CN102444944B - 湿度调节系统 - Google Patents
湿度调节系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102444944B CN102444944B CN201110359578.2A CN201110359578A CN102444944B CN 102444944 B CN102444944 B CN 102444944B CN 201110359578 A CN201110359578 A CN 201110359578A CN 102444944 B CN102444944 B CN 102444944B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- gas
- control system
- external zones
- humidity control
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 13
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 39
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 30
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 7
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 6
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 claims description 5
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 8
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 abstract description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract 6
- 238000004134 energy conservation Methods 0.000 abstract 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 91
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000005457 ice water Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
- 239000000779 smoke Substances 0.000 description 1
- 238000004781 supercooling Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
- Y02B30/00—Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]
- Y02B30/54—Free-cooling systems
Abstract
本发明提供一种湿度调节系统，适用于无尘室中，此无尘室包括机台工作区与外围区，其中外围区大体环绕机台工作区，而机台工作区具有气体入口与气体出口，并通过气体入口与气体出口连通至外围区。此湿度调节系统包括高压喷雾装置，配置于无尘室的外围区而邻近气体出口，用以提供雾气，以对自机台工作区流向外围区的气体进行降温及加湿。本发明在无尘室的外围区内设置高压喷雾装置，以对机台在工艺中所产生的高温气体进行等焓加湿，因而无须耗费额外的能量来对气体进行加湿前的加热。此外，本发明可有效降低无尘室的运转成本，符合现今节能环保的趋势。
Description
技术领域
本发明涉及一种湿度调节系统，尤其涉及一种适用于无尘室中的湿度调节系统。
背景技术
在高科技产业中，由于对产品的精密程度要求极高，因此必须在无尘、无污染且恒温恒湿的无尘室环境中进行产品制造及加工等作业，以确保产品的品质。
图1为公知一种无尘室的温湿度调节系统的配置示意图。请参照图1，公知的无尘室100是利用外气空调装置102来控制进入无尘室100内的气体的温度及湿度。详细来说，外气空调装置102具有入气口101以及出气口103，并包括第一过滤单元110、温度调节单元120、加湿单元130、温度调节单元140、送风单元150以及第二过滤单元160。当外界气体由入气口101进入外气空调装置102内后，会先经由第一过滤单元110初步过滤杂质，并通过温度调节单元120将通过过滤单元110的气体预冷却或预加热，再利用加湿单元130所喷洒出的水气提高气体的湿度。由于在加湿过程中气体的温度会大幅降低，因此在进行加湿后需再通过温度调节单元140对气体进行加热，以使气体达到目标温度，然后再通过送风单元150将此气体g往出气口103送，使气体g在通过第二过滤单元160后，可经由出气口103输送至无尘室100内。
由上述可知，公知需利用外气空调装置102对欲输送无尘室内的气体进行二次加热，以使气体达预定的温度及湿度。然而，此种做法的耗能需求量大，不但增加工艺成本，也难以符合现今节能环保的趋势。
发明内容
有鉴于此，为了克服现有技术的缺陷，本发明提供一种湿度调节系统，以节省维护无尘室的耗能费用。
本发明提出一种湿度调节系统，适用于无尘室中，此无尘室包括机台工作区与外围区，其中外围区环绕机台工作区，而机台工作区具有气体入口与气体出口，并通过气体入口与气体出口连通至外围区。此湿度调节系统包括高压喷雾装置，配置于无尘室的外围区而邻近气体出口，用以提供雾气，以对自机台工作区流向外围区的气体进行降温及加湿。
