CN102914736A

CN102914736A - 用于检验处理电子器件的设备、方法和计算机程序产品

Info

Publication number: CN102914736A
Application number: CN2012102699613A
Authority: CN
Inventors: D.加莱恩
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 2011-08-01
Filing date: 2012-07-31
Publication date: 2013-02-06
Also published as: US20130035892A1; DE102011080189A1

Abstract

本发明涉及一种用于检验处理电子器件（19）、尤其是计算机断层造影设备的检测器模块的设备（1，1′）。该设备包括：在运行中定义测试流程和/或进一步处理来自测试流程的结果数据（ED，ED_a，ED_b）的至少一个处理中心（5）；与处理中心相连接的流程单元（23），其在运行中在从处理中心接收测试流程的定义之后独立地执行这些测试流程并且其与用于接触处理电子器件的接触设备（21）耦合；将测试信号(TS)导入处理逻辑器（19）的信号发生器（7）；以及至少一个触发单元（13，13a，13b），其在运行中实时地将通过流程单元执行的测试流程的开始与通过信号发生器对测试信号的导入相互同步。此外本发明涉及一种用于检验这种处理电子器件的方法。

Description

用于检验处理电子器件的设备、方法和计算机程序产品

技术领域

本发明涉及用于检验处理电子器件、尤其是计算机断层造影设备的检测器模块的集成电路的一种设备和一种方法，即被构造为使得这样的检测器模块由此可以得到检验。

背景技术

计算机断层造影设备的检测器模块大多包括多个检测器元件，其处理电子器件在安装检测器之前应当就该处理电子器件的质量接受检查。对处理电子器件、尤其是检测器放大器、特别是模拟数字检测器放大器的检验或资格证明需要尽可能低噪声的测量或检验环境（在此，测量和检验一般来说同义地采用），该测量或检验环境将高分辨率的检测器放大器的特性的失真尽可能最小化。从而例如在通过检验环境进行检验期间将噪声误差、漂移误差和线性误差以及针对其它参数的误差优选保持得小到使得这些误差能够被尽可能忽略。

在DE 10 2004 050 615 A1中公开了一种用于检验这种处理电子器件的设备。处理电子器件的检验在此通过检验电流产生装置进行，该检验电流产生装置将检验电流沉积到待检验的处理电子器件上。从中由处理电子器件生成的信号通过汇流设备量取并且借助连接在后的测量和分析设备分析。

因此在这样的装置中，例如借助电流源在输入侧对检测器的检测器放大器进行激励，并且将处理电子器件的输出信号模拟数字地转换或者同时以数字形式展示。处理电子器件的相应输出信号由测量设备或计算机读取和处理。在此，计算测量或检验数据并且例如以表格或图形显示结果。

作为电流源或检验电流产生装置例如可以使用Keithley公司的市场上常见的设备，6430型，Sub-Femtoamp Remote SourceMeter。作为用于处理电子器件的输出信号的测量设备，例如可以使用常规的个人计算机，通过该个人计算机的打印机接口从待检验的处理电子器件中读取数字数据。为此需要将处理电子器件的时间离散的输出信号与计算机流程的时序匹配。该匹配需要输入接口的幅度匹配、阻抗匹配和速度匹配。可选地代替打印机接口还可以使用比可以转换在微秒范围中的并行的数字输入的接口更快的PC插卡。此外，可以将市场上常见的逻辑分析仪用作处理电子器件尤其是检测器放大器的数字串行或并行输出信号的分析单元。例如，Agilent公司用16702型提供这样的逻辑分析仪。

在借助这样的设备执行检验时的中心问题在于，检验过程本身、也就是检验信号的发送和结果数据（也就是处理电子器件的输出信号）的接收和进一步处理必须与测量设备（也就是PC）的内部流程在时序上协调。这是一种高度复杂的过程，应当同时检验的处理电子器件越多，该过程就越难协调。

