CN102709379A

CN102709379A - 激光刻线烧蚀修复设备

Info

Publication number: CN102709379A
Application number: CN2012100132995A
Authority: CN
Inventors: 覃海; 杨明生; 刘惠森
Original assignee: Dongguan Anwell Digital Machinery Co Ltd
Current assignee: Dongguan Anwell Digital Machinery Co Ltd
Priority date: 2012-01-13
Filing date: 2012-01-13
Publication date: 2012-10-03

Abstract

本发明公开了一种激光刻线烧蚀修复设备，其包括机架、输入输出对位机构、修复机构及升降移动机构，输入输出对位机构设置于机架上，修复机构设置于所述输入输出对位机构的上方并与升降移动机构连接，升降移动机构带动所述修复机构升降或移动，其中，所述修复机构包括呈长条状的连接块，所述连接块上等间距地排列有多个电极棒，每一所述电极棒上均设置有至少两对不同间距的探针，所述电极棒上间距相同的所述探针位于同一平面，对激光刻线后的电池板进行修复时，根据不同的刻线间距选择使用不同间距的探针，以兼容不同间距的激光刻线，满足不同产能的要求，增加使用的灵活性，同时降低激光刻线烧蚀修复设备的成本，且该烧蚀修复设备的结构简单。

Description

激光刻线烧蚀修复设备

技术领域

本发明涉及非晶硅太阳能电池板技术领域，尤其涉及一种对激光刻线后的非晶硅太阳能电池板进行烧蚀修复的设备。

背景技术

非晶硅(a-Si)太阳电池是在玻璃(glass)衬底上沉积透明导电膜(TCO)，然后依次用等离子体反应沉积p型、i型、n型三层a-Si，接着再蒸镀金属电极铝(Al)形成，光从玻璃面入射，电池电流从透明导电膜和铝引出；其还可以用不锈钢片、塑料等作衬底；非晶硅太阳电池的厚度不到1μm，不足晶体硅太阳电池厚度的1/100，这就大大降低了薄膜太阳能电池制造成本，又由于非晶硅太阳电池的制造温度很低(～200℃)，易于实现大面积等优点，使其在薄膜太阳电池中占据首要地位。

在非晶硅太阳能电池板制备过程中每一次的蒸镀(或溅镀，或覆膜)都需要用激光发生器对其进行激光刻线，其中，第一道激光划线，也叫做P1，需要将导电薄膜层划断；第二道激光划线即P2，需要划断硅层，而不能破坏导电薄膜层；第三道激光划线即P3，需要将划背电极及硅层，同样不能破坏导电薄膜层。三道激光划线需要平行度高，避免交叉；需要线宽线距小，以降低死区宽度；同时需要边缘平滑无毛刺，避免未划断造成短路，光斑重叠率要小，以提高加工效率。

但在激光刻线过程中，会有些部分划线没有完全刻断，这些没有刻断的部分将影响非晶硅太阳能电池板的性能，因此，需要利用一种专门的烧结修复设备将激光刻线中没有完全刻断的部分烧断，以提高激光刻线的绝缘电阻；目前，对非晶硅太阳能电池板的导电薄膜的激光刻线进行烧蚀修复的设备，主要采用探针阵列的形式构成烧蚀修复电极，即在电极上设置有与激光刻线的间距相对应的探针阵列，每套探针阵列只能适用于一种间距的激光刻线，当激光刻线间距有变化时，必须更换整套探针阵列，无法灵活应用于不同间距的激光刻线中，另外，电极探针阵列的电路复杂，更换整套探针阵列的成本很高。

因此，有必要提供一种结构简单、可兼容不同激光刻线间距、且成本低的烧蚀修复设备来克服现有技术的不足。

发明内容

本发明的目的在于提供一种结构简单、可兼容不同激光刻线间距、且成本低的激光刻线烧蚀修复设备。

为实现上述目的，本发明的技术方案为：提供一种激光刻线烧蚀修复设备，其包括机架、输入输出对位机构、修复机构及升降移动机构，所述输入输出对位机构设置于所述机架上，所述修复机构设置于所述输入输出对位机构的上方，且所述修复机构与所述升降移动机构连接，所述升降移动机构带动所述修复机构升降或移动，其中，所述修复机构包括呈长条状的连接块，所述连接块的长度方向上等间距地排列有多个电极棒，每一所述电极棒上均设置有至少两对不同间距的探针，所述电极棒上间距相同的所述探针位于同一平面。