在本发明的一实施例中，上述的湿度调节系统还包括冷却装置，配置于该外围区而相对该高压喷雾装置邻近该气体出口，用以降温自机台工作区流向外围区的气体。
在本发明的一实施例中，上述的湿度调节系统还包括外气空调装置，用以提供外气至外围区，以使外气通过气体入口流入机台工作区内。
在本发明的一实施例中，上述的外气空调装置配置于无尘室外，并通过气体通道连接至外围区。
在本发明的一实施例中，上述的外气空调装置配置于外围区内。
在本发明的一实施例中，上述的外气空调装置包括温度调节单元，用以加热或冷却外气。
在本发明的一实施例中，上述的外气空调装置还包括加湿单元，适于提供水气。
在本发明的一实施例中，上述的湿度调节系统还包括第一温/湿度传感器，设置于无尘室的外围区而邻近气体出口。
在本发明的一实施例中，上述的湿度调节系统还包括第二温/湿度传感器，设置于无尘室的机台工作区内而邻近气体入口。
在本发明的一实施例中，上述的高压喷雾装置的工作压力介于10Kg/cm2至100Kg/cm2。
在本发明的一实施例中，上述的雾气的粒径小于100微米。
本发明是在无尘室的外围区内设置高压喷雾装置，以对机台在工艺中所产生的高温气体进行等焓加湿，因而无须耗费额外的能量来对气体进行加湿前的加热。
本发明可有效降低无尘室的运转成本，符合现今节能环保的趋势。
为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下。
附图说明
图1为公知一种无尘室的温湿度调节系统的配置示意图；
图2是本发明一实施例的一种湿度调节系统的配置示意图；
图3是本发明另一实施例的一种湿度调节系统的配置示意图；
图4是本发明另一实施例的一种湿度调节系统的配置示意图。
其中，附图标记说明如下：
100、300：无尘室；
101：入气口；
102、250：外气空调装置；
103：出气口；
110：第一过滤单元；
120、140、252：温度调节单元；
130、254：加湿单元；
150、256：送风单元；
160：第二过滤单元；
200、400：湿度调节系统；
210：高压喷雾装置；
220：冷却装置；
230：第一温/湿度传感器；
240：第二温/湿度传感器；
310：工作区；
312：气体入口；
314：气体出口；
320：外围区；
322：回风道；
323：过滤风扇；
324：过滤室；
326：收集室；
402：气体通道；
A、g、O：气体；
I：外界气体。
具体实施方式
图2是本发明一实施例的一种湿度调节系统的配置示意图。请参照图2，湿度调节系统200适用于无尘室300中，且无尘室300包括机台工作区310与外围区320，其中外围区320环绕机台工作区310，而机台工作区310具有气体入口312与气体出口314，并通过气体入口312与气体出口314连通至外围区320。
具体来说，机台工作区310为工艺机台所放置的区域，相关人员也是在机台工作区310内操作机台以进行工艺。外围区320则是包括回风道322、过滤室324以及收集室326。过滤室324位于机台工作区310上方，并通过气体入口312连通至机台工作区310。而且，过滤室324内可设有多个过滤风扇323，其中各过滤风扇323分别对应至一个气体入口312，用以过滤外界气体I并将其引入机台工作区310内。
承上述，收集室326位于机台工作区310下方，并通过气体出口314连通至机台工作区310，气体出口314举例可为一个或多个，在此并不局限。回风道322则位在机台工作区310的侧边，并连通于过滤室324与收集室326之间。据此，在机台工作区310内的气体A可将污染物从气体出口314携带至收集室326，再经由回风道322回流至过滤室324，以通过过滤风扇323将污染物滤除，进而维持机台工作区310内的洁净度。
湿度调节系统200则包括高压喷雾装置210，配置于无尘室300的外围区320中而邻近气体出口314，用以提供雾气，以对自机台工作区310流向外围区320的气体O进行降温及加湿。在本实施例中，高压喷雾装置210例如是配置于回风道322内，但本发明不限于此。在其他实施例中，高压喷雾装置210也可以因应实际需求而配置于过滤室324或收集室326内。
值得一提的是，粒径愈小的水珠愈容易被蒸发，因此本实施例的高压喷雾装置210例如是以10Kg/cm2至100Kg/cm2的高压喷洒出粒径小于100微米的雾气，以便于迅速提高气体的湿度。其中，高压喷雾装置210的工作压力较佳为50-70kg/cm2，且其所喷出的雾气的粒径较佳为40微米。
由图2可知，外界气体I进入无尘室300后，会先经过过滤室324内的过滤风扇323将外界气体I所携带的污染物滤除，并通过气体入口312将其输送至机台工作区310内。之后，由于设置在机台工作区310内的工艺机台(未示出)在运作时会产生热能而使机台工作区310内的气体A温度上升，因此当气体A从机台工作区310通过气体出口314流至外围区320时，即可通过高压喷雾装置210对此高温气体O进行等焓加湿，一方面可使气体O达到目标湿度，另一方面也可降低气体O的温度。
特别的是，本实施例的湿度调节系统200例如是还包括有冷却装置220、第一温/湿度传感器230与第二温/湿度传感器240，其中冷却装置220是配置于外围区320而相对高压喷雾装置210邻近气体出口314，用以在利用高压喷雾装置220对气体O进行加湿前，先降低气体O的温度。第一温/湿度传感器230是设置于无尘室300的外围区320而邻近气体出口314，用以感测自机台工作区310所流出的气体O的温/湿度。第二温/湿度传感器240则是配置于机台工作区310内而邻近气体入口312，用以感测流入机台工作区310的气体A的温/湿度。
具体来说，冷却装置220与高压喷雾装置210的运转功率是依据第一温/湿度传感器230及第二温/湿度传感器240所测得的数据来决定。举例来说，冷却装置220的运转功率视第一温/湿度传感器230及第二温/湿度传感器240所测得的气体温度与目标温度之间的差值来做调整。另一方面，高压喷雾装置210的运转功率视第一温/湿度传感器230及第二温/湿度传感器240所测得的气体湿度与目标湿度之间的差值来做调整。
