CN102723893A - 微纳米级仿生旋转驱动装置 - Google Patents
微纳米级仿生旋转驱动装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102723893A CN102723893A CN2012102268608A CN201210226860A CN102723893A CN 102723893 A CN102723893 A CN 102723893A CN 2012102268608 A CN2012102268608 A CN 2012102268608A CN 201210226860 A CN201210226860 A CN 201210226860A CN 102723893 A CN102723893 A CN 102723893A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- micro
- stator
- rotor
- piezoelectric stack
- precision
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
本发明涉及一种微纳米级仿生旋转驱动装置,属于精密、超精密加工领域。本发明主要由定子和转子组成。其中定子中封装驱动压电叠堆;转子为可变式接口转轴。本发明以高精度的压电驱动器驱动杠杆放大柔性铰链结构进行相关箝位,通过控制定子中压电钳位机构的箝位顺序来实现转子绕固定轴的步进式超精密旋转运动。本发明可用于高精度驱动和加工领域,具有投资少、成本低、见效快、效益高等优点。本发明是一种能够提高系统微动精度、降低结构尺寸的压电型单自由度精密旋转驱动器,可以绕确定方向的超精密步进式旋转运动。
Description
技术领域
本发明涉及精密、超精密加工领域,特别涉及一种微纳米级仿生旋转驱动装置。可用于精密加工机床、微机电系统和机器人等领域。
背景技术
随着现代科学技术的发展,人类的研究领域扩展到微观世界,微电子学、生命科学、医药卫生、生物化学、半导体、光学、数据存储、超精密机械及其制造以及精密测量等学科的迅猛发展,人们对微纳米级的精密定位技术和微纳米级的精密驱动技术有着越来越多的需求。传统的宏观大尺寸驱动装置已不能满足其精度要求。因此,性能更优越的新型高精度驱动装置就显得格外重要。由于压电陶瓷致动器具有频率响应高、体积小、位移分辨率高、发热少、无噪声、输出力大、换能效率高等优点,所以压电陶瓷为驱动源的新型驱动器越来越多的被应用到精密定位和精密加工中。以往的驱动装置往往存在结构尺寸偏大、步进精度低、往返重复定位精度低、难于加工等缺点。因此,一种定位精度和重复定位精度均较高,能够实现旋转运动输出的微小型精密驱动器是必要的。
发明内容
本发明的目的在于提供一种微纳米级仿生旋转驱动装置,解决了现有技术存在的上述问题。本发明具有箝位稳定、载荷输出较大的特点,并能实现大行程运动、旋转运动输出等功能的仿生微纳米级旋转驱动装置。本发明通过定子中封装的压电叠堆推动驱动柔性铰链和箝位柔性铰链,使之按一定时序运动,实现输出轴绕中心轴的旋转步进运动。
本发明的上述目的通过以下技术方案实现:
微纳米级仿生旋转驱动装置,包括定子2和转子4,所述转子4的输出端开有链接用螺纹孔,所述定子2的中心孔与转子4过渡配合;所述定子2的内部封装有驱动压电叠堆Ⅰ、Ⅱ1、5和箝位压电叠堆Ⅰ、Ⅱ3、6;其中驱动压电叠堆Ⅰ1和驱动压电叠堆Ⅱ5分别用于驱动定子2中封装的驱动放大机构;箝位压电叠堆Ⅰ3和箝位压电叠堆Ⅱ6分别用于驱动定子2中封装的直线柔性铰链。
所述的转子4为无绕线结构。
所述的转子4为可变式接口转轴。
所述的驱动压电叠堆Ⅰ、Ⅱ1、5和箝位压电叠堆Ⅰ、Ⅱ3、6均采用形体可控面型的压电陶瓷叠堆PZT,其运动是通过对压电陶瓷控制电压的时序控制来实现。
所述的转子4的转动和停止均由薄壁柔性铰链的钳位作用实现。
所述的定子2中的驱动放大机构为两级杠杆放大柔性铰链。
本发明的有益效果在于:结构新颖、简单,体积小;具有载荷输出较大、箝位稳定的特点,并能实现大行程运动、旋转运动输出等功能;可以应用于精密加工机床、微机电系统以及机器人领域,提高了系统微动精度、降低了结构尺寸;同时可大大提高普通驱动器的驱动精度,降低结构的复杂性及尺寸,且具有成本低、投资少、见效快、效益高等优点,有广阔的应用前景。实用性强。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解,构成本申请的一部分,本发明的示意性实例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定。
图1是本发明的轴测示意图;
图2是本发明的主视示意图;
图3是本发明的仰视示意图。
图中:
1. 驱动压电叠堆Ⅰ; 2. 定子; 3. 箝位压电叠堆Ⅰ;
4. 转子; 5. 驱动压电叠堆Ⅱ; 6. 箝位压电叠堆Ⅱ。
具体实施方式
下面结合附图进一步说明本发明的详细内容及其具体实施方式。
参见图1至图3所示,本发明的微纳米级仿生旋转驱动装置,包括定子2和转子4,所述转子4的输出端开有链接用螺纹孔,所述定子2的中心孔与转子4过渡配合;所述定子2的内部封装有驱动压电叠堆Ⅰ、Ⅱ1、5和箝位压电叠堆Ⅰ、Ⅱ3、6;其中驱动压电叠堆Ⅰ1和驱动压电叠堆Ⅱ5分别用于驱动定子2中封装的驱动放大机构;箝位压电叠堆Ⅰ3和箝位压电叠堆Ⅱ6分别用于驱动定子2中封装的直线柔性铰链。
