CN103046122A - 一种具有辅助加热筒的高频线圈 - Google Patents

Abstract

一种具有辅助加热筒的高频线圈，涉及人工晶体技术领域，在高频线圈(3)中部设有拉制孔或化料孔(6)外部设有多个环绕的拉制孔(5)，由拉制孔或化料孔呈放射状分布多个引流槽(18)，所述高频线圈上部面中部设有向下凹陷面(9)，在高频线圈的下部面中部设有向上凹陷平面，其中一个引流槽(7)的外端通过开口(10)贯通至高频线圈的外缘面，冷却水道(14)环绕高频线圈的外部，所述高频线圈外部设有地线连接机构；钨或钼筒(4)的上端连接高频线圈的外部面，在钨或钼筒的对应开口处设有间隙(17)；本发明通过在高频线圈下部设置耐热性较高的钨或钼筒，获取原料棒上端更快的热熔效果，有效地增加了原料棒上端的热熔速度。

Description

一种具有辅助加热筒的高频线圈

【技术领域】

本发明涉及人工晶体技术领域，尤其是涉及一种具有辅助加热筒的高频线圈。

【背景技术】

目前，硅芯在国内使用量非常巨大；现有的硅芯、单晶硅及其它材料晶体区熔方式生产的工艺过程中，大多使用的是一种单目高频线圈，其工作原理是：工作时通过给高频线圈通入高频电流，使高频线圈产生电流对原料棒进行感应加热，加热后的原料棒上端头形成融化区，然后将仔晶通过拉制孔后插入原料棒上端的熔化区，然后慢慢提升仔晶，熔化后的原料就会跟随仔晶上升，形成一个新的柱形晶体，这个新的柱形晶体便是硅芯或其它材料晶体的制成品。

本设计人在线申请了多项发明或实用新型的高频线圈专利，使用中虽然得到了较好的技术效果，但原料棒的上端升温较慢，使用时需要等待原料棒的上端形成熔化区“对应高频线圈上设置的拉制孔的小溶区”，方可进行拉制作业，影响了作业进度。

【发明内容】

为了实现所述发明目的，本发明公开了一种具有辅助加热筒的高频线圈，本发明通过在高频线圈下部设置耐热性较高的钨或钼筒，获取原料棒上端更快的热熔效果，有效地增加了原料棒上端的热熔速度。

为了实现上述发明的目的，本发明采用如下技术方案：

一种具有辅助加热筒的高频线圈，包括高频线圈、冷却水道、钨或钼筒、连接座和地线连接机构，在高频线圈中部设有拉制孔或化料孔，所述拉制孔或化料孔外部设有多个环绕的拉制孔，由拉制孔或化料孔呈放射状分布多个引流槽，拉制孔分布在两两引流槽的外端之间，所述高频线圈上部面中部设有向下凹陷面，在高频线圈的下部面中部设有向上凹陷平面，其中一个引流槽的外端通过开口贯通至高频线圈的外缘面，冷却水道环绕高频线圈的外部，所述高频线圈外部设有地线连接机构；钨或钼筒的上端连接高频线圈的外部面，在钨或钼筒的对应开口处设有间隙，所述钨或钼筒的筒内壁下部形成高频线圈的辅助加热筒。

所述的具有辅助加热筒的高频线圈，高频线圈上的冷却水道的两端设置在开口的两侧并分别设有延伸管路，所述两延伸管路分别形成水道A端、水道B端，其中水道A端为进水端、水道B端为出水端，在水道A端、水道B端的端部分别设置有连接座。

所述的具有辅助加热筒的高频线圈，所述钨或钼筒的间隙两侧分别设有“U”形豁口，两“U”形豁口所述分别套在水道A端、水道B端上。

所述的具有辅助加热筒的高频线圈，所述拉制孔为圆形拉制孔；或球拍形拉制孔；或水滴形拉制孔的三种中的任意一种，或所述拉制孔为圆形拉制孔；或球拍形拉制孔；或水滴形拉制孔中的至少两种的组合；所述球拍形拉制孔的槽或水滴形拉制孔的“V”形豁口朝向拉制孔或化料孔。

所述的具有辅助加热筒的高频线圈，所述地线连接机构，在高频线圈的外缘上部面设有地线连接板；或在高频线圈的外缘上部面打孔通过螺丝连接地线。

由于采用上述技术方案，本发明具有如下有益效果：

本发明所述的具有辅助加热筒的高频线圈，通过在高频线圈下部设置耐热性较高的钨或钼筒，由钨或钼筒对原料棒上端辅助加热，获取原料棒上端更快的热熔效果，有效地增加了原料棒上端的热熔速度；本发明获取了更快的硅芯拉制生产速度，易于在多晶硅行业推广实施。

【附图说明】

图1是本发明的结构示意图。

图2是图1的A-A视图。

图3是本发明的钨或钼筒立体结构示意图。

在图中：1、地线连接板；2、水滴形拉制孔；3、高频线圈；4、钨或钼筒；5、拉制孔；6、拉制孔或化料孔；7、引流槽；8、球拍形拉制孔；9、凹陷面；10、开口；11、水道A端；12、水道B端；13、连接座；14、冷却水道；15、筒内壁；16、“U”形豁口；17、间隙。

