CN102769989A - 等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置 - Google Patents

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刘彦明
贺铮光
李小平
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Abstract

本发明公开了一种等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置。主要解决目前等离子产生系统内置冷却电极不可更换、电极接口处放电不稳定的问题。整个装置主要包括金属螺杆（1）、锁紧顶盖（2）、绝缘底座（3）和绝缘挡板（4），金属螺杆（1）上部连接锁紧顶盖（2），下部连接绝缘底座（3），本装置通过螺纹连接和嵌入式的连接方式，实现内置冷却电极的快速拆装，绝缘挡板（4）套在绝缘底座（3）上部，通过绝缘挡板（4）防止电极接口部分与等离子腔体发生弧光放电。本发明方便等离子体产生装置内置冷却电极的更换，同时防止电极接口部分发生弧光放电，可用于等离子产生系统内置冷却电极与等离子腔体的绝缘和密封。

Description

等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置
技术领域
本发明属于基本电气元件技术领域，特别涉及绝缘密封装置，可用于等离子体放电腔体内置冷却电极与等离子体腔体的绝缘和密封。
背景技术
研究电磁波在等离子体中的传播特性，以及等离子体与电磁波的相互作用是宇宙飞行器再入、电离层研究、等离子体隐身技术等研究工作的基础和关键内容。在地面实验研究中，利用低气压辉光放电可以产生稳定的大面积均匀等离子体，从而进行电磁波与等离子体的相互作用机理研究。
专利文献《大面积均匀非磁化等离子体产生装置及方法》（公开号：102361531A）中提出了一种大面积均匀非磁化等离子体产生装置及方法，其采用内置环形网状电极与金属外壁之间产生等离子体，再利用低气压下电子的平均自由程比较长的特性，电子通过电极网孔扩散到电极内部，从而产生通透的大面积等离子体。
但是由于等离子体的电子密度大小与放电功率有关，在提高放电功率提高电子密度的同时也会导致发热量的增大，尤其在低气压下，由于空气稀薄，热传导过程大大降低，内置电极只能通过辐射的方式向外散热，热量的积累将会使内置电极的温度迅速升高，内置电极温度过高导致等离子体产生系统不稳定。
为了解决这个问题，通常通过更换内部电极，将环形网状电极更换为螺旋管状冷却电极，降低内部电极的温度。但由于已有的电极密封，是将内置冷却电极固定在放电腔体上，往往导致内置冷却电极不能更换，等离子体产生系统不灵活；同时由于电极结构的改变，使电极接口处与放电腔体外壁接近的电极部分容易发生弧光放电，造成等离子体产生系统的不稳定。
发明内容
本发明的目的在于针对上述问题，提出一种等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，以方便等离子体产生装置内置冷却电极的更换，提高等离子产生系统的灵活性；同时防止电极接口处与放电腔体外壁接近的电极部分发生弧光放电，提高等离子体产生系统的稳定性。
为实现上述目的，本发明的等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，包括金属螺杆和绝缘挡板；金属螺杆内开有两个并行的通孔,上部固定有锁紧顶盖，下部连接有绝缘底座；锁紧顶盖下端嵌入绝缘底座上端；绝缘挡板套在绝缘底座上部，绝缘底座固定在等离子放电腔体上。
上述等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，其中所述的金属螺杆为带外螺纹的金属圆形螺杆，两个通孔内分别穿有流动冷却硅油的入口电极和出口电极。
上述等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，其中所述的锁紧顶盖通过螺纹与金属螺杆连接，并在内侧下端设有下部倒角。
上述等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，其中所述的绝缘底座通过螺纹与金属螺杆连接，通过锁紧螺母固定在等离子体放电腔体上。
