CN102241079B - 带锯晶棒截断机构 - Google Patents
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Abstract
本发明带锯截断设备，尤其是一种带锯晶棒截断机构，包括一体导向装置，一体导向装置包括机座和可夹紧锯条的导向块，机座上具有锯条通槽，机座套在锯条上，导向块安装在机座上，在机座下方设置弹簧张紧装置，所述的弹簧张紧装置包括固定板、导向轮和弹簧，固定板分别安装在机座的两侧，导向轮设在锯条背面，固定板上具有导向轮滑槽，导向轮的两轴端设置在导向轮滑槽内使导向轮沿导向轮滑槽滑动，弹簧一端与导向轮连接，一端固定在固定板上使导向轮抵紧在锯条背面。本发明能够解决锯条在切割晶棒时产生的共振过大，减轻锯条在切割过程中的受力，降低切割面的倾斜情况，能准确调节锯条的切割精度，减少斜面带来的硅片损失，且结构简单，维修方便。
Description
技术领域
本发明涉及带锯截断设备，尤其是一种带锯晶棒截断机构。
背景技术
现有的带锯截断设备，在切割晶棒的过程中，经常会发生锯条抖动、晶棒切割面倾斜的问题，其导向工装不能很好的起到导向切割的作用，从而就导致硅片不能继续使用。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：克服现有技术中之不足，提供一种带锯晶棒截断机构。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种带锯晶棒截断机构，包括一体导向装置，所述的一体导向装置包括机座和可夹紧锯条的导向块，机座上具有锯条通槽,机座套在锯条上，导向块安装在机座上，在机座下方设置弹簧张紧装置，所述的弹簧张紧装置包括固定板、导向轮和弹簧，固定板分别安装在机座的两侧，导向轮设置在锯条背面，在导向轮上开有可限制锯条运动的导向槽，在固定板上具有导向轮滑槽，导向轮的两轴端设置在导向轮滑槽内使导向轮沿导向轮滑槽滑动，弹簧一端与导向轮连接，一端固定在固定板上使导向轮抵紧在锯条背面。
所述的弹簧通过安装块固定在固定板上，在固定板上具有方便调节安装块位置的安装块调节槽，安装块固定在安装块调节槽内，弹簧的两端分别与导向轮轴端和安装块连接。
所述的机座具有安装槽，机座与导向块通过安装槽螺栓固定。
在所述的固定板上设置退刀预警装置，所述的退刀预警装置包括触碰开关和预警器，触碰开关和预警器连接，触碰开关设置在固定板上，位于导向轮后方一定距离，当导向轮后退并碰触到触碰开关时，触碰开关接通预警器预警。
本发明的有益效果是：本发明能够解决锯条在切割晶棒时产生的共振过大，减轻锯条在切割过程中的受力，降低切割面的倾斜情况，能准确调节锯条的切割精度，减少斜面带来的硅片损失,且结构简单，维修方便。
附图说明
下面结合附图和实施方式对本发明进一步说明。
图1是本发明的结构示意图。
图中：1.一体导向装置，11.机座，12.导向块，2.弹簧张紧装置，21.固定板，22.导向轮，23.弹簧。
具体实施方式
现在结合附图对本发明作进一步的说明。这些附图均为简化的示意图仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
如图1所示的带锯晶棒截断机构，包括一体导向装置1，一体导向装置1包括机座11和可夹紧锯条的导向块12，机座11上具有锯条通槽,机座11套在锯条上，导向块12安装在机座11上，在机座11下方设置弹簧张紧装置2。锯条在加工中是依靠导向块12完成定心和导向作用,导向块12与锯条之间应该垂直紧贴与锯条表面，当锯条受力产生抖动，切割成斜面状态时，导向块12能够及时纠正锯条切割时的形态，减轻锯条在切割过程中受力状态，可以减轻斜面程度。