因为优选的，测量经由众多的通道、也就是两个至多于1000个通道同时在非常短的时间内进行。这些测量在可以从微秒区域到相对长的时间的时间段内进行，也就是从100秒至24小时。此外，所有这些应当尽可能无漂移地进行，以便不使测量结果失真。所测量的电流仅处在毫微微安至微安的范围中，此外这会使检验明显更复杂，尤其是在通过多个通道进行测量的情况下。

发明内容

本发明的要解决的技术问题是，提供一种怎样能够改善处理电子器件、尤其是上述详细说明的类型的处理电子器件的检验的可能性。这样的改善尤其是涉及流程的有效性和/或效率和/或可实现的检验结果的质量和/或检验的速度，或涉及可同时检验的处理电子器件或各个处理电子器件的子单元的数量。

上述技术问题根据本发明通过根据权利要求1所述的设备和根据权利要求14所述的方法来解决。

相应地，开头所述类型的设备包括至少以下元件：

-处理中心，该处理中心在运行中定义测试流程和/或进一步处理来自测试流程的结果数据，

-与处理中心相连接的流程单元，该流程单元在运行中在从处理中心接收测试流程的定义之后独立地执行这些测试流程，并且该流程单元与用于接触处理电子器件的接触设备耦合，

-信号发生器，该信号发生器将测试信号导入处理逻辑器，以及

-至少一个触发单元，其在运行中实时地将通过流程单元执行的测试流程的开始与通过信号发生器对测试信号的导入相互同步。

这样的待测试的处理电子器件优选包括这样的检测器模块的检测器放大器，该检测器模块例如可以实现为模拟数字检测器放大器。然后相应地，所述设备被构造为用于检验这样的检测器放大器。

与此类似的，开头所述类型的方法包括至少以下步骤：

-在处理中心中为处理电子器件定义测试流程，

-从处理中心接收测试流程的定义并且通过与处理中心连接的流程单元独立地执行这些测试流程，所述流程单元与用于接触处理电子器件的接触设备耦合，

-通过信号发生器将测试信号导入处理逻辑器，

-借助触发单元实时地将通过流程单元执行的测试流程的开始与通过信号发生器对测试信号的导入相互同步，以及

-在处理中心中可选地对来自测试流程的结果数据进行进一步处理。

这样的方法可以借助根据本发明的设备来执行。

处理中心可以表征为中央数据处理单元和/或数据生成单元。处理中心例如可以在计算机上实现，例如常规构造的以及必要时配备相应的附加软件的个人计算机。处理中心定义测试流程，也就是说处理中心生成测试流程和/或选择测试流程，例如从数据库中。测试流程的定义下面也称为测试流程数据。

这种测试流程或测试流程数据例如能够以测试程序或测试程序序列的形式存储。处理中心可以作为例如设置在外壳中的积分单元来实现，但是处理中心也可以包括多个在功能上和/或空间上相互分离的单元，例如相互分离并且仅在功能上分配给彼此的处理器或处理器的部件。因此例如在第一计算机上生成定义测试流程的数据，而将第二计算机分配给对来自本发明方法的检验结果数据的纯处理。这样的单元优选经由持续的或短时的网络类型的连接而相互关联。

向处理中心分配流程单元，但是流程单元在接收了关于测试流程的必要信息之后自主地、也就是与处理中心无关地执行这些测试流程。流程单元与用于接触处理电子器件的接触设备耦合，优选电地或电子地耦合，例如通过电气耦合。

信号发生器将测试信号导入处理逻辑器。这可以直接进行或者还可以在设置在信号发生器和处理电子器件之间的其它单元的辅助下进行。

通过流程单元执行的测试流程与通过信号发生器对测试信号的导入相互同步。根据本发明这通过执行实时同步的触发单元来进行。在此，只要存在来自处理中心的、关于待执行的测试流程的所有信息，触发单元就与来自处理中心的信号无关。

实时同步意味着对流程的这样的同步，其中流程内的等待过程具有可预见的持续时间。可以借助触发单元既在信号发生器的方向上又在流程单元的方向上发送一定数量的触发信号，然后假定信号发生器的动作和流程单元的动作恰好相互协调地计时或同步地执行。实时触发完全与处理中心无关，因此与检验方法到目前为止完全由处理中心控制的情况相比更快并且更有效，并且具有明显更好的可预测的测试执行。

