CN102465907A - 风机控制系统及控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种风机控制系统及控制方法，该系统包括：监测模块，用来实时监测并获取风机的排风量；比较模块，接收获取的风机的排风量，与设定排风量进行比较，获取比较结果；控制模块，接收并根据比较结果，在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施。本发明在风机的排风量在低于满足安全生产的设定排风量时及时采取安全处理措施，使粉尘不会掉落在机台中正在生产的产品上，保证了产品的安全生产，避免产品报废。同时，有效的对每个风机进行监控，降低了风机更换频率，提高了机台效率，大大节约了成本。

Description

风机控制系统及控制方法

【技术领域】

本发明涉及一种风机控制系统及控制方法，尤其涉及一种半导体化学气相淀积(APCVD)机台风机控制系统及控制方法。

【背景技术】

半导体产品制造过程中，化学气相淀积工序是在化学气相淀积(APCVD)机台中完成的。

半导体产品在化学气相淀积机台淀积过程中，会有粉尘(二氧化硅副产物)产生。化学气相淀积机台通过设置在附属栋的风机将产生的粉尘抽出，经集尘箱收集后进行集中处理。

但是，风机在使用过程中会因为零部件异常、使用寿命、电力系统异常等问题，导致风机转速减慢甚至停转，不能正常进行排风将粉尘抽出，使粉尘大量掉落在机台内部正在生产的产品表面，造成产品报废。

为防止风机异常造成产品报废，通常采用根据风机异常周期定期更换风机的措施来解决。但是，由于风机存在个体差异，寿命不同，且受使用方式和环境的影响，无法准确掌握风机的异常周期，定期更换风机无法避免因风机零部件异常、使用寿命、电力系统等造成的风机故障异常，还会增加费用。而且，定期更换风机需消耗大量时间，影响整个机台的性能，延长机台的保养时间，降低机台的效率，对整个机台造成影响。

【发明内容】

有鉴于此，有必要提供一种防止风机异常造成产品报废的风机控制系统。

此外，还有必要提供一种防止风机异常造成产品报废的风机控制方法。

一种风机控制系统，包括：

监测模块，用来实时监测并获取风机的排风量；

比较模块，接收获取的风机的排风量，与设定排风量进行比较，获取比较结果；

控制模块，接收并根据比较结果，在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施。

优选的，所述监测模块采用转速侦测器，监测并获取风机的转速，通过所述转速监测并获取风机的排风量。

优选的，所述监测模块采用风速测量器，监测风机的风速，通过风速获取风机的排风量。

优选的，所述系统还包括备用排风设备；所述控制模块在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施具体为：所述控制模块控制机台停止向机台内传送产品并向备用排风设备发出控制命令，控制备用排风设备开启。

优选的，所述备用排风设备包括设置在风机出口端并连接厂务排风系统的排风管以及控制排风管与厂务排风系统连通和阻断的开关阀。

优选的，所述系统还包括报警模块；所述控制模块风机的排风量低于设定排风量时控制模块控制报警模块发出报警信号，进行报警，所述系统还包括显示模块，用于对风机的排风量、比较结果以及报警信号进行显示。

本发明还涉及一种风机控制方法，包括如下步骤：

实时监测并获取风机的排风量；

接收获取的风机的排风量，与设定排风量进行比较，获取比较结果；

接收并根据比较结果，在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施。

优选的，所述实时监测并获取风机的排风量的步骤具体为：采用转速侦测器，实时监测并获取风机的转速，通过转速监测并获取风机的排风量。

优选的，所述接收并根据比较结果，在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施的步骤具体为：增设备用排风设备，在风机排风量低于设定排风量时，控制机台停止向机台内传送产品并向备用排风设备发出控制命令，控制备用排风设备开启。

优选的，所述接收并根据比较结果，在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施的步骤还包括发出报警信号进行报警的步骤。

上述风机控制系统及控制方法，实时监测并获取风机的排风量，将风机的排风量与设定排风量进行比较获取比较结果，根据比较结果在风机的排风量小于设定排风量时采取安全处理措施，使得风机的排风量在低于满足安全生产的设定排风量时及时采取安全处理措施，使粉尘不会掉落在机台中正在生产的产品上，保证了产品的安全生产，避免产品报废。同时，有效的对每个风机进行监控，降低了风机更换频率，提高了机台效率，大大节约了成本。

【附图说明】

图1是一个实施例中风机控制系统结构示意图；

图2是一个实施例中风机控制方法流程图。

【具体实施方式】

下面结合附图，对本发明的具体实施方式进行详细描述。

图1是一个实施例中风机控制系统结构示意图。该风机控制系统包括监测模块110、比较模块120、控制模块130、备用排风设备140、报警模块150以及显示模块160。

