CN102581703A - 同轴向双进给轴量测装置 - Google Patents

Abstract

本发明是有关于一种同轴向双进给轴量测装置，其包含一个光发射及接收模块、一个沿一第一方向与该光发射及接收模块间隔设置的第一反射镜、一个第一分光镜、一个沿一垂直于该第一方向的第二方向与该第一分光镜间隔设置的第二分光镜，及一个沿该第一方向与该第二分光镜间隔设置的第二反射镜，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第一光路径，该第一分光镜沿该第一光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间，该第二分光镜与该第一分光镜之间定义出一条第二光路径，该第二反射镜与该第二分光镜之间定义出一条第三光路径。

Description

同轴向双进给轴量测装置

技术领域

本发明涉及一种量测装置，特别是涉及一种同轴向双进给轴量测装置。

背景技术

请参阅图1所示，现有一种双进给轴系统的动柱式龙门加工机1包含二个机台101、一个位于所述机台101之间的工作台102、二支分别沿X轴向可移动地设置于所述机台101上的立柱103、一个沿Y轴向设置于所述立柱103并可沿Z轴向升降的横向滑轨104、一个沿Y轴向可移动地设置于该横向滑轨104的主轴头105，及二支分别驱动所述立柱103的导螺杆106。一般而言，所述导螺杆106在制造时即会产生制造上的误差(例如节距上的误差)，加上所述导螺杆106的长度又很长，因此，所述导螺杆106整体累积产生的误差，即会造成所述导螺杆106在带动所述立柱103沿X轴向进给时，产生线性位移误差。

为了量测所述导螺杆106的线性位移误差，目前需使用两套激光干涉仪量测装置2才能进行量测，所述激光干涉仪量测装置2分别具有一个设置于固定位置的激光发射及接收头201、一个设置于其中一个机台101的分光镜202、一个设置于其中一支立柱103底部的第一反射镜203，及一个设置于该分光镜202的第二反射镜204。如此，利用所述激光干涉仪量测装置2量测到的激光干射量测数据，即可判读出所述导螺杆106的线性位移误差，以供使用者作为补偿调整的参考。

然而，使用两套激光干涉仪量测装置2来进行量测，不但会大幅增加仪器设备成本(约为新台币200万元)，更需两个操作人员才能同时进行操作，而且，所述激光干涉仪量测装置2的激光发射及接收头201彼此之间也会产生波长相对误差与温度相对误差，如此，除了会影响量测精度的准确性与可靠度之外，也导致使用者必须进行额外的校正操作。

由此可见，上述现有的量测装置在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决上述存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。因此如何能创设一种新型结构的同轴向双进给轴量测装置，实属当前重要研发课题之一，亦成为当前业界极需改进的目标。

发明内容

本发明的目的在于，克服现有的量测装置存在的缺陷，而提供一种新型结构的同轴向双进给轴量测装置，所要解决的技术问题是使其提供一种可降低设备成本、操作方便且量测精度佳的同轴向双进给轴量测装置，非常适于实用。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明一种同轴向双进给轴量测装置，提出的其包含一个光发射及接收模块；一个第一反射镜，沿一第一方向与该光发射及接收模块间隔设置，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第一光路径；一个第一分光镜，沿该第一光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间；一个光学组件，沿一垂直于该第一方向的第二方向与该第一分光镜间隔设置，该光学组件与该第一分光镜之间定义出一条第二光路径；及一个第二反射镜，沿该第一方向与该光学组件间隔设置，该第二反射镜与该光学组件之间定义出一条第三光路径。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的同轴向双进给轴量测装置，其中所述的该光发射及接收模块是一种激光光发射及接收模块。

