CN102101180A

CN102101180A - 液气悬浮电主轴

Info

Publication number: CN102101180A
Application number: CN 201110076408
Authority: CN
Inventors: 熊万里; 郑良钢; 侯志泉; 吕浪
Original assignee: Hunan University
Current assignee: Hunan University
Priority date: 2011-03-29
Filing date: 2011-03-29
Publication date: 2011-06-22
Anticipated expiration: 2031-03-29
Also published as: CN102101180B

Abstract

本发明公开了一种液气悬浮电主轴，包括主轴、电机定子、电机转子、箱体、前轴承总成和后轴承总成，所述电机定子套设于箱体内，所述电机转子套设于主轴上，所述主轴置于电机定子内，并通过前轴承总成和后轴承总成支承于箱体上，所述前轴承总成设有至少一个前液体轴承和至少一个前气体轴承，所述前液体轴承和前气体轴承沿轴向排列，所述后轴承总成设有至少一个后液体轴承和至少一个后气体轴承，所述后液体轴承和后气体轴承沿轴向排列。该液气悬浮电主轴能够同时满足高效率加工要求和高精度加工的要求。

Description

液气悬浮电主轴

技术领域

本发明涉及机械制造领域，尤其涉及液气悬浮电主轴。

背景技术

机床工业是装备制造业和国防工业的基石。电主轴是现代数控机床实现精密超精密加工的核心功能部件，它将机床主轴功能与电机功能从结构上融为一体，速度高，精度高，调速范围宽，可快速启动和准停，能实现自动控制。液体或气体悬浮电主轴作为高精度的电主轴，运转时具有误差均化效应，相比于滚动轴承电主轴和磁悬浮电主轴，其回转精度高，磨损小，寿命长，在精密超精密机床中获得了广泛应用。

但随着国民经济的快速发展和现代科技水平的不断提高，现代加工工业对机床的加工精度和加工效率提出了更高要求，即在保证高精度的同时能兼顾高效率。目前世界上即使是最先进的机床液体悬浮电主轴和气体悬浮电主轴系统，也难以满足该要求，主要原因在于：1、对于确定的主轴系统，其动态刚度和回转精度只能在一定速域内保持最优。当转速超出该速域后，主轴系统的动态刚度和回转精度发生变化，导致加工效率或加工精度发生变化。2、若采用两台机床加工或通过一台机床配备两套主轴分别侧重于高效率加工和高精度加工，则工件重新装夹或主轴更换产生的装夹误差和重复定位误差往往导致加工精度下降，加工效率降低。

要突破上述困境，既须开发新原理和新结构的电主轴，更须对新型电主轴系统中蕴含的科学问题和技术难题进行深入透彻地研究，建立与之相适应的科学理论体系和技术实践方法。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种能够同时满足高效率加工要求和高精度加工要求的液气悬浮电主轴。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种液气悬浮电主轴，包括主轴、电机定子、电机转子、箱体、前轴承总成和后轴承总成，所述电机定子套设于箱体内，所述电机转子套设于主轴上，所述主轴置于电机定子内，并通过前轴承总成和后轴承总成支承于箱体上，所述前轴承总成设有至少一个前液体轴承和至少一个前气体轴承，所述前液体轴承和前气体轴承沿轴向排列，所述后轴承总成设有至少一个后液体轴承和至少一个后气体轴承，所述后液体轴承和后气体轴承沿轴向排列。

所述前轴承总成设有一个前液体轴承和两个前气体轴承，所述前液体轴承设于两个前气体轴承之间。

所述箱体上设有为前液体轴承输送液体的第一液体输送通道，所述箱体上还设有为前气体轴承输送气体的第一气体输送通道，所述前液体轴承与各前气体轴承之间均设有第一液气泄压环，所述箱体上设有与各第一液气泄压环连通的第一液气排出通道。

所述后轴承总成设有后轴承座、一个后液体轴承和一个后气体轴承，所述后液体轴承和后气体轴承均套装于后轴承座内，所述后气体轴承位于后液体轴承前端。

所述箱体后端装设有后端盖，所述后端盖与后轴承总成之间设有止推环，所述止推环通过锁紧螺母锁紧固定于主轴上，所述止推环与后轴承总成之间设有前液体止推轴承，所述止推环与后端盖之间设有后液体止推轴承。