监测模块110用来实时监测并获取风机的排风量。

该实施例中，监测模块110采用转速侦测器，监测风机的转速，通过转速监测并获取风机的排风量。其他实施例中，监测模块110还可以采用风速测量器，监测风机的风速，通过风速获取风机的排风量。

比较模块120接收监测模块110获取的风机的排风量，与设定排风量进行比较，获取比较结果。

该实施例中，设定排风量为初始设置的且满足生产要求的排风量。比较模块120可直接比较风机的排风量与设定排风量。在其他实施例中，比较模块120也可以接收监测模块110监测获取的风机转速，与设定排风量所对应的转速进行比较，通过比较转速来比较风机的排风量和设定排风量的大小关系。

控制模块130接收并根据比较结果，在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施。

该实施例中，控制模块130采取的安全处理措施为：在比较结果为风机排风量低于设定排风量时，控制模块130控制机台停止向机台内传送产品并向备用排风设备140发出控制命令，控制备用排风设备140开启，增大对机台的排风量，弥补风机排风量的不足，能够有效的将机台中的粉尘抽出，保证机台内正在生产的产品不会报废。备用排风设备140包括连接厂务排风系统的排风管以及控制排风管与厂务排风系统连通或阻断的开关阀。排风管安装在机台风机出口端，不影响机台风机工作的位置。开关阀设置在排风管上，与控制模块130连接。控制模块130在风机排风量低于设定排风量时向开关阀发出控制命令，打开开关阀，使排风管与厂务排风系统连通。厂务排风系统通过排风管，为机台提供排风，加大机台风机处的排风量(机台可通过调整自身的风控阀门的开启角来控制厂务排风系统对机台的排风量满足生产需求)，将粉尘有效的抽走，避免机台风机排风量降低粉尘掉落在机台内产品上造成产品报废，保证产品的安全。

此外，控制模块130在风机排风量低于设定排风量时还控制报警模块150发出报警信号，并交由显示模块160显示，进行报警，告之操作人员，使操作人员实时了解掌握风机状况并进行处理(维修或者更换风机)。为保证产品安全，控制模块130控制报警模块150报警后，若操作人员在规定时间未处理，此时控制整个机台停止工作，等待操作人员来维修处理。控制模块130也还先停止整个机台停止工作，然后控制报警模块150报警。

在其他实施例中，控制模块130在向备用排风设备140发出控制命令后，若备用排风设备140在预设时间内无法正常开启，控制模块130控制报警模块150发出报警信号，并交由显示模块160显示，进行报警，告之操作人员对备用排风设备140进行处理。为保证产品安全，控制模块130控制报警模块150报警后，若操作人员在规定时间未处理，此时控制整个机台停止工作，等待操作人员来维修处理。

显示模块160用于对报警信号进行显示，同时，还对风机排风量以及比较结果进行显示，将风机所有运转状况告之操作人员。

该风机控制系统，监测模块110实时监测并获取风机的排风量交由比较模块120，比较模块120将风机的排风量与设定排风量进行比较，将比较结果交由控制模块130。控制模块130接收比较结果，若比较结果为风机的排风量高于设定排风量，则风机能够抽走粉尘保证产品安全，控制模块130无需采取措施；若比较结果为风机的排风量低于设定排风量，则风机无法抽走粉尘保证产品安全，控制模块130控制机台停止向机台内传送产品并控制备用排风设备140开启，协助风机，增大排风量将粉尘抽走，以保持正在生产的产品安全。同时，控制模块130还控制报警模块150发出报警信号进行报警，告之操作人员对风机进行处理，此外，在备用排风设备140出现异常时，控制模块130还控制报警模块150发出报警信号进行报警，并使机台停止工作，以更加有效的保证产品安全。

此外，提供一种风机控制方法。

图2是一个实施例中风机控制方法流程图。该方法包括：

S21：实时监测并获取风机的排风量。

该实施例中，采用转速侦测器，实时监测并风机的转速，通过转速监测并获取风机的排风量。其他实施例中，还可以采用风速测量器，实时监测风机的风速，通过风速获取风机的排风量。

