CN103036143B - 一种连续调节激光相干长度的方法和装置 - Google Patents

Abstract

本发明属于激光技术领域，具体涉及一种连续调节激光相干长度的方法和装置，其中方法包括提供一个激光谐振腔，泵浦激光入射到该激光谐振腔中，激光在激光谐振腔内多次往返振荡后输出；在激光谐振腔内部或外部提供激光扩束/缩束装置和光栅，使激光通过激光扩束/缩束装置入射到所述光栅上，连续调节该激光扩束/缩束装置的扩束/缩束倍数，同时相应地调节光栅的位置和角度，以保证激光在光栅的入射面的入射角不变，由此来调节所述输出激光的相干长度。本发明具有结构紧凑、性能稳定、简单实用的优点，能够很好地应用于干涉测量等应用领域。

Description

一种连续调节激光相干长度的方法和装置

技术领域

本发明属于激光技术领域，具体涉及是一种连续调节激光相干长度的方法和装置。

背景技术

相干长度是衡量光源相干性能的物理量，定义为光源光能够实现相干的最大光程差。激光以其良好的相干性被广泛应用于各种光学测量技术中，如相干光纤通讯、激光测距、激光雷达等领域，但是对一些精密测量技术，如高速、超高分辨率成像、精密检测等应用，高相干光源反而会因为多表面反射或透射产生各种光学噪声，降低测量精度。例如，在利用其检测双抛光透明平行平板面形时，将会出现三表面干涉现象，导致测量误差较大。因此具有良好光束特性的低相干光源成为这些测量系统的最佳光源。

低相干光可以通过在超辐射发光二极管输出端加入特定带宽的带通滤光片，从而获得准单色光的白光光源来实现，但它们的光亮度有待进一步提高。飞秒激光器虽可产生高亮度、短相干长度的脉冲激光，但其体型巨大，且价格昂贵。

另一方面，为了测量不同尺寸的微观物体表面形貌，则需要具有不同相干长度的高亮度光源。

在相干和非相干测量应用中，要求对光源激光的相干长度进行有效调控。虽然通过调节激光腔腔长可以在一定程度上改变输出激光的相干长度，但是由于腔长调节范围有限，所以相干长度的调节范围也很小。

现有技术中，光栅和棱镜组合曾被用于压缩激光线宽，例如申请号为200910052119.2的中国发明专利中提到了一种含光束整形与波长转动调谐的线宽压缩装置，通过调节第一个和最后一个棱镜而使光束入射到光栅上的角度发生变化，从而光栅选择不同的衍射波长输出，但这种装置目标是调节激光波长，而压缩后的激光线宽和相干长度是固定不变的。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明所要解决的技术问题是提出一种能够连续调节激光相干长度的方法和装置，以克服现有的相干长度调节装置调节范围小、不够稳定的缺点。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本发明提出一种连续调节激光相干长度的方法，该方法提供激光谐振腔，使泵浦激光入射到在该激光谐振腔中，激光在激光谐振腔内多次往返振荡后输出，该方法还包括：提供激光扩束/缩束装置和光栅，使激光通过激光扩束/缩束装置入射到所述光栅上，其中，该激光扩束/缩束装置的扩束/缩束倍数是连续可调的，且光栅的位置和角度也是连续可调的；连续调节该激光扩束/缩束装置的扩束/缩束倍数，同时相应地调节光栅的位置和角度，以保证激光在光栅的入射面的入射角不变，由此来调节所述输出激光的相干长度。

根据本发明的一种优选实施方式，所述激光扩束/缩束装置和光栅设置于所述激光谐振腔内。

根据本发明的一种优选实施方式，所述激光扩束/缩束装置和光栅设置于所述激光谐振腔外，从激光谐振腔出射的激光通过所述激光扩束/缩束装置和光栅后输出。

根据本发明的一种优选实施方式，所述激光扩束/缩束装置的有效色散为零。

本发明还提出一种连续调节激光相干长度的装置，包括激光谐振腔，激光在激光谐振腔内多次往返振荡后输出，该装置还包括激光扩束/缩束装置和光栅，激光在输出之前通过该激光扩束/缩束装置和光栅，其中：所述激光扩束/缩束装置对激光进行扩束或缩束，并使通过该激光扩束/缩束装置的激光入射到所述光栅上，该激光扩束/缩束装置的扩束/缩束倍数是连续可调的；所述光栅用于利用其衍射特性进行激光波长选择，且其位置和角度也是连续可调的，以保证激光在光栅的入射面的入射角不变。