前述的同轴向双进给轴量测装置，其中所述的该第一分光镜与该光学组件均是一种分光菱镜，并将该光学组件定义为一个第二分光镜。

前述的同轴向双进给轴量测装置，其中所述的该第一、二反射镜在该第一方向上互相对应。

本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现。依据本发明一种同轴向双进给轴量测装置，提出的其包含一个光发射及接收模块；一个第一分光镜，沿一第一方向与该光发射及接收模块间隔设置；一个第二分光镜，沿一垂直于该第一方向的第二方向与该第一分光镜间隔设置；及一个反射镜单元，具有一个第一反射镜，及一个第二反射镜，该第一、二反射镜相对于该第一、二分光镜在一个第一状态、一个第二状态与一个第三状态之间变换，当该第一、二反射镜在该第一状态时，该第一反射镜沿该第一方向与该光发射及接收模块间隔设置，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第一光路径，该第一分光镜沿该第一光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间，该第二反射镜沿该第一方向与该第二分光镜间隔设置，该第二分光镜与该第一分光镜之间定义出一条第二光路径，该第二反射镜与该第二分光镜之间定义出一条第三光路径，当该第一、二反射镜在该第二状态时，该第一反射镜沿该第一方向与该光发射及接收模块间隔设置，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第四光路径，该第一分光镜沿该第四光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间，该第二反射镜与该第二分光镜邻接，该第二反射镜与该第一分光镜之间定义出一条第五光路径，该第二分光镜沿该第五光路径介于该第一分光镜与该第二反射镜之间，当该第一、二反射镜在该第三状态时，该第一反射镜与该第一分光镜邻接，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第六光路径，该第一分光镜沿该第六光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间，该第二反射镜沿该第一方向与该第二分光镜间隔设置，该第二分光镜与该第一分光镜之间定义出一条第七光路径，该第二反射镜与该第二分光镜之间定义出一条第八光路径。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的同轴向双进给轴量测装置，其中所述的该光发射及接收模块是一种激光光发射及接收模块。

前述的同轴向双进给轴量测装置，其中所述的该第一、二分光镜是一种分光菱镜。

前述的同轴向双进给轴量测装置，其中所述的当该第一、二反射镜在该第一状态时，该第一、二反射镜在该第一方向上互相对应。

本发明的目的及解决其技术问题另外再采用以下技术方案来实现。依据本发明一种同轴向双进给轴量测装置，提出的其包含一个光发射及接收模块；一个第一反射镜，沿一第一方向与该光发射及接收模块间隔设置，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第一光路径；一个第一分光镜，沿该第一光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间；一个第二分光镜，沿一垂直于该第一方向的第二方向与该第一分光镜间隔设置；及一个第二反射镜，与该第二分光镜邻接，该第二反射镜与该第一分光镜之间定义出一条第二光路径，该第二分光镜沿该第二光路径介于该第一分光镜与该第二反射镜之间。

本发明的目的及解决其技术问题另外还采用以下技术方案来实现。依据本发明一种同轴向双进给轴量测装置，提出的其包含一个光发射及接收模块；一个第一分光镜，沿一第一方向与该光发射及接收模块间隔设置；一个第一反射镜，与该第一分光镜邻接，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第一光路径，该第一分光镜沿该第一光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间；一个第二分光镜，沿一垂直于该第一方向的第二方向与该第一分光镜间隔设置，该第二分光镜与该第一分光镜之间定义出一条第二光路径；及一个第二反射镜，沿该第一方向与该第二分光镜间隔设置，该第二反射镜与该第二分光镜之间定义出一条第三光路径。

本发明与现有技术相比具有明显的优点和有益效果。由以上技术方案可知，本发明同轴向双进给轴量测装置的主要技术内容如下：其利用该光发射及接收模块搭配该第一、二分光镜与该第一、二反射镜，使该第一、二反射镜可相对于该第一、二分光镜在该第一、二、三状态之间变换，以量测出双进给轴系统的加工机的位移误差。

借由上述技术方案，本发明同轴向双进给轴量测装置至少具有下列优点及有益效果：

1、本发明利用该光发射及接收模块10搭配该第一、二分光镜20、30与该第一、二反射镜41、42，使该第一、二反射镜41、42可相对于该第一、二分光镜20、30在该第一、二、三状态之间变换，即可量测出所述导螺杆160、170的动态线性位移误差、静态线性位移误差与个别静态线性位移误差，相较于现有技术需利用两个激光发射及接收头201分别搭配两个分光镜与四个反射镜，才能进行相关的量测作业，本发明可大幅降低仪器设备成本(约为新台币120万元)。