所述后端盖与后轴承总成之间还设有空套于止推环上的调整垫，所述后液体轴承连有为其输送液体的第二液体输送通道，所述第二液体输送通道自外向内依次穿过后端盖、调整垫和后轴承座，所述后气体轴承连有为其输送气体的第二气体输送通道，所述第二气体输送通道自外向内依次穿过箱体和后轴承座，所述后液体轴承两侧设有第二液气泄压环，所述第二液气泄压环连有用于排出液气的第二液气排出通道，所述第二液气排出通道自内向外依次穿过后轴承座、调整垫和后端盖。

所述前液体止推轴承与第二液体输送通道连通，所述后液体止推轴承经后端盖上所设第一连接通道与第二液体输送通道连通。

所述止推环与后轴承总成之间设有前气体止推轴承，所述止推环与后端盖之间设有后气体止推轴承。

所述前气体止推轴承与第二气体输送通道连通，所述后气体止推轴承与后端盖上所设第三气体输送通道连通，所述前气体止推轴承与前液体止推轴承之间设有第三液气泄压环，所述后气体止推轴承与后液体止推轴承之间设有第四液气泄压环，所述止推环上设有连通第三液气泄压环与第四液气泄压环的通孔，所述第四液气泄压环经后端盖上所设第二连接通道与第二液气排出通道连通。

与现有技术相比，本发明的优点在于：

本发明的液气悬浮电主轴中，前轴承总成和后轴承总成均采用由液体轴承和气体轴承组合为一体的轴承组，大切削余量时以具有高刚性支承效果的液体轴承支承主轴为主，以保证高效率切削；小切削余量时以气体轴承支承主轴为主，以保证高精度；对于不同工作状态的切换只需改变液气支撑的组合方式和流体的供给压力，不需要更换机床或电主轴，有效避免了装夹误差和重复定位误差，因此能兼顾精度和效率，并且，通过调控流体供给压力可使电主轴系统在不同速度范围达到动刚度和回转精度最优。

附图说明

图1是本发明的结构示意图（为图2中A－A剖视结构）；

图2是图1的B－B剖视图；

图3是图1的C－C剖视图；

图4是图2的D－D剖视图；

图5是图2的E－E剖视图；

图6是图3的F－F剖视图。

图中各标号表示：

1、主轴；2、电机定子；3、电机转子；4、箱体；5、前轴承总成；6、后轴承总成；7、后端盖；8、止推环；9、调整垫；41、第一液体输送通道；42、第一气体输送通道；43、第二气体输送通道；44、第一液气排出通道；45、排气口；46、冷却气体入口；47、水冷通孔；48、前端盖；49、封水垫；51、前液体轴承；52、前气体轴承；53、第一液气泄压环；60、后轴承座；61、后液体轴承；62、后气体轴承；63、第二液气泄压环；71、第二液体输送通道；72、第二液气排出通道；73、第一连接通道；74、第三气体输送通道；75、第二连接通道；81、前液体止推轴承；82、后液体止推轴承；83、前气体止推轴承；84、后气体止推轴承；85、第三液气泄压环；86、第四液气泄压环；87、通孔。

具体实施方式

图1至图6示出了本发明的一种液气悬浮电主轴实施例，该电主轴包括主轴1、电机定子2、电机转子3、箱体4、前轴承总成5、后轴承总成6和后端盖7，电机定子2套设于箱体4内，电机转子3套设于主轴1上，主轴1置于电机定子2内，并通过前轴承总成5和后轴承总成6支承于箱体4上，后端盖7装设于箱体4后端，前轴承总成5设有至少一个前液体轴承51和至少一个前气体轴承52，前液体轴承51和前气体轴承52沿轴向排列，后轴承总成6设有至少一个后液体轴承61和至少一个后气体轴承62，后液体轴承61和后气体轴承62沿轴向排列，大切削余量时以具有高刚性支承效果的液体轴承支承主轴1为主，以保证高效率切削；小切削余量时以气体轴承支承主轴1为主，以保证高精度；对于不同工作状态的切换只需改变液气支撑的组合方式和流体的供给压力，不需要更换机床或电主轴，有效避免了装夹误差和重复定位误差，因此能兼顾精度和效率，并且，通过调控流体供给压力可使电主轴系统在不同速度范围达到动刚度和回转精度最优。本实施例还在箱体4上设有风冷结构和鼠笼式水冷结构，以加强对电机定子2和电机转子3的冷却，其中风冷结构由冷却气体入口46和排气口45构成，冷却气体入口46和排气口45均开设于箱体4上，并且均与电机定子2和电机转子3的容置腔体连通，冷却气体从冷却气体入口46进入电机定子2和电机转子3的容置腔体，再从排气口45排出；鼠笼式水冷结构由箱体4上沿轴向开设的多个水冷通孔47、装设于箱体4前端的前端盖48以及装设于箱体4与后端盖7之间的封水垫49构成，多个水冷通孔47沿周向均匀布置，并在箱体4、前端盖48和封水垫49之间形成设有将多个水冷通孔47依次连通的连通槽，冷却水从一个水冷通孔47进入，流经所有水冷通孔47后排出。

