CN102780152B - 一种高功率ld侧面环绕泵浦结构模块 - Google Patents

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一种高功率LD侧面环绕泵浦结构模块,其包括:增益介质;石英管;端盖;LD泵浦模块。该石英管为异形石英管,其内壁均匀设有多个凸起部,该凸起部表面镀有反射膜,该凸起部的表面为圆弧状,圆弧的法线经过晶体棒的中心。石英管内部通水,对晶体棒进行冷却。该端盖安装于石英管的两端,端盖内设有水冷通道,该水冷通道与LD泵浦模块以及石英管的水冷通道相通。LD泵浦模块设置在石英管的外部,在每两个相邻的凸起部之间对应位置处;其包括LD线性阵列以及水冷结构。所述水冷结构为等腰梯形结构的水冷结构,其下底朝向晶体棒方向,在水冷结构的侧壁上设置有陶瓷片,该陶瓷片上方设置有LD;水冷结构侧壁内部,陶瓷片的正下方设置有微通道结构水冷通道,通水孔平行于侧壁。

Description

一种高功率LD侧面环绕泵浦结构模块
技术领域:
本发明涉及一种高功率LD侧面环绕泵浦结构模块。
背景技术:
随着全固态激光器在工业、医疗、民用等领域展现越来越广阔的应用前景,高功率的固体激光器被越来越多地应用于各个领域。这就对作为核心部件的半导体激光侧泵模块提出了更高的要求。传统的侧泵技术通常采用多个LD排列,对晶体棒进行泵浦,这种方式存在以下缺点:1)多个LD阵列泵浦时,其安装区域有限,导致泵浦功率有限,从而难于实现高功率输出的激光。2)对于单个LD而言,其发出的泵浦光进入晶体后,不能被全部有效吸收,从而造成泵浦光的浪费,造成泵浦效率下降,同时未被吸收的光产生大量热,降低了激光器的可靠性。3)侧泵能量不均匀。传统的侧泵技术主要对半导体激光器泵浦源快轴方向光束进行压缩,慢轴方向不做处理,因此侧泵光束能量分布不均匀,从而使晶体棒受热不均产生热效应,这将导致整个模块的转换效率下降。
本发明利用目前市场上较为成熟的大功率半导体激光器巴条,并结合优化的水冷结构以及模块分布方式,增加了泵浦模块的有效数量,并使每个模块发出的光形成二次吸收,从而提高了泵浦效率。
发明内容:
为解决上述技术问题,本发明采用了以下技术方案:
一种高功率LD侧面环绕泵浦结构模块,其特征在于:其包括:增益介质;石英管;端盖;LD泵浦模块;其中,该增益介质为晶体棒,安装在石英管内;该石英管为异形石英管,其内壁均匀设有多个凸起部,该凸起部表面镀有反射膜,该凸起部的表面为圆弧状,圆弧的法线经过晶体棒的中心;石英管内部通水,对晶体棒进行冷却;该端盖安装于石英管的两端,端盖内设有水冷通道,该水冷通道与LD泵浦模块以及石英管的水冷通道相通;LD泵浦模块设置在石英管的外部,在每两个相邻的凸起部之间对应位置处;其包括LD线性阵列以及水冷结构;所述水冷结构为等腰梯形结构的水冷结构,其下底朝向晶体棒方向,在水冷结构的侧壁上设置有陶瓷片,该陶瓷片上方设置有LD;水冷结构侧壁内部,陶瓷片的正下方设置有微通道结构水冷通道,通水孔平行于侧壁;LD发出的泵浦光,经过石英管后到达晶体棒,部分被吸收,未被吸收的光被反射凸起部反射,再次回到晶体棒被吸收;LD通过陶瓷片被水冷结构水冷散热。
优选地,所述晶体棒为Nd:YAG晶体棒,掺杂浓度为1%,长度为90mm,直径为4~6mm。
优选地,所述石英管的管长为60mm,内壁直径为8mm,外壁直径为10mm。