易出错率和无效性明显减小：到目前为止，由于计算机的内部程序流程而不可能实时同步。现在相反，通过将测试流程的定义从通过在这些流程中分离的单元对测试流程的实际执行退耦可以一次性实现实时同步以及相应简化的方法流程。最终效果是，由此得到更快的流程、信号发生器与流程单元的方法片段的清楚定义的分配、以及甚至能以微秒范围的时间分辨率并行处理数据（也就是例如可以对数据数字化）的各个检验系统的可级联性。

因此利用本发明的设备提供一种非常紧凑的手段，其预先给定清楚的流程，由此在处理电子器件周围将检验空间的系统噪声最小化。从而可以有效地单独使不同处理电子器件的自身噪声、漂移、线性和其它模拟和数字参数合格。由此使得可以在具有非常高的32位的信号分辨率和例如每秒850兆位或更多的高数据率的情况下同时使100000或更多个通道合格或检验。由此得到精确的和同时快速的测量。由此各个测量通道的模拟分辨率从毫微微安范围的噪声到微安范围的测量信号是没有问题的。

本发明的设备可以完全或部分地以硬件的形式实现，但是该设备也可以包括在一个或多个处理器上操作或运行的软件组件。因此，本发明还包括可以直接被加载到可编程检验系统的处理器中的计算机程序产品，具有程序代码装置，用于当程序产品在检验系统上实施时执行本发明方法的所有步骤。

本发明的其它特别有利的构成和扩展也由从属权利要求以及下面的描述得到。在此还可以相应于针对设备的从属权利要求和根据下面描述的实施来扩展所述方法以及反之相应于如下面详细说明的方法来扩展所述设备。

根据第一实施方式，流程单元包括可编程存储单元，尤其是FPGA。这样的FPGA（Field Programmable Gate Array，现场可编程门阵列）是集成电路，其中可以对逻辑电路编程。可以由处理中心将测试流程的定义或代表测试流程的程序指令结构存储在FPGA或其它可编程存储单元中。由此测试流程可以在之后通过触发单元独立地协调以及无需从处理中心输入其它数据地进行。FPGA可简单获取的标准组件，因此特别适合于流程单元：利用FPGA可以不复杂地以及无需更大成本和开销地为独立工作的流程单元提供前提条件。

为了能够在执行对处理电子器件的检验期间保证流程单元与处理中心的完全独立，优选的是流程单元与独立于处理中心的电源相连接。为此例如可以采用电池或标准电源，例如5V标准电源，其向流程单元自身供应电流并且由此在测试流程期间使得该流程单元自给自足。关于这点也可以使用其它类型的电源，例如其它类型的电源供给或其它类型的蓄电池。

关于信号发生器，特别有利的是该信号发生器连接到信号输出单元。信号输出单元被构造为，使得信号输出单元将信号直接输出到处理电子器件，而信号发生器为此仅提供控制指令或信息。换句话说，在信号发生器与处理电子器件之间还接入单独的设备，该设备将专门通过该设备生成的信号发送给处理电子器件。

这样的信号例如可以是电信号或电子信号，这些信号直接通过电气耦合而馈入处理电子器件中。优选的是，信号输出单元包括电磁辐射源，尤其是光源。这样的光源例如可以包括一定数量的LED。

在输出电磁辐射时，间接地向处理电子器件供应信号：这基于相同的原理，稍后检测器模块基于该原理在计算机断层造影设备运行时工作：波通过检测器模块转换为电荷，从而处理电子器件可以将电荷以电信号或电子信号的形式进一步处理或转发。在运行时，X射线被发送到检测器模块上。在那里X射线或者直接转换为电荷或者借助闪烁层首先转换为可见范围中的光射线，然后借助光电池又转换为电荷。由于X射线向检测器模块的发送与相对较高的代价和安全性问题相关联，因此特别优选的是，电磁波包括（在可见范围和/或不可见范围内的）光波。因此，绕过X射线向光射线的转换并且在检测器模块中馈入相同的光信号。尽管如此，原则上可以考虑将X射线或其它波长的射线发送给检测器模块并且相应地转换。在检测器模块被构造为使得检测器模块在运行时将这样的电磁射线或这样的电磁波直接转换为电荷而无需绕道转换为光的情况下更是如此。

