CN102928076B - 不受偏振度影响的激光实时功率监测装置及监测方法 - Google Patents

不受偏振度影响的激光实时功率监测装置及监测方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102928076B
CN102928076B CN201210485447.3A CN201210485447A CN102928076B CN 102928076 B CN102928076 B CN 102928076B CN 201210485447 A CN201210485447 A CN 201210485447A CN 102928076 B CN102928076 B CN 102928076B
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
polarization
light
power monitoring
splitting prism
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201210485447.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102928076A (zh
Inventor
张元芫
陈志理
但勇军
杨斌
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Research Institute of Physical and Chemical Engineering of Nuclear Industry
Original Assignee
Research Institute of Physical and Chemical Engineering of Nuclear Industry
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Research Institute of Physical and Chemical Engineering of Nuclear Industry filed Critical Research Institute of Physical and Chemical Engineering of Nuclear Industry
Priority to CN201210485447.3A priority Critical patent/CN102928076B/zh
Publication of CN102928076A publication Critical patent/CN102928076A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102928076B publication Critical patent/CN102928076B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明公开了一种不受偏振度影响的激光实时功率监测装置及监测方法,其装置包括设置在主光路中的采光镜片,采光镜片以倾斜角设置,在采光镜片的正下方设置有偏振分光棱镜。在偏振分光棱镜的下方设置有全反射镜,由偏振分光棱镜和全反射镜反射的采样光束分别通过各自的偏振片照射到滤光片上,采样光束经衰减后进入带衰减片的探测器,由探测器出来的采样光束进入数据处理及显示模块。其监测方法包括以下步骤:(i)激光采样,(ⅱ)采样调节,(ⅲ)光电转换,(ⅳ)信号处理和(ⅴ)数据显示及传输。本发明对宽波段、偏振度不定的多路激光进行功率实时监测,简化了步骤,提高了效率,拥有良好的扩展性。