所述的转子4为无绕线结构。
所述的转子4为可变式接口转轴。
所述的驱动压电叠堆Ⅰ、Ⅱ1、5和箝位压电叠堆Ⅰ、Ⅱ3、6均采用形体可控面型的压电陶瓷叠堆PZT,其运动是通过对压电陶瓷控制电压的时序控制来实现。
所述的转子4的转动和停止均由薄壁柔性铰链的钳位作用实现。
所述的定子2中的驱动放大机构为两级杠杆放大柔性铰链。
参见图1至图3所示,本发明的具体工作过程如下:
转子步进式旋转运动的实现,初始状态:驱动压电叠堆Ⅰ1、驱动压电叠堆Ⅱ5、箝位压电叠堆Ⅰ3和箝位压电叠堆Ⅱ6均不带电,系统处于自由状态,此时转子4亦处于游动状态;当转子4实现旋转运动时:封装于定子中的驱动压电叠堆Ⅰ1和驱动压电叠堆Ⅱ5通电,由于逆压电效应,驱动压电叠堆Ⅰ1和驱动压电叠堆Ⅱ5伸长,分别推动定子2中的箝位柔性放大铰链产生变形,由于该箝位柔性放大柔性铰链为两级杠杆放大柔性铰链,将会把转子4箝紧,并产生绕杠杆支点的切向力,这样就对转子4产生了切向的力偶,从而推动转子4旋转一定的角度;箝位压电叠堆Ⅰ3和箝位压电叠堆Ⅱ6通电伸长,推动定子2中的箝位柔性铰链产生变形,将转子4箝紧;驱动压电叠堆Ⅰ1和驱动压电叠堆Ⅱ5断电,箝位柔性放大铰链在弹性力的作用下恢复原长,并脱离转子4。此时,转子2绕着其中心轴旋转了一定的角度,重复上述动作,转子4将产生步进式的旋转运动。
整个仿生微纳米级旋转驱动装置的运动按照严格的时序逻辑进行,改变时序,可以改变旋转方向,并且由于采用了压电叠堆作为驱动源,其具有发热小、箝位稳定、载荷输出较大的特点,并能实现大行程运动、旋转运动输出等功能。
以上所述仅为本发明的优选实例而已,并不用于限制本发明,对于本领域的技术人员来说,本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种微纳米级仿生旋转驱动装置,其特征在于:包括定子(2)和转子(4),其特征在于:所述转子(4)的输出端开有链接用螺纹孔,所述定子(2)的中心孔与转子(4)过渡配合;所述定子(2)的内部封装有驱动压电叠堆Ⅰ、Ⅱ(1、5)和箝位压电叠堆Ⅰ、Ⅱ(3、6);其中驱动压电叠堆Ⅰ(1)和驱动压电叠堆Ⅱ(5)分别用于驱动定子(2)中封装的驱动放大机构;箝位压电叠堆Ⅰ(3)和箝位压电叠堆Ⅱ(6)分别用于驱动定子(2)中封装的直线柔性铰链。
2.根据权利要求1所述的微纳米级仿生旋转驱动装置,其特征在于:所述的转子(4)为无绕线结构。
3.根据权利要求1或2所述的微纳米级仿生旋转驱动装置,其特征在于:所述的转子(4)为可变式接口转轴。
4.根据权利要求1所述的微纳米级仿生旋转驱动装置,其特征在于:所述的驱动压电叠堆Ⅰ、Ⅱ(1、5)和箝位压电叠堆Ⅰ、Ⅱ(3、6)均采用形体可控面型的压电陶瓷叠堆PZT,其运动是通过对压电陶瓷控制电压的时序控制来实现。
5.根据权利要求1所述的微纳米级仿生旋转驱动装置,其特征在于:所述的转子(4)的转动和停止均由薄壁柔性铰链的钳位作用实现。
6.根据权利要求1所述的微纳米级仿生旋转驱动装置,其特征在于:所述的定子(2)中的驱动放大机构为两级杠杆放大柔性铰链。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2012102268608A CN102723893A (zh) | 2012-07-03 | 2012-07-03 | 微纳米级仿生旋转驱动装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2012102268608A CN102723893A (zh) | 2012-07-03 | 2012-07-03 | 微纳米级仿生旋转驱动装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102723893A true CN102723893A (zh) | 2012-10-10 |
Family
ID=46949581
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2012102268608A Pending CN102723893A (zh) | 2012-07-03 | 2012-07-03 | 微纳米级仿生旋转驱动装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102723893A (zh) |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103107733A (zh) * | 2013-01-30 | 2013-05-15 | 西安交通大学 | 一种输出动态微角位移的压电作动器 |
CN103501129A (zh) * | 2013-10-18 | 2014-01-08 | 吉林大学 | 一种仿生尺蠖型压电旋转驱动器 |
CN103904937A (zh) * | 2014-02-21 | 2014-07-02 | 西安交通大学 | 基于三个压电堆的旋转式驱动装置及方法 |
CN104734562A (zh) * | 2015-03-24 | 2015-06-24 | 西安交通大学 | 一种步进式压电陶瓷旋转驱动器及驱动方法 |
CN109889088A (zh) * | 2019-03-20 | 2019-06-14 | 哈尔滨工业大学 | 基于全压电陶瓷驱动的线性驱动装置 |