2、本发明只需利用一个操作人员操作该光发射及接收模块10，即可进行相关的量测作业，相较于现有技术，本发明可有效节省人力，且操作方便。

3、本发明只利用该光发射及接收模块10发射出量测用的激光光束，相较于现有技术需利用两个不同的激光发射及接收头201分别发射出量测用的激光光束，本发明完全不会发生现有技术的波长相对误差或温度相对误差，而可有效提升量测精度的准确性与可靠度。

总之，本发明的同轴向双进给轴量测装置，不但可降低设备成本，且便于单人操作，并可改善量测精度的准确性与可靠度，所以确实能达成本发明的目的。

综上所述，本发明同轴向双进给轴量测装置，包含一个光发射/接收模块、一个第一分光镜、一个第二分光镜，及一个反射镜单元。该第一分光镜沿一第一方向与该光发射及接收模块间隔设置。该第二分光镜沿一垂直于该第一方向的第二方向与该第一分光镜间隔设置。该反射镜单元具有一个第一反射镜，及一个第二反射镜，该第一、二反射镜相对于该第一、二分光镜在一个第一状态、一个第二状态与一个第三状态之间变换，当该第一、二反射镜在该第一状态时，该第一反射镜沿该第一方向与该光发射及接收模块间隔设置，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第一光路径，该第一分光镜沿该第一光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间，该第二反射镜沿该第一方向与该第二分光镜间隔设置，该第二分光镜与该第一分光镜之间定义出一条第二光路径，该第二反射镜与该第二分光镜之间定义出一条第三光路径，当该第一、二反射镜在该第二状态时，该第一反射镜沿该第一方向与该光发射及接收模块间隔设置，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第四光路径，该第一分光镜沿该第四光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间，该第二反射镜与该第二分光镜邻接，该第二反射镜与该第一分光镜之间定义出一条第五光路径，该第二分光镜沿该第五光路径介于该第一分光镜与该第二反射镜之间，当该第一、二反射镜在该第三状态时，该第一反射镜与该第一分光镜邻接，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第六光路径，该第一分光镜沿该第六光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间，该第二反射镜沿该第一方向与该第二分光镜间隔设置，该第二分光镜与该第一分光镜之间定义出一条第七光路径，该第二反射镜与该第二分光镜之间定义出一条第八光路径。本发明在技术上有显着的进步，并具有明显的积极效果，诚为一新颖、进步、实用的新设计。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

附图说明

图1是现有激光干涉仪量测装置，安装在一双进给轴系统的动柱式龙门加工机的俯视示意图。

图2是本发明同轴向双进给轴量测装置，一较佳实施例所搭配使用的一个双进给轴系统的动柱式龙门加工机的立体示意图。

图3是本发明同轴向双进给轴量测装置该较佳实施例的配置示意图，说明该较佳实施例的一个第一反射镜与一个第二反射镜相对于一个第一分光镜与一个第二分光镜变换至一个第一状态。

图4是一类似图3的视图，说明该第一、二反射镜相对于该第一、二分光镜变换至一个第二状态。

图5是一类似图3的视图，说明该第一、二反射镜相对于该第一、二分光镜变换至一个第三状态。

图6是本发明同轴向双进给轴量测装置该较佳实施例，安装在该龙门加工机的俯视示意图，说明该第一、二反射镜相对于该第一、二分光镜变换至该第一状态。

图7是一类似图6的视图，说明该第一、二反射镜相对于该第一、二分光镜变换至该第二状态。

图8是一类似图6的视图，说明该第一、二反射镜相对于该第一、二分光镜变换至该第三状态。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的同轴向双进给轴量测装置其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