上述等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，其中所述的绝缘底座的内侧中部位置设有中部倒角、内测上端设有上部倒角、中部外侧设有圆环形台阶，绝缘挡板放置在圆环形台阶上。
上述等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，其中所述的绝缘底座和绝缘挡板均采用聚四氟乙烯或环氧树脂。
上述等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，其中所述的绝缘底座通过挤压橡胶密封垫与等离子腔体密封，锁紧螺母通过挤压橡胶密封垫与等离子腔体密封。
上述等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，其中所述的下部倒角、中部倒角和金属螺杆接合的位置处放置有橡胶密封圈，通过挤压橡胶密封圈实现金属螺杆、锁紧顶盖和绝缘底座三者的密封。
上述等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，其中所述的上部倒角位置处放置有橡胶密封圈，通过挤压橡胶密封圈实现锁紧顶盖与绝缘底座两者的密封。
本发明具有以下优点：
1、本发明采用螺纹连接和嵌入式的连接方式，实现了内置冷却电极的快速拆装，不影响等离子产生系统的密封性和绝缘性，方便等离子产生装置内置冷却电极的更换，大大的提高了等离子产生系统的灵活性。
2、本发明采用绝缘材料隔离电极接口部分与等离子腔体，防止电极接口处与放电腔体外壁接近的电极部分发生弧光放电，大大的提高了等离子体产生系统稳定性。
下面结合附图对本将发明作进一步说明：
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图。
具体实施方式
参照图1，本发明的等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，包括：金属螺杆1、锁紧顶盖2、绝缘底座3、绝缘挡板4、橡胶密封圈5、橡胶密封圈6、锁紧螺母7、橡胶密封垫8和橡胶密封垫11；其中：金属螺杆1为带外螺纹的金属圆形螺杆，该金属圆形螺杆内开有两个并行的通孔9和10，通孔9和10内分别穿有流动冷却硅油的入口电极和出口电极；锁紧顶盖2的下部开有倒角21；绝缘底座3的中部内侧开有倒角31、上部开有倒角32，上部外侧设有圆形台阶33。
锁紧顶盖2，通过螺纹与金属螺杆1的上部连接，绝缘底座3通过螺纹固定在金属螺杆1的下部，锁紧顶盖2的下端嵌入绝缘底座3的上端5cm；中部内侧倒角31内放置有绝缘密封圈5，下部倒角21用于挤压绝缘密封圈5，上部倒角32内放置有绝缘密封圈6；沿着金属螺杆1的螺纹向下旋转锁紧顶盖2，锁紧顶盖2和绝缘底座3同时挤压绝缘密封圈5和绝缘密封圈6，实现金属螺杆1与绝缘底座3之间的密封和锁紧顶盖2与绝缘底座3之间的密封。
绝缘底座3，采用聚四氟乙烯或环氧树脂，放置在等离子腔体内部，其下端的螺纹部分穿过等离子腔体；等离子腔体通过锁紧螺母7与绝缘底座3的螺纹连接，橡胶密封垫8放置在绝缘底座3与等离子腔体之间，用于实现绝缘底座3与等离子腔体的密封；橡胶密封垫11放置在锁紧螺母7与等离子腔体之间，用于实现锁紧螺母7与等离子腔体的密封，旋紧锁紧螺母7将绝缘底座3固定在等离子腔体上。
绝缘挡板4，采用高度为8cm的聚四氟乙烯或环氧树脂的圆筒，放置在绝缘底座3的圆环形台阶33上，用于防止等离子腔体与内置冷却电极接口部分发生弧光放电。
通过绝缘底座3与金属螺杆1之间的密封、绝缘底座3与等离子腔体之间的密封，保证了金属螺杆1与等离子体腔体的密封性；通过绝缘底座3与金属螺杆1之间的绝缘、绝缘底座3与等离子腔体2之间的绝缘，保证了金属螺杆1与等离子腔体的绝缘性；通过金属螺杆1与绝缘底座3之间的螺纹连接和多级密封的方式，方便了等离子产生装置内置冷却电极的更换；通过绝缘挡板4隔离内置冷却电极接口处与等离子腔体外壁，防止发生弧光放电。
工作时，对等离子体腔体密封抽真空，在内置冷却电极与等离子腔体之间施加交流高压，使等离子腔体内部产生高密度等离子体，并在内置冷却电极的入口电极和出口电极通有循环冷却的硅油，降低内置冷却电极温度，提高系统稳定性；绝缘底座3和绝缘挡板4采用绝缘材料使内置冷却电极与等离子腔体之间具有较好的绝缘性，使得内置冷却电极可以稳定放电；绝缘底座3与等离子腔体和金属螺杆1之间采用多级密封的方式，保证了等离子腔体的密封性，维持等离子体腔体内部的真空状态，使得等离子产生系统可以长时间稳定工作。
以上实例仅是对本发明的参考说明，并不构成对本发明内容的任何限制。