CN110910947A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-03-24 | 宁波大学 | 单层双工位四自由度柔顺微操作器 |
CN111130383A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-08 | 浙江师范大学 | 一种尺蠖型驱动平台及其控制方法 |
CN111162690A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-15 | 浙江师范大学 | 一种压电驱动装置及其控制方法 |
CN111162692A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-15 | 浙江师范大学 | 一种钳位式压电驱动平台及其激励方法 |
CN111245289A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-06-05 | 浙江师范大学 | 一种压电驱动的旋转运动装置及其控制方法 |
CN111327227A (zh) * | 2020-03-26 | 2020-06-23 | 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) | 一种压电直线促动器及控制方法 |
CN111384873A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-07-07 | 浙江师范大学 | 一种仿生尺蠖式驱动装置及其激励方法 |
CN111384872A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-07-07 | 浙江师范大学 | 一种旋转驱动平台及其控制方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090128933A1 (en) * | 2007-11-15 | 2009-05-21 | Tomihiro Wakayama | Driving device |
CN202135077U (zh) * | 2011-07-22 | 2012-02-01 | 吉林大学 | 多自由度微纳米级仿生精密旋转驱动装置 |
CN202696501U (zh) * | 2012-07-03 | 2013-01-23 | 吉林大学 | 微纳米级仿生旋转驱动装置 |
-
2012
- 2012-07-03 CN CN2012102268608A patent/CN102723893A/zh active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090128933A1 (en) * | 2007-11-15 | 2009-05-21 | Tomihiro Wakayama | Driving device |
CN202135077U (zh) * | 2011-07-22 | 2012-02-01 | 吉林大学 | 多自由度微纳米级仿生精密旋转驱动装置 |
CN202696501U (zh) * | 2012-07-03 | 2013-01-23 | 吉林大学 | 微纳米级仿生旋转驱动装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
赵宏伟,刘建芳,华顺明,刘国嵩,程光明,吴博达: "压电型步进精密旋转驱动器", 《光学精密工程》 * |
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103107733A (zh) * | 2013-01-30 | 2013-05-15 | 西安交通大学 | 一种输出动态微角位移的压电作动器 |
CN103107733B (zh) * | 2013-01-30 | 2014-07-02 | 西安交通大学 | 一种输出动态微角位移的压电作动器 |
CN103501129A (zh) * | 2013-10-18 | 2014-01-08 | 吉林大学 | 一种仿生尺蠖型压电旋转驱动器 |
CN103501129B (zh) * | 2013-10-18 | 2016-01-13 | 吉林大学 | 一种仿生尺蠖型压电旋转驱动器 |
CN103904937A (zh) * | 2014-02-21 | 2014-07-02 | 西安交通大学 | 基于三个压电堆的旋转式驱动装置及方法 |
CN103904937B (zh) * | 2014-02-21 | 2015-04-15 | 西安交通大学 | 基于三个压电堆的旋转式驱动装置及方法 |
CN104734562A (zh) * | 2015-03-24 | 2015-06-24 | 西安交通大学 | 一种步进式压电陶瓷旋转驱动器及驱动方法 |
CN109889088A (zh) * | 2019-03-20 | 2019-06-14 | 哈尔滨工业大学 | 基于全压电陶瓷驱动的线性驱动装置 |
CN110910947A (zh) * | 2019-12-13 | 2020-03-24 | 宁波大学 | 单层双工位四自由度柔顺微操作器 |
