CN102456084A - Ic装备配方编辑器的配置方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种IC装备配方编辑器的配置方法,包括以下步骤:启动配方编辑器中的配置窗体;在配置窗体中对IC装备配方中的配置信息进行配置,并保存为配置文件;重新启动配方编辑器,自动读取上述配置文件中的信息;配方编辑器根据所读取的配置文件信息以及对配方编辑器的结构进行重新设置,生成配方编辑器的配方编辑界面。本发明方法使用户可以在不用修改代码的情况下对配方编辑器进行有效的配置,可以实现对配方编辑器的表格的结构进行配置,如实现参数的父子关系,以及单元格的灵活拆分,还可以针对不同的配方类型,将配方编辑器关联到不同的配置文件,实现配方编辑器的多重配置。
Description
技术领域
本发明涉及一种编辑器配置技术,具体的说是一种IC装备配方编辑器的配置方法。
背景技术
IC(integratedcircuit,集成电路)产业是一个高度专业化的产业,一般的IC装备的生产流程都非常复杂,其配方相对于其他行业来说也更加复杂。在设计配方编辑器时,往往需要根据不同的适用环境来改变配方的内容和结构,因此配方编辑器设计的灵活性问题成为了IC软件开发者的一个难题。
常规的配方编辑器是一种固定形式的编辑器,其灵活性受到了很大的限制。有些配方编辑器可以通过IC软件中的配置文件来配置其内容,但灵活性不强,不能对配方编辑器的具体结构,如表格结构进行配置。如果需要对配方结构进行较大的改动,则需要去修改IC软件中配方编辑器的程序代码,很是繁琐。这样不仅增加了客户修改配方结构的复杂性,有时还需要设计人员对程序进行修改,增加了开发成本。同时,由于每一次开发都要重新设计配方编辑器的结构,增加了二次开发的复杂性。
发明内容
针对现有技术中存在的IC装备的配方编辑器的复杂程度较高,灵活性不强等不足之处,本发明要解决的技术问题是提供一种可以灵活的对配方编辑器进行配置,节省配置时间,提高生产和维护的效率的IC装备配方编辑器的配置方法。
为解决上述技术问题,本发明采用的技术方案是:
本发明一种IC装备配方编辑器的配置方法包括以下步骤:
启动配方编辑器中的配置窗体;
在配置窗体中对IC装备配方中的配置信息进行配置,并保存为配置文件;
重新启动配方编辑器,自动读取上述配置文件中的信息;
配方编辑器根据所读取的配置文件信息以及对配方编辑器的结构进行重新设置,生成配方编辑器的配方编辑界面。
所述配置信息包括:数据类型、文件信息、参数信息、嵌套关系信息以及配方编辑器结构信息。
配方编辑器读取配置文件信息以及对配方编辑器的结构进行重新设置包括以下步骤:
将配置文件信息写入内存;
判断配置信息是否有效,如果有效,则根据内存中的配置信息重新分配配方编辑器的结构;
如果无效,则停止分配配方编辑器结构。
还包括读取IC装备软件中配方文件及填充配方编辑器数据步骤,具体为:
读取IC装备软件中的配方文件并将配方文件中的信息写入内存;
比较内存中的配方文件信息与配方编辑器结构是否匹配,如果匹配,则使用配方编辑器对配方文件进行编辑;
如果不匹配,则退出配方编辑器。
所述判断配置信息是否有效包括以下步骤:
读取配置文件,获得配置文件总节点下的各子节点;
判断配置文件中各子节点对应各类信息是否存在,如果存在,则遍历其子节点,将各类信息写入内存,否则停止读取并发送错误报告。
所述配置文件以XML格式保存;配置文件的内部结构包含若干节点,按照自定义的一系列规则来设定配置文件中的各节点的名称和属性,进而实现对配置文件信息的设置。
配方编辑器的结构为表格形式,利用配置文件的信息对表格结构进行配置。
在配置窗体中对IC装备配方中的配置信息进行配置为:在配置窗体中分别编辑配置信息中的各类信息,得到编辑后的各类配置信息并存储到内存中。
1.使用方便。本发明配置文件以定义好的格式作为节点的标识,用不同层次的节点来描述对不同的配方信息的配置,可以通过配置文件自定义数据类型,使用户可以在不用修改代码的情况下对配方编辑器进行有效的配置。
2.功能强大。配置功能虽然在很多领域得到了运用,但是常规的配置只是简单的对一些参数进行配置,无法对编辑器的结构进行配置。本发明可以实现对配方编辑器的表格的结构进行配置,如实现参数的父子关系,以及单元格的灵活拆分等。
3.扩展性强。可以对一个配置文件进行修改,成为一个新的配置文件。还可以针对不同的配方类型,将配方编辑器关联到不同的配置文件,实现配方编辑器的多重配置。
附图说明