根据本发明的一种优选实施方式，所述激光扩束/缩束装置的有效色散为零。

根据本发明的一种优选实施方式，所述激光扩束/缩束装置是由三个棱镜组成的棱镜组，棱镜组中的棱镜放置方式为“上-上-下”或者“下-下-上”，其中，“上”表示棱镜的顶角朝上，“下”表示棱镜的顶角朝下，所述顶角是指棱镜的三个角中最小的角。

根据本发明的一种优选实施方式，所述棱镜组中的每个棱镜均安装于棱镜转动平移台上，该棱镜转动平移台可在平行于激光光路的平面内转动和平动，通过转动棱镜转动平移台，可改变激光光束的扩束/缩束倍数；所述光栅安装于光栅转动平移台上，该光栅转动平移台可在平行于激光光路的平面内转动或平动，通过转动和平动光栅转动平移台，可以相应地调整光栅的激光入射角度，保证经棱镜组出射的激光束始终以相同的入射角入射到该光栅上。

根据本发明的一种优选实施方式，所述光栅是Littrow自准直结构放置的闪耀光栅，或者是Littman-Metcalf掠入射结构放置的闪耀光栅。

根据本发明的一种优选实施方式，所述光栅是其偏离Littrow自准直结构的角度不大于10度的闪耀光栅。

(三)有益效果

本发明采用棱镜组与光栅结合的装置，通过转动各棱镜的角度改变激光的扩束/缩束倍数，并相应调整光栅位置及其角度，由此连续调节激光相干长度，因此本发明具有结构紧凑、性能稳定、简单实用的特点，能够很好地应用于干涉测量等应用领域。

附图说明

图1为本发明的连续调节激光相干长度的装置的第一实施例的结构示意图；

图2为本发明的连续调节激光相干长度的装置的第二实施例的结构示意图；

图3为本发明的连续调节激光相干长度的装置的第三实施例的结构示意图；

图4为本发明的连续调节激光相干长度的装置的第四实施例的结构示意图。

具体实施方式

本发明的装置提供一个激光谐振腔，使泵浦激光入射到在该激光谐振腔中，激光在激光谐振腔内多次往返振荡后输出。

根据本发明的一种实施方式，在所述激光谐振腔中设置激光扩束/缩束装置和光栅，使通过激光扩束/缩束装置的激光入射到光栅上，其中，该激光扩束/缩束装置的扩束/缩束倍数是连续可调的，且光栅的位置和角度也是连续可调的；连续调节该激光扩束/缩束装置的扩束/缩束倍数，同时相应地调节光栅的位置和角度，以保证激光在光栅的入射面的入射角不变，由此来调节所述输出激光的相干长度。

根据本发明的另一种实施方式，在所述激光谐振腔外设置激光扩束/缩束装置和光栅，使从激光谐振腔出射的激光通过所述激光扩束/缩束装置和光栅后输出，其中，该激光扩束/缩束装置的扩束/缩束倍数是连续可调的，且光栅的位置和角度也是连续可调的；连续调节该激光扩束/缩束装置的扩束/缩束倍数，同时相应地调节光栅的位置和角度，以保证激光在光栅的入射面的入射角不变，由此来调节所述输出激光的相干长度。

进一步来说，根据本发明的优选实施方式，所述激光扩束/缩束装置是由三个棱镜组成的棱镜组。并且，所述棱镜组中的每个棱镜均安装于一棱镜转动平移台上，该棱镜转动平移台可在平行于激光光路的平面内转动和平动。通过转动棱镜转动平移台，可改变激光光束的扩束/缩束倍数。同时，所述光栅安装于一光栅转动平移台上，同样，该光栅转动平移台既可在平行于激光光路的平面内转动，也可在平行于激光光路的平面内平动。通过转动和平动光栅转动平移台，可以相应地调整光栅的激光入射角度，保证经棱镜组出射的激光束始终以相同的入射角入射到光栅上。

下面对本发明的原理进行说明。利用光学元件的自身特点和基本光学原理知识分析，激光扩束/缩束装置主要用于对激光进行扩束或缩束，同时对通过该激光扩束/缩束装置的激光的发散角进行连续调节。光栅作为典型的衍射光学元件，利用它的衍射特性可实现有效的波长选择。在激光的输出光路加入棱镜组和光栅后，激光相干长度一般表达式为：

