CN102768529A - 质量流量控制器的体积流量修正方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种质量流量控制器的体积流量修正方法,该方法包括以下步骤:1)向质量流量控制器输入参考真值,质量流量控制器接收参考真值,并将参考真值与第一修正系数拟合得到设定值;2)将设定值输入质量流量控制器,质量流量控制器根据设定值得到读取值,并将读取值与第二修正系数拟合得到并输出真值;第一修正系数和第二修正系数均通过设置于质量流量控制器之后的标准体积流量计输出的参考值确定。这样,通过第一修正系数和第二修正系数与参考真值的两次拟合,能够将质量流量控制器的质量流量修正为体积流量,从而避免由于质量流量漂移引起的测量误差,具有较高的控制精度,进而提高了标准气配气仪的配气精度。

Description

质量流量控制器的体积流量修正方法
技术领域
本发明涉及体积流量修正技术领域,特别是涉及一种质量流量控制器的体积流量修正方法。
背景技术
随着人们环保意识的不断提高,各种气体污染事故得到了国家的高度重视,污染事故的发生是破坏生态环境、威胁人类健康的危险因素;基于我国目前的环境污染现状,研发出能够现场监测气体指标的仪器,对危险气体含量实时监控,提升环境风险识别、评估、预防、应急处置水平迫在眉睫。
标准气配气仪是一种可广泛应用于气体重金属在线监测系统,用于标定分析仪表,标准气配气仪根据比例稀释的原理,将已知浓度标准物质按照体积成比例稀释成所需浓度标准样气的仪器设备,用于产生各种浓度的标准气,广泛应用于化学分析实验室、仪表研发与制造实验室、电厂、石油化工厂、空分厂等领域。
质量流量控制器是标准气配气仪的重要组成部分,其能够精确控制反应试剂的流量,保证标准气配气仪的配气精度。质量流量控制器测量采用热氏原理,该原理直接测量的为气体质量流量,而由于工作温度等因素,质量流量会产生漂移,导致测量值不准确,影响质量流量控制器的精度。
因此,如何提高质量流量控制器的控制精度,从而提高标准气配气仪的配气精度,就成为本领域技术人员亟需解决的问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种质量流量控制器的体积流量修正方法,其能够将质量流量控制器的质量流量修正为体积流量,从而避免由于质量流量漂移引起的测量误差,具有较高的控制精度,进而提高了标准气配气仪的配气精度。
本发明所提供的质量流量控制器的体积流量修正方法,包括以下步骤:
1)向所述质量流量控制器输入参考真值,所述质量流量控制器接收所述参考真值,并将所述参考真值与第一修正系数拟合得到设定值;
2)将所述设定值输入所述质量流量控制器,所述质量流量控制器根据所述设定值得到读取值,并将所述读取值与第二修正系数拟合得到并输出真值;
所述第一修正系数和所述第二修正系数均通过设置于所述质量流量控制器之后的标准体积流量计输出的参考值确定。
进一步地,所述第一修正系数通过以下方法得到:向所述质量流量控制器中输入多个设定值,所述标准体积流量计输出与各所述设定值一一对应的多个参考值,将各所述设定值与各所述参考值进行线性或者曲线拟合得到所述第一修正系数。
进一步地,所述第二修正系数通过以下方法得到:向所述质量流量控制器中输入多个设定值,并得到多个与所述设定值一一对应的读取值,同时,所述标准体积流量计输出与各所述设定值一一对应的多个参考值,将各所述读取值与各所述参考值进行线性或者曲线拟合得到所述第二修正系数。
进一步地,所述质量流量控制器的标定气为氮气。
本发明所提供的质量流量控制器的体积流量修正方法包括以下步骤:1)向所述质量流量控制器输入参考真值,所述质量流量控制器接收所述参考真值,并将所述参考真值与第一修正系数拟合得到设定值;2)将所述设定值输入所述质量流量控制器,所述质量流量控制器根据所述设定值得到读取值,并将所述读取值与第二修正系数拟合得到并输出真值;所述第一修正系数和所述第二修正系数均通过设置于所述质量流量控制器之后的标准体积流量计输出的参考值确定。