本实施例中，前轴承总成5设有一个前液体轴承51和两个前气体轴承52，前液体轴承51设于两个前气体轴承52之间，前液体轴承51和前气体轴承52采用一体式结构，它是在一个轴承体的外圆开设三个环形槽，并设置连通环形槽与轴承体内孔的节流孔，其中位于中间的环形槽连通供液通道形成前液体轴承51，位于两侧的环形槽连通供气通道，形成前气体轴承52，根据工作需求在轴承体内孔与主轴1外圆之间的缝隙中充满液体或气体，构成液气润滑轴承。箱体4上设有为前液体轴承51输送液体的第一液体输送通道41以及为前气体轴承52输送气体的第一气体输送通道42，前液体轴承51与各前气体轴承52之间均设有第一液气泄压环53，箱体4上设有与各第一液气泄压环53连通的第一液气排出通道44。本实施例所用液体为液压润滑油，所用气体为高压空气，当需要液体轴承支承主轴1时，输入的液压润滑油经第一液体输送通道41进入前液体轴承51对应的环形槽中，再通过与该环形槽连通的节流孔将液压润滑油送到轴承体内孔与主轴1外圆之间，形成对主轴1提供支承的油膜，液压润滑油通过轴承体内孔与主轴1外圆之间的圆周缝隙后沿轴向向两侧流动，并进入第一液气泄压环53，再通过箱体4上的第一液气排出通道44排出；当需要气体轴承支承主轴1时，输入的高压空气经第一气体输送通道42进入两个前气体轴承52对应的环形槽中，再通过与该环形槽连通的节流孔将高压空气送到轴承体内孔与主轴1外圆之间，形成对主轴1提供支承的气膜，高压空气通过轴承体内孔与主轴1外圆之间的圆周缝隙后沿轴向向两侧流动，一部分高压空气从前轴承总成5前端排出到大气中，一部分高压空气从前轴承总成5后端排出到电机定子2和电机转子3所在的容腔中，再从该容腔经风冷结构的排气口45排出到大气中，还有一部分高压空气进入第一液气泄压环53，再通过箱体4上的第一液气排出通道44排出。

本实施例中，箱体4后端装设有后端盖7，后端盖7与后轴承总成6之间设有止推环8，后端盖7与后轴承总成6之间还设有空套于止推环8上的调整垫9，止推环8通过锁紧螺母锁紧固定于主轴1上，后轴承总成6设有后轴承座60、一个后液体轴承61和一个后气体轴承62，后液体轴承61和后气体轴承62均套装于后轴承座60内，后气体轴承62位于后液体轴承61前端，后液体轴承61与后气体轴承62采用一体式结构，它是在一个轴承体的外圆开设两个环形槽，并设置连通环形槽与轴承体内孔的节流孔，其中位于后端的环形槽连通供液通道形成后液体轴承61，位于前端的环形槽连通供气通道，形成后气体轴承62，根据工作需求在轴承体内孔与主轴1外圆之间的缝隙中充满液体或气体，构成液气润滑轴承。后液体轴承61连有为其输送液体的第二液体输送通道71，第二液体输送通道71自外向内依次穿过后端盖7、调整垫9和后轴承座60，后气体轴承62连有为其输送气体的第二气体输送通道43，第二气体输送通道43自外向内依次穿过箱体4和后轴承座60，后液体轴承61两侧设有第二液气泄压环63，第二液气泄压环63连有用于排出液气的第二液气排出通道72，第二液气排出通道72自内向外依次穿过后轴承座60、调整垫9和后端盖7。当需要液体轴承支承主轴1时，输入的液压润滑油经第二液体输送通道71自外向内依次穿过后端盖7、调整垫9和后轴承座60后进入后液体轴承61对应的环形槽中，再通过与该环形槽连通的节流孔将液压润滑油送到轴承体内孔与主轴1外圆之间，形成对主轴1提供支承的油膜，液压润滑油通过轴承体内孔与主轴1外圆之间的圆周缝隙后沿轴向向两侧流动，并进入后液体轴承61两侧的第二液气泄压环63，再通过第二液气排出通道72自内向外依次穿过后轴承座60、调整垫9和后端盖7后排出；当需要气体轴承支承主轴1时，输入的高压空气经第二气体输送通道43自外向内依次穿过箱体4和后轴承座60后进入后气体轴承62对应的环形槽中，再通过与该环形槽连通的节流孔将高压空气送到轴承体内孔与主轴1外圆之间，形成对主轴1提供支承的气膜，高压空气通过轴承体内孔与主轴1外圆之间的圆周缝隙后沿轴向向两侧流动，一部分高压空气从后气体轴承62前端排出到电机定子2和电机转子3所在的容腔中，再从该容腔经风冷结构的排气口45排出到大气中，还有一部分高压空气进入第二液气泄压环63，再通过第二液气排出通道72自内向外依次穿过后轴承座60、调整垫9和后端盖7后排出。

