CN102331183A - 热处理设备立式炉体立式装配工装 - Google Patents

热处理设备立式炉体立式装配工装 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种热处理设备立式炉体立式装配工装，涉及设备工装技术领域。所述工装包括：轮体、结构架、圆台和上载圈；所述轮体设置在所述结构架的下部，用于支撑和移动所述工装；所述圆台设置在所述结构架的上部；所述上载圈设置在所述圆台的上部，用于固定和支撑热处理设备立式炉体。所述工装为炉体立式装配提供了工具基础，减小了炉体装配的误差，提高了装配效率。另外，通过设置所述轮体，可以方便的移动或固定所述工装；通过将圆台和结构架分离设计，提高了工装的通用性；并且，所述工装各部分均采用常用型材，成本低廉，易于实现。

Description

热处理设备立式炉体立式装配工装
技术领域
本发明涉及设备工装技术领域，特别涉及一种热处理设备立式炉体立式装配工装。
背景技术
目前，在半导体工艺设备制造行业，常见炉体都是采用卧式装配的方式装配，操作过程相对复杂，并且，卧式装配立式使用会给炉体带来比较大的装配误差，误差的范围不易掌握，对后续的装配及使用都将有一定程度的不利影响。
之所以出现上述情况，是因为目前行业中缺少一种使用方便的立式装配工装。因此，如果能提供一种立式装配工装，将可以极大的减小炉体装配的误差，提高装配效率。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明要解决的技术问题是：如何提供一种热处理设备立式炉体立式装配工装，以减小炉体装配的误差，提高装配效率。
(二)技术方案
为解决上述技术问题，本发明提供一种热处理设备立式炉体立式装配工装，其包括：轮体400、结构架100、圆台200和上载圈300；
所述轮体400设置在所述结构架100的下部，用于支撑和移动所述工装；
所述圆台200设置在所述结构架100的上部；
所述上载圈300设置在所述圆台200的上部，用于固定和支撑热处理设备立式炉体。
优选地，所述轮体400采用带调整块的脚轮；所述工装包括四个所述轮体400，分别通过螺纹连接所述结构架100的下部的四角。
优选地，所述结构架100由型材焊接而成。
优选地，所述型材包括四根槽钢101、103和两根角钢102；其中两根槽钢101构成所述结构架100的两边；所述两根角钢102构成所述结构架100的另外两边；另外两根槽钢103设置在所述结构架100的中部。
优选地，所述两根角钢102上焊接有多个加强筋104，并且所述轮体400设置在所述两根角钢102的两端。
优选地，所述圆台200包括平板201、外载圈202和内载圈203；所述平板201通过螺纹连接所述结构架100。
优选地，所述平板201上设置有中心大孔2011和小孔2012。
优选地，所述中心大孔2011为圆孔，所述小孔2012为用于连接所述结构架100的长圆孔。
优选地，所述外载圈202和内载圈203均焊接在所述平板201的上部，并且所述外载圈202、内载圈203与所述中心大孔2011同心。
优选地，所述外载圈202的直径大于所述内载圈203的直径，并且所述外载圈202的直径小于热处理设备立式炉体底部的外径，所述内载圈203的直径小于热处理设备立式炉体底部内腔的直径。
优选地，所述外载圈202上设置有多个外圆孔2021，所述内载圈203上设置有多个内圆孔2031；所述外圆孔2021和内圆孔2031互相错开。
优选地，所述上载圈300包括环板301和两根定位稍302；所述外载圈202和内载圈203支撑所述环板301的下表面；所述两根定位稍302焊接在所述环板301的上部。
优选地，所述环板301的外径大于所述外载圈202的直径，所述环板301的内径小于所述内载圈203的直径。
优选地，所述上载圈300和所述圆台200一体设计或者分离设计。
(三)有益效果
本发明所述热处理设备立式炉体立式装配工装，为炉体立式装配提供了工具基础，减小了炉体装配的误差，提高了装配效率。另外，通过设置所述轮体，可以方便的移动或固定所述工装；通过将圆台和结构架分离设计，提高了工装的通用性；并且，所述工装各部分均采用常用型材，成本低廉，易于实现。
附图说明
图1是本发明实施例所述的热处理设备立式炉体立式装配工装的轴侧示意图；
图2是本发明实施例所述的热处理设备立式炉体立式装配工装的俯视图；
图3是本发明实施例所述的结构架的轴侧示意图；
图4是本发明实施例所述的圆台的轴侧示意图；
图5是本发明实施例所述的圆台的俯视图；
图6是本发明实施例所述的上载圈的轴侧示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
图1是本发明实施例所述的热处理设备立式炉体立式装配工装的轴侧示意图；图2是本发明实施例所述的热处理设备立式炉体立式装配工装的俯视图。如图1、图2所示，所述工装包括轮体400、结构架100、圆台200和上载圈300。所述轮体400设置在所述结构架的下部，用于支撑和移动所述工装。所述圆台200设置在所述结构架的上部。所述上载圈300设置在所述圆台200的上部，用于固定和支撑热处理设备立式炉体。