这样,通过第一修正系数和第二修正系数与参考真值的两次拟合,能够将质量流量控制器的质量流量修正为体积流量,从而避免由于质量流量漂移引起的测量误差,具有较高的控制精度,进而提高了标准气配气仪的配气精度。
附图说明
图1为本发明所提供的质量流量控制器的体积流量修正方法一种具体实施方式的流程图。
具体实施方式
本发明的核心是提供一种质量流量控制器的体积流量修正方法,其能够将质量流量控制器的质量流量修正为体积流量,从而避免由于质量流量漂移引起的测量误差,具有较高的控制精度,进而提高了标准气配气仪的配气精度。
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案,下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步的详细说明。
请参考图1,图1为本发明所提供的质量流量控制器的体积流量修正方法一种具体实施方式的流程图。
在一种具体实施方式中,本发明所提供的质量流量控制器的体积流量修正方法包括以下步骤:
S1:向所述质量流量控制器输入参考真值,所述质量流量控制器接收所述参考真值,并将所述参考真值与第一修正系数拟合得到设定值;
S2:将所述设定值输入所述质量流量控制器,所述质量流量控制器根据所述设定值得到读取值,并将所述读取值与第二修正系数拟合得到并输出真值;
所述第一修正系数和所述第二修正系数均通过设置于所述质量流量控制器之后的标准体积流量计输出的参考值确定。
这样,通过第一修正系数和第二修正系数与参考真值的两次拟合,能够将质量流量控制器的质量流量修正为体积流量,从而避免由于质量流量漂移引起的测量误差,具有较高的控制精度,进而提高了标准气配气仪的配气精度。
上述第一修正系数通过以下方法得到:向所述质量流量控制器中输入多个设定值,所述标准体积流量计输出与各所述设定值一一对应的多个参考值,将各所述设定值与各所述参考值进行线性或者曲线拟合得到所述第一修正系数。
显然地,第一修正系数也不局限于通过上述方式获得,从理论上来讲,也可以经过多次验证,找到较为合适的第一修正系数的具体数值。
上述第二修正系数通过以下方法得到:向所述质量流量控制器中输入多个设定值,并得到多个与所述设定值一一对应的读取值,同时,所述标准体积流量计输出与各所述设定值一一对应的多个参考值,将各所述读取值与各所述参考值进行线性或者曲线拟合得到所述第二修正系数。
同样地,第二修正系数也不局限于通过上述方式获得,从理论上来讲,也可以经过多次验证,找到较为合适的第二修正系数的具体数值。
本发明所提供的质量流量控制器的标定气为氮气,也可以为本领域中常规使用的其他气体。
下面以上述具体实施方式为例,简单介绍使用了体积流量修正方法的质量流量控制器的操作过程。
质量流量控制器后接入一标准体积流量计,该体积流量计用于提供参考值。接入气体后,在标准气配气仪软件界面进行流量设定,稳定后,此时流量控制器返回实际读取值,读取标准体积流量计读得参考值后,手动输入到软件内,保存该组值。改变输入设定,反复保存多组值,进行曲线拟合,获取第一修正系数,以特定文件名进行保存,使用时,只需选取特定文件名,即可完成该气体精确流量控制。获取配置系数文件流程为设定值与参考值数组进行曲线拟合,可获取第一修正系数,读取值与参考值数组进行曲线拟合,可获取第二修正系数,实际操作过程中,第一修正系数和第二修正系数以自定义文件名保存。
修正后的流量可进行验证,即实际使用过程。对应该气体选取相应的配置文件名字,此时程序内部已经读取已经修正后的第一修正系数和第二修正系数,输入期望值,即要获得的参考真值,该值进行与第一修正系数的函数换算,得到输入给质量流量控制器的设定值,质量流量控制器返回实测读取值,该值再进行与第二修正系数的函数换算,得到拟合值即期望真值。
以上对本发明所提供的质量流量控制器的体积流量修正方法进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以对本发明进行若干改进和修饰,这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。

Claims (4)