请参阅图2，为本发明同轴向双进给轴量测装置的较佳实施例，所欲进行量测的一个双进给轴系统的动柱式龙门加工机100，该龙门加工机100包含二个机台110、一个位于所述机台110之间的工作台120、二支分别沿一第一方向X可移动地设置于所述机台110上的立柱130、一个沿一垂直于该第一方向X的第二方向Y设置于所述立柱130并可沿一垂直于该第一、二方向X、Y的第三方向Z升降的横向滑轨140、一个沿该第二方向Y可移动地设置于该横向滑轨140的主轴头150，及二支分别驱动所述立柱130沿该第一方向X进给的导螺杆160、170。

请参阅图3、图4、图5所示，该同轴向双进给轴量测装置包含：一个光发射及接收模块10、一个第一分光镜20、一个第二分光镜30，及一个反射镜单元40。

该光发射及接收模块10是一种激光光发射及接收模块，可发射出激光光束并接收反射回来的激光光束，在本实施例中，该光发射及接收模块10是采用HP所生产的型号HP-5529A的激光头。

该第一分光镜20沿该第一方向X与该光发射及接收模块10间隔设置，在本实施例中，该第一分光镜20是一种分光菱镜。

该第二分光镜30沿该第二方向Y与该第一分光镜20间隔设置，在本实施例中，该第二分光镜30是一种分光菱镜。

该反射镜单元40具有一个第一反射镜41，及一个第二反射镜42，该第一、二反射镜41、42相对于该第一、二分光镜20、30在一个第一状态(如图3)、一个第二状态(如图4)与一个第三状态(如图5)之间变换。

请参阅图3所示，当该第一、二反射镜41、42在该第一状态时，该第一、二反射镜41、42在该第一方向X上互相对应，该第一反射镜41沿该第一方向X与该光发射及接收模块10间隔设置，该第一反射镜41与该光发射及接收模块10之间定义出一条第一光路径51，该第一分光镜20沿该第一光路径51介于该光发射及接收模块10与该第一反射镜41之间，该第二反射镜42沿该第一方向X与该第二分光镜30间隔设置，该第二分光镜30与该第一分光镜20之间定义出一条第二光路径52，该第二反射镜42与该第二分光镜30之间定义出一条第三光路径53。

请参阅图4所示，当该第一、二反射镜41、42在该第二状态时，该第一反射镜41沿该第一方向X与该光发射及接收模块10间隔设置，该第一反射镜41与该光发射及接收模块10之间定义出一条第四光路径54，该第一分光镜20沿该第四光路径54介于该光发射及接收模块10与该第一反射镜41之间，该第二反射镜42与该第二分光镜30邻接，该第二反射镜42与该第一分光镜20之间定义出一条第五光路径55，该第二分光镜30沿该第五光路径55介于该第一分光镜20与该第二反射镜42之间。

请参阅图5所示，当该第一、二反射镜41、42在该第三状态时，该第一反射镜41与该第一分光镜20邻接，该第一反射镜41与该光发射及接收模块10之间定义出一条第六光路径56，该第一分光镜20沿该第六光路径56介于该光发射及接收模块10与该第一反射镜41之间，该第二反射镜42沿该第一方向X与该第二分光镜30间隔设置，该第二分光镜30与该第一分光镜20之间定义出一条第七光路径57，该第二反射镜42与该第二分光镜30之间定义出一条第八光路径58。

借此，请参阅图6所示，当要量测所述导螺杆160、170的动态线性位移误差或静态线性位移误差时，使用者可将该光发射及接收模块10摆设于预定位置，并利用治具(图未示)将该第一、二分光镜41、42分别固定在所述机台110上，同时利用治具(图未示)将该第一、二反射镜41、42分别固定在所述立柱130底部邻近所述导螺杆160、170的位置，使该第一、二反射镜41、42相对于该第一、二分光镜20、30变换至该第一状态。