Description

不受偏振度影响的激光实时功率监测装置及监测方法
技术领域
本发明属于一种激光功率监测装置及监测方法,具体涉及一种不受激光偏振度影响的激光实时功率监测装置及监测方法。
背景技术
在激光技术应用领域内,激光的功率是表征激光特性的重要参数之一。对激光功率实时监测,可以实时了解激光输出功率的变化,从而了解空间激光照射情况。
现有的激光功率实时监测方法是通过在激光光路中加入一采光片,通过对采样光强的信号处理和计算,便可以间接了解到激光的功率数据。此种方法已应用于激光波长不变、偏振方向固定的激光光路中。但在实际激光技术应用领域中,许多偏振态并不恒定的、可调谐波长的激光光束被大量使用。
由于目前光学镀膜处理技术的工艺所限,单一采光片对于宽波段、不同偏振方向的s光和p光的反射比率无法保证完全相同,此时若当激光的实际输出功率保持不变而激光的偏振度发生变化时,激光光路中通过单一的采光片分出的采样光强度就表现为大小不恒定,进而使得通过采样光强推测激光功率的测量方法不再实用。因此,在宽波段、激光偏振角度不固定的激光光路中,单一采样光的采样光强变化不能直接的反应出当前激光输出功率大小的变化。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种不受激光偏振度影响的激光实时功率监测装置及监测方法,可以消除激光偏振度变化带来的测量误差,提高了实时监测的准确率,同时也提高了测量效率。
本发明的技术方案是:一种不受偏振度影响的激光实时功率监测装置,包括采样光束照射到设置在主光路中的采光镜片上,采光镜片以倾斜角设置,在采光镜片的正下方设置有偏振分光棱镜,使采样光束垂直照射到偏振分光棱镜上。
在偏振分光棱镜的下方设置有全反射镜,全反射镜以倾斜角设置,由偏振分光棱镜和全反射镜反射的采样光束分别通过各自的偏振片照射到滤光片上,采样光束经衰减后进入带衰减片的探测器,由探测器出来的采样光束进入数据处理及显示模块。
所述的光镜片和全反射镜均以45o倾斜角设置。
所述的数据处理及显示模块为通用单片机控制电路。
一种不受偏振度影响的激光实时功率监测方法,包括以下步骤:
(i)激光采样(S1)
调节并固定采光镜片的偏折角度,使采样光束传播方向与激光主光路垂直分开,同时也垂直照射在偏振分光棱镜上。
(ⅱ)采样调节(S2)
采样光束垂直照射进入偏振分光棱镜,光束通过棱镜内部的多层介质分光膜后,采样光束中的s光和p光被分为垂直分开的两束光;从互相垂直的两相邻表面射出,分别测量采光镜片对s光及p光的两个不同偏振方向分量的反射比率,对其中反射比率较高的光束再使用可旋转的偏振片进行光强的单独衰减,反复测量、调节直至两束光的反射比率相等;
(ⅲ)光电转换(S3)
将分开衰减后的两束不同偏振方向的采样光均以小于3o的小角度垂直入射至同一个探测器上,将光强信号转化为与其成比例的电流信号;
(ⅳ)信号处理(S4)
利用数据处理及显示模块中的整形电路以及单片机对电流信号进行采集、处理、计算; 
(ⅴ)数据显示及传输(S5)
利用数据处理及显示模块中的单片机驱动数码管本地显示实时测量的数据,同时电路板带数据输出接口,可以将数据传输至上位机进行集中显示。
本发明的有益效果是:
本发明对偏振方向不固定激光进行实时功率监测时,可以消除因采光片分光不均而带来的测量误差,使不同偏振方向的s光和p光的反射比率相同,最终使得监测数据更加可信、实用。
使用宽波段偏振分光棱镜将采样光中不同偏振方向的s光和p光分开,该分光棱镜可使较大光谱范围内的激光分光效果保持一致。通过旋转偏振片来调节单一偏振方向上采样光的强弱,使调节具有很好的连续性,使用方便、快捷。
现场数码管显示的数据即为当前激光输出的实际数据。同时数据可以通过输出接口传输至上位机,拥有良好的可扩展性。本发明不仅可对偏振方向不固定的激光进行实时功率监测,也可推广应用于任意激光光路中。
附图说明
图1 是本发明不受偏振度影响的激光实时功率监测装置布置图;
图2 是本发明不受偏振度影响的激光实时功率监测方法程序图。
其中:
       1 激光光束         2 采光镜片
       3 采样光束         4 偏振分光棱镜
       5 全反射镜         6 偏振片
       7 滤光片           8 探测器
       9 数据处理及显示模块
具体实施方式
下面,结合附图和实施例对本发明的不受偏振度影响的激光实时功率监测装置及监测方法进行详细说明:
如图1所示,一种不受偏振度影响的激光实时功率监测装置,包括激光光束1(即激光主光路)照射到设置在主光路中的采光镜片2上,采光镜片2以45o倾斜角设置,在采光镜片2的正下方设置有偏振分光棱镜4,使采样光束3垂直照射到偏振分光棱镜4上。在偏振分光棱镜4的下方设置有全反射镜5,全反射镜5以45o倾斜角设置,由偏振分光棱镜4和全反射镜5反射的采样光束3分别通过各自的偏振片6照射到滤光片7上,采样光束3经衰减后进入带衰减片的探测器8,由探测器8出来的采样光束3进入数据处理及显示模块9,进行数据处理及显示、并上传至上位机中。
其中,为满足光电元件的使用要求,在探测器8前端加入的宽波段吸收型滤光片7的型号为 GCC-3010,探测器8的型号为 2CR111S封装式硅光伏探测器。
所述的数据处理及显示模块9为通用单片机控制电路。
如图2所示,一种不受偏振度影响的激光实时功率监测方法,包括以下步骤:
(i)激光采样(S1)
调节并固定采光镜片2的偏折角度,使采样光束3传播方向与激光主光路垂直分开,同时也垂直照射在偏振分光棱镜4上。
(ⅱ)采样调节(S2)
采样光束3垂直照射进入偏振分光棱镜4,光束通过棱镜内部的多层介质分光膜后,采样光束3中的s光和p光被分为垂直分开的两束光;从互相垂直的两相邻表面射出,分别测量采光镜片2对s光及p光的两个不同偏振方向分量的反射比率,对其中反射比率较高的光束再使用可旋转的偏振片6进行光强的单独衰减,反复测量、调节直至两束光的反射比率相等。
(ⅲ)光电转换(S3)
利用全反射镜5反射偏振分光棱镜4的透射光,将分开衰减后的两束不同偏振方向的采样光经过滤光片7进行整体光强的衰减后均以小于3o的小角度垂直入射至同一个探测器8上,将光强信号转化为与其成比例的电流信号。
(ⅳ)信号处理(S4)
利用数据处理及显示模块9中的整形电路以及单片机对电流信号进行采集、处理、计算。
首先,将电流信号通过电流/电压处理电路转换为相应电压信号;然后,将电压信号经A/D转换电路转换为数字信号;再后,利用单片机编制程序对数字信号进行采集和处理,并计算出当前激光的输出功率。
其中,单片机的型号为 ADUC824。
(ⅴ)数据显示及传输(S5)
利用数据处理及显示模块9中的单片机编程驱动数码管,本地显示实时测量的数据,同时带数据输出接口的电路板可以将数据传输至上位机以便进行集中显示、监测。
本发明对宽波段、偏振度不定的多路激光进行功率实时监测,简化了步骤,提高了效率,拥有良好的扩展性。 