优选地,所述凸起部的个数为三个,每个凸起部上镀有金属反射膜,反射率为90%。该凸起部的表面为圆弧状,对应的圆的曲率半径为3~5mm。优选地,所述曲率半径为4mm。圆弧的弦长为3mm。
优选地,所述水冷结构的材料为导热率高的金属铜,其梯形的下底长度为2~4mm,上底长度为6~8mm。
优选地,所述水冷结构的材料为导热率高的金属铜,其梯形的下底长度为3mm,上底长度为7mm。
优选地,所述LD线性阵列包括5个功率为40w的巴条。
优选地,所述凸起部的个数为五个,每个凸起部上镀有介质反射膜,反射率为99%。该凸起部表面为的圆弧对应的圆的曲率半径为4~6mm。优选地,所述曲率半径为5mm。圆弧的弦长为2.5mm。
优选地,所述凸起部的个数为7个,每个凸起部上镀有介质反射膜,反射率为99%。该凸起部表面为的圆弧对应的圆的曲率半径为5~8mm。优选地,所述曲率半径为7mm。圆弧的弦长为2mm。
附图说明:
图1为泵浦结构的侧视图
图2为石英管结构的侧视图
图3为LD泵浦模块的侧视图
图4为LD泵浦模块的主视图
图5为泵浦模块的水冷结构图
各附图标记对应的部件:
1.晶体棒;2.水冷液体;3.石英管;4.LD;5.陶瓷片;6.微通道;7.水冷结构;8.端盖;9.端盖进水孔;10.端盖出水孔
具体实施方式:
下面结合附图对本发明做进一步的描述:
实施例1:
图1为本发明第一实施方式的结构示意图。其中,增益介质为圆柱形的Nd:YAG晶体棒,掺杂浓度为1%,长度为90mm,直径为4~6mm,其安装在石英管内,晶体棒1周围通水对其进行冷却。该石英管3的管长为60mm,两端设有端盖8,端盖8内设有水冷通道,该水冷通道与LD泵浦模块以及石英管3的水冷通道相连。石英管3内壁直径为8mm,外壁直径为10mm,该石英管为异形石英管,其内壁均匀分布有三个朝向晶体棒的凸起部,每个凸起部上镀有金属反射膜,反射率为90%。该凸起部的表面为圆弧状,圆弧的法线经过晶体棒的中心,其曲率半径为3~5mm,如4mm,圆弧的弦长为2.5mm。石英管3的外部,在每两个相邻的凸起部之间对应位置处设置有LD泵浦模块,其包括LD线性阵列,每个LD线性阵列包括5个功率为40w的巴条。该LD泵浦模块包括等腰梯形结构的水冷结构7,其材料为导热率高的金属铜。该水冷结构7的梯形的下底长度为2~3mm,上底长度为6~8mm,其中该下底朝向石英管3方向。在水冷结构的侧壁设置有陶瓷片5,该陶瓷片5上方,设置有LD泵浦芯片,为了对LD芯片进行高效散热,水冷结构7侧壁内部,即陶瓷片5的正下方设置有微通道结构水冷通道,通水孔平行于侧壁。LD泵浦芯片发出的光,经过石英管3后到达晶体棒1,部分被吸收,未被吸收的光被反射凸起部反射,再次回到晶体棒1。LD通过陶瓷片被水冷结构7水冷散热。石英管3通过水冷散热。通过以上结构,LD发出的光被晶体棒部分吸收后,到达凸起部反射,该凸起部的曲率半径通过zemax软件来进行设计,使其反射回晶体棒,并被再次吸收。
实施例2:
其基本结构与实施例1相同,其中半导体泵浦模块的个数为5个,异形石英管内部的凸起部为5个,每个凸起部上镀有介质反射膜,反射率为99%。该凸起部的表面为圆弧状,对应的圆的曲率半径为4~6mm,如5mm。圆弧的弦长为2.5mm。
实施例2:
其基本结构与实施例1相同,其中半导体泵浦模块的个数为7个,异形石英管内部的凸起部为7个,每个凸起部上镀有介质反射膜,反射率为99%。该凸起部的表面为圆弧状,对应的圆的曲率半径为5~7mm,如6mm。圆弧的弦长为2mm。

