CN102221579A - 基于多晶探头的超声检测缺陷信息采集方法 - Google Patents
基于多晶探头的超声检测缺陷信息采集方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102221579A CN102221579A CN2011100947544A CN201110094754A CN102221579A CN 102221579 A CN102221579 A CN 102221579A CN 2011100947544 A CN2011100947544 A CN 2011100947544A CN 201110094754 A CN201110094754 A CN 201110094754A CN 102221579 A CN102221579 A CN 102221579A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- wafer
- probe
- information acquisition
- wafers
- method based
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
Description
A11 | A12 | A13 | A14 |
A21 | A22 | A23 | A24 |
A31 | A32 | A33 | A34 |
A41 | A42 | A43 | A44 |
X | X | X | X | X | X | X | X | ||||
X | X | X | X | X | X | X | X | 2 | |||
X | X | X | X | X | X | X | X | 2 | 3 | ||
X | X | X | X | X | X | X | X | 2 | 3 | 4 | |
X | X | X | X | X | X | X | X | 2 | 3 | 4 | 5 |
X | X | X | X | X | X | X | X | 2 | 3 | 4 | 5 |
X | X | X | X | X | X | X | X | 2 | 3 | 4 | 5 |
X | X | X | X | X | X | X | X | 2 | 3 | 4 | 5 |
2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 3 | 4 | 5 | |
3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 4 | 5 | ||
4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 5 | |||
5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 |
T | r | r | r | r | r | r | r | ||||
X | 2 | r | r | r | r | r | r | r | |||
X | X | 3 | r | r | r | r | r | r | r | ||
X | X | X | 4 | r | r | r | r | r | r | r | |
X | X | X | X | 5 | r | r | r | r | r | r | r |
X | X | X | X | X | 6 | r | r | r | r | r | r |
X | X | X | X | X | X | 7 | r | r | r | r | r |
X | X | X | X | X | X | X | 8 | r | r | r | r |
X | X | X | X | X | X | X | 9 | r | r | r | |
X | X | X | X | X | X | X | 10 | r | r | ||
X | X | X | X | X | X | X | 11 | r | |||
X | X | X | X | X | X | X | 12 |
T | r | r | r | ||||||||
2 | r | r | r | ||||||||
X | 3 | r | r | r | |||||||
X | 4 | r | r | r | |||||||
X | X | 5 | r | r | r | ||||||
X | X | 6 | r | r | r | ||||||
X | X | X | 7 | r | r | ||||||
X | X | X | 8 | r | r | ||||||
X | X | X | 9 | r | |||||||
X | X | X | 10 | r | |||||||
X | X | X | 11 | ||||||||
X | X | X | 12 |
Claims (6)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201110094754 CN102221579B (zh) | 2011-04-15 | 2011-04-15 | 基于多晶探头的超声检测缺陷信息采集方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201110094754 CN102221579B (zh) | 2011-04-15 | 2011-04-15 | 基于多晶探头的超声检测缺陷信息采集方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102221579A true CN102221579A (zh) | 2011-10-19 |
CN102221579B CN102221579B (zh) | 2013-08-07 |
Family
ID=44778188
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 201110094754 Active CN102221579B (zh) | 2011-04-15 | 2011-04-15 | 基于多晶探头的超声检测缺陷信息采集方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102221579B (zh) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103284754A (zh) * | 2012-01-31 | 2013-09-11 | 通用电气公司 | 用于监测超声系统中的换能器阵列的方法和系统 |
CN103376075A (zh) * | 2012-04-27 | 2013-10-30 | 得克斯玛格销售有限责任公司 | 用于检测材料幅的边缘的设备 |