在该第一状态下，该光发射及接收模块10可沿该第一光路径51对该第一分光镜20发射出一束激光光束61，并经该第一分光镜20分成二束分别沿该第一、二光路径51、52投射至该第一反射镜41与该第二分光镜30的激光光束62、63，其中，该激光光束62被该第一反射镜41反射后，由原光路径返回该光发射及接收模块10，该激光光束63经该第二分光镜30产生一束沿该第三光路径53投射至该第二反射镜42的激光光束64，该激光光束64被该第二反射镜42反射后，也由原光路径返回该光发射及接收模块10。

如此，当要量测所述导螺杆160、170的动态线性位移误差时，可使所述导螺杆160、170驱使所述立柱130带动该第一、二反射镜41、42连续移动，并进行量测，则该光发射及接收模块10相互比较所述激光光束62、64两者的变化量，即可计算出所述导螺杆160、170的动态线性位移误差；当要量测所述导螺杆160、170的静态线性位移误差时，可使所述导螺杆160、170驱使所述立柱130带动该第一、二反射镜41、42移动至定位停止后，再进行量测，则该光发射及接收模块10相互比较所述激光光束62、64两者的变化量，即可计算出所述导螺杆160、170的静态线性位移误差。

接着，请参阅图7所示，当要量测该导螺杆160的个别静态线性位移误差时，使用者可改由利用治具(图未示)将该第二反射镜42固定在该第二分光镜30，使该第一、二反射镜41、42相对于该第一、二分光镜20、30由该第一状态(如图6)变换至该第二状态。

在该第二状态下，该光发射及接收模块10可沿该第四光路径54对该第一分光镜20发射出一束激光光束71，并经该第一分光镜20分成二束分别沿该第四、五光路径54、55投射至该第一反射镜41与该第二分光镜30的激光光束72、73，其中，该激光光束72被该第一反射镜41反射后，由原光路径返回该光发射及接收模块10，该激光光束73经该第二分光镜30产生一束沿该第五光路径55投射至该第二反射镜42的激光光束74，该激光光束74被该第二反射镜42反射后，也由原光路径返回该光发射及接收模块10。

如此，当要量测该导螺杆160的个别静态线性位移误差时，可使所述导螺杆160、170驱使所述立柱130带动该第一反射镜41移动至定位停止后，再进行量测，则该光发射及接收模块10以该激光光束74作为基准，量测该激光光束72的变化长度，即可计算出该螺杆160的个别静态线性位移误差。

接着，请参阅图8所示，当要量测该导螺杆170的个别静态线性位移误差时，使用者可改由利用治具(图未示)将该第一反射镜41固定在该第一分光镜20，使该第一、二反射镜41、42相对于该第一、二分光镜20、30由该第一状态(如图6)变换至该第三状态。

在该第三状态下，该光发射及接收模块10可沿该第六光路径56对该第一分光镜20发射出一束激光光束81，并经该第一分光镜20分成二束分别沿该第六、七光路径56、57投射至该第一反射镜41与该第二分光镜30的激光光束82、83，其中，该激光光束82被该第一反射镜41反射后，由原光路径返回该光发射及接收模块10，该激光光束83经该第二分光镜30产生一束沿该第八光路径58投射至该第二反射镜42的激光光束84，该激光光束84被该第二反射镜42反射后，也由原光路径返回该光发射及接收模块10。

如此，当要量测该导螺杆170的个别静态线性位移误差时，可使所述导螺杆160、170驱使所述立柱130带动该第二反射镜42移动至定位停止后，再进行量测，则该光发射及接收模块10以该激光光束82作为基准，量测该激光光束84的变化长度，即可计算出该螺杆170的个别静态线性位移误差。

如此，本发明即可量测出所述导螺杆160、170的动态线性位移误差、静态线性位移误差与个别静态线性位移误差，以供使用者作为补偿调整的参考。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种同轴向双进给轴量测装置，其特征在于其包含：

一个光发射及接收模块；

一个第一反射镜，沿一第一方向与该光发射及接收模块间隔设置，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第一光路径；

