CN102363328A - 一种硅片切割装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种硅片切割装置,包括托板、玻璃板,其中,所述玻璃板与所述托板相连接的面上固定设有垫片,垫片可通过粘剂粘合在玻璃板上,由于所述玻璃板与所述托板相连接的面上固定设有垫片,当更换硅块时,将玻璃板取下,进行脱胶,避免硅片与玻璃板直接接触,防止玻璃板的损坏,从而,降低了切割装置的维修成本,且操作方便且提高了生产效率,另外,本发明结构简单。
Description
技术领域
本发明涉及一种切割机,特别涉及一种硅片切割机,属于硅片加工设备的技术领域。
背景技术
在现有硅片的切片过程中,利用钢线带动砂浆进行切割作业,现有的硅片切割装置,包括硅块、托板、玻璃板,其中,所述托板通过胶粘接在玻璃板上,再通过钢线切割硅片,该结构的硅片切割装置,由于玻璃板与托板是通过胶粘成一体的,脱胶时,容易将玻璃板损坏,操作不方便且增加了维修的成本。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种操作方便、结构简单的硅片切割装置。
为了解决上述技术问题,本发明一种硅片切割装置,包括托板、玻璃板,其中,所述玻璃板与所述托板相连接的面上固定设有垫片,垫片可通过粘剂粘合在玻璃板上。
上述一种硅片切割装置,其中,所述垫片为弹性材料加工而成。
本发明可实现以下有益效果:
1、由于所述玻璃板与所述托板相连接的面上固定设有垫片,当更换硅块时,将玻璃板取下,进行脱胶,避免硅片与玻璃板直接接触,防止玻璃板的损坏,从而,降低了切割装置的维修成本,且操作方便且提高了生产效率,另外,本发明结构简单。
2、由于所述垫片为弹性材料加工而成,可对玻璃板进行缓冲,进行保护,从而,延长了本发明的使用寿命。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步说明。
如图所示,为了解决上述技术问题,本发明一种硅片切割装置,包括托板1、玻璃板2,其中,所述玻璃板2与所述托板1相连接的面上固定设有垫片3,垫片3可通过粘剂粘合在玻璃板2上,也可通过其他常规手段实现。由于所述玻璃板2与所述托板3相连接的面上固定设有垫片,当更换硅块时,将玻璃板2取下,进行脱胶,避免硅片与玻璃板直接接触,防止玻璃板的损坏,从而,降低了切割装置的维修成本,且操作方便且提高了生产效率,另外,本发明结构简单。垫片的材质不受限制,本实施例中,为了缓冲,将所述垫片3设计为由弹性材料加工而成。由于所述垫片为弹性材料加工而成,可对玻璃板进行缓冲,进行保护,从而,延长了本发明的使用寿命。
这里本发明的描述和应用是说明性的,并非想将本发明的范围限制在上述实施例中,因此,本发明不受本实施例的限制,任何采用等效替换取得的技术方案均在本发明保护的范围内。
Claims (2)
1.一种硅片切割装置,包括托板、玻璃板,其特征在于,所述玻璃板与所述托板相连接的面上固定设有垫片,垫片可通过粘剂粘合在玻璃板上。
2.如权利要求1所述一种硅片切割装置,其特征在于,所述垫片为弹性材料加工而成。
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CN2011101758728A CN102363328A (zh) | 2011-06-27 | 2011-06-27 | 一种硅片切割装置 |
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Country Status (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104985708A (zh) * | 2015-05-28 | 2015-10-21 | 洛阳鸿泰半导体有限公司 | 一种高压硅堆的专用分割装置 |
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2011
- 2011-06-27 CN CN2011101758728A patent/CN102363328A/zh active Pending
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Legal Events
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20120229 |