$l_c=\frac{{\mathrm{\λ}}^2}{\mathrm{\Δ\θ}}[M{\left(\frac{{\∂\mathrm{\θ}}_G}{\∂\mathrm{\λ}}\right)}_G+{\left(\frac{{\∂\mathrm{\θ}}_P}{\∂\mathrm{\λ}}\right)}_P]---\left(1\right)$

其中，l_c为相干长度，Δθ为激光光束的发散角，M为激光扩束/缩束装置对激光的扩束/缩束倍数，为光栅的色散，为激光扩束/缩束装置的色散。

由式(1)可知，如果能使为0且为常数，并且使输出激光的波长λ和发散角Δθ不变，则激光相干长度与激光扩束/缩束装置的扩束/缩束倍数成正比。如此，就能通过连续调节激光扩束/缩束装置的扩束/缩束倍数来连续调节输出激光的相干长度。

根据本发明的一种优选实施方式，激光扩束/缩束装置是由三个棱镜组成的棱镜组，并且棱镜组中的棱镜放置方式为“上-上-下”或者“下-下-上”，其中，“上”表示棱镜的顶角朝上，“下”表示棱镜的顶角朝下，所述顶角是指棱镜的三个角中的最小角，对于直角棱镜来说，是指与棱镜的两条直角边中较短的一条边相对的角。根据F.J.Duarte，J.A.Piper等人在文献“Dispersion theory of multiple-prism beam expanders for pulsed dyelasers”(Optics Communication，1982)中提出的理论推导可知，通过将三个棱镜放置为“上-上-下”或者“下-下-上”结构，则这三个棱镜组成的棱镜组的有效色散可接近于零，即：

${\left(\frac{{\∂\mathrm{\θ}}_P}{\∂\mathrm{\λ}}\right)}_P\≈0---\left(2\right)$

由此，当连续转动该棱镜组的各个棱镜的角度时，就能够改变该棱镜组对激光的总的扩束/缩束倍数M(M为各棱镜的扩束/缩束倍数之积)，同时保证棱镜组的有效色散为零。

在该激光扩束/缩束装置中，棱镜组中的棱镜个数越多，则M变化范围越大，从而相干长度的调节范围越广。因此可根据实际需求选取棱镜个数。为消除色散，多棱镜放置方式应为“上-上…上-下”或者“下-下…下-上”结构。

由于直角棱镜的空间利用率高、便于调整角度等优点，棱镜组中的棱镜优选为直角棱镜。

根据本发明的另一优选实施方式，所述光栅为闪耀光栅。所谓闪耀光栅是指一种平面反射光栅。它是由劈形钻石刀头在磨光的金属板或镀上金属膜的玻璃板坯上刻出一系列平行等距的锯齿形槽面而制成，其中槽面与光栅整体平面之间的夹角称为闪耀角。

更优选地，光栅为Littrow自准直结构放置的光栅(即在闪耀光栅的基础上，使得其对于入射光的一级衍射角β等于其入射角α，以确保衍射光线沿入射方向原路返回)，此时，光栅色散项可简化为：

${\left(\frac{{\∂\mathrm{\θ}}_G}{\∂\mathrm{\λ}}\right)}_G=\frac{2}{\mathrm{\λ}}\tan \mathrm{\β}=\frac{2}{\mathrm{\λ}}\tan \mathrm{\α}---\left(3\right)$

其中，α为入射角，β为出射角。

根据本发明的另一优选实施方式，所述光栅是Littman-Metcalf掠入射结构放置的闪耀光栅，此时该光栅可同时满足获得大的色散和较低的材料表面反射率，光栅色散项可简化为：

${\left(\frac{{\∂\mathrm{\θ}}_G}{\∂\mathrm{\λ}}\right)}_G=\frac{\sin \mathrm{\α}-\sin \mathrm{\β}}{\mathrm{\λ}\cos \mathrm{\α}}---\left(4\right)$

对于上述实施方式，通过调节光栅的转动平移装置，能够保证在激光扩束/缩束装置的扩束/缩束倍数改变时，激光对于光栅的入射角不变(出射角相应也不变)，即式(3)、(4)中的为常数，因此式(1)可简化为：

$l_c\∝\mathrm{CM}\frac{{\mathrm{\λ}}^2}{\mathrm{\Δ\θ}}={\mathrm{MC}}^{\′}---\left(5\right)$