一个第一分光镜，沿该第一光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间；

一个光学组件，沿一垂直于该第一方向的第二方向与该第一分光镜间隔设置，该光学组件与该第一分光镜之间定义出一条第二光路径；及

一个第二反射镜，沿该第一方向与该光学组件间隔设置，该第二反射镜与该光学组件之间定义出一条第三光路径。

2.如权利要求1所述的同轴向双进给轴量测装置，其特征在于该光发射及接收模块是一种激光光发射及接收模块。

3.如权利要求2所述的同轴向双进给轴量测装置，其特征在于该第一分光镜与该光学组件均是一种分光菱镜，并将该光学组件定义为一个第二分光镜。

4.如权利要求1所述的同轴向双进给轴量测装置，其特征在于该第一、二反射镜在该第一方向上互相对应。

5.一种同轴向双进给轴量测装置，其特征在于其包含：

一个光发射及接收模块；

一个第一分光镜，沿一第一方向与该光发射及接收模块间隔设置；

一个第二分光镜，沿一垂直于该第一方向的第二方向与该第一分光镜间隔设置；及

一个反射镜单元，具有一个第一反射镜，及一个第二反射镜，该第一、二反射镜相对于该第一、二分光镜在一个第一状态、一个第二状态与一个第三状态之间变换，当该第一、二反射镜在该第一状态时，该第一反射镜沿该第一方向与该光发射及接收模块间隔设置，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第一光路径，该第一分光镜沿该第一光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间，该第二反射镜沿该第一方向与该第二分光镜间隔设置，该第二分光镜与该第一分光镜之间定义出一条第二光路径，该第二反射镜与该第二分光镜之间定义出一条第三光路径，当该第一、二反射镜在该第二状态时，该第一反射镜沿该第一方向与该光发射及接收模块间隔设置，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第四光路径，该第一分光镜沿该第四光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间，该第二反射镜与该第二分光镜邻接，该第二反射镜与该第一分光镜之间定义出一条第五光路径，该第二分光镜沿该第五光路径介于该第一分光镜与该第二反射镜之间，当该第一、二反射镜在该第三状态时，该第一反射镜与该第一分光镜邻接，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第六光路径，该第一分光镜沿该第六光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间，该第二反射镜沿该第一方向与该第二分光镜间隔设置，该第二分光镜与该第一分光镜之间定义出一条第七光路径，该第二反射镜与该第二分光镜之间定义出一条第八光路径。

6.如权利要求5所述的同轴向双进给轴量测装置，其特征在于该光发射及接收模块是一种激光光发射及接收模块。

7.如权利要求6所述的同轴向双进给轴量测装置，其特征在于该第一、二分光镜是一种分光菱镜。

8.如权利要求5所述的同轴向双进给轴量测装置，其特征在于当该第一、二反射镜在该第一状态时，该第一、二反射镜在该第一方向上互相对应。

9.一种同轴向双进给轴量测装置，其特征在于其包含：

一个光发射及接收模块；

一个第一反射镜，沿一第一方向与该光发射及接收模块间隔设置，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第一光路径；

一个第一分光镜，沿该第一光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间；

一个第二分光镜，沿一垂直于该第一方向的第二方向与该第一分光镜间隔设置；及

一个第二反射镜，与该第二分光镜邻接，该第二反射镜与该第一分光镜之间定义出一条第二光路径，该第二分光镜沿该第二光路径介于该第一分光镜与该第二反射镜之间。

10.一种同轴向双进给轴量测装置，其特征在于其包含：

一个光发射及接收模块；

一个第一分光镜，沿一第一方向与该光发射及接收模块间隔设置；

一个第一反射镜，与该第一分光镜邻接，该第一反射镜与该光发射及接收模块之间定义出一条第一光路径，该第一分光镜沿该第一光路径介于该光发射及接收模块与该第一反射镜之间；

一个第二分光镜，沿一垂直于该第一方向的第二方向与该第一分光镜间隔设置，该第二分光镜与该第一分光镜之间定义出一条第二光路径；及

一个第二反射镜，沿该第一方向与该第二分光镜间隔设置，该第二反射镜与该第二分光镜之间定义出一条第三光路径。

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