1.一种质量流量控制器的体积流量修正方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)向所述质量流量控制器输入参考真值,所述质量流量控制器接收所述参考真值,并将所述参考真值与第一修正系数拟合得到设定值;
2)将所述设定值输入所述质量流量控制器,所述质量流量控制器根据所述设定值得到读取值,并将所述读取值与第二修正系数拟合得到并输出真值;
所述第一修正系数和所述第二修正系数均通过设置于所述质量流量控制器之后的标准体积流量计输出的参考值确定。
2.根据权利要求1所述的质量流量控制器的体积流量修正方法,其特征在于,所述第一修正系数通过以下方法得到:向所述质量流量控制器中输入多个设定值,所述标准体积流量计输出与各所述设定值一一对应的多个参考值,将各所述设定值与各所述参考值进行线性或者曲线拟合得到所述第一修正系数。
3.根据权利要求1所述的质量流量控制器的体积流量修正方法,其特征在于,所述第二修正系数通过以下方法得到:向所述质量流量控制器中输入多个设定值,并得到多个与所述设定值一一对应的读取值,同时,所述标准体积流量计输出与各所述设定值一一对应的多个参考值,将各所述读取值与各所述参考值进行线性或者曲线拟合得到所述第二修正系数。
4.根据权利要求1至3任一项所述的质量流量控制器的体积流量修正方法,其特征在于,所述质量流量控制器的标定气为氮气。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105806681A (zh) * 2016-06-06 2016-07-27 北京雪迪龙科技股份有限公司 一种标准气配气控制方法、系统和标准气配气仪
CN106481969A (zh) * 2015-08-26 2017-03-08 安瑞科(廊坊)能源装备集成有限公司 Lng加液机自动标定系统与标定方法
CN107706121A (zh) * 2017-08-31 2018-02-16 华润赛美科微电子(深圳)有限公司 多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法和系统
CN109781200A (zh) * 2019-02-12 2019-05-21 成都秦川物联网科技股份有限公司 一种压力修正方法及膜式燃气表
CN110647177A (zh) * 2019-09-30 2020-01-03 北京晓韬科技有限公司 质量流量控制器的线性度增强方法及装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04262408A (ja) * 1991-02-18 1992-09-17 Nec Corp マスフロー・コントローラ
CN101532856A (zh) * 2009-04-10 2009-09-16 崔从文 压力补偿复合流量变送器
CN201421341Y (zh) * 2009-04-10 2010-03-10 崔从文 压力补偿复合流量变送器
DE102010030952A1 (de) * 2010-07-05 2012-01-05 Innovative Sensor Technology Ist Ag Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung eines Volumendurchflusses und/oder eienr Durchflussgeschwindigkeit

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04262408A (ja) * 1991-02-18 1992-09-17 Nec Corp マスフロー・コントローラ
CN101532856A (zh) * 2009-04-10 2009-09-16 崔从文 压力补偿复合流量变送器
CN201421341Y (zh) * 2009-04-10 2010-03-10 崔从文 压力补偿复合流量变送器
DE102010030952A1 (de) * 2010-07-05 2012-01-05 Innovative Sensor Technology Ist Ag Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung eines Volumendurchflusses und/oder eienr Durchflussgeschwindigkeit

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106481969A (zh) * 2015-08-26 2017-03-08 安瑞科(廊坊)能源装备集成有限公司 Lng加液机自动标定系统与标定方法
CN105806681A (zh) * 2016-06-06 2016-07-27 北京雪迪龙科技股份有限公司 一种标准气配气控制方法、系统和标准气配气仪
CN107706121A (zh) * 2017-08-31 2018-02-16 华润赛美科微电子(深圳)有限公司 多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法和系统
CN109781200A (zh) * 2019-02-12 2019-05-21 成都秦川物联网科技股份有限公司 一种压力修正方法及膜式燃气表
CN110647177A (zh) * 2019-09-30 2020-01-03 北京晓韬科技有限公司 质量流量控制器的线性度增强方法及装置
CN110647177B (zh) * 2019-09-30 2022-09-06 北京晓韬科技有限公司 质量流量控制器的线性度增强方法及装置

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