【具体实施方式】

参考下面的实施例，可以更详细地解释本发明；但是，本发明并不局限于这些实施例。

结合附图1、2或3中所述的具有辅助加热筒的高频线圈，包括高频线圈3、冷却水道14、钨或钼筒4、连接座13和地线连接机构，在高频线圈3中部设有拉制孔或化料孔6，所述拉制孔或化料孔6外部设有多个环绕的拉制孔5，所述拉制孔5为圆形拉制孔5；或球拍形拉制孔8；或水滴形拉制孔2的三种中的任意一种，或所述拉制孔5为圆形拉制孔5；或球拍形拉制孔8；或水滴形拉制孔2中的至少两种的组合；所述球拍形拉制孔8的槽或水滴形拉制孔2的“V”形豁口朝向拉制孔或化料孔6，由拉制孔或化料孔6呈放射状分布多个引流槽18，拉制孔3分布在两两引流槽18的外端之间，所述高频线圈上部面中部设有向下凹陷面9，在高频线圈的下部面中部设有向上凹陷平面，其中一个引流槽7的外端通过开口10贯通至高频线圈的外缘面，冷却水道14环绕高频线圈3的外部，高频线圈3上的冷却水道14的两端设置在开口10的两侧并分别设有延伸管路，所述两延伸管路分别形成水道A端11、水道B端12，其中水道A端11为进水端、水道B端12为出水端，在水道A端11、水道B端12的端部分别设置有连接座13，所述高频线圈3外部设有地线连接机构，所述地线连接机构，在高频线圈3的外缘上部面设有地线连接板1；或在高频线圈3的外缘上部面打孔通过螺丝连接地线；钨或钼筒4的上端连接高频线圈3的外部面，在钨或钼筒4的对应开口10处设有间隙17，所述钨或钼筒4的筒内壁15下部形成高频线圈的辅助加热筒。

进一步，所述钨或钼筒4的间隙17两侧分别设有“U”形豁口16，两“U”形豁口16所述分别套在水道A端11、水道B端12上。

实施本发明所述的具有辅助加热筒的高频线圈，本发明所述高频线圈的使用过程如下所述：原料棒上端最好设置为平面或接近平面，利用设备的下轴升降系统将原料棒缓慢送至高频线圈3下部，所述高频线圈3的下部尽可能的接近原料棒上端，但不得与原料棒有接触，生产过程中一旦接触便会出现打火而烧坏高频线圈，然后在高频线圈3上连接座13的水道A端11、水道B端12通电送水，水道A端11和水道B端12一个进水另一个排水，这时高频电流促使高频线圈3产生强大的磁力线，使原料棒上端头靠近高频线圈3的部分利用磁力线进行感应加热，同时钨或钼筒4一直对原料棒上端头加热和预热，所述球拍形拉制孔8、水滴形拉制孔2、引流槽7、拉制孔5和拉制孔或化料孔6形成的空隙，使原料棒上端对应空隙处受到感应加热大于其它部位形成溶区，待原料棒的端头靠近高频线圈3下面的部位融化后，仔晶夹头带着仔晶下降，使仔晶通过拉制孔5后插入原料棒的熔化区，然后提升仔晶，原料棒上部的熔化液体会跟随仔晶上升，在这一过程中原料棒下部的下轴也相应跟随同步缓慢上升，但是其原料棒要保持不与高频线圈3接触；原料棒上部的熔化区在仔晶的粘和带动并通过高频线圈3拉制孔后，由于磁力线的减弱而冷凝，便形成一个新的柱型晶体，其仔晶夹头夹带仔晶缓慢上升，便可形成所需长度的成品硅芯。

Claims (5)

1.一种具有辅助加热筒的高频线圈，包括高频线圈(3)、冷却水道(14)、钨或钼筒(4)、连接座(13)和地线连接机构，其特征是：在高频线圈(3)中部设有设有拉制孔或化料孔(6)，所述拉制孔或化料孔(6)外部设有多个环绕的拉制孔(5)，由拉制孔或化料孔(6)呈放射状分布多个引流槽(18)，拉制孔(3)分布在两两引流槽(18)的外端之间，所述高频线圈上部面中部设有向下凹陷面(9)，在高频线圈的下部面中部设有向上凹陷平面，其中一个引流槽(7)的外端通过开口(10)贯通至高频线圈的外缘面，冷却水道(14)环绕高频线圈(3)的外部，所述高频线圈(3)外部设有地线连接机构；钨或钼筒(4)的上端连接高频线圈(3)的外部面，在钨或钼筒(4)的对应开口(10)处设有间隙(17)，所述钨或钼筒(4)的筒内壁(15)下部形成高频线圈的辅助加热筒。

2.如权利要求1所述的具有辅助加热筒的高频线圈，其特征是：高频线圈(3)上的冷却水道(14)的两端设置在开口(10)的两侧并分别设有延伸管路，所述两延伸管路分别形成水道A端(11)、水道B端(12)，其中水道A端(11)为进水端、水道B端(12)为出水端，在水道A端(11)、水道B端(12)的端部分别设置有连接座(13)。

3.如权利要求1所述的具有辅助加热筒的高频线圈，其特征是：所述钨或钼筒(4)的间隙(17)两侧分别设有“U”形豁口(16)，两“U”形豁口(16)所述分别套在水道A端(11)、水道B端(12)上。

4.如权利要求1所述的具有辅助加热筒的高频线圈，其特征是：所述拉制孔(5)为圆形拉制孔(5)；或球拍形拉制孔(8)；或水滴形拉制孔(2)的三种中的任意一种，或所述拉制孔(5)为圆形拉制孔(5)；或球拍形拉制孔(8)；或水滴形拉制孔(2)中的至少两种的组合；所述球拍形拉制孔(8)的槽或水滴形拉制孔(2)的“V”形豁口朝向拉制孔或化料孔(6)。

5.如权利要求1所述的具有辅助加热筒的高频线圈，其特征是：所述地线连接机构，在高频线圈(3)的外缘上部面设有地线连接板(1)；或在高频线圈(3)的外缘上部面打孔通过螺丝连接地线。

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