所述轮体400采用带调整块的脚轮，所述工装共包括四个这种带调整块的脚轮，分别设置在所述结构架100的下部的四角。带调整块的脚轮的结构属于现有技术，在此不再赘述。使用这种带调整块的脚轮的好处是：当调整块收起时，所述工装由轮子支撑，能够轻松地任意移动；当调整块放下时，所述工装由调整块支撑，此时的调整块类似于地脚，能够使所述工装保持稳定，在不借助外界工具的情况下，很难移动。调整块放下时的情况适用于炉体装配过程中，这时需要避免所述工装意外移动造成装配误差或者装配事故。
图3是本发明实施例所述的结构架的轴侧示意图。如图3所示，所述结构架100由型材焊接而成，具体的所述型材包括四根槽钢101、103和两根角钢102。所述结构架100整体呈矩形，取材方便，成本低廉。其中两根槽钢101平行设置构成所述结构架100的两边；所述两根角钢102平行设置构成所述结构架100的另外两边；另外两根槽钢103与所述两根角钢102平行，设置在所述结构架100的中部，两根槽钢103的两端分别连接两根槽钢101所构成的所述结构架100的两边。在所述两根角钢102上焊接有多个加强筋104，以提高所述结构架100的强度。四个轮体400分别设置在所述两根角钢102的两端。另外，所述结构架100上还设置有安装所述圆台200的安装孔105。所述结构架100还可以采用其他结构或者材料，本发明并不具体限定所述结构架100的结构和材料。
图4是本发明实施例所述的圆台的轴侧示意图；图5是本发明实施例所述的圆台的俯视图。如图4、图5所示，所述圆台200包括平板201、外载圈202和内载圈203。
所述平板201呈矩形，其上设置有和所述结构架100上的安装孔105相对应的小孔2012，以便通过螺纹和所述结构架100实现可拆卸式连接。所述小孔2012设计为长圆孔，以便在出现加工误差的情况下，也能顺利实现所述结构架100和所述平板201之间的连接。所述圆台200与所述结构架100之间设计为可拆卸式连接，这样通过组合不同尺寸的圆台和结构架，可以使工装满足不同装配空间的需求，提高了通用性。
所述外载圈202和内载圈203均为焊接在所述平板201上的圆形金属环，并且所述外载圈202的直径大于所述内载圈203的直径。所述外载圈202和内载圈203的高度决定了炉体底部在焊接工序中的有效操作空间。所述外载圈202的直径小于炉体底部的外径，以便为炉体后续焊接留出足够的操作空间。所述内载圈203的直径小于炉体底部内腔的直径，以便有效稳定地支撑炉体，同时为所述上载圈300的固定留下空间。所述平板201、外载圈202和内载圈203采用钢或者其他金属材料。
在所述平板201的中部设置有中心大孔2011，设置所述中心大孔2011，一方面在满足强度的同时，可以减轻所述工装的重量；另一方面，当炉体装的很高的时候，如果有操作工具不慎掉入炉体内腔，通过所述中心大孔2011，可以方便地将工具取出，不必等到炉体安装完毕后才能取出工具。所述外载圈202、内载圈203与所述中心大孔2011同心，以保证所述工装的平衡和稳定。
在所述外载圈202的环壁上设置有多个外圆孔2021，在所述内载圈203的环壁上设置有多个内圆孔2022，并且所述外圆孔2021和所述内圆孔2022不重合，即所述外圆孔2021和所述内圆孔2022互相错开，以保证所述工装的平衡和稳定。设置所述外圆孔2021和所述内圆孔2022可以在保证强度的情况下，有效减轻所述工装的重量。
图6是本发明实施例所述的上载圈的轴侧示意图。如图6所示，所述上载圈300包括环板301和两根定位稍302。所述两根定位稍302焊接在所述环板301上，用于与炉体底部的定位孔配合，在炉体装配过程中防止炉体滑动，所述定位稍302在所述环板301上的位置根据炉体底部的定位孔确定。
所述外载圈202和内载圈203支撑所述环板301的下表面。所述上载圈300和所述圆台200分离设计，这样当炉体底部的定位孔结构改变时，只需更换所述上载圈300即可，而无需更换整个工装，以最低的成本提高了工装的通用性。当炉体底部的定位孔结构比较固定时，所述上载圈300和所述圆台200也可以一体设计。
所述上载圈300的外径大于所述外载圈202的直径，所述上载圈300的内径小于所述内载圈203的直径，以保证所述上载圈300稳定地处于所述外载圈202和所述内载圈203之上，而不至于掉入两者之间的沟槽中。
本发明实施例所述热处理设备立式炉体立式装配工装，为炉体立式装配提供了工具基础，减小了炉体装配的误差，提高了装配效率。另外，通过设置所述轮体，可以方便的移动或固定所述工装；通过将圆台和结构架分离设计，提高了工装的通用性；并且，所述工装各部分均采用常用型材，成本低廉，易于实现。
以上实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本发明的范畴，本发明的专利保护范围应由权利要求限定。

Claims (14)