较佳地，所述电极棒还包括本体及至少两对间距不同的针套，所述本体的一端连接于所述连接块上，间距不同的每对所述针套依次设置于所述本体的另一端，所述探针可拆卸地安装于其中一对所述针套内；设置不同间距的针套，对电池板进行烧蚀修复时，可根据不同的激光刻线间距而将探针安装于相对应的针套里，可兼容多种不同间距的激光刻线，增加使用的灵活性，且整个机构的强度较好，探针的针头平面不易变形。

较佳地，所述修复机构还包括安装板，多个所述连接块相互平行地设置于所述安装板的一侧面，多个所述连接块上等间距排列的所述电极棒形成阵列，所述安装板的另一侧面与所述升降移动机构连接；多个连接块的设置，使得对电池板进行烧蚀修复时，不需要对修复机构进行频繁地升降及平移，可大大缩短修复工作以为的时间，提高工作效率。

与现有技术相比，由于本发明的激光刻线烧蚀修复设备，其修复机构设置于所述输入输出对位机构的上方且与所述升降移动机构连接，所述升降移动机构带动所述修复机构升降或移动，其中，所述修复机构包括呈长条状的连接块，所述连接块的长度方向上等间距地排列有多个电极棒，每一所述电极棒上均设置有至少两对不同间距的探针，所述电极棒上间距相同的所述探针位于同一平面，这样，在对激光刻线后的非晶硅太阳能电池板进行修复时，根据不同的刻线间距选择使用不同间距的探针，因此可兼容不同间距的激光刻线，以满足不同产能的要求，增加使用的灵活性，同时避免了更换整套探针阵列，从而降低该激光刻线烧蚀修复设备的成本，且该烧蚀修复设备的结构简单。

附图说明

图1是本发明激光刻线烧蚀修复设备的结构示意图。

图2是本发明激光刻线烧蚀修复设备的另一结构示意图。

图3是图1中修复机构的结构示意图。

图4是图3中连接块及电极棒的结构示意图。

图5是图4中A部分的方式示意图。

图6是图4中电极棒的俯视图。

图7是图4中电极棒的侧视图。

具体实施方式

现在参考附图描述本发明的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。

如图1、图2所示，本发明激光刻线烧蚀修复设备1，其包括机架10、输入输出对位机构20、修复机构30及升降移动机构40，所述输入输出对位机构20设置于所述机架10上，所述修复机构30设置于所述输入输出对位机构20的上方，且修复机构30与所述升降移动机构40连接，所述升降移动机构40用于带动所述修复机构30升降或移动，从而使修复机构30对非晶硅太阳能电池板上的激光刻线进行烧蚀修复。

结合图1-图5所示，所述修复机构30包括安装板31、至少一个连接块32及若干电极棒33，所述安装板31的一侧连接于所述升降移动机构40上，安装板31的另一侧面安装有所述连接块32，且所述连接块32呈长条状，在连接块32上等间距地排列有多个电极棒33，所述电极棒33上设置有至少两对不同间距的探针333；在本发明的优选实施例中，所述修复机构30设置有八个连接块32，八个连接块32相互平行地连接于所述安装板31的一侧面，在每一个连接块32上都等间距地设置有多个电极棒33，八个连接块32上的电极棒33相对应形成阵列；八个连接块32上所设置的电极棒33可用于对非晶硅太阳能电池板2上的八条激光刻线同时进行烧蚀修复；八个连接块32的设置，使得对非晶硅太阳能电池板进行烧蚀修复时，不需要对修复机构30进行频繁地升降及平移，可大大缩短修复工作以为的时间，提高工作效率。