尤其是关于这点优选的是，至少接触设备、优选还有其它与信号输出和测试信号的接收直接关联的部件被装入不透光的外壳中。作为不透光的外壳，关于这点定义这样的一种外壳，其有效地向外界屏蔽对准检测器模块或对准处理电子器件的电磁波，其中对此理解为向外或从外向内屏蔽至少80%，特别优选的是至少95%。

这样的外壳一方面用于保护操作者免受不期望的辐射影响。另一方面引起非故意的光或其它射线入射到检测器模块或处理电子器件中，这可能使检验结果明显失真。因此这样的外壳即使在以下情况下也是有意义的，即代替电磁波形式的信号而直接将电信号输入到处理电子器件。因为在这种情况下入射到检测器模块中的光也可能导致在处理电子器件中附加地生成载流子，这可能使测量结果明显失真。

此外优选的是，接触设备连接到用于向处理电子器件供应运行电流的电源单元。这种电源单元例如由Hameg公司以名称“programmablePower Supply HM 7044”销售。这样的电源单元也可以被构造为与流程单元的电源类似的自主单元，也就是例如被构造为电池或独立的电源部分，但是特别优选的是，该电源单元由处理中心控制。这意味着，处理中心例如提供必要的电流供应和/或调节所述电源单元。由于接触设备自身不定义或实施特有的程序流程，而是通过流程单元、触发单元和信号发生器来进行，因此不一定需要使接触设备在其电源方面自给自足。

在试验的范围内已经得出，由于通过流程单元、信号发生器和触发单元自主地执行测试流程，因此在处理中心和流程单元之间不需要特别快的数据连接。而是可以在流程单元中例如以数据分组的形式预先存储测试结果数据，然后馈入中心单元中以用于进一步分析。因此特别优选的是在处理中心和流程单元之间使用简单的、标准化的接口。在此已经得出，将处理中心与流程单元连接的以太网接口的使用是特别有利的，因为以太网接口可简单制造（或已经普遍存在）并且可简单控制。其它类似类型的接口，尤其是其它个人计算机标准接口原则上也可以使用，其中这分别取决于测试流程和其余硬件的构造并且因此与测试流程与其余硬件协调。

关于触发单元，在此例如可以是简单地触发插座，但是触发单元也可以至少部分地以软件来实现，如上所提到的那样。尤其是在此规定，触发单元包括所谓的触发输入/输出单元，特别优选的是具有多个（例如分别4个）输入通道和/或输出通道的触发输入/输出单元。由此触发单元被构造为，使得触发单元将测试流程的开始与测试信号的导入这样相互同步，即测试流程的开始引起测试信号的导入以及测试信号的导入引起测试流程的开始。因此例如可以通过触发单元将来自流程单元的、表明测试流程应当开始的信号用于激活信号发生器。另外，也可以使用信号发生器的、表明该测试信号被输出到处理电子器件的信号，从而借助流程单元激活测试流程的开始。

原则上可以通过单个接触设备自身单独地检验单个处理电子器件。但是，所述设备的按照本发明的实施方式也提供这种可能，并且特别优选的是同时检验多个处理电子器件，也就是接入实际上同时分别检验至少一个处理电子器件的各个检验部件的级联。

为此优选地规定，所述设备具有多个分别与处理中心相连接的接触设备。为此触发信号可以通过多个触发单元分别转发，其中向每个接触设备优选地分配一个触发单元。

因此，该设备以有利的方式原则上、但尤其是在存在多个接触设备的情况下包括多个触发单元。在最终效果上，由此可以在多个接触设备中为多个处理电子器件执行测试流程。这借助测试流程与测试信号向多个处理电子器件的各自导入的同步来实现。为此，触发信号可以由一个触发单元转发给下一个触发单元，其中优选除了最多一个触发单元之外所有触发单元都被构造为触发输入/输出单元。