CN110910947B (zh) * | 2019-12-13 | 2021-06-29 | 宁波大学 | 单层双工位四自由度柔顺微操作器 |
CN111162690A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-15 | 浙江师范大学 | 一种压电驱动装置及其控制方法 |
CN111162692A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-15 | 浙江师范大学 | 一种钳位式压电驱动平台及其激励方法 |
CN111245289A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-06-05 | 浙江师范大学 | 一种压电驱动的旋转运动装置及其控制方法 |
CN111384873A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-07-07 | 浙江师范大学 | 一种仿生尺蠖式驱动装置及其激励方法 |
CN111384872A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-07-07 | 浙江师范大学 | 一种旋转驱动平台及其控制方法 |
CN111130383A (zh) * | 2020-01-08 | 2020-05-08 | 浙江师范大学 | 一种尺蠖型驱动平台及其控制方法 |
CN111162692B (zh) * | 2020-01-08 | 2023-08-25 | 浙江师范大学 | 一种钳位式压电驱动平台及其激励方法 |
CN111162690B (zh) * | 2020-01-08 | 2023-08-25 | 浙江师范大学 | 一种压电驱动装置及其控制方法 |
CN111130383B (zh) * | 2020-01-08 | 2023-08-25 | 浙江师范大学 | 一种尺蠖型驱动平台及其控制方法 |
CN111384873B (zh) * | 2020-01-08 | 2023-09-12 | 浙江师范大学 | 一种仿生尺蠖式驱动装置及其激励方法 |
CN111245289B (zh) * | 2020-01-08 | 2023-12-08 | 浙江师范大学 | 一种压电驱动的旋转运动装置及其控制方法 |
CN111327227A (zh) * | 2020-03-26 | 2020-06-23 | 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) | 一种压电直线促动器及控制方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102723893A (zh) | 微纳米级仿生旋转驱动装置 | |
CN203233339U (zh) | 仿生微纳米级压电旋转驱动装置 | |
CN102291039B (zh) | 多自由度仿生压电驱动装置 | |
CN107464586B (zh) | 一种驱动力解耦的三自由度大行程微定位平台 | |
CN203339985U (zh) | 新型尺蠖式仿生爬行压电精密驱动平台 | |
CN101858477B (zh) | 两自由度精密定位平台 | |
CN103916045B (zh) | 一种基于压电陶瓷的步进式旋转驱动装置及方法 | |
CN102946210B (zh) | 尺蠖式多自由度压电驱动装置 | |
CN104467526B (zh) | 一种实现单向运动的惯性粘滑式跨尺度运动平台 | |
CN202696501U (zh) | 微纳米级仿生旋转驱动装置 | |
CN107547004B (zh) | 一种二自由度微纳定位平台及应用 | |
CN104362890A (zh) | 一种实现双向运动的惯性粘滑式跨尺度精密运动平台 | |
CN107086813B (zh) | 尺蠖型旋转压电驱动平台 | |
CN104320015A (zh) | 仿生多自由度精密压电驱动装置 | |
CN102751899B (zh) | 微纳米级仿生多自由度驱动装置 | |
CN202957768U (zh) | 基于混合驱动机理的仿生多自由度微纳米级压电驱动器 | |
CN202601217U (zh) | 宏微定位装置 | |
CN110798094A (zh) | 一种基于寄生惯性原理的新型压电直线精密驱动装置 | |
CN110855181B (zh) | 一种基于非对称三角形铰链机构的旋转式压电驱动装置 | |
CN104821741B (zh) | 一种大载荷、高精度、跨尺度压电旋转驱动器及驱动方法 | |
CN202957767U (zh) | 尺蠖式多自由度压电驱动装置 | |
CN202696499U (zh) | 微纳米级仿生多自由度驱动装置 | |
CN204231226U (zh) | 一种实现单向运动的惯性粘滑式跨尺度运动平台 | |
CN110774260A (zh) | 一种超精密压电微夹持机械手 | |
CN101000807A (zh) | 基于平面电机与超磁致伸缩驱动器的精密定位平台 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20121010 |