Claims (4)

1.一种不受偏振度影响的激光实时功率监测装置,其特征在于:包括激光光束(1)照射到设置在主光路中的采光镜片(2)上,采光镜片(2)以倾斜角设置,在采光镜片(2)的正下方设置有偏振分光棱镜(4),使采样光束(3)垂直照射到偏振分光棱镜(4)上,在偏振分光棱镜(4)的下方设置有全反射镜(5),全反射镜(5)以倾斜角设置,由偏振分光棱镜(4)和全反射镜(5)反射的采样光束(3)分别通过各自的偏振片(6)照射到滤光片(7)上,采样光束(3)经衰减后进入带衰减片的探测器(8),由探测器(8)出来的采样光束(3)进入数据处理及显示模块(9)。
2.根据权利要求1所述的一种不受偏振度影响的激光实时功率监测装置,其特征在于:所述的采光镜片(2)和全反射镜(5)均以45°倾斜角设置。
3.根据权利要求1所述的一种不受偏振度影响的激光时功率监测装置,其特征在于:所述的数据处理及显示模块(9)为通用单片机控制电路。
4.按照权利要求1所述的不受偏振度影响的激光实时功率监测装置的监测方法,其特征在于:包括以下步骤:
(i)激光采样(S1)
调节并固定采光镜片(2)的偏折角度,使采样光束(3)传播方向与激光主光路垂直分开,同时也垂直照射在偏振分光棱镜(4)上;
(ⅱ)采样调节(S2)
采样光束(3)垂直照射进入偏振分光棱镜(4),光束通过棱镜内部的多层介质分光膜后,采样光束(3)中的s光和p光被分为垂直分开的两束光;从互相垂直的两相邻表面射出,分别测量采光镜片(2)对s光及p光的两个不同偏振方向分量的反射比率,对其中反射比率较高的光束再使用可旋转的偏振片(6)进行光强的单独衰减,反复测量、调节直至两束光的反射比率相等;
(ⅲ)光电转换(S3)
将分开衰减后的两束不同偏振方向的采样光束(3)均以小于3o的小角度垂直入射至同一个探测器(8)的光电转换元件上,将光强信号转化为与其成比例的电流信号;(ⅳ)信号处理(S4)
利用数据处理及显示模块(9)中的整形电路以及单片机对电流信号进行采集、处理、计算;
(ⅴ)数据显示及传输(S5)
利用数据处理及显示模块(9)中的单片机驱动数码管本地显示实时测量的数据,同时电路板带数据输出接口,可以将数据传输至上位机进行集中显示。
CN201210485447.3A 2012-11-26 2012-11-26 不受偏振度影响的激光实时功率监测装置及监测方法 Active CN102928076B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210485447.3A CN102928076B (zh) 2012-11-26 2012-11-26 不受偏振度影响的激光实时功率监测装置及监测方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210485447.3A CN102928076B (zh) 2012-11-26 2012-11-26 不受偏振度影响的激光实时功率监测装置及监测方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102928076A CN102928076A (zh) 2013-02-13
CN102928076B true CN102928076B (zh) 2014-08-20