可以理解地，连接块32的数量并不限于本实施例中的八个，还可以根据实际需要设置为其他的数量，此为本领域技术人员所熟知的技术。

结合图5-图7所示，所述电极棒33包括本体331、针套332及探针333，所述本体331大致呈长方体结构，在本体331的一侧面上，沿其长度方向设置有至少两对针套332，且每对针套332之间的间距均不同，在本发明的一个优选实施例中，在本体331上设置有四对针套332a、332b、332c、332d，四对针套332a、332b、332c、332d之间的间距沿本体331的长度方向依次增加，因此，设置于本体331上的四对针套332a、332b、332c、332d大致呈V形，所述探针333可拆卸地安装于所述针套332a、332b、332c、332d中的一对内；多个电极棒33的本体331依次等间距的连接于所述连接块32上，且所述本体331的长度方向与连接块32的轴向一致；将一个连接块32上的所有电极棒33上都安装上探针333后，所有电极棒33上相同间距的探针333形成两相互平行的直线，当八个连接块32上的所有电极棒33上都安装上探针333后，所有电极棒33上相同间距的探针333位于同一平面内，保证加在激光刻线上的没一点的电压都基本一致；设置不同间距的针套332a、332b、332c、332d，对电池板进行烧蚀修复时，可根据不同的激光刻线间距而将探针333安装于相对应的针套332a、332b、332c、332d内的一对里，以兼容四种不同间距的激光刻线；当然，电极棒33上并不只限于设置四对不同间距的针套332a、332b、332c、332d，还可以设置更多对以兼容更多不同间距的激光刻线，此为本领域技术人员所熟知的技术。

结合图1-图7所示，对本发明激光刻线烧蚀修复设备1的工作原理进行说明。

首先，根据非晶硅太阳能电池板2的激光刻线间距，将探针333安装于与之相对应的针套332a、332b、332c、332d中的一对内；当非晶硅太阳能电池板激光刻线完成后，从生产线上传输到该激光刻线烧蚀修复设备1内，经过输入输出对位机构20的对位后，升降移动机构40驱动修复机构30移动，使修复机构30的八个连接块32分别对应非晶硅太阳能电池板2上的八条激光刻线，接通电源后对上述八条激光刻线进行烧蚀修复，修复完成后，升降移动机构40驱动所述修复机构30升高，再驱动修复机构30平移，使修复机构30的八个连接块32分别对应另外的八条激光刻线，再由升降移动机构40驱动修复机构30下降，以对另外的八条激光刻线进行烧蚀修复，如此循环，以实现整块非晶硅太阳能电池板2上的所有激光刻线的烧蚀修复；当非晶硅太阳能电池板2的激光刻线间距变化时，将探针333重新安装于间距与之相对应的另一对针套内，即可对变换间距后的激光刻线进行烧蚀修复，解决了电极棒33不能兼容不同刻线间距的缺陷。

由于本发明的激光刻线烧蚀修复设备1，其包括机架10、输入输出对位机构20、修复机构30及升降移动机构40，所述输入输出对位机构20设置于所述机架10上，所述修复机构30设置于所述输入输出对位机构20的上方，且修复机构30与所述升降移动机构40连接，其中，修复机构30包括呈长条状的连接块32，所述连接块32的长度方向上等间距地排列有多个电极棒33，每一所述电极棒33上均设置有至少两对不同间距的探针333，所述电极棒33上间距相同的所述探针333位于同一平面，这样，在对激光刻线后的非晶硅太阳能电池板2进行修复时，根据不同的刻线间距选择使用不同间距的探针333，因此可兼容不同间距的激光刻线，以满足不同产能的要求，增加使用的灵活性，同时避免了更换整套探针333阵列，从而降低该激光刻线烧蚀修复设备1的成本，且该烧蚀修复设备1的结构简单。

本发明激光刻线烧蚀修复设备1的机架10、输入输出对位机构20及升降移动机构70的结构及设置方式等均为本领域普通技术人员所熟知，在此不再做详细的说明。

以上所揭露的仅为本发明的优选实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。

Claims

1.一种激光刻线烧蚀修复设备，其特征在于：包括机架、输入输出对位机构、修复机构及升降移动机构，所述输入输出对位机构设置于所述机架上，所述修复机构设置于所述输入输出对位机构的上方，且所述修复机构与所述升降移动机构连接，所述升降移动机构带动所述修复机构升降或移动，其中，所述修复机构包括呈长条状的连接块，所述连接块的长度方向上等间距地排列有多个电极棒，每一所述电极棒上均设置有至少两对不同间距的探针，所述电极棒上间距相同的所述探针位于同一平面。

2.如权利要求1所述的激光刻线烧蚀修复设备，其特征在于：所述电极棒还包括本体及至少两对间距不同的针套，所述本体的一端连接于所述连接块上，间距不同的每对所述针套依次设置于所述本体的另一端，所述探针可拆卸地安装于其中一对所述针套内。

3.如权利要求1所述的激光刻线烧蚀修复设备，其特征在于：所述修复机构还包括安装板，多个所述连接块相互平行地设置于所述安装板的一侧面，多个所述连接块上等间距排列的所述电极棒形成阵列，所述安装板的另一侧面与所述升降移动机构连接。