这意味着，在触发单元序列中的最后一个触发单元（一般来说恰好有一个触发单元）可以被构造为，使得该触发单元将测试流程的开始与测试信号的导入这样相互同步，使得该触发单元或者在测试流程的开始时引起测试信号的导入或者测试信号的导入引起测试流程的开始。因此，该特殊触发单元是没有输出通道的纯的触发输入单元，其仅处理输入信号并且不生成输出信号。

附图说明

下面参照附图借助实施例再次详细阐述本发明。在不同的附图中的相同的部件具有相同的附图标记。附图中：

图1示出按照本发明的设备的第一实施方式的示意框图，

图2示出按照本发明的设备的第二实施方式的示意框图，以及

图3示出按照本发明的方法的实施方式的示意流程框图。

具体实施方式

图1示出用于检验计算机断层造影设备的检测器模块的处理电子器件的设备1，该处理电子器件在此是检测器放大器19。设备1包括处理中心5，在此实现为具有相应附加软件的个人计算机。处理中心5经由以太网接口25与位于不透光的外壳3内的部件19、21、23相连接。

这些部件中的第一部件23是包括FPGA15的流程单元23。流程单元23与第二部件、即接触设备21电气连接，利用该第二部件接触作为第三部件的待测试的处理电子器件19。向流程单元23分配触发单元13，该触发单元此外与信号发生器7连接。触发单元13将信号发生器7的动作与流程单元23的动作同步。

信号发生器7还与处理中心5连接并且从处理中心接收第一测试流程数据TAD₁。信号发生器7从中生成测试信号指令TSB，该测试信号指令由信号发生器发送给位于外壳3内的信号输出单元17。信号输出单元17包括光源并且以可见光的形式将作为测试信号TS的电磁波发送到处理电子器件19或与处理电子器件19相连接的检测器模块（未示出）。检测器模块从光测试信号TS中生成载流子，处理电子器件19将该载流子转换为放大器信号VS。放大器信号VS通过接触设备21馈入流程单元23中。流程单元23经由以太网接口25从处理中心5接收第二测试流程数据TAD₂，该第二测试流程数据可以包括也由信号发生器7接收的相同的测试流程数据TAD₁。在任何情况下第一和第二测试流程数据TAD₁、TAD₂都在内容上相互对应，也就是说，它们可以相互互补或者至少部分相同，而各自测试流程数据TAD₁、TAD₂的其它部分可以不同并且包括对于信号发生器7或流程单元23来说特定的内容。

流程单元23独立地通过按照5V标准电源形式的电源11供应运行电流BS₁。接触设备21通过由处理中心5的控制信号CS控制的另一个电源单元9供应运行电流BS₂。信号发生器7直接从处理中心5馈以运行电流BS₃。

如上所提到的，在流程单元23与信号发生器7之间设置触发单元13。触发单元13将流程单元23的动作与信号发生器7的动作同步。这意味着，流程单元23将第一启动信号SS₁转发给触发单元13，该第一启动信号用信号通知流程单元23何时开始测试流程的导入。替换或补充的，信号发生器7向触发单元13发送第二启动信号SS₂，该第二启动信号用信号通知信号发生器7何时开始将测试信号TS导入处理电子器件19。触发单元13从第一启动信号SS₁中生成触发信号TO₂，该触发信号TO₂为了实时触发测试信号TS的导入而被（间接）发送给信号发生器7。另外，触发单元13从第二启动信号SS₂中生成为了实时触发测试流程的开始而被发送到流程单元23的触发信号TO₁。因此进行了信号发生器7的动作与流程单元23的动作的实时同步。

