CN103132052B - 一种用于反应源瓶的取放装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于反应源瓶的取放装置，包括：两枚调整螺柱和调整支撑板，调整螺柱与调整支撑板螺纹连接，通过调节调整螺柱的螺纹位置控制调整支撑板的升降；还包括导向轴套、导向轴、导向轴固定螺钉，导向轴套套装在导向轴上，导向轴在导向轴套内滑动，导向轴固定螺钉用于固定导向轴；还包括导轨、导轨固定板和导轨支撑板，能够在松开反应源瓶接口连接后，对调整螺柱进行调节，拉动导轨固定板轻松移出反应源瓶，还可以减少移出过程中由于操作不当对接口处的破坏影响，通过平稳的导轨将反应源瓶滑出也对反应源瓶内流体起到积极的紊流作用，更有利于对反应源瓶的安装及维护要求，具有结构完善、整体性强、控制灵活、调节效果好等优点。
Description
技术领域
本发明涉及半导体设备的安装工艺领域，尤其涉及一种用于反应源瓶的取放装置。
背景技术
目前半导体工艺设备上使用的反应源瓶大多是采用直接安装式的结构，在工艺结束且反应源瓶需要更换时，需要对反应源瓶进行拆卸及更换。但是直接安装式在取放反应源瓶和接口保护上有一定的局限性，因为这种直接安装式的结构很难将反应源瓶轻易拆卸并取出更换，进一步由于反应源瓶口采用硬联接方式，虽拧松后可拆卸源瓶，但直接拆除对联接的接口破坏影响极大，而对于多复合管路连接，直接安装式的结构已经不能满足正常安装的需求。
发明内容
（一）要解决的技术问题
针对上述缺陷，本发明要解决的技术问题是如何将反应源瓶平稳移出，减少联接接口处的破坏与磨损。
（二）技术方案
为解决上述问题，本发明提供了一种用于反应源瓶的取放装置，所述取放装置包括：两枚调整螺柱和调整支撑板；
所述两枚调整螺柱分别在所述反应源瓶的两侧，并且所述调整螺柱与所述调整支撑板螺纹连接，通过调节所述调整螺柱的螺纹位置控制所述调整支撑板的升降，进而调节所述反应源瓶的升降位置。
优选地，所述取放装置还包括导向轴套、导向轴，所述导向轴套具有弹塑特性，且所述导向轴套套装在所述导向轴上，所述导向轴在 所述导向轴套内滑动；
所述导向轴套固定在所述调整支撑板的固定孔内，调节所述调整螺柱的不同螺纹位置时所述导向轴套被不同程度的压缩。
优选地，所述取放装置还包括两枚导向轴固定螺钉，分别在所述反应源瓶的两侧，且与所述两枚调整螺钉在所述反应源瓶的底部外侧间隔均匀分布，用于固定所述导向轴。
优选地，所述取放装置还包括导轨、导轨固定板和导轨支撑板，所述导轨分为上、下两片，所述导轨的上片安装在所述导轨固定板的下侧，所述导轨的下片安装在所述导轨支撑板的上侧。
优选地，所述导轨固定板与所述导向轴固定螺钉螺纹连接，使得所述导轨固定板与所述调整支撑板形成固定连接，所述导轨固定板的上侧与所述导向轴套固定连接。
优选地，所述取放装置还包括隔热盘，所述隔热盘与所述反应源瓶的底部紧密连接，所述隔热盘通过螺纹连接装在所述调整支撑板上，使得移动所述调整支撑板时间接带动所述反应源瓶的移动。
优选地，所述隔热盘、所述调整支撑板、所述导轨固定板、所述导轨和所述导轨支撑板按从上向下的顺序分布。
优选地，所述取放装置还包括导向轴防液台和调整螺柱防液台，用于防止所述反应源瓶中泄漏的液体流进所述导向轴和所述调整螺柱，所述导向轴防液台位于所述导向轴周围，所述调整螺柱防液台位于所述调整螺柱周围。
优选地，所述取放装置还包括接液盘和排液器，用于当反应源瓶中有液体泄漏时所述接液盘用来承接泄露的液体，并通过所述排液器进行排液。
优选地，所述接液盘上设有监测器和报警器，所述监测器用于检测所述接液盘上是否有泄漏的液体，如果有，则所述报警器发出警报。
（三）有益效果
本发明提出了一种用于反应源瓶的取放装置，能够在松开反应源瓶接口连接后，对调整螺柱进行调节，拉动导轨固定板轻松移出反应源瓶，还可以减少移出过程中由于操作不当对接口处的破坏影响，通过平稳的导轨将反应源瓶滑出也对反应源瓶内流体起到积极的紊流作用，更有利于对反应源瓶的安装及维护要求。
附图说明
图1为一种用于反应源瓶的取放装置的整体组成结构示意图；
图2为一种用于反应源瓶的取放装置中的调整结构剖视图；
图3为一种用于反应源瓶的取放装置中的导向轴结构剖视图。
其中各编号代表结构如下：
1、反应源瓶，2、源瓶控温套，3、隔热盘，4、调整螺柱，5、调整支撑板，6、调整螺柱防液台，7、接液盘，8、导轨固定板，9、导轨支撑板，10、导向轴，11、导向轴套，12、导向轴防液台，13、导轨，14、导向轴固定螺钉，15、排液器。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