Family

ID=47642931

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210485447.3A Active CN102928076B (zh) 2012-11-26 2012-11-26 不受偏振度影响的激光实时功率监测装置及监测方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102928076B (zh)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015051550A1 (zh) * 2013-10-12 2015-04-16 华为技术有限公司 一种分光组件、频率监控装置及其监控方法
CN111781169B (zh) * 2019-04-03 2023-08-22 阳程科技股份有限公司 偏光对位检测装置及检测方法
CN110487396B (zh) * 2019-07-24 2021-09-03 中国电子科技集团公司第十一研究所 一种激光能量检测装置及其检测方法
CN114353939B (zh) * 2022-03-16 2022-06-10 国仪量子(合肥)技术有限公司 激光合束系统和离子阱量子计算系统
CN114682940A (zh) * 2022-04-20 2022-07-01 武汉镧芯光电技术有限公司 光纤激光焊接机在线监测系统、应用及光纤激光焊接机

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07280658A (ja) * 1994-04-11 1995-10-27 Noboru Nakatani ヘテロダイン干渉計用交差ビーム型直交2周波数光源
JPH08285690A (ja) * 1995-04-19 1996-11-01 Advantest Corp 偏光解消装置及びこれを用いた光パワー測定装置
CN102062635A (zh) * 2010-12-02 2011-05-18 北京心润心激光医疗设备技术有限公司 激光功率监测装置
CN102667426A (zh) * 2009-10-19 2012-09-12 Ipg光子公司 用于监控随机偏振光的功率的组件

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10355866B3 (de) * 2003-11-27 2005-04-14 Jenoptik Laser, Optik, Systeme Gmbh Optische Anordnung zur Gewinnung eines Messsignals für die Leistungsmessung bei Lasern

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07280658A (ja) * 1994-04-11 1995-10-27 Noboru Nakatani ヘテロダイン干渉計用交差ビーム型直交2周波数光源
JPH08285690A (ja) * 1995-04-19 1996-11-01 Advantest Corp 偏光解消装置及びこれを用いた光パワー測定装置
CN102667426A (zh) * 2009-10-19 2012-09-12 Ipg光子公司 用于监控随机偏振光的功率的组件
CN102062635A (zh) * 2010-12-02 2011-05-18 北京心润心激光医疗设备技术有限公司 激光功率监测装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN102928076A (zh) 2013-02-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102928076B (zh) 不受偏振度影响的激光实时功率监测装置及监测方法
CN101556386B (zh) 一种液晶空间光调制器多参数的干涉式双成像测量装置
CN101199413B (zh) 光学相干层析成像方法及其装置
CN103712777B (zh) 检测紫外光电成像系统性能参数的装置及检测方法
CN104359564A (zh) 一种脉冲激光光束质量同步测量系统及其同步控制方法
CN202522516U (zh) 一种光学透过率测试装置
CN211978676U (zh) 一种光谱-偏振成像测量系统
CN108462469B (zh) 一种太阳能电池损耗参数测量分析系统及使用方法
CN103808707A (zh) 分光装置和分光用光源
CN105140777B (zh) 宽可调谐半导体激光器输出波长控制方法及系统
CN207515999U (zh) 一种大面积金属介质膜光栅衍射效率测量的装置
CN110233417B (zh) 一种提高金刚石拉曼激光效率的装置
CN103411674A (zh) 一种基于cortex-M3的微型光纤光谱仪
CN102928081B (zh) 一种声光可调滤光型近红外光谱仪
CN103674488A (zh) 激光器发散角及光斑形状测量装置
CN114333522A (zh) 一种单双光子干涉装置及其控制方法
CN103604751B (zh) 测量周期性手性结构透明薄膜旋光度的装置及相应的方法
CN202869779U (zh) 激光器发散角及光斑形状测量装置
CN102589848B (zh) 光学薄膜损伤阈值的测试系统
CN117871425A (zh) 热辐射效应的目标短波红外全偏振特性测量装置及其方法
CN107478604B (zh) 透明材料折射率的测量装置和测量方法
CN102879184A (zh) 可旋入式光束准直检测单元及光束准直度检测方法
CN102985870A (zh) 退偏器
CN201417203Y (zh) 一种液晶空间光调制器多参数的干涉式双成像测量装置
CN113514400B (zh) 一种烟雾粒子穆勒矩阵的偏振测量方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant