通过泵6流入第二容器4中时，过滤器5可以过滤杂质。

接下来请参考图3，图4为本发明第三实施例中清洗装置的结构图。

如图3所示，在第三实施例中，与第一实施例不同的是，清洗装置还包括第一液位传感器202，用来测量第一容器2中第一清洗液201的液位，第二液位传感器402，用来测量第二容器4中的第二清洗液401的液位；进一步，清洗装置还包括第一泵8，连接于第二容器4和第一容器2之间，第二泵11，同样也连接于第二容器4和第一容器2之间，在第一容器2和第二容器4之间形成两个独立的通道。

当正负压切换装置12切换为负压，即使得第二容器内部的气压为负压，且小于大气压时，第一清洗液201被吸入喷头1中，通过清洗液管3流入第二容器4中，即在反向清洗状态下，第一清洗液201不断流入第二容器4中，所以第一清洗液201的液位会降低，第二清洗液401的液位会升高，所以第一泵8工作在反向清洗状态下，当第一液位传感器202测量第一清洗液201的液位低于第一阈值，例如低于300毫升，且第二清洗液401的液位高于第二阈值时，例如高于500毫升，第一泵8开启，第二清洗液401通过第一泵8流入第一容器2中。

当正负压切换装置12切换为正压，即使得第二容器内部的气压为正压时，第二清洗液401被压入喷头1中，通过喷嘴102流入第一容器2中，即在正向清洗状态下，第二清洗液401不断流入第一容器2中，所以第二清洗液401的液位会降低，第一清洗液201的液位会升高，所以第二泵11工作在正向清洗状态下，当第一液位传感器202测量第一清洗液201的液位高于第三阈值，例如高于500毫升，且第二清洗液401的液位低于第四阈值时，例如低于300毫升，第二泵11开启，第一清洗液201通过第二泵11流入第二容器4中。

其中关于第一阈值、第二阈值、第三阈值和第四阈值的值，本领域技术人员可以根据实际需要进行设置。

其中第一泵8的选择应保证第一泵8的输出流量大于第一清洗液201被吸入喷头1内的流量；第二泵11的选择应保证第二泵11的输出流量大于第二清洗液被压入喷头内的流量，以保证清洗液的长时间循环。

进一步，清洗装置还包括第一过滤器9，连接于第一泵8和第一容器2之间，第二过滤器10，连接于第二泵11和第二容器4之间；第一过滤器9和第二过滤器10都具有单向导通特性，可以过滤杂质，使得清洗液可以长时间使用。

在实际使用中，可以将第二实施例和第三实施例结合起来，这样可以更好的实现对喷头的自动双向清洗。

请参考图4，图4为本发明第四实施例的清洗装置的结构图。

如图4所示，与第一实施例中的清洗装置不相同的是，第四实施例中的清洗装置的清洗液管3包括一个总支和两个分支，总支的一端连接到喷头1的进口101，另一端连接两个分支，其中第一分支上设置有第一流体开关14，第二分支上设置有第二流体开关16，在本实施例中，第一流体开关14和第二流体开关16均为电磁阀，但在其他实施例或实际运用中，本领域技术人员可以选择其他类似的流体开关来代替电磁阀。

当清洗装置工作在反向清洗状态时，第一清洗液201被吸入喷头1中，然后通过清洗管3的总支部分，再通过第一流体开关14流入第二容器4中，而第二流体开关16是关闭的，当清洗装置工作在正向清洗状态时，第二清洗液401通过第二流体开关16被压入喷头1中，然后通过喷嘴102流入第一容器2中，相应的，第一流体开关14处于关闭状态。

进一步，清洗装置还包括反向过滤器13，连接于第一流体开关14和第二容器4之间，用于过滤流往第二容器4中的第一清洗液201中的杂质；正向过滤器15，连接于第二流体开关16和第一容器2之间，用于过滤流往第一容器4的第二清洗液401中的杂质。正向过滤器15和反向过滤器13具有单向导通特性。

接下来请参考图5，图5为本发明第五实施例的清洗装置的结构图。

如图5所示，第五实施例为第二、三、四实施例的清洗装置的结合，该清洗装置具体的工作过程已在前述第二、三、四实施例中作了详细的描述，本领域技术人员可以清楚的了解该清洗装置如何工作，所以为了说明书的简洁，在此不再赘述。

另外，在以上各实施例中，第一清洗液201、第二清洗液401及第三清洗液可以为相同的清洗液，也可以为不同的清洗液，当为不相同的清洗液时，第一清洗液201、第二清洗液401和第三清洗液互相不发生化学反应。