图1为本发明方法中重新启动配方编辑器及自动读取上述配置文件信息流程图;
图2为本发明方法中判断配置信息是否有效流程图;
图3为本发明方法中配置窗体程序流程图;
图4为参数名为列表头时的参数父子关系示意图;
图5为本发明实施例中对配置文件定义示意图;
图6为应用本发明方法得到的配方编辑器的编辑界面。
具体实施方式
为解决配方编辑器的灵活性不强的问题,本发明提供一种对配方编辑器进行配置的方法,即IC装备配方编辑器的配置方法,可以实现对配方编辑器的灵活配置。
本发明方法所采用的主要步骤如下:
启动配方编辑器中的配置窗体;
在配置窗体中对IC装备配方中的配置信息进行配置,并保存为配置文件;
重新启动配方编辑器,自动读取上述配置文件中的信息;
配方编辑器根据所读取的配置文件信息以及对配方编辑器的结构进行重新设置,生成配方编辑器的配方编辑界面。
其中配置信息包括数据类型、文件信息、参数信息、嵌套关系信息以及配方编辑器结构信息。
如图1所示,重新启动配方编辑器及自动读取上述配置文件信息过程如下:将配置文件信息写入内存;
判断配置信息是否有效,如果有效,则根据内存中的配置信息重新分配配方编辑器的结构;
如果无效,则停止分配配方编辑器结构并弹出提示。
如图2所示,上述判断配置信息是否有效为:
读取配置文件,获得配置文件总节点Recipe下的各子节点;
判断配置文件中各子节点对应各类信息是否存在,如果存在,则遍历其子节点,将各类信息写入内存,否则停止读取并发送错误报告。
重新启动配方编辑器及自动读取上述配置文件信息还包括读取IC装备软件中配方文件及填充配方编辑器数据步骤,即:
读取IC装备软件中的配方文件并将配方文件中的信息写入内存;
比较内存中的配方文件信息与配方编辑器结构是否匹配,如果匹配,则使用配方编辑器对配方文件进行编辑;否则报告错误信息并退出配方编辑器。
所述配置文件以XML格式保存,XML(eXtensible Markup Language)即可扩展标记语言,它与HTML一样,都是处于SGML,标准通用语言。Xml是Internet环境中跨平台的,依赖于内容的技术,是当前处理结构化文档信息的有力工具。扩展标记语言XML是一种简单的数据存储语言,使用一系列简单的标记描述数据,而这些标记可以用方便的方式建立,虽然XML占用的空间比二进制数据要占用更多的空间,但XML极其简单易于掌握和使用。
配方编辑器的结构为表格形式,利用配置文件的信息对表格结构进行配置。
如图3所示,在配置窗体中对IC装备配方中的配置信息进行配置,并保存为配置文件,过程如下:
将配置文件中的配置信息载入内存中;
判断上述配置信息是否有效,如有效,则将配置信息中的数据填充到配置窗体中;
用户编辑配置窗体,并将配置信息保存到配置文件中,完成一次配置窗体的配置过程。
如果不进行将配置信息保存到配置文件中的操作,则退出配置过程;
如果配置信息无效,则弹出错误提示。
配置文件对配方编辑器结构的配置如下:
设置配方各参数的父子关系,即一个总参数下包含若干个子参数,在配方编辑器表格中按照嵌套的形式表现出来,如图4所示。
配置文件以XML形式存储,以下为该XML文件内部数据的示例:
<Recipe>
<DocumentInfo>
<PARAM name=″Frozen″value=″0″type=″BOOL″viewtype=″″/>
<PARAM name=″Name″value=″″type=″STRI NG″viewtype=″″/>
<PARAM name=″CreateTime″value=″″type=″STRING″viewtype=″″/>
<PARAM name=″Creator″value=″″type=″STRING″viewtype=″″/>
<PARAM name=″ReviseTime″value=″″type=″STRING″viewtype=″″/>
<PARAM name=″Revisor″value=″″type=″STRING″viewtype=″″/>
<PARAM name=″Description″value=″″type=″STRING″viewtype=″″/>
<PARAM name=″Version″value=″″type=″STRI NG″viewtype=″″/>
</DocumentInfo>
<Step>
<PARAM name=″Step_Name″value=″″type=″STRING″viewtype=″″/>
<PARAM name=″End_Condition″subitem=″2″type=″GROUP″viewtype=″″/>