自机台工作区310所流出的气体O在经过冷却装置220对其进行降温冷却，并经由高压喷雾装置210对其进行加湿之后，会经由回风道322回流至过滤室324，然后再经由气体入口312流至机台工作区310内，进而使机台工作区310内具有恒温恒湿的环境气体A。
需要注意的是，为降低高压喷雾装置210的运转功率，如图3所示，本发明在另一实施例中的湿度调节系统400还可以包括外气空调装置250，其例如是直接配置于外围区320的过滤室324内，或是如图4所示，通过气体通道402连通至外围区320的过滤室324。
在图3及图4中，外气空调装置250例如是包括温度调节单元252与加湿单元254，且外气I在通入至外气空调装置250内后，会先经由温度调节单元252对其进行加热或冷却，然后再利用加湿单元254所提供的水气对此外气进行加湿，以提高其湿度。之后，外气空调装置250会利用送风单元256将已加湿过的外气I通入无尘室300内，而后续在无尘室300内的气体的温/湿度调控则如前文所述。在此，由于通入无尘室300内的气体I已先经由外气空调装置250进行加湿以稍微提高湿度，因此可缩短高压喷雾装置210将自机台工作区310所流出的气体O加湿至目标湿度所需的时间，并且可降低高压喷雾装置210的运转功率，以延长其使用寿命。
综上所述，本发明是在无尘室的外围区内设置高压喷雾装置，以对机台在工艺中所产生的高温气体进行等焓加湿，因而无须耗费额外的能量来对气体进行加湿前的加热，以降低耗能。而且，还可在提高气体的湿度的同时，也消耗掉机台所产生的热能。之后，并利用等焓加湿后的气体来维持无尘室的机台工作区的恒温恒湿。相较于公知，本发明的一实施例中，可仅先提高空气干球温度(dry-bulb temperature，DBT)至约25度C，增加空气热焓，空气相对湿度因而降低，但空气含水率不变；本发明的一实施例中，利用高压喷雾加热泵加压至约50-70kg/cm2，产生喷雾微粒水珠(例如粒径为40微米)，并将其分布于空气中产生加湿；于无尘室内使用高压喷雾加湿，水雾将回风降温等焓加湿，可节省无尘室干盘管(dry coil)中冰水循环量，降低无尘室运转成本；本发明的一实施例中，可仅将空气干球温度举例提高至约25度C，经等焓加湿达干球温度为约15度C且绝对湿度(absolutely humidity，AH)为6g/kg，故不须耗费大量热水，借以达到节能效益。由此可知，与公知需对气体进行二次加热的方法相较之下，本发明可有效降低无尘室的运转成本，符合现今节能环保的趋势。
虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，因此本发明的保护范围当视所附的权利要求所界定的范围为准。
Claims (9)
1.一种湿度调节系统，适用于一无尘室，该无尘室包括一机台工作区与一外围区，该外围区环绕该机台工作区，且该机台工作区具有一气体入口与一气体出口，并通过该气体入口与该气体出口连通至该外围区，而该湿度调节系统包括一高压喷雾装置，配置于该外围区而邻近该气体出口，适于提供一雾气，以对自该机台工作区流向该外围区的一气体进行降温及加湿，
该湿度调节系统还包括：一第一温/湿度传感器，设置于该无尘室的该外围区而邻近该气体出口；以及一第二温/湿度传感器，设置于该无尘室的该机台工作区内而邻近该气体入口，
其中该高压喷雾装置的运转功率是依据该第一温/湿度传感器及该第二温/湿度传感器所测得的数据来决定。
2.如权利要求1所述的湿度调节系统，还包括一冷却装置，配置于该外围区而相对该高压喷雾装置邻近该气体出口，用以降温该气体，
其中该外围区包括回风道、过滤室以及收集室，
该过滤室位于该机台工作区上方，并通过该气体入口连通至该机台工作区，该过滤室内可设有多个过滤风扇，各所述过滤风扇分别对应至一个所述气体入口，用以过滤外界气体并将其引入该机台工作区内，
该回风道位于该机台工作区的侧边，并连通于该过滤室与该收集室之间，在该机台工作区内的气体将污染物从该气体出口携带至该收集室，再经由该回风道回流至该过滤室，以通过该过滤风扇将污染物滤除，进而维持该机台工作区内的洁净度，
该高压喷雾装置配置于该回风道、该过滤室或该收集室内。
3.如权利要求1所述的湿度调节系统，还包括一外气空调装置，适于提供一外气至该外围区，以使该外气通过该气体入口流入该机台工作区内，该外气空调装置包括送风单元，该送风单元被用于将已加湿过的外气通入该无尘室内。
4.如权利要求3所述的湿度调节系统，其中该外气空调装置配置于该无尘室外，并通过一气体通道连接至该外围区。
5.如权利要求3所述的湿度调节系统，其中该外气空调装置配置于该外围区内。
6.如权利要求3所述的湿度调节系统，其中该外气空调装置包括一温度调节单元，适于加热或冷却该外气。
7.如权利要求6所述的湿度调节系统，其中该外气空调装置还包括一加湿单元，适于提供一水气，以加湿该外气。
8.如权利要求1所述的湿度调节系统，其中该高压喷雾装置的工作压力介于10Kg/cm2至100Kg/cm2，且在该高压喷雾装置提供雾气之前，该无尘室的空气干球温度被提高至25度，而在该高压喷雾装置提供雾气之后，该空气干球温度达15度且绝对湿度为6g/kg。
9.如权利要求1所述的湿度调节系统，其中该雾气的粒径小于100微米。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| TW100131784 | 2011-09-02 | ||
| TW100131784A TWI431227B (zh) | 2011-09-02 | 2011-09-02 | 濕度調節系統 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102444944A CN102444944A (zh) | 2012-05-09 |