在最终效果上，该装置意味着，实际的测试流程可以完全与来自处理中心5的其它输入无关地纯粹基于流程单元23与信号发生器7的自主动作通过触发单元13来控制和执行。从处理中心5只需要提取测试流程数据TAD₁、TAD₂来用于信号发生器7或流程单元23。只要测试流程数据TAD₁、TAD₂存在于那里，测试流程就与处理中心5无关地运行。在最终效果上，然后在流程单元23中生成结果数据ED，该结果数据又经由以太网接口25转发给处理中心5并且在那里被最终处理或分析。由此处理中心5的第一任务和目的是预先定义合适的测试流程并且将相应的测试流程数据TAD₁、TAD₂合适地转发给信号发生器7或流程单元23的FPGA15。第二是处理中心在检验之后处理结果数据ED并且分析该结果数据。

图2以强烈简化的形式示出了按照本发明的设备1′的第二实施方式。该设备1′还是包括处理中心5、信号发生器7和多个不透光的外壳3a、3b，在此示例性地示出两个外壳3a、3b。为清楚起见，在此未一同示出在图1中所示的电源。在两个外壳3a、3b中设置类似于图1所示部件的部件（未示出）。这意味着，尤其是在每个外壳3a、3b中设置流程单元23和接触设备21。此外在每个外壳3a、3b中不透光地容纳信号输出单元17并且与信号发生器7通过单独的连接相连接。

在图2中可以看出，向每个外壳3a、3b以及由此向每个流程单元23或每个接触设备21分配触发单元13a、13b。外壳3a、3b及其部件通过触发单元13a、13b相互连接，在其内部的测试流程可以通过触发单元13a、13b实时相互同步。这两个外壳3a、3b的每一个或包含在其内的流程单元也与处理中心5相连接。

处理中心5还是向外壳3a、3b中的各个流程单元23发送测试流程数据TAD₂，并且在执行了检验之后从各个外壳3a、3b中由其各自的流程单元23获得单独的结果数据ED_a、ED_b，所述结果数据包括或代表分别在外壳中经受测试的处理电子器件19的测试的测试结果。同样，处理中心5与结合图1的实施类似地将测试流程数据TAD₁发送给信号发生器7。信号发生器7从中导出测试信号指令TSB（未示出）并且将该测试信号指令TSB发送给两个外壳3a、3b中的两个信号输出单元17中的每一个。信号输出单元17在其外壳3a、3b中分别将测试信号TS引导至在外壳中与接触设备21接触的处理电子器件19。

为了一方面将测试流程与测试信号TS到各个外壳3a、3b中的导入同步以及为了使两个外壳3a、3b之间的流程同步，还是将启动信号SS₂从信号发生器7输出到第一外壳3a中的第一触发单元13a。由此，被构造为输入/输出触发单元13a的第一触发单元13a生成触发信号TO₃，第一触发单元将该触发信号转发至第二外壳3b中的第二触发单元13b。该第二触发单元13b被构造为纯粹的输入触发单元13b。从而在最终效果上，在从处理中心5接收了测试流程数据TAD₁、TAD₂之后，在外壳3a、3b中的各个流程单元23之间通过两个触发单元13a、13b与信号发生器7协作地对各自外壳3a、3b中的处理电子器件19进行独立的检验。

因此图2所示的电路基于级联原理。在当前的情况下，仅示出两个外壳3a、3b，但是当然（以及优选的）可以先后地设置更大数量的单个单元以用于测试处理电子器件。

图3示意性示出用于检验处理电子器件19的按照本发明的方法的流程的示意框图，现在以图1为背景详细阐述该方法：

在第一步骤A中，在处理中心5中为处理电子器件19定义测试流程。在第二步骤B中从处理中心5接收对测试流程的定义并且与处理中心5无关地通过流程单元23执行。为此在步骤C中信号发生器7将测试信号TS导入处理电子器件19中。两个步骤B和C在同步步骤D中实时地相互同步。由此保证通过流程单元23执行的测试流程的开始与通过信号发生器7对测试信号TS的导入相互完全涵盖地协调，并且由此最佳地在时间上相互调协一致。可选地，在步骤E中可以在处理中心5中进一步处理来自测试流程的结果数据ED。