<PARAM name=″End_Condition Mode″value=″Time(Sec)″type=″ENUM″viewtype=″″
list=″Time(Sec);Astron On;Pre(Torr);Temp(℃)″/>
<PARAM name=″End_Condition Value″value=″1″type=″INT″viewtype=″″min=″0″
max=″1000″/>
<PARAM name=″MaxTime″value=″1″type=″INT″viewtype=″″min=″0″max=″1000″/>
<PARAM name=″App_PM″value=″PMA″type=″ENUM″viewtype=″″
list=″PMA;PMB;PMC;PMD;AII″/>
<PARAM name=″Pressure″subitem=″2″type=″GROUP″viewtype=″″/>
<PARAM name=″Pressure Mode″value=″Servo″type=″ENUM″viewtype=″″list=″Servo;TV″
/>
<PARAM name=″Pressure Value″value=″1″type=″I NT″viewtype=″″min=″0″max=″1000″/>
<PARAM name=″Pin_Position″value=″Home″type=″ENUM″viewtype=″″list=″Home;Lift″/>
<PARAM name=″Gap:A″value=″20mm″type=″ENUM″viewtype=″″list=″20mm;homing″/>
<PARAM name=″Gap:B″value=″20mm″type=″ENUM″viewtype=″″list=″20mm;homing″/>
<PARAM name=″RF_time:A″value=″1″type=″I NT″viewtype=″″min=″0″max=″1000″/>
<PARAM name=″RF_time:B″value=″1″type=″INT″viewtype=″″min=″0″max=″1000″/>
<PARAM name=″HF_power:A″value=″1″type=″INT″viewtype=″″min=″0″max=″1000″/>
<PARAM name=″HF_power:B″value=″1″type=″INT″viewtype=″″min=″0″max=″1000″/>
</Step>
</Recipe>
嵌套关系信息在配置文件中的定义方法如下:
参数父子关系的设定,是通过设定参数节点的“name”和“type”属性完成的;
如果想将某参数设置为父级参数,首先要将其“type”属性设置为“GROUP”,同时设定其“subitem”属性为一个常数,表示该父级参数下包含子参数的数量;
设定完父级参数后,要在父级节点的后面设定其子参数,子参数的设定只需修改其节点的“name”属性,命名规则为父参数名称+空格+子参数名称,节点的其余属性不变。
数据类型在配置文件中的定义方法如下:
类型 | 标志 |
浮点 | DOUBLE |
布尔 | BOOL |
整型 | INT |
字符串 | STRING |
枚举型 | ENUM |
父参数 | GROUP |
在配置文件中可以自定义数据类型,如枚举型(ENUM)。如XML数据所示,如果将某参数定义为枚举型,需要同时定义该参数对应节点的“list”属性,在该属性中添加各枚举数据,用分号(;)隔开。在配方编辑器读取配置信息时,如果发现某参数的数据类型为枚举型,则会同时读取“list”属性,获得枚举中的各数据。
配方编辑器采用表格形式,可以通过设置配置文件来对表格结构进行配置。如XML数据所示,如果需要拆分某参数的单元格,需要将一个参数分成2个参数,同时将2个新参数的名称修改为原参数名+“: A”和原参数名+“: B”。这2个参数是相互独立的,可以分别设置两个参数的数据类型等各个属性,使他们成为2个不同的参数。在配方编辑器读取配置信息时,如发现参数名称中带有“: A”和“: B”,且“:”之前的名称相同,则会将2个参数放在同一个单元格中,并将此单元格拆分为2个单元格,分别填充这2个参数的数据。
本实施例中对配置文件定义如图5所示:
配置文件为XML格式,根节点为Recipe。