1.一种热处理设备立式炉体立式装配工装，其特征在于，包括：轮体(400)、结构架(100)、圆台(200)和上载圈(300)；
所述轮体(400)设置在所述结构架(100)的下部，用于支撑和移动所述工装；
所述圆台(200)设置在所述结构架(100)的上部；
所述上载圈(300)设置在所述圆台(200)的上部，用于固定和支撑热处理设备立式炉体。
2.如权利要求1所述的工装，其特征在于，所述轮体(400)采用带调整块的脚轮；所述工装包括四个所述轮体(400)，分别通过螺纹连接所述结构架(100)的下部的四角。
3.如权利要求1所述的工装，其特征在于，所述结构架(100)由型材焊接而成。
4.如权利要求3所述的工装，其特征在于，所述型材包括四根槽钢(101、103)和两根角钢(102)；其中两根槽钢(101)构成所述结构架(100)的两边；所述两根角钢(102)构成所述结构架(100)的另外两边；另外两根槽钢(103)设置在所述结构架(100)的中部。
5.如权利要求4所述的工装，其特征在于，所述两根角钢(102)上焊接有多个加强筋(104)，并且所述轮体(400)设置在所述两根角钢(102)的两端。
6.如权利要求1所述的工装，其特征在于，所述圆台(200)包括平板(201)、外载圈(202)和内载圈(203)；所述平板(201)通过螺纹连接所述结构架(100)。
7.如权利要求6所述的工装，其特征在于，所述平板(201)上设置有中心大孔(2011)和小孔(2012)。
8.如权利要求7所述的工装，其特征在于，所述中心大孔(2011)为圆孔，所述小孔(2012)为用于连接所述结构架(100)的长圆孔。
9.如权利要求7所述的工装，其特征在于，所述外载圈(202)和内载圈(203)均焊接在所述平板(201)的上部，并且所述外载圈(202)、内载圈(203)与所述中心大孔(2011)同心。
10.如权利要求6所述的工装，其特征在于，所述外载圈(202)的直径大于所述内载圈(203)的直径，并且所述外载圈(202)的直径小于热处理设备立式炉体底部的外径，所述内载圈(203)的直径小于热处理设备立式炉体底部内腔的直径。
11.如权利要求6所述的工装，其特征在于，所述外载圈(202)上设置有多个外圆孔(2021)，所述内载圈(203)上设置有多个内圆孔(2031)；所述外圆孔(2021)和内圆孔(2031)互相错开。
12.如权利要求6所述的工装，其特征在于，所述上载圈(300)包括环板(301)和两根定位稍(302)；所述外载圈(202)和内载圈(203)支撑所述环板(301)的下表面；所述两根定位稍(302)焊接在所述环板(301)的上部。
13.如权利要求12所述的工装，其特征在于，所述环板(301)的外径大于所述外载圈(202)的直径，所述环板(301)的内径小于所述内载圈(203)的直径。
14.如权利要求1至13之一所述的工装，其特征在于，所述上载圈(300)和所述圆台(200)一体设计或者分离设计。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105369012A (zh) * 2015-12-08 2016-03-02 四川国鑫机械制造有限公司 用于rh真空室精炼插入管的装配方法及装配工装

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6062853A (en) * 1996-02-29 2000-05-16 Tokyo Electron Limited Heat-treating boat for semiconductor wafers
CN1502853A (zh) * 2002-11-26 2004-06-09 乐金电子(天津)电器有限公司 微波炉的托盘组件及其安装装置
CN201001207Y (zh) * 2007-01-05 2008-01-02 佛山市顺德区美的家电实业有限公司 电磁炉线圈盘的安装装置
CN101469860A (zh) * 2007-12-24 2009-07-01 上海锅炉厂有限公司 一种大容量超超临界锅炉水冷套装配装置及装配方法
CN201323506Y (zh) * 2008-12-22 2009-10-07 上海宝钢设备检修有限公司 拆卸电机的工装
CN202292596U (zh) * 2011-10-10 2012-07-04 北京七星华创电子股份有限公司 立式热处理设备炉体装配装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6062853A (en) * 1996-02-29 2000-05-16 Tokyo Electron Limited Heat-treating boat for semiconductor wafers
CN1502853A (zh) * 2002-11-26 2004-06-09 乐金电子(天津)电器有限公司 微波炉的托盘组件及其安装装置
CN201001207Y (zh) * 2007-01-05 2008-01-02 佛山市顺德区美的家电实业有限公司 电磁炉线圈盘的安装装置
CN101469860A (zh) * 2007-12-24 2009-07-01 上海锅炉厂有限公司 一种大容量超超临界锅炉水冷套装配装置及装配方法
CN201323506Y (zh) * 2008-12-22 2009-10-07 上海宝钢设备检修有限公司 拆卸电机的工装
CN202292596U (zh) * 2011-10-10 2012-07-04 北京七星华创电子股份有限公司 立式热处理设备炉体装配装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105369012A (zh) * 2015-12-08 2016-03-02 四川国鑫机械制造有限公司 用于rh真空室精炼插入管的装配方法及装配工装
CN105369012B (zh) * 2015-12-08 2017-11-21 四川国鑫机械制造有限公司 用于rh真空室精炼插入管的装配方法及装配工装

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