本发明实施例中提供了一种用于反应源瓶的取放装置，整体组成结构如图1所示，包括以下结构：
调整螺柱4和调整支撑板5，其中调整螺柱4需要两枚，分别在反应源瓶1的两侧。调整螺柱4与调整支撑板5螺纹连接，通过调节调整螺柱4的螺纹位置控制调整支撑板5的升降，进而调节反应源瓶1的升降位置。调整螺柱4周围有调整螺柱防液台6，用于防止反应源瓶1中泄漏的液体流进调整螺柱4，调整螺柱4的下端与导轨固定板8连接，调整结构剖视图如图2所示。
本实施例提供的用于反应源瓶的取放装置还包括导向轴套11、导向轴10，导向轴套11是由特殊材质制成的，具有弹塑特性，且导向轴套11套装在导向轴10上，对调整螺柱4进行调节时，导向轴10在导向轴套11内滑动，同时起到保护支撑的作用，导向轴结构如图3所示。
导向轴套11固定在调整支撑板5的固定孔内，调节调整螺柱4的不同螺纹位置时导向轴套11被不同程度的压缩。
本实施例提供的用于反应源瓶的取放装置还包括：导向轴固定螺钉14，将两枚导向轴固定螺钉14分别安装在在反应源瓶1的两侧，且与两枚调整螺钉4在反应源瓶1的底部外侧间隔均匀分布，用于固定导向轴10。
本实施例提供的用于反应源瓶的取放装置还包括：导轨13、导轨固定板8和导轨支撑板9，导轨13分为上、下两片，导轨13的上片安装在导轨固定板8的下侧，导轨13的下片安装在导轨支撑板9的上侧。导轨固定板8与导向轴固定螺钉14螺纹连接，使得导轨固定板8与调整支撑板5形成固定连接，导轨固定板8的上侧与导向轴套11固定连接。调节调整螺钉4后通过拉动导轨固定板8对反应源瓶1进行整体拖出，同时完成反应源瓶1的拆卸和维护操作。与现有反应源瓶1直接安装式相比较，本实施例提供的取放装置可以有效保护反应源瓶1接口联接，并能通过相应结构控制装置上下导向，可以有效地降低升降过程中装置不平衡对反应源瓶的影响，尽量避免移除反应源瓶过程中对其他部件的影响。
本实施例提供的用于反应源瓶的取放装置还包括：隔热盘3，隔热盘3与反应源瓶1的底部紧密连接，隔热盘3通过螺纹连接装在调整支撑板5上，使得移动调整支撑板5时能够间接带动反应源瓶1的移动。隔热盘3、调整支撑板5、导轨固定板8、导轨13和导轨支撑板9按从上向下的顺序分布。
本实施例提供的用于反应源瓶的取放装置还包括：导向轴防液台12和调整螺柱防液台6，用于防止反应源瓶1中泄漏的液体流进导向轴10和调整螺柱4，导向轴防液台12位于导向轴10周围，调整螺柱防液台6位于调整螺柱4周围。
本实施例提供的用于反应源瓶的取放装置还包括：接液盘7和排液器15，用于当反应源瓶1中有液体泄漏时接液盘7用来承接泄露的液体，并通过排液器15进行排液。接液盘7上设有监测器和报警器，监测器用于检测接液盘7上是否有泄漏的液体，如果有，则报警器发出警报。
通过使用上述取放装置，能够在松开反应源瓶接口连接后，对调整螺柱进行调节，拉动导轨固定板轻松移出反应源瓶，还可以减少移出过程中由于操作不当对接口处的破坏影响，通过平稳的导轨将反应源瓶滑出也对反应源瓶内流体起到积极的紊流作用，更有利于对反应源瓶的安装及维护要求。本发明提供的取放装置具有结构完善、整体性强、控制灵活、调节效果好等优点。
以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。
Claims (9)
1.一种用于反应源瓶的取放装置，其特征在于，所述取放装置具体包括：两枚调整螺柱和调整支撑板；
所述两枚调整螺柱分别在所述反应源瓶的两侧，并且所述调整螺柱与所述调整支撑板螺纹连接，通过调节所述调整螺柱的螺纹位置控制所述调整支撑板的升降，进而调节所述反应源瓶的升降位置；
还包括导向轴套、导向轴，所述导向轴套具有弹塑特性，且所述导向轴套套装在所述导向轴上，所述导向轴在所述导向轴套内滑动；
所述导向轴套固定在所述调整支撑板的固定孔内，调节所述调整螺柱的不同螺纹位置时所述导向轴套被不同程度的压缩。
2.如权利要求1所述的取放装置，其特征在于，所述取放装置还包括两枚导向轴固定螺钉，分别在所述反应源瓶的两侧，且与所述两枚调整螺钉在所述反应源瓶的底部外侧间隔均匀分布，用于固定所述导向轴。
3.如权利要求1所述的取放装置，其特征在于，所述取放装置还包括导轨、导轨固定板和导轨支撑板，所述导轨分为上、下两片，所述导轨的上片安装在所述导轨固定板的下侧，所述导轨的下片安装在所述导轨支撑板的上侧。
4.如权利要求3所述的取放装置，其特征在于，所述导轨固定板与所述导向轴固定螺钉螺纹连接，使得所述导轨固定板与所述调整支撑板形成固定连接，所述导轨固定板的上侧与所述导向轴套固定连接。
5.如权利要求3所述的取放装置，其特征在于，所述取放装置还包括隔热盘，所述隔热盘与所述反应源瓶的底部紧密连接，所述隔热盘通过螺纹连接装在所述调整支撑板上，使得移动所述调整支撑板时间接带动所述反应源瓶的移动。