本发明另一实施例还提供了一种清洗方法，该方法可应用于如图1所示的清洗装置。

如图6所示，及一并参考图1，清洗方法包括：

步骤601：切换第二容器4的内部气压为正压，第二清洗液401通过清洗液管3压入喷头1中，再从出口102流入第一容器2中；以及

步骤602：切换第二容器4的内部气压为负压，第一清洗液201通过出口102吸入喷头1中，再通过清洗液管3流入第二容器4中。

其中步骤601和步骤602之间没有顺序限制，可以先进行步骤601也可以先进行步骤602。

该方法还包括测量第一清洗液201的液位和测量第二清洗液的液位401，例如使用液位传感器并根据测量的液位信息调整第一清洗液201和第二清洗液401的液位，具体为，当第一清洗液201的液位低于第一阈值时，例如低于300毫升，且所述第二清洗液401的液位高于第二阈值时，例如高于500毫升，将所述第二清洗液401输入所述第一容器中2中，当第一清洗液201的液位高于第三阈值时，例如高于500毫升，且第二清洗液401的液位低于第四阈值时，例如低于300毫升，将第一清洗液201输入第二容器4中。因此，不需要人工干预，也可以维持对喷头的长时间清洗。

另外，当第二清洗液401的液位低于第五阈值时，例如低于400毫升，将第三清洗液输入第二容器4中，其中第三清洗液容置在一第三容器中，所以可以及时补充第二容器4中的清洗液，实现对喷头1的自动清洗。进一步，并且当第一清洗液201的液位低于第六阈值时，泵6才开启，将第三清洗液输入第二容器4中。

其中关于第一阈值、第二阈值、第三阈值、第四阈值、第五阈值和第六阈值的值，本领域技术人员可以根据实际需要进行设置。

进一步，可以调节正压的大小，进而调节第二清洗液401流经喷头1的流速，正压越大，流速越快，那么清洗的效果也越好；相反的，可以调节负压的大小，进而调节第一清洗液201流经喷头1的流速，负压越小，流速越快，达到的清洗效果就越好。

为了达到自动清洗以及更好的清洗效果，可以自动切换第二容器4的内部气压为正压或负压，可以采取周期性的切换，例如每1分钟切换一次，或者采取成比例的切换方法，例如正压清洗维持2分钟，负压清洗维持1分钟。

在以上各实施例中，第一清洗液201、第二清洗液401及第三清洗液可以为相同的清洗液，也可以为不同的清洗液，当为不相同的清洗液时，第一清洗液201、第二清洗液401和第三清洗液互相不发生化学反应。

另外，在前述描述清洗装置的各实施例时，已详细描述适应各装置的具体清洗方法，前述描述的方法的各种变化形式同样适用于本实施例中的方法，为了说明书的简洁，在此不再详述。

本发明一实施例采用正负压切换装置切换第二容器的内部气压为正压或负压，当为正压时，第二容器内的清洗液从进墨口流入喷头，再从喷嘴流入第一容器中，当为负压时，第一容器内的清洗液经喷嘴吸入喷头中，再从进墨口流入第二容器中，实现了双向清洗喷头。

进一步，本发明一实施例中还在第一容器内与第二容器内安装了液位传感器，用于测量清洗液的液位，当液位低于一阈值时，补充清洗液，使得清洗液的液位维持在一定高度上。

更进一步，本发明一实施例中，在第一容器与第二容器之间设置泵，当第一容器内的液位低于第一阈值，第二容器内的液位高于第二阈值时，开启泵，清洗液从第二容器中经泵流入第一容器中，反之，清洗液从第一容器流入第二容器中，所以可以不需人工干预，长时间维持清洗液在喷头内的循环流动。

再进一步，当第二容器内的清洗液的液位低于第五阈值时，可从外部补给清洗液到第二容器中。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (20)

1.一种清洗装置，用于清洗一喷头，所述喷头具有一进口和一出口，其特征在于，所述装置包括：

第一容器，装有第一清洗液，所述喷头置于所述第一容器中，所述出口位于所述第一清洗液的液面下；

第二容器，装有第二清洗液，所述第二容器具有一接口；

清洗液管，连接于所述第二容器和所述进口之间；以及

正负压切换装置，连接于所述接口，使得所述第二容器的内部气压在负压与正压之间切换，其中，所述负压小于大气气压。

2.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述装置还包括：

第一液位传感器，置于所述第一容器中，用于测量所述第一清洗液的液位；以及

第二液位传感器，置于所述第二容器中，用于测量所述第二清洗液的液位。

3.如权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述装置还包括：

泵，连接于所述第一容器与所述第二容器之间，根据所述第一液位传感器和所述第二液位传感器测量的液位信息进行开启与关闭。

4.如权利要求3所述的清洗装置，其特征在于，所述泵包括第一泵和第二泵，所述装置还包括：

第一过滤器，连接于所述第一泵与第一容器之间；

第二过滤器，连接于所述第二泵与第二容器之间，其中，当所述第一液位传感器测量所述第一清洗液的液位低于第一阈值，且所述第二液位传感器测量所述第二清洗液的液位高于第二阈值时，所述第一泵和所述第一过滤器工作；当所述第一液位传感器测量所述第一清洗液的液位高于第三阈值，且所述第二液位传感器测量所述第二清洗液的液位低于第四阈值时，所述第二泵和所述第二过滤器工作。