Claims (9)

1.一种等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，其特征在于:包括金属螺杆（1）和绝缘挡板（4）；金属螺杆（1）内开有两个并行的通孔（9）和（10）,上部连接有锁紧顶盖（2），下部连接有绝缘底座（3）；锁紧顶盖（2）下端嵌入绝缘底座（3）上端；绝缘挡板（4）套在绝缘底座（3）上部，绝缘底座（3）固定在等离子放电腔体上。
2.根据权利要求1所述的等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，其特征在于：金属螺杆（1）为带外螺纹的金属圆形螺杆，通孔（9）和（10）内分别穿有流动冷却硅油的入口电极和出口电极。
3.根据权利要求1所述的等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，其特征在于：锁紧顶盖（2）通过螺纹与金属螺杆（1）连接，并在内侧下端设有下部倒角（21）。
4.根据权利要求1所述的等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，其特征在于：绝缘底座（3）通过螺纹与金属螺杆（1）连接，通过锁紧螺母（7）固定在等离子体放电腔体上。
5.根据权利要求1所述的等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，其特征在于：绝缘底座（3）的内侧中部位置设有中部倒角（31）、内测上端设有上部倒角（32）、中部外侧设有圆形台阶（33），绝缘挡板（4）放置在圆形台阶（33）上。
6.根据权利要求1所述的等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，其特征在于：绝缘底座（3）和绝缘挡板（4）均采用聚四氟乙烯或环氧树脂。
7.根据权利要求4所述的等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，其特征在于：绝缘底座（3）通过挤压橡胶密封垫（8）实现绝缘底座（3）与等离子腔体的密封，锁紧螺母（7）通过挤压橡胶密封垫（11）实现锁紧螺母（7）与等离子腔体的密封。
8.根据权利要求3或5所述的等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，其特征在于：下部倒角（21）、中部倒角（31）和金属螺杆（1）接合的位置处放置有橡胶密封圈（6），通过挤压橡胶密封圈（6）实现金属螺杆（1）、锁紧顶盖（2）和绝缘底座（3）三者的密封。
9.根据权利要求5所述的等离子体放电腔体内置冷却电极的绝缘密封装置，其特征在于：上部倒角（32）位置处放置有橡胶密封圈（5），通过挤压橡胶密封圈（5）实现锁紧顶盖（2）与绝缘底座（3）两者的密封。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103014660A (zh) * 2012-12-14 2013-04-03 广东志成冠军集团有限公司 Pecvd镀膜装置及其射频电源与真空腔体的连接装置
CN104425042A (zh) * 2013-09-03 2015-03-18 核工业西南物理研究院 一种用于核聚变反应堆的绝缘组件
CN105490058A (zh) * 2016-01-11 2016-04-13 华中科技大学 一种绝缘密封电极组件
CN107887249A (zh) * 2017-11-14 2018-04-06 珠海宝丰堂电子科技有限公司 等离子蚀刻装置及其放电腔体
CN112888135A (zh) * 2021-02-01 2021-06-01 北京环境特性研究所 一种等离子体发生器及其电极结构

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0152307A2 (en) * 1984-02-15 1985-08-21 The Electricity Council Leadthrough arrangement
CN2484302Y (zh) * 2001-06-10 2002-04-03 安徽中奥环保高科技有限责任公司 可靠性高的臭氧发生器
CN101190783A (zh) * 2006-11-29 2008-06-04 周平 水冷式臭氧发生装置
CN101980588A (zh) * 2010-10-04 2011-02-23 周开根 一种电弧等离子体喷枪
CN101998747A (zh) * 2009-08-19 2011-03-30 中国科学院金属研究所 一种低温等离子体装置
JP2011222242A (ja) * 2010-04-08 2011-11-04 Ngk Spark Plug Co Ltd 点火プラグ

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0152307A2 (en) * 1984-02-15 1985-08-21 The Electricity Council Leadthrough arrangement
CN2484302Y (zh) * 2001-06-10 2002-04-03 安徽中奥环保高科技有限责任公司 可靠性高的臭氧发生器
CN101190783A (zh) * 2006-11-29 2008-06-04 周平 水冷式臭氧发生装置
CN101998747A (zh) * 2009-08-19 2011-03-30 中国科学院金属研究所 一种低温等离子体装置
JP2011222242A (ja) * 2010-04-08 2011-11-04 Ngk Spark Plug Co Ltd 点火プラグ
CN101980588A (zh) * 2010-10-04 2011-02-23 周开根 一种电弧等离子体喷枪

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103014660A (zh) * 2012-12-14 2013-04-03 广东志成冠军集团有限公司 Pecvd镀膜装置及其射频电源与真空腔体的连接装置
CN104425042A (zh) * 2013-09-03 2015-03-18 核工业西南物理研究院 一种用于核聚变反应堆的绝缘组件
CN104425042B (zh) * 2013-09-03 2017-02-22 核工业西南物理研究院 一种用于核聚变反应堆的绝缘组件
CN105490058A (zh) * 2016-01-11 2016-04-13 华中科技大学 一种绝缘密封电极组件
CN105490058B (zh) * 2016-01-11 2017-09-29 华中科技大学 一种绝缘密封电极组件
CN107887249A (zh) * 2017-11-14 2018-04-06 珠海宝丰堂电子科技有限公司 等离子蚀刻装置及其放电腔体
CN107887249B (zh) * 2017-11-14 2019-06-04 珠海宝丰堂电子科技有限公司 等离子蚀刻装置及其放电腔体
CN112888135A (zh) * 2021-02-01 2021-06-01 北京环境特性研究所 一种等离子体发生器及其电极结构

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