本实施例中，止推环8与后轴承总成6之间设有前液体止推轴承81和前气体止推轴承83，前液体止推轴承81和前气体止推轴承83是在后轴承总成6的轴承体的后端面形成开口朝向止推环8的两个环形槽，并设置连通环槽与供气通道或供液通道的节流孔，其中位于内圈的环槽通过节流孔与第二液体输送通道71连通形成前液体止推轴承81，位于外圈的环槽通过节流孔与第二气体输送通道43连通形成前气体止推轴承83，根据工作需求在轴承体后端面与止推环8前端面之间的缝隙中充满液体或气体，构成液气润滑轴承。

止推环8与后端盖7之间设有后液体止推轴承82和后气体止推轴承84，后液体止推轴承82和后气体止推轴承84是在后端盖7与止推环8相对的端面形成开口朝向止推环8的两个环形槽，并设置连通环槽与供气通道或供液通道的节流孔，其中位于内圈的环槽通过节流孔与后端盖7上所设第一连接通道73连通形成后液体止推轴承82，该第一连接通道73与第二液体输送通道71位于后端盖7上的部分连通，位于外圈的环槽通过节流孔与后端盖7上所设第三气体输送通道74连通形成后气体止推轴承84，根据工作需求在后端盖7与止推环8后端面之间的缝隙中充满液体或气体，构成液气润滑轴承。

在前气体止推轴承83与前液体止推轴承81分别对应的环槽之间还设有一环槽，该环槽对应第三液气泄压环85，在后气体止推轴承84与后液体止推轴承82分别对应的环槽之间还设有一环槽，该环槽对应第四液气泄压环86，止推环8上设有连通第三液气泄压环85与第四液气泄压环86的通孔87，第四液气泄压环86经后端盖7上所设第二连接通道75与第二液气排出通道72连通。

当需要液体轴承支承主轴1时，向止推环8前端面输入的液压润滑油经第二液体输送通道71自外向内依次穿过后端盖7、调整垫9和后轴承座60后经节流孔进入前液体止推轴承81对应的环槽，并在止推环8与后轴承总成6之间的间隙形成油膜，液压润滑油在该端面间隙中向内圈、外圈流动，向内圈流动的液压润滑油经端面间隙和轴向间隙流到后轴承总成6中位于后端的第二液气泄压环63，再通过第二液气排出通道72自内向外依次穿过后轴承座60、调整垫9和后端盖7后排出，向外圈流动的液压润滑油经端面间隙进入第三液气泄压环85，并通过通孔87进入第四液气泄压环86，再通过第四液气泄压环86经后端盖7上所设第二连接通道75进入第二液气排出通道72，最后从第二液气排出通道72自内向外依次穿过后轴承座60、调整垫9和后端盖7后排出；向止推环8后端面输入的液压润滑油流经第二液体输送通道71和第一连接通道73后通过节流孔进入后液体止推轴承82对应的环槽，并在止推环8与后端盖7之间的间隙形成油膜，液压润滑油在该端面间隙中向内圈、外圈流动，向内圈流动的液压润滑油经端面间隙流到第二连接通道75中，再通过第二液气排出通道72自内向外依次穿过后轴承座60、调整垫9和后端盖7后排出，向外圈流动的液压润滑油经端面间隙流到第四液气泄压环86中，再通过第四液气泄压环86经后端盖7上所设第二连接通道75进入第二液气排出通道72，最后从第二液气排出通道72自内向外依次穿过后轴承座60、调整垫9和后端盖7后排出。

当需要气体轴承支承主轴1时，向止推环8前端面输入的高压气体经第二气体输送通道43自外向内依次穿过箱体4和后轴承座60后经节流孔进入前气体止推轴承83对应的环槽，并在止推环8与后轴承总成6之间的间隙形成气膜，高压气体在该端面间隙中向内圈、外圈流动，向内圈流动的高压气体进入第三液气泄压环85，并通过通孔87进入第四液气泄压环86，再通过第四液气泄压环86经后端盖7上所设第二连接通道75进入第二液气排出通道72，最后从第二液气排出通道72自内向外依次穿过后轴承座60、调整垫9和后端盖7后排出，向外圈流动的高压气体进入止推环8与调整垫9之间的径向间隙，再通过第二液气排出通道72自内向外依次穿过后轴承座60、调整垫9和后端盖7后排出；向止推环8后端面输入的高压气体通过第三气体输送通道74经节流孔进入后气体止推轴承84对应的环槽，并在止推环8与后端盖7之间的间隙形成气膜，高压气体在该端面间隙中向内圈、外圈流动，向内圈流动的高压气体进入第四液气泄压环86，再通过第四液气泄压环86经后端盖7上所设第二连接通道75进入第二液气排出通道72，最后从第二液气排出通道72自内向外依次穿过后轴承座60、调整垫9和后端盖7后排出，向外圈流动的高压气体进入止推环8与调整垫9之间的径向间隙，再通过第二液气排出通道72自内向外依次穿过后轴承座60、调整垫9和后端盖7后排出。

本发明的液气悬浮电主轴工作时可根据需要选择单独供给液体并以液体悬浮支承主轴1，还可单独供给气体并以气体悬浮支承主轴1，还可同时供给液体和气体使液体悬浮和气体悬浮合理结合。例如：

1、需要高刚性精密加工时，以液体悬浮为主，辅之以气体悬浮，气体悬浮轴承可对液体起到密封作用，主轴1选中低转速。

2、需要提高加工效率时，加工余量大、切削或磨削深度大，要求主轴1有高刚性和高承载能力。这时同时供给液体和气体，供液压力2~5Mpa，保证液体膜的高刚性；气体供给压力0.3Mpa左右，主要对液体向外部流出起密封作用，主轴1的工作转速通过变频器调节选中低转速，主轴直径Dm与转速N的乘积DmN值不大于90万mm·rpm。

3、超精密加工时，有两种选择方案：一种方案是以液体悬浮为主，辅之以气密封，选低速；另一种方案是仅使用气体悬浮，选中低速。

4、需要提高加工精度和表面质量时，加工余量小、切削或磨削深度小，要求主轴1回转精度高，这时有两种选择方案：一种方案是以液体悬浮为主，辅之以气密封，选低速，同时供给液体和气体，供液压力2~5Mpa，保证液体膜的高刚性，气体供给压力0.3Mpa左右，主要对液体向外部流出起密封作用，主轴1的工作转速通过变频器调节选低速，DmN值10万mm·rpm左右；另一种方案是仅使用气体悬浮，选中低速，主轴工作DmN值30万mm·rpm左右。

5、超高速加工时，通过外部控制系统切断液体供应，仅使用气体悬浮，主轴1工作DmN值90万mm·rpm以上。

上述只是本发明的较佳实施例，并非对本发明作任何形式上的限制。虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。

Claims

1. 一种液气悬浮电主轴，包括主轴（1）、电机定子（2）、电机转子（3）、箱体（4）、前轴承总成（5）和后轴承总成（6），所述电机定子（2）套设于箱体（4）内，所述电机转子（3）套设于主轴（1）上，所述主轴（1）置于电机定子（2）内，并通过前轴承总成（5）和后轴承总成（6）支承于箱体（4）上，其特征在于：所述前轴承总成（5）设有至少一个前液体轴承（51）和至少一个前气体轴承（52），所述前液体轴承（51）和前气体轴承（52）沿轴向排列，所述后轴承总成（6）设有至少一个后液体轴承（61）和至少一个后气体轴承（62），所述后液体轴承（61）和后气体轴承（62）沿轴向排列。

2. 根据权利要求1所述的液气悬浮电主轴，其特征在于：所述前轴承总成（5）设有一个前液体轴承（51）和两个前气体轴承（52），所述前液体轴承（51）设于两个前气体轴承（52）之间。

3. 根据权利要求2所述的液气悬浮电主轴，其特征在于：所述箱体（4）上设有为前液体轴承（51）输送液体的第一液体输送通道（41），所述箱体（4）上还设有为前气体轴承（52）输送气体的第一气体输送通道（42），所述前液体轴承（51）与各前气体轴承（52）之间均设有第一液气泄压环（53），所述箱体（4）上设有与各第一液气泄压环（53）连通的第一液气排出通道（44）。

4. 根据权利要求1或2或3所述的液气悬浮电主轴，其特征在于：所述后轴承总成（6）设有后轴承座（60）、一个后液体轴承（61）和一个后气体轴承（62），所述后液体轴承（61）和后气体轴承（62）均套装于后轴承座（60）内，所述后气体轴承（62）位于后液体轴承（61）前端。

5. 根据权利要求1或2或3所述的液气悬浮电主轴，其特征在于：所述箱体（4）后端装设有后端盖（7），所述后端盖（7）与后轴承总成（6）之间设有止推环（8），所述止推环（8）通过锁紧螺母锁紧固定于主轴（1）上，所述止推环（8）与后轴承总成（6）之间设有前液体止推轴承（81），所述止推环（8）与后端盖（7）之间设有后液体止推轴承（82）。

6. 根据权利要求4所述的液气悬浮电主轴，其特征在于：所述箱体（4）后端装设有后端盖（7），所述后端盖（7）与后轴承总成（6）之间设有止推环（8），所述止推环（8）通过锁紧螺母锁紧固定于主轴（1）上，所述止推环（8）与后轴承总成（6）之间设有前液体止推轴承（81），所述止推环（8）与后端盖（7）之间设有后液体止推轴承（82）。

7. 根据权利要求6所述的液气悬浮电主轴，其特征在于：所述后端盖（7）与后轴承总成（6）之间还设有空套于止推环（8）上的调整垫（9），所述后液体轴承（61）连有为其输送液体的第二液体输送通道（71），所述第二液体输送通道（71）自外向内依次穿过后端盖（7）、调整垫（9）和后轴承座（60），所述后气体轴承（62）连有为其输送气体的第二气体输送通道（43），所述第二气体输送通道（43）自外向内依次穿过箱体（4）和后轴承座（60），所述后液体轴承（61）两侧设有第二液气泄压环（63），所述第二液气泄压环（63）连有用于排出液气的第二液气排出通道（72），所述第二液气排出通道（72）自内向外依次穿过后轴承座（60）、调整垫（9）和后端盖（7）。

8. 根据权利要求7所述的液气悬浮电主轴，其特征在于：所述前液体止推轴承（81）与第二液体输送通道（71）连通，所述后液体止推轴承（82）经后端盖（7）上所设第一连接通道（73）与第二液体输送通道（71）连通。

9. 根据权利要求8所述的液气悬浮电主轴，其特征在于：所述止推环（8）与后轴承总成（6）之间设有前气体止推轴承（83），所述止推环（8）与后端盖（7）之间设有后气体止推轴承（84）。

10. 根据权利要求9所述的液气悬浮电主轴，其特征在于：所述前气体止推轴承（83）与第二气体输送通道（43）连通，所述后气体止推轴承（84）与后端盖（7）上所设第三气体输送通道（74）连通，所述前气体止推轴承（83）与前液体止推轴承（81）之间设有第三液气泄压环（85），所述后气体止推轴承（84）与后液体止推轴承（82）之间设有第四液气泄压环（86），所述止推环（8）上设有连通第三液气泄压环（85）与第四液气泄压环（86）的通孔（87），所述第四液气泄压环（86）经后端盖（7）上所设第二连接通道（75）与第二液气排出通道（72）连通。