CN104034802A (zh) * | 2014-06-03 | 2014-09-10 | 艾因蒂克检测科技(上海)有限公司 | 一种提升面阵探头分辨率的检测方法 |
CN105548363A (zh) * | 2016-01-20 | 2016-05-04 | 上海应用技术学院 | 基于多途识别的超声检测成像方法 |
CN105954359A (zh) * | 2016-05-24 | 2016-09-21 | 武汉理工大学 | 复杂形状零件内部缺陷分布式超声无损检测装置及方法 |
CN106568844A (zh) * | 2016-11-14 | 2017-04-19 | 核动力运行研究所 | 一种分布式超声阵列全捕捉检测方法 |
CN108061760A (zh) * | 2018-01-29 | 2018-05-22 | 中国人民解放军国防科技大学 | 超声快速超分辨率成像方法、装置、存储介质及成像系统 |
CN108982663A (zh) * | 2018-06-25 | 2018-12-11 | 海洋石油工程股份有限公司 | 双金属复合材料海底管道环焊缝相控阵分区法的检测方法 |
CN110702790A (zh) * | 2019-11-11 | 2020-01-17 | 成都主导科技有限责任公司 | 一种用于远声程检测的超声波探头 |
CN112505141A (zh) * | 2020-10-13 | 2021-03-16 | 爱德森(厦门)电子有限公司 | 一种基于合成孔径原理的检测传感器装置及其系统方法 |
CN112798685A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-05-14 | 中铁大桥科学研究院有限公司 | 一种基于超声相控阵的u肋焊缝检测方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6462127A (en) * | 1987-09-03 | 1989-03-08 | Toshiba Corp | Ultrasonic diagnostic apparatus |
US20100251822A1 (en) * | 2009-04-02 | 2010-10-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic inspection device and ultrasonic inspection method |
CN101943680A (zh) * | 2010-09-02 | 2011-01-12 | 华南理工大学 | 一种带温度补偿的阵列超声探伤方法与系统 |
-
2011
- 2011-04-15 CN CN 201110094754 patent/CN102221579B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6462127A (en) * | 1987-09-03 | 1989-03-08 | Toshiba Corp | Ultrasonic diagnostic apparatus |
US20100251822A1 (en) * | 2009-04-02 | 2010-10-07 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Ultrasonic inspection device and ultrasonic inspection method |
CN101943680A (zh) * | 2010-09-02 | 2011-01-12 | 华南理工大学 | 一种带温度补偿的阵列超声探伤方法与系统 |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
USRE46603E1 (en) | 2012-01-31 | 2017-11-14 | General Electric Company | Method and system for monitoring a transducer array in an ultrasound system |
CN103284754A (zh) * | 2012-01-31 | 2013-09-11 | 通用电气公司 | 用于监测超声系统中的换能器阵列的方法和系统 |
CN103376075A (zh) * | 2012-04-27 | 2013-10-30 | 得克斯玛格销售有限责任公司 | 用于检测材料幅的边缘的设备 |
CN103376075B (zh) * | 2012-04-27 | 2017-04-12 | 得克斯玛格销售有限责任公司 | 用于检测材料幅的边缘的设备 |
CN104034802A (zh) * | 2014-06-03 | 2014-09-10 | 艾因蒂克检测科技(上海)有限公司 | 一种提升面阵探头分辨率的检测方法 |
WO2015184892A1 (zh) * | 2014-06-03 | 2015-12-10 | 艾因蒂克检测科技(上海)有限公司 | 一种提升面阵分辨率的检测方法 |
CN104034802B (zh) * | 2014-06-03 | 2016-04-27 | 艾因蒂克检测科技(上海)有限公司 | 一种提升面阵探头分辨率的检测方法 |
CN105548363A (zh) * | 2016-01-20 | 2016-05-04 | 上海应用技术学院 | 基于多途识别的超声检测成像方法 |
CN105954359B (zh) * | 2016-05-24 | 2019-01-25 | 武汉理工大学 | 复杂形状零件内部缺陷分布式超声无损检测装置及方法 |
CN105954359A (zh) * | 2016-05-24 | 2016-09-21 | 武汉理工大学 | 复杂形状零件内部缺陷分布式超声无损检测装置及方法 |
CN106568844A (zh) * | 2016-11-14 | 2017-04-19 | 核动力运行研究所 | 一种分布式超声阵列全捕捉检测方法 |
CN106568844B (zh) * | 2016-11-14 | 2019-09-17 | 核动力运行研究所 | 一种分布式超声阵列全捕捉检测方法 |
CN108061760A (zh) * | 2018-01-29 | 2018-05-22 | 中国人民解放军国防科技大学 | 超声快速超分辨率成像方法、装置、存储介质及成像系统 |
CN108061760B (zh) * | 2018-01-29 | 2020-04-21 | 中国人民解放军国防科技大学 | 超声快速超分辨率成像方法、装置、存储介质及成像系统 |
CN108982663A (zh) * | 2018-06-25 | 2018-12-11 | 海洋石油工程股份有限公司 | 双金属复合材料海底管道环焊缝相控阵分区法的检测方法 |
CN110702790A (zh) * | 2019-11-11 | 2020-01-17 | 成都主导科技有限责任公司 | 一种用于远声程检测的超声波探头 |
CN112505141A (zh) * | 2020-10-13 | 2021-03-16 | 爱德森(厦门)电子有限公司 | 一种基于合成孔径原理的检测传感器装置及其系统方法 |
CN112505141B (zh) * | 2020-10-13 | 2022-11-25 | 爱德森(厦门)电子有限公司 | 一种基于合成孔径原理的检测传感器装置及其系统方法 |
CN112798685A (zh) * | 2020-12-29 | 2021-05-14 | 中铁大桥科学研究院有限公司 | 一种基于超声相控阵的u肋焊缝检测方法 |
CN112798685B (zh) * | 2020-12-29 | 2022-11-11 | 中铁大桥科学研究院有限公司 | 一种基于超声相控阵的u肋焊缝检测方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102221579B (zh) | 2013-08-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102221579B (zh) | 基于多晶探头的超声检测缺陷信息采集方法 | |
CN106770669B (zh) | 基于多模式声束合成孔径聚焦的缺陷二维形貌成像检测方法 | |
US20220107290A1 (en) | Method for reconstructing crack profiles based on composite-mode total focusing method | |
Holmes et al. | Advanced post-processing for scanned ultrasonic arrays: Application to defect detection and classification in non-destructive evaluation | |
Malyarenko et al. | Fan beam and double crosshole Lamb wave tomography for mapping flaws in aging aircraft structures | |
EP2953545B1 (en) | Synthetic data collection method for full matrix capture using an ultrasound array | |
EP1979739B1 (de) | Verfahren zur zerstörungsfreien untersuchung eines wenigstens einen akustisch anisotropen werkstoffbereich aufweisenden prüfkörpers | |
CN103901109A (zh) | 一种复合绝缘子内部缺陷的相控阵超声检测装置及方法 | |
CN110045019A (zh) | 一种薄板空气耦合超声兰姆波全聚焦成像检测方法 | |
JP2000028589A (ja) | 3次元超音波画像化装置 | |
CN105158339A (zh) | 纵横波一体化超声波探头、弹性模量及分布的测试系统和测试方法 | |
CN110261485A (zh) | 一种超声波测量材料内部各处弹性模量及泊松比的方法 | |
CN106802323A (zh) | 一种基于全矩阵数据的超声全聚焦成像系统 | |
CN112305080A (zh) | 一种反t型叶根槽裂纹的相控阵超声检测方法 | |
Foroozan et al. | MUSIC-based array imaging in multi-modal ultrasonic non-destructive testing | |
CN111487321A (zh) | 基于超声反射提升聚焦能量的全聚焦成像方法 | |
CN113552217B (zh) | 一种基于双自发自收相控阵探头的未知缺陷轮廓重建方法 | |
CN104515808A (zh) | 一种汽轮发电机护环超声成像检测方法 | |
Levine et al. | Guided wave localization of damage via sparse reconstruction | |
Nanekar et al. | SAFT-assisted sound beam focusing using phased arrays (PA-SAFT) for non-destructive evaluation | |
Lyu et al. | A simplified integration of multi-channel ultrasonic guided wave system for phased array detection and total focusing imaging | |
US20210048413A1 (en) | Fast pattern recognition using ultrasound | |
CN115856087B (zh) | 基于纵波一发一收超声相控阵探头的全聚焦成像方法 | |
CN112162036B (zh) | 一种正三角相控阵螺栓紧固结构健康监测系统及方法 | |
CN112684015B (zh) | 对涡轮盘应用双线性阵列换能器进行的无损检测系统及方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C56 | Change in the name or address of the patentee | ||
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 215004 West Ring Road, Jiangsu, Suzhou, No. 1788 Patentee after: Suzhou Nuclear Power Research Institute Co., Ltd. Patentee after: China General Nuclear Power Corporation Patentee after: CGNPC Inspection Technology Co., Ltd. Address before: 215004 West Ring Road, Jiangsu, Suzhou, No. 1788 Patentee before: Suzhou Nuclear Power Research Institute Co., Ltd. Patentee before: China Guangdong Nuclear Power Group Co., Ltd. Patentee before: CGNPC Inspection Technology Co., Ltd. |