Claims (10)

1.一种高功率LD侧面环绕泵浦结构模块,其特征在于:其包括:
增益介质;
石英管;
端盖;
LD泵浦模块;
其中,该增益介质为晶体棒,安装在石英管内;
该石英管为异形石英管,其内壁均匀设有多个凸起部,该凸起部表面镀有反射膜,该凸起部的表面为圆弧状,圆弧的法线经过晶体棒的中心;石英管内部通水,对晶体棒进行冷却;
该端盖安装于石英管的两端,端盖内设有水冷通道,该水冷通道与LD泵浦模块以及石英管的水冷通道相通;
LD泵浦模块设置在石英管的外部,在每两个相邻的凸起部之间对应位置处;其包括LD线性阵列以及水冷结构;所述水冷结构为等腰梯形结构的水冷结构,其下底朝向晶体棒方向,在水冷结构的侧壁上设置有陶瓷片,该陶瓷片上方设置有LD;水冷结构侧壁内部,陶瓷片的正下方设置有微通道结构水冷通道,通水孔平行于侧壁;
LD发出的泵浦光,经过石英管后到达晶体棒,部分被吸收,未被吸收的光被凸起部反射,再次回到晶体棒被吸收;LD通过陶瓷片被水冷结构水冷散热。
2.如权利要求1所述的泵浦结构模块,其特征在于:所述晶体棒为Nd:YAG晶体棒,掺杂浓度为1%,长度为90mm,直径为4~6mm。
3.如权利要求1所述的泵浦结构模块,其特征在于:所述石英管的管长为60mm,内壁直径为8mm,外壁直径为10mm。
4.如权利要求1所述的泵浦结构模块,其特征在于:所述凸起部的个数为三个,每个凸起部上镀有金属反射膜,反射率为90%,该凸起部的表面为圆弧状,对应的圆的曲率半径为3~5mm,圆弧的弦长为3mm。
5.如权利要求4所述的泵浦结构模块,其特征在于:所述曲率半径为4mm。
6.如权利要求1所述的泵浦结构模块,其特征在于:所述水冷结构的材料为导热率高的金属铜,其梯形的下底长度为2~4mm,上底长度为6~8mm。
7.如权利要求6所述的泵浦结构模块,其特征在于:所述水冷结构的材料为导热率高的金属铜,其梯形的下底长度为3mm,上底长度为7mm。
8.如权利要求1所述的泵浦结构模块,其特征在于:所述凸起部的个数为五个,每个凸起部上镀有介质反射膜,反射率为99%,该凸起部的表面为圆弧状,对应的圆的曲率半径为4~6mm,圆弧的弦长为2.5mm。
9.如权利要求8所述的泵浦结构模块,其特征在于:所述曲率半径为5mm。
10.如权利要求1所述的泵浦结构模块,其特征在于:所述凸起部的个数为七个,每个凸起部上镀有介质反射膜,反射率为99%,该凸起部的表面为圆弧状,对应的圆的曲率半径为5~8mm,圆弧的弦长为2mm。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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CN103779782B (zh) * 2014-01-08 2016-07-06 中国工程物理研究院应用电子学研究所 一种高平均功率二极管泵浦激光模块及其制备方法
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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5636239A (en) * 1995-05-15 1997-06-03 Hughes Electronics Solid state optically pumped laser head
CN101286616A (zh) * 2008-05-30 2008-10-15 中国科学院上海光学精密机械研究所 2μm全固态脉冲环形激光器

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5636239A (en) * 1995-05-15 1997-06-03 Hughes Electronics Solid state optically pumped laser head
CN101286616A (zh) * 2008-05-30 2008-10-15 中国科学院上海光学精密机械研究所 2μm全固态脉冲环形激光器

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