其中，C’均为常数。

这样，通过连续调节激光扩束/缩束装置的扩束/缩束倍数M的大小，并保证光栅的入射角不变，就可以达到连续改变相干长度l_c的目的。

本发明可应用于各种激光器，例如半导体激光器和固体激光器，泵浦激光的激光波长可以是808nm、976nm、915nm等，泵浦方式可以是端泵或侧泵。

此外，本发明的激光谐振腔可以由多种结构实现，根据其结构的不同而可包含各种不同的光学元件。通常，激光谐振腔中包含有激光增益介质，如固体激光晶体或掺杂光纤，包括Nd:YVO₄、Nd:YAG、Nd:YLF、Yb:YAG、Tm:YAG、Er:YAG、掺Yb光纤、掺Er光纤、掺Tm光纤等。除了激光增益介质，在本发明的装置中还包括为了实现激光的谐振和输出的其他光学元件，例如特定镀膜的光学镜片和倍频晶体等。

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明作进一步的详细说明。

第一实施例

图1为本发明的连续调节激光相干长度的装置的第一实施例的结构示意图。如图1所示，该装置将808nm半导体激光器作为该实施例的装置的激光泵浦源000。

该实施例的装置包括激光谐振腔，激光谐振腔内包含依次级联的第一光学镜片101、激光增益介质200、第一、第二、第三直角三棱镜301、302、303组成的棱镜组和闪耀光栅400。

第一光学镜片101采用对1064nm附近激光部分反射的平镜，作为激光输出端。

激光增益介质200采用Nd:YVO₄晶体，用于提供激光增益。

第一、第二、第三直角三棱镜301、302、303放置方式为“上-上-下”结构，组成一个棱镜组，作为激光扩束/缩束装置。三个棱镜分别设置于独立的转动平移台501、502、503上，通过计算机控制501、502、503，依次转动和平移直角三棱镜301、302、303的角度和位置，以达到连续改变棱镜组对激光的扩束/缩束倍数的目的。

所述第一直角三棱镜301的斜边面镀808nm附近高反膜和1064nm附近减反膜，直角边面镀1064nm附近减反膜。所述第二、第三直角三棱镜302、303的通光面(斜边面与一个直角边面)均镀1064nm附近减反膜。

闪耀光栅400的闪耀波长在1064nm附近，其安装于转动平移控制台504上。利用计算机控制转动平移台504，通过转动调节光栅400的放置角度，保证其对入射光束的一级衍射角β等于其入射角α，即采用Littrow结构工作；通过平移调节光栅400的放置位置，使得光栅刻槽面能够接收到整个光束。

在工作时，激光泵浦源000采用端泵方式，入射到第一直角三棱镜301上，经该第一直角三棱镜301反射后从激光增益介质200的一端入射到激光增益介质200中。当确定了棱镜组中各棱镜301、302、303以及光栅400的角度后，得到波长在1064nm附近的一定线宽的激光从激光增益介质200的另一端出射，并入射到所述第一光学镜片101上。第一光学镜片101对入射到其上的1064nm附近的激光透射率为2％。

在第一光学镜片101的与激光增益介质200相对的一端还具有倍频晶体201和第二光学镜片102。从第一光学镜片101出射的激光依次通过该倍频晶体201和第二光学镜片102后向外输出。倍频晶体201采用KTP晶体，用于对激光进行倍频；第二光学镜片102采用对1064nm附近激光全反、对532nm附近激光高透的平镜，以反射1064nm附近激光，输出倍频的532nm附近的激光。

由此，通过调节激光谐振腔内的激光扩束/缩束装置的扩束/缩束倍数，就可以调节第一光学镜片101输出的1064nm附近激光的相干长度，进而可以在第二光学镜片102后得到倍频后相干长度可变的532nm附近激光输出。