S22：接收获取的风机的排风量，与设定排风量进行比较，获取比较结果。

该实施例中，设定排风量为初始设置的且满足生产要求的排风量。

S23：接收并根据比较结果，在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施。

该实施例中，接收并根据比较结果，在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施的步骤具体为：增设备用排风设备，在比较结果为风机排风量低于设定排风量时，控制机台停止向机台内传送产品并向备用排风设备发出控制命令，控制备用排风设备开启，增大对机台的排风量，弥补风机排风量的不足，能够有效的将机台中的粉尘抽出，保证机台内正在生产的产品不会报废。备用排风设备包括连接厂务排风系统的排风管以及控制排风管与厂务排风系统连通或阻断的开关阀。排风管安装在机台风机出口端，不影响机台风机工作的位置。开关阀设置在排风管上。在风机排风量低于设定排风量时向开关阀发出控制命令，打开开关阀，使排风管与厂务排风系统连通。厂务排风系统通过排风管，为机台提供排风，加大机台风机处的排风量(机台可通过调整自身的风控阀门的开启角来控制厂务排风系统对机台的排风量以满足生产需求)，将粉尘有效的抽走，避免机台风机排风量降低粉尘掉落在机台内产品上造成产品报废，保证产品的安全。

此外，接收并根据比较结果，在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施的步骤具体还包括：在风机排风量低于设定排风量时发出报警信号进行报警，并进行显示，告之操作人员，使操作人员实时了解掌握风机状况并进行处理(维修或者更换风机)。为保证产品安全，若操作人员在规定时间未处理，则控制整个机台停止工作，等待操作人员来维修处理。当然，也还可先停止整个机台停止工作，然后发出报警信号进行报警。

在其他实施例中，在向备用排风设备发出控制命令后，若备用排风设备在预设时间无法正常开启，则进一步发出报警信号进行报警，并进行显示，告之操作人员及时对备用排风设备进行处理。为保证产品安全，若操作人员在规定时间未处理，则控制整个机台停止工作，等待操作人员来维修处理。

上述风机控制系统及控制方法，实时监测并获取风机的排风量，将风机的排风量与设定排风量进行比较获取比较结果，根据比较结果在风机的排风量小于设定排风量时采取安全处理措施，使得风机的排风量在低于满足安全生产的设定排风量时及时采取安全处理措施，使粉尘不会掉落在机台中正在生产的产品上，保证了产品的安全生产，避免产品报废。同时，有效的对每个风机进行监控，降低了风机更换频率，提高了机台效率，大大节约了成本。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种风机控制系统，其特征在于，包括：

监测模块，用来实时监测并获取风机的排风量；

比较模块，接收获取的风机的排风量，与设定排风量进行比较，获取比较结果；

控制模块，接收并根据比较结果，在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施。

2.根据权利要求1所述的风机控制系统，其特征在于，所述监测模块采用转速侦测器，监测并获取风机的转速，通过所述转速监测并获取风机的排风量。

3.根据权利要求1所述的风机控制系统，其特征在于，所述监测模块采用风速测量器，监测风机的风速，通过风速获取风机的排风量。

4.根据权利要求1至3任意一项所述的风机控制系统，其特征在于，所述系统还包括备用排风设备；所述控制模块在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施具体为：所述控制模块控制机台停止向机台内传送产品并向备用排风设备发出控制命令，控制备用排风设备开启。

5.根据权利要求4所述的风机控制系统，其特征在于，所述备用排风设备包括设置在风机出口端并连接厂务排风系统的排风管以及控制排风管与厂务排风系统连通和阻断的开关阀。

6.根据权利要求5所述的风机控制系统，其特征在于，所述系统还包括报警模块；所述控制模块风机的排风量低于设定排风量时控制模块控制报警模块发出报警信号，进行报警，所述系统还包括显示模块，用于对风机的排风量、比较结果以及报警信号进行显示。

7.一种风机控制方法，包括如下步骤：

实时监测并获取风机的排风量；

接收获取的风机的排风量，与设定排风量进行比较，获取比较结果；

接收并根据比较结果，在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施。

8.根据权利要求7所述的风机控制方法，其特征在于，所述实时监测并获取风机的排风量的步骤具体为：采用转速侦测器，实时监测并获取风机的转速，通过转速监测并获取风机的排风量。

9.根据权利要求7或8所述的风机控制方法，其特征在于，所述接收并根据比较结果，在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施的步骤具体为：增设备用排风设备，在风机排风量低于设定排风量时，控制机台停止向机台内传送产品并向备用排风设备发出控制命令，控制备用排风设备开启。

10.根据权利要求9所述的风机控制方法，其特征在于，所述接收并根据比较结果，在风机的排风量低于设定排风量时采取安全处理措施的步骤还包括发出报警信号进行报警的步骤。

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