CN102866432A - 一种检测晶片的调节装置 - Google Patents

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林萍
伍三忠
彭立波
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Abstract

本发明公开了一种检测晶片的调节装置，该装置包括：2个调节螺钉1、1个固定螺钉2、1个激光器3、1个接收器4。其特征在于：激光器3的激光随着调节螺钉1的松动而变化方向，此装置要先调整调节螺钉1，两个调节螺钉1交换调节，直至激光器3的激光在无晶片的情况下，接收器4接收到激光。就表明调节螺钉1调整完毕，在拧紧固定螺钉2。固定螺钉2用来固定此调节装置。

Description

一种检测晶片的调节装置
技术领域
本发明涉及一种检测晶片的调节装置，在检测机械手上是否有无晶片的调节装置中得到充分的应用。
背景技术
离子注入机是一种通过引导杂质注入半导体晶片，从而改变晶片的传导率的设备，其中，杂质注入的深度和密度的均匀性都直接决定了注入晶片的品质。在晶片传送的过程中，我们采用机械手臂来传送晶片，首先晶片是放在片库的晶片盒子里，需要通过机械手将晶片取出来放到片库中，其次，在等到机械手把片库中的晶片取出来，当在机械手腔中时，系统需要检测机械手臂上是否有晶片，此时激光器发出激光，接收器判断是否接收到激光，若接收到激光，表示机械手上无晶片，进入等待过程，接收器没有接收到激光时，则有晶片在机械手上，进入相应下一步的操作。判断机械手上是否有晶片对于下一步的操作是非常重要的，通过判断是否有晶片来决定机械手臂是否传送晶片。
发明内容
本发明通过以下技术方案实现：
1.一种检测晶片的调节装置，包括：2个调节螺钉(1)、1个固定螺钉(2)、1个激光器(3)、1个接收器(4)。其特征在于，
其中所述调节螺钉(1)用来调节激光座子的位置。激光座位置决定激光器(3)发出的激光，当调节螺钉旋转到特定的位置，激光在无晶片的情况下，接收器接收到激光的位置。
2.一种检测晶片的调节装置，包括：2个调节螺钉(1)、1个固定螺钉(2)、1个激光器(3)、1个接收器(4)。其特征在于，
其中所述固定螺钉(2)固定整个调节装置，当调节螺钉确定之后，拧紧固定螺钉。此调节装置安装完毕。
附图说明
图1是本发明的一种检测晶片的发射调节装置结构图。
图2是本发明的一种检测晶片的接收装置结构图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明作进一步详细描述：
该装置包括：2个调节螺钉(1)、1个固定螺钉(2)、1个激光器(3)、1个接收器(4)。此装置中激光器(3)的激光随着调节螺钉(1)的松动而变化方向，首先调整调节螺钉(1)，两个调节螺钉(1)交换调节，直至激光器(3)的激光在无晶片的情况下，接收器(4)接收到激光。就表明调节螺钉(1)调整完毕，其次在拧紧固定螺钉(2)。固定螺钉(2)用来固定此调节装置。固定激光器座子。
本发明的特定实施例已对发明内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明原理的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。

Claims (3)

1.一种检测晶片的调节装置，其特征在于：该装置包括：2个调节螺钉(1)、1个固定螺钉(2)、1个激光器(3)、1个接收器(4)。其特征在于：激光器(3)的激光随着调节螺钉(1)的松动而变化方向，此装置要先调整调节螺钉(1)，两个调节螺钉(1)交换调节，直至激光器(3)的激光在无晶片的情况下，接收器(4)接收到激光。就表明调节螺钉(1)调整完毕，在拧紧固定螺钉(2)。固定螺钉(2)用来固定此调节装置。
2.权利要求1的检测晶片的调节装置，其中所述的一种检测晶片的调节装置，调整调节螺钉(1)，两个调节螺钉(1)交换调节，直至激光器(3)的激光在无晶片的情况下，接收器(4)接收到激光。
3.权利要求2的调节螺钉(1)装置能简单可靠的调节激光位置，而固定螺钉(2)用来固定整个调节装置。
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Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
DD01 Delivery of document by public notice

Addressee: Zhongkexin Electronic Equipment Co., Ltd., Beijing

Document name: Notification that Application Deemed to be Withdrawn

C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20130109