第二实施例

图2为本发明的连续调节激光相干长度的装置的第二实施例的结构示意图。如图2所示，该装置也将808nm半导体激光器同样作为该第二实施例的装置的激光泵浦源000。

该实施例的装置包括激光谐振腔，激光谐振腔内包含依次级联的第三光学镜片103、激光增益介质200、倍频晶体201和第四光学镜片104。

第三光学镜片103作为泵浦激光的入射端，同时作为激光谐振腔的反射镜，采用对808nm附近激光高透、对1064nm附近和532nm附近激光高反的平镜。

激光增益介质200采用Nd:YVO₄晶体，用于提供激光增益。

倍频晶体201采用KTP晶体，用于对激光进行倍频。

第四光学镜片104采用对1064nm附近激光全反、对532nm附近激光高透的平镜，作为激光谐振腔的输出端。

在所述激光谐振腔的外部依次级联第一、第二、第三直角三棱镜301、302、303和光栅400，三个直角三棱镜组成一个棱镜组，由激光谐振腔输出的激光通过棱镜组后入射到光栅400上。

第一、第二、第三直角三棱镜301、302、303放置方式为“上-上-下”结构，作为激光扩束/缩束装置；所述三个直角三棱镜301、302、303的通光面(斜边面与一个直角边面)均镀有532nm附近减反膜。三个棱镜分别设置于独立的转动平移控制台501、502、503上，通过计算机控制平移控制台501、502、503，依次转动和平移调节第一、第二、第三直角三棱镜301、302、303的放置角度及位置，以达到连续改变激光的扩束/缩束倍数的目的。

光栅400为闪耀光栅，其闪耀波长在532nm附近，用于实现532nm附近倍频光有效波长的选择。光栅400安装于转动平移控制台504上。利用计算机控制转动平移台504，通过转动调节光栅400的放置角度，使其偏离Littrow结构工作，但其偏离角度不宜过大，需满足|β-α|≤10°，使532nm附近的一级衍射光作为输出激光；通过平移调节光栅400的放置位置，使得光栅刻槽面能够接收到整个光束。

在工作时，激光泵浦源000采用端泵方式，从第三光学镜片103入射到激光谐振腔中。由激光谐振腔进行腔内倍频后，532nm附近激光自第四光学镜片104输出后又依次通过棱镜组301、302、303以及光栅400，得到波长在532nm附近的一定线宽的激光输出。由此通过在激光谐振腔外调节激光扩束/缩束装置的扩束/缩束倍数，可以调节输出的532nm附近的激光的相干长度。

第三实施例

图3为本发明的连续调节激光相干长度的装置的第三实施例的结构示意图。如图3所示，该装置也将808nm半导体激光器同样作为该第三实施例的装置的激光泵浦源000。

该实施例的装置包括激光谐振腔，激光谐振腔内包含依次级联的第五光学镜片105、激光增益介质200、第一、第二、第三直角三棱镜301、302、303组成的棱镜组、闪耀光栅400和第六光学镜片106。

第五光学镜片105作为泵浦激光的入射端，同时作为激光谐振腔的反射镜，采用对808nm激光高透、对1064nm附近和532nm附近激光高反的平镜。

激光增益介质200采用Nd:YVO₄晶体，用于提供激光增益。

第一、第二、第三直角三棱镜301、302、303放置方式为“上-上-下”结构，组成一个棱镜组，作为激光扩束/缩束装置。三个棱镜分别设置于独立的转动平移控制台501、502、503上，通过计算机控制平移控制台501、502、503，依次转动和平移调节第一、第二、第三直角三棱镜301、302、303的放置角度及位置，以达到连续改变激光的扩束/缩束倍数的目的。所述三个棱镜301、302、303的通光面(斜边面与一个直角边面)均镀1064nm附近激光减反膜。

光栅400为闪耀光栅，其闪耀波长在1064nm附近，用于实现1064nm附近激光有效波长的选择。光栅400安装于转动平移控制台504上。利用计算机控制转动平移台504，通过转动调节光栅400的放置角度，使得它对入射光束的衍射角β小于其入射角α，即采用Littman-Metcalf结构工作；通过平移调节光栅400的放置位置，使得光栅刻槽面能够接收到整个光束。

为了形成激光振荡，该实施例的装置的激光谐振腔中还包括一个对于1064nm附近激光具有高反射率的第六光学镜片106。经光栅衍射后产生的1064nm附近一级衍射光先投射到第六光学镜片106上，由第六光学镜片106原路反射回光栅400，再次衍射的一级衍射光反馈回激光谐振腔，而零级光作为输出光，入射到倍频晶体201上。

倍频晶体201采用KTP晶体，用于接收由光栅400衍射的1064nm附近的零级衍射激光，并对该激光进行倍频。倍频晶体201的内侧镀有1064nm、532nm附近的激光增透膜，外侧镀有对1064nm附近激光全反射、对532nm附近激光的增透膜。