6.如权利要求5所述的取放装置，其特征在于，所述隔热盘、所述调整支撑板、所述导轨固定板、所述导轨和所述导轨支撑板按从上向下的顺序分布。
7.如权利要求1所述的取放装置，其特征在于，所述取放装置还包括导向轴防液台和调整螺柱防液台，用于防止所述反应源瓶中泄漏的液体流进所述导向轴和所述调整螺柱，所述导向轴防液台位于所述导向轴周围，所述调整螺柱防液台位于所述调整螺柱周围。
8.如权利要求1所述的取放装置，其特征在于，所述取放装置还包括接液盘和排液器，用于当反应源瓶中有液体泄漏时所述接液盘用来承接泄露的液体，并通过所述排液器进行排液。
9.如权利要求8所述的取放装置，其特征在于，所述接液盘上设有监测器和报警器，所述监测器用于检测所述接液盘上是否有泄漏的液体，如果有，则所述报警器发出警报。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201310056628.9A CN103132052B (zh) | 2013-02-22 | 2013-02-22 | 一种用于反应源瓶的取放装置 |
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| CN201310056628.9A CN103132052B (zh) | 2013-02-22 | 2013-02-22 | 一种用于反应源瓶的取放装置 |
Publications (2)
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| CN103132052A CN103132052A (zh) | 2013-06-05 |
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Family
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| CN201310056628.9A Active CN103132052B (zh) | 2013-02-22 | 2013-02-22 | 一种用于反应源瓶的取放装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103132052B (zh) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101357608A (zh) * | 2007-07-31 | 2009-02-04 | 华创车电技术中心股份有限公司 | 车载升降装置 |
| CN203222618U (zh) * | 2013-02-22 | 2013-10-02 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 一种用于反应源瓶的取放装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4679051B2 (ja) * | 2003-11-26 | 2011-04-27 | 株式会社カネカ | Ｃｖｄ装置 |
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Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN101357608A (zh) * | 2007-07-31 | 2009-02-04 | 华创车电技术中心股份有限公司 | 车载升降装置 |
| CN203222618U (zh) * | 2013-02-22 | 2013-10-02 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 一种用于反应源瓶的取放装置 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
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| JP特开2005-158982A 2005.06.16 * |
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|---|---|
| CN103132052A (zh) | 2013-06-05 |
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