一体导向装置1具有机座11，具有安装槽，机座11与导向块22通过安装槽螺栓固定，导向块12可以在安装槽内移动，当调节好导向块12的位置后，将螺栓拧紧就可以了，能够有效的避免导向块12由于磨损状态不一致所产生的位置偏移，
弹簧张紧装置包括固定板21、导向轮22和弹簧23，固定板21分别安装在机座11的两侧，导向轮22设置在锯条背面，导向轮22上开有可限制锯条运动的导向槽121，锯条由于导向槽121的限制作用，在工作时不会随意摆动，在固定板21上具有导向轮滑槽，导向轮22的两轴端设置在导向轮滑槽内使导向轮22沿导向轮滑槽滑动，弹簧23一端与导向轮22连接，一端固定在固定板21上使导向轮22抵紧在锯条背面，弹簧23通过安装块固定在固定板21上，在固定板21上具有方便调节安装块位置的安装块调节槽，安装块固定在安装块调节槽内，弹簧23的两端分别与导向轮22轴端和安装块连接，使得切割过程中锯条产生的抖动瞬间变化，从而灵敏的做出反应，消除或减小共振，降低斜面产生率。
在固定板21上设置退刀预警装置，退刀预警装置包括触碰开关和预警器，触碰开关和预警器连接，触碰开关设置在固定板上，位于导向轮后方一定距离，当导向轮后退并碰触到触碰开关时，触碰开关接通预警器预警；锯条在切割晶棒的过程中，在没有足够切断晶棒的能力时，锯条就会随着晶棒往后退，为防止发生意外或设备损坏的情况发生，就需要退刀预警装置，能够及时判断当前锯条切割力不足产生的后退现象。导向轮22随着锯条向后运动而运动，当导向轮22碰到退刀预警装置时，就会碰到退刀预警装置的开关装置，退刀预警装置就会发生警报，提醒操作人员。
晶棒以匀速或变速的方式向后运动切割，开始切割部分，锯条必须在晶棒表面切割出一条槽，以致于锯条在锯缝过程中向后受力，出现刀背抖动情况，导向块12对切斜的锯条失效时，导向轮22通过锯条刀背在导向轮22上的运动状态，可以及时纠正锯条的切割状态。
上述实施方式只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并加以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围内。
Claims (4)
1.一种带锯晶棒截断机构，其特征在于：包括一体导向装置（1），所述的一体导向装置（1）包括机座（11）和可夹紧锯条的导向块（12），机座（11）上具有锯条通槽,机座（11）套在锯条上，导向块（12）安装在机座（11）上，在机座（11）下方设置弹簧张紧装置（2），所述的弹簧张紧装置包括固定板（21）、导向轮（22）和弹簧（23），固定板（21）分别安装在机座（11）的两侧，导向轮（12）设置在锯条背面，在导向轮（22）上开有可限制锯条运动的导向槽（121），在固定板（21）上具有导向轮滑槽，导向轮（22）的两轴端设置在导向轮滑槽内使导向轮（22）沿导向轮滑槽滑动，弹簧（23）一端与导向轮（22）连接，一端固定在固定板（21）上使导向轮（22）抵紧在锯条背面。
2.根据权利要求1所述的带锯晶棒截断机构，其特征在于：所述的弹簧（23）通过安装块固定在固定板（21）上，在固定板（21）上具有方便调节安装块位置的安装块调节槽，安装块固定在安装块调节槽内，弹簧（23）的两端分别与导向轮（22）轴端和安装块连接。
3.根据权利要求1所述的带锯晶棒截断机构，其特征在于：所述的机座（11）具有安装槽，机座（11）与导向块（12）通过安装槽螺栓固定。
4.根据权利要求1所述的带锯晶棒截断机构，其特征在于：在所述的固定板（21）上设置退刀预警装置，所述的退刀预警装置包括触碰开关和预警器，触碰开关和预警器连接，触碰开关设置在固定板上，位于导向轮后方一定距离，当导向轮后退并碰触到触碰开关时，触碰开关接通预警器预警。
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