在工作时，激光泵浦源000采用端泵方式，从第五光学镜片105入射到激光谐振腔中。由激光谐振腔输出后经倍频晶体201进行倍频，输出532nm附近倍频光。通过调节棱镜组301、302、303及光栅400的角度，得到相干长度可调的1064nm附近的激光，出射后再通过倍频晶体201倍频后，得到相干长度可变的532nm附近激光。

第四实施例

图4为本发明的连续调节激光相干长度的装置的第四实施例的结构示意图。如图4所示，该装置也将808nm半导体激光器同样作为该第四实施例的装置的激光泵浦源000。

该实施例的装置包括激光谐振腔，激光谐振腔内包含依次级联的第七光学镜片107、激光增益介质200、第一、第二、第三直角三棱镜301、302、303组成的棱镜组、闪耀光栅400和镀膜的倍频晶体201。

第七光学镜片107作为泵浦激光的入射端，同时作为激光谐振腔的反射镜，采用对808nm激光高透、对1064nm和532nm附近激光高反的平镜。

激光增益介质200采用Nd:YVO₄晶体，用于提供激光增益。

第一、第二、第三直角三棱镜301、302、303放置方式为“上-上-下”结构，组成一个棱镜组，作为激光扩束/缩束装置。三个棱镜分别设置于独立的转动平移控制台501、502、503上，通过计算机控制平移控制台501、502、503，依次转动和平移调节第一、第二、第三直角三棱镜301、302、303的放置角度及位置，以达到连续改变激光的扩束/缩束倍数的目的。所述三个棱镜301、302、303的通光面(斜边面与一个直角边面)均镀1064nm附近激光减反膜。

光栅400为闪耀光栅，其闪耀波长在1064nm附近，用于实现1064nm附近激光有效波长的选择。光栅400安装于转动平移控制台503上。利用计算机控制转动平移台503，通过转动调节光栅400的放置角度，使其偏离Littrow结构工作，但其偏离角度不宜过大，应满足|β-α|≤10°，使1064nm附近的一级衍射光作为输出激光。通过二维平移调节光栅400的放置位置，使得光栅400刻槽面能够接收到整个光束。

倍频晶体201采用KTP晶体，用于接收光栅400输出的1064nm附近一级衍射激光，并对该激光进行倍频。倍频晶体201采用KTP晶体，其内侧镀有对1064nm、532nm附近激光的增透膜，外侧镀有对1064nm附近激光全反射、对532nm附近激光的高透膜。

在工作时，激光泵浦源000采用端泵方式，从第七光学镜片107入射到激光谐振腔中。激光谐振腔直接输出532nm附近倍频光。通过调节透镜组301、302、303和光栅400的角度，得到相干长度可调的532nm附近激光。

上面描述了本发明的四个具体实施例，上述实施例的装置均是应用于固体激光器中，然而，但本发明还可推广至应用于其他激光器中。

以上所述的具体实施例，对本发明的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种连续调节激光相干长度的方法，该方法提供激光谐振腔，使泵浦激光入射到在该激光谐振腔中，激光在激光谐振腔内多次往返振荡后输出，其特征在于，该方法还包括：

提供激光扩束/缩束装置和光栅，使激光通过激光扩束/缩束装置入射到所述光栅上，其中，该激光扩束/缩束装置的扩束/缩束倍数是连续可调的，且光栅的位置和角度也是连续可调的；

连续调节该激光扩束/缩束装置的扩束/缩束倍数，同时相应地调节光栅的位置和角度，以保证激光在光栅的入射面的入射角不变，由此来调节输出激光的相干长度；

所述激光扩束/缩束装置的有效色散为零；

所述激光扩束/缩束装置是由三个棱镜组成的棱镜组，棱镜组中的棱镜放置方式为“上—上—下”或者“下—下—上”，其中，“上”表示棱镜的顶角朝上，“下”表示棱镜的顶角朝下，所述顶角是指棱镜的三个角中最小的角。

2.如权利要求1所述的连续调节激光相干长度的方法，其特征在于，所述激光扩束/缩束装置和光栅设置于所述激光谐振腔内。

3.如权利要求1所述的连续调节激光相干长度的方法，其特征在于，所述激光扩束/缩束装置和光栅设置于所述激光谐振腔外，从激光谐振腔出射的激光通过所述激光扩束/缩束装置和光栅后输出。