| CN102444944B true CN102444944B (zh) | 2014-05-07 |
Family
ID=46007686
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201110359578.2A Expired - Fee Related CN102444944B (zh) | 2011-09-02 | 2011-11-09 | 湿度调节系统 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102444944B (zh) |
| TW (1) | TWI431227B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104178426A (zh) * | 2014-08-08 | 2014-12-03 | 新奥科技发展有限公司 | 微藻培养的温度控制方法及装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100874886B1 (ko) * | 2007-09-20 | 2008-12-19 | 주식회사 원방테크 | 크린룸내 직접분무식 기화가습장치 및 습도제어방법 |
| KR20090082042A (ko) * | 2008-01-25 | 2009-07-29 | 타이완 미카 엔지니어링 컨설턴츠 컴퍼니, 리미티드 | 블리드-인 방식의 냉각수 시스템을 갖춘 팬-건조 냉각 코일유닛 |
-
2011
- 2011-09-02 TW TW100131784A patent/TWI431227B/zh not_active IP Right Cessation
- 2011-11-09 CN CN201110359578.2A patent/CN102444944B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100874886B1 (ko) * | 2007-09-20 | 2008-12-19 | 주식회사 원방테크 | 크린룸내 직접분무식 기화가습장치 및 습도제어방법 |
| KR20090082042A (ko) * | 2008-01-25 | 2009-07-29 | 타이완 미카 엔지니어링 컨설턴츠 컴퍼니, 리미티드 | 블리드-인 방식의 냉각수 시스템을 갖춘 팬-건조 냉각 코일유닛 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN102444944A (zh) | 2012-05-09 |
| TWI431227B (zh) | 2014-03-21 |
| TW201312060A (zh) | 2013-03-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA2633185C (en) | Intelligent air conditioning system for a paint booth | |
| CN104964351B (zh) | 数据中心的二维动态送风节能系统及其控制方法 | |
| EP2623878B1 (en) | Method and system for conditioning air | |
| CN113820163B (zh) | 一种飞机试验用温湿度控制系统及控制方法 | |
| CN105180317B (zh) | 一种温湿度独立处理空调系统中新风节能处理系统以及方法 | |
| KR20140054879A (ko) | 자연 공기를 이용한 서버룸 냉각 장치 및 방법 | |
| GB2483095A (en) | Air handling unit | |
| CN106225071B (zh) | 一种双循环温湿度控制系统 | |
| CN105607680A (zh) | 储粮通风控制实验系统及其控制方法 | |
| CN104407653B (zh) | 混凝土养护室温、湿度均匀性智能控制系统 | |
| CN204853780U (zh) | 一种温湿度独立处理空调系统中新风节能处理系统 | |
| CN102444944B (zh) | 湿度调节系统 | |
| CN111256220A (zh) | 全自动真空闪蒸再生溶液除湿恒温恒湿空调系统 | |
| JP5840939B2 (ja) | 外気調和機の制御方法及び装置 | |
| CN103398419A (zh) | 新型高精度恒温恒湿空调机 | |
| CN105605701A (zh) | 一种恒温恒湿系统 | |
| GB2465693A (en) | Method of conditioning exterior air for a spray booth | |
| CN107376604A (zh) | 一种工业发酵废气除湿方法及装置 | |
| CN102444946B (zh) | 湿度调节系统 | |
| CN207779079U (zh) | 调压式热风混合室 | |
| CN111750465A (zh) | 数据中心热管式间接蒸发自然冷却系统及其控制方法 | |
| CN104894911A (zh) | 一种板材加湿加热装置 | |
| TW201413189A (zh) | 無塵室高速水洗式外氣空調箱供氣系統及其建置方法 | |
| CN107062469A (zh) | 一种工作间环境控制设备及系统 | |
| CN220235033U (zh) | 一种化工静电防护可调节装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140507 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |