CN102141576A - 基于RTS的MEMS面内高g加速度传感器 - Google Patents
基于RTS的MEMS面内高g加速度传感器 Download PDFInfo
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Abstract
Description
硅基框架 | 独立支撑梁 | 质量块 | 连接梁1 | 连接梁2 | 检测梁 | |
长度(um) | 1800 | 300 | 600 | 200 | 250 | 100 |
宽度(um) | 300 | 200 | 350 | 100 | 100 | 50 |
厚度(um) | 350 | 250 | 250 | 250 | 250 | 80 |
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