最后要再次指出，所述设备的前面详细描述的部件或设备的各个部件只是专业人员可以按照不同的方式修改的实施例，而不脱离本发明的范围。此外，不定冠词“一”或“一个”的使用不排除所涉及的特征也可以多重地存在。此外，“单元”可以由一个或多个、在空间上也分布设置的部件组成。

Claims

1.一种用于检验处理电子器件（19）、尤其是计算机断层造影设备的检测器模块的集成电路的设备（1，1′），包括：

-处理中心（5），所述处理中心在运行中定义测试流程和/或进一步处理来自测试流程的结果数据（ED，ED_a，ED_b），

-与所述处理中心（5）相连接的流程单元（23），该流程单元在运行中在从处理中心（5）接收测试流程的定义（TAD₁，TAD₂）之后独立地执行这些测试流程，并且该流程单元与用于接触所述处理电子器件(19)的接触设备（21）耦合，

-信号发生器（7），所述信号发生器将测试信号(TS)导入处理逻辑器（19），以及

-至少一个触发单元（13，13a，13b），所述触发单元在运行中实时地将通过所述流程单元（23）执行的测试流程的开始与通过所述信号发生器（7）对所述测试信号（TS）的导入相互同步。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述流程单元（23）包括可编程存储单元，尤其是FPGA。

3.根据权利要求1或2所述的设备，其中，所述流程单元（23）与独立于所述处理中心（5）的电源（11）相连接。

4.根据上述权利要求中任一项所述的设备，其中，所述信号发生器（7）被连接到信号输出单元（17）。

5.根据权利要求4所述的设备，其中，所述信号输出单元（17）包括电磁辐射源，尤其是光源。

6.根据上述权利要求中任一项所述的设备，其中，所述接触设备（21）连接到用于向所述处理电子器件（19）供应运行电流（BS₂）的电源单元（9）。

7.根据权利要求6所述的设备，其中，所述电源单元（9）由所述处理中心（5）控制。

8.根据上述权利要求中任一项所述的设备，其中，所述接触设备（21）容纳在不透光的外壳（3，3a，3b）中。

9.根据上述权利要求中任一项所述的设备，其中，所述处理中心（5）与所述流程单元（23）经由以太网接口（25）相互连接。

10.根据上述权利要求中任一项所述的设备，其中，所述触发单元（13，13a）被构造为，使得该触发单元将测试流程的开始与测试信号（TS）的导入这样相互同步，即测试流程的开始引起测试信号（TS）的导入以及测试信号（TS）的导入引起测试流程的开始。

11.根据上述权利要求中任一项所述的设备（1′），包括多个接触设备（21）。

12.根据上述权利要求中任一项所述的设备（1′），包括多个触发单元（13，13a，13b）。

13.根据上述权利要求中任一项所述的设备，其中，触发单元（13b）被构造为，使得该触发单元将测试流程的开始与测试信号（TS）的导入这样相互同步，即该触发单元或者在测试流程的开始时引起测试信号（TS）的导入或者测试信号（TS）的导入引起测试流程的开始。

14.一种用于检验处理电子器件（19）、尤其是计算机断层造影设备的检测器模块的集成电路的方法，包括以下步骤：

-在处理中心（5）中为所述处理电子器件（19）定义（A）测试流程，

-从所述处理中心（5）接收（B）测试流程的定义并且通过与所述处理中心（5）相连接的流程单元（23）独立地执行这些测试流程，所述流程单元与用于接触所述处理电子器件（19）的接触设备（21）耦合，

-通过信号发生器（7）将测试信号（TS）导入（C）处理逻辑器（19），

-借助触发单元（13，13a，13b）实时地将通过所述流程单元（23）执行的测试流程的开始与通过信号发生器（7）对测试信号（TS）的导入相互同步（D），以及

-在所述处理中心（5）中可选地对来自测试流程的结果数据（ED，ED_a，ED_b）进行进一步处理（E）。

15.一种能直接被加载到可编程检验系统的处理器中的计算机程序产品，具有程序代码装置，用于当程序产品在检验系统上实施时执行根据权利要求14所述的方法的所有步骤。