5.如权利要求4所述的清洗装置，其特征在于，所述第一泵的输出流量大于所述第一清洗液被吸入所述喷头内的流量；所述第二泵的输出流量大于第二清洗液被压入所述喷头内的流量。

6.如权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述装置还包括：

第三容器，装有第三清洗液；

泵，连接于所述第三容器与所述第二容器之间，当所述第二液位传感器测量所述第二清洗液的液位低于第五阈值时，所述泵开启。

7.如权利要求6所述的清洗装置，其特征在于，所述装置还包括过滤器，连接于所述泵与所述第二容器之间。

8.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述第一清洗液和所述第二清洗液为相同的清洗液，或，所述第一清洗液和所述第二清洗液为不相同的清洗液且所述第一清洗液和所述第二清洗液互相不发生化学反应。

9.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗液管具有一个总支及两个分支，所述总支连接于所述进口，所述装置还包括：

第一流体开关，设置在所述两个分支中的一个分支上；

第二流体开关，设置在所述两个分支中的另一个分支上；其中，当所述第二容器的内部气压处于负压时，所述第一流体开关开启，所述第二流体开关关闭；当所述第二容器内部气压处于正压时，所述第一流体开关关闭，所述第二流体开关开启。

10.如权利要求9所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括：

反向过滤器，连接于所述第一流体开关和所述第二容器之间；

正向过滤器，连接于所述第二流体开关和所述第一容器之间。

11.一种清洗方法，用于清洗一喷头，所述喷头具有一进口和一出口，所述喷头置于一装有第一溶液的第一容器中，所述出口位于第一清洗液的液面下；第二容器，装有第二清洗液，所述第二容器具有一接口，一清洗液管连接于所述第二溶液和所述进口之间，以及正负压切换装置，连接于所述接口，使得所述第二容器的内部气压在负压与正压之间切换，其中，所述负压小于大气气压，其特征在于，所述方法包括：

切换所述第二容器的内部气压为正压，所述第二清洗液通过所述清洗液管压入所述喷头中，再从所述出口流入所述第一容器中；以及

切换所述第二容器的内部气压为负压，所述第一清洗液通过所述出口吸入所述喷头中，再通过清洗液管流入所述第二容器中。

12.如权利要求11所述的清洗方法，其特征在于，所述方法还包括：

测量所述第一清洗液的液位；

测量所述第二清洗液的液位；以及

根据测量的所述第一清洗液的液位信息和所述第二清洗液的液位信息调整所述第一清洗液的液位和所述第二清洗液的液位。

13.如权利要求12所述的清洗方法，其特征在于，所述调整所述第一清洗液的液位和所述第二清洗液的液位具体为：

当所述第一清洗液的液位低于第一阈值，且所述第二清洗液的液位低于第二阈值时，将所述第二清洗液输入所述第一容器中；以及

当所述第一清洗液的液位高于第三阈值，且所述第二清洗液的液位低于第四阈值时，将所述第一清洗液输入所述第二容器中。

14.如权利要求12所述的清洗方法，其特征在于，所述调整所述第一清洗液的液位和所述第二清洗液的液位具体为：当所述第一清洗液的液位低于第五阈值时，将第三清洗液输入所述第二容器中。

15.如权利要求11所述的清洗方法，其特征在于，所述方法还包括：调节所述正压的大小，以控制所述第二清洗液流经所述喷头的流速。

16.如权利要求11所述的清洗方法，其特征在于，所述方法还包括：调节所述负压的大小，以控制所述第一清洗液流经所述喷头的流速。

17.如权利要求11所述的清洗方法，其特征在于，所述方法还包括：

自动切换所述第二容器的内部气压为所述正压或所述负压。

18.如权利要求17所述的清洗方法，其特征在于，所述方法还包括：调整所述自动切换的时间间隔。

19.如权利要求11、12、13、15、16、17或18所述的清洗方法，其特征在于，所述第一清洗液与所述第二清洗液为相同清洗液，或，所述第一清洗液与所述第二清洗液为不相同的清洗液且所述第一清洗液与所述第二清洗液互相不发生化学反应。

20.如权利要求14所述的清洗方法，其特征在于，所述第一清洗液、所述第二清洗液与所述第三清洗液为相同清洗液，或，所述第一清洗液、所述第二清洗液与所述第三清洗液为不相同的清洗液且所述第一清洗液、所述第二清洗液与所述第三清洗液互相不发生化学反应。

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