根节点下包含如下2个子节点:文件信息节点(Document Info)和配方Step信息节点(Step),这2个节点下又分别包含若干个PARAM节点,PARAM节点为配方文件的底层节点,用于存储详细的配置信息。
根据在配方中所实现的功能不同,可将配置文件中的配置信息分为两大部分,分别为文件信息部分及Step信息部分,其中每个部分都包含若干个PARAM节点。文件信息部分中的PARAM节点为配方文件的底层节点,每个节点中包含其对应文件的配置信息,包括创建时间、修改时间、创建者、修改者以及描述;Step信息部分中的每个PARAM节点对应配方文件中各个参数的配置信息。
应用本发明方法新建配方的过程在编辑器中实现,步骤如下:
在生成配方编辑器界面之后,在编辑器界面上对配方进行编辑;
编辑完成后将配方信息保存为配方文件。
应用本发明方法修改配方的过程也在编辑器中实现,步骤如下:
在生成配方编辑器界面之后,配方编辑器读取配方文件,获得配方信息;
判断配方文件信息与配方编辑器结构是否匹配,如果匹配,则进入配方编辑界面进行编辑;
修改完成后,将配方信息保存到配方文件;
如果不匹配,则报告错误信息并退出配方编辑器。
如图6所示,应用本发明方法得到的配方编辑器的编辑界面,包含如下几部分:
最左侧的行标题部分为参数名称,运用父参数与子参数的嵌套关系可以实现行标题的嵌套显示,如“End_Condition”和“Pin_Position”这2个父参数分别包含“Mode”和“Value”子参数;
最上部的列标题部分为每个Step的序号,如“Step1”和“Step2”;中间部分为每个Step所对应的参数信息;
每个参数的单元格都与其数据类型对应,当参数类型为枚举型(ENUM)时,会显示为下拉菜单格式,下拉菜单的选项为枚举中的各枚举值;
可以设定某个参数的单元格的拆分,如“Gap”、“RF_time”和“HF_power”。
Claims (10)
1.一种IC装备配方编辑器的配置方法,其特征在于包括以下步骤:
启动配方编辑器中的配置窗体;
在配置窗体中对IC装备配方中的配置信息进行配置,并保存为配置文件;
重新启动配方编辑器,自动读取上述配置文件中的信息;
配方编辑器根据所读取的配置文件信息以及对配方编辑器的结构进行重新设置,生成配方编辑器的配方编辑界面。
2.按权利要求1所述的IC装备配方编辑器的配置方法,其特征在于:所述配置信息包括:数据类型、文件信息、参数信息、嵌套关系信息以及配方编辑器结构信息。
3.按权利要求1所述的IC装备配方编辑器的配置方法,其特征在于配方编辑器读取配置文件信息以及对配方编辑器的结构进行重新设置包括以下步骤:
将配置文件信息写入内存;
判断配置信息是否有效,如果有效,则根据内存中的配置信息重新分配配方编辑器的结构。
4.按权利要求3所述的IC装备配方编辑器的配置方法,其特征在于:如果无效,则停止分配配方编辑器结构。
5.按权利要求3所述的IC装备配方编辑器的配置方法,其特征在于还包括读取IC装备软件中配方文件及填充配方编辑器数据步骤,具体为:
读取IC装备软件中的配方文件并将配方文件中的信息写入内存;
比较内存中的配方文件信息与配方编辑器结构是否匹配,如果匹配,则使用配方编辑器对配方文件进行编辑。
6.按权利要求5所述的IC装备配方编辑器的配置方法,其特征在于:如果不匹配,则退出配方编辑器。
7.按权利要求3所述的IC装备配方编辑器的配置方法,其特征在于:所述判断配置信息是否有效包括以下步骤:
读取配置文件,获得配置文件总节点下的各子节点;
判断配置文件中各子节点对应各类信息是否存在,如果存在,则遍历其子节点,将各类信息写入内存,否则停止读取并发送错误报告。
8.按权利要求1所述的IC装备配方编辑器的配置方法,其特征在于:所述配置文件以XML格式保存;配置文件的内部结构包含若干节点,按照自定义的一系列规则来设定配置文件中的各节点的名称和属性,进而实现对配置文件信息的设置。
9.按权利要求1所述的IC装备配方编辑器的配置方法,其特征在于:配方编辑器的结构为表格形式,利用配置文件的信息对表格结构进行配置。
10.按权利要求1所述的IC装备配方编辑器的配置方法,其特征在于:在配置窗体中对IC装备配方中的配置信息进行配置为:在配置窗体中分别编辑配置信息中的各类信息,得到编辑后的各类配置信息并存储到内存中。
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
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