CN102097282A

CN102097282A - 无极准分子灯及其应用

Info

Publication number: CN102097282A
Application number: CN2010105669907A
Authority: CN
Inventors: 王颂
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2010-11-30
Filing date: 2010-11-30
Publication date: 2011-06-15

Abstract

本发明涉及一种无极准分子灯及其采用可产生207nm紫外光的无极灯管时的应用，该种无极准分子灯采用微波激励发光，无极方式。本发明主要改进谐振腔系统的设计，使谐振腔与工作腔合二为一，提高工作效率，整套产品光照效率大为提高。当该无极准分子灯采用可产生207nm紫外光的无极灯管时，可有效杀灭细菌、病毒、真菌、霉菌孢子、原生动物及线虫卵、藻类等常见微生物。

Description

无极准分子灯及其应用

技术领域

本发明属电光学领域，涉及一种通过微波激励放电发光的准分子灯，具体涉及准分子灯的谐振腔系统及采用可产生波长为207nm紫外光的无极灯管时的应用。

背景技术

受激准分子灯目前广泛应用于半导体集成电路、液晶显示面板和印刷线路板等电子部件的制造工序中的紫外线曝光装置等中，但是现在进入实用状态的大都是高压电场激发光的准分子灯，例如专利公开号CN1494105A的(受激准分子灯)，专利公开号CN101164136A的(准分子灯)等。

现在国内外也有不少院校及科研机构、企业在研究新型准分子发光系统，如复旦大学专利公告号为1713338A的(190nm、207nm准分子微波无极放电灯及应用)；电子科技大学专利申请号为03117882.0的(一种微波紫外光源)；以及本人的专利号为ZL 2008102 1 6783.1的(无极准分子灯)等。其中复旦大学专利公告号为1713338A的(190nm、207nm准分子微波无极放电灯及应用)的技术在废水废气的降解方面作了深入研究，已经可进入实用阶段，其它方面的应用则未见于报导。

目前紫外线用于杀菌的都是波长为253.7nm的紫外光，由于该波长的紫外灯均为汞灯，众所周知，汞是重污染金属，所以如果能有一种绿色环保的光源替代，将是紫外灯行业的一次革命。

在本人的专利产品实际应用过程中，发现可以通过将谐振腔与工作腔合二为一来提高灯的光照效率，并且通过实验发现了207nm波长的紫外光可有效杀灭微生物。

发明内容

因此，本发明是为了解决实际使用中的的问题，本发明的目的在于提供一种光照效率更高的微波激励的无极准分子灯，及其采用可产生207nm紫外光的无极灯管时的应用。

本发明的无极准分子灯，其包括有微波发生源，波导系统，谐振腔系统，无极灯管等，通过微波的激励作用激励灯管内气体放电发光，其特征在于：谐振腔系统是封闭的，两端有通气网，一端有进气口，一端有排气口。

本发明的无极准分子灯，其特征在于：所说的谐振腔系统内面采用镜面设计。

本发明的无极准分子灯，其特征在于：所说的排气口有压力调节装置。

本发明的无极准分子灯，其特征在于：所说的谐振腔系统，内部可以串联或并联多支灯管。

本发明的无极准分子灯，其特征在于：所说的谐振腔系统可有多套微波发生源。

本发明的无极准分子灯，采用可产生207nm紫外光的无极灯管时，可有效杀灭细菌、病毒、真菌、霉菌孢子、原生动物及线虫卵、藻类等常见微生物。

我们常见的DNA和RNA的吸收光谱，都是只绘到260nm部分的一个峰值，其实在紫外C波段，还有一个吸收峰值在205nm，该峰值比260nm的还要高，也就意味着更强的杀菌效果。因此我们用207nm的准分子紫外灯做了实验来验证，实验结果证实了这一点，在10M³空间对白色葡萄球菌的15分钟灭杀率检测，灭杀效果达到99.9％，详细数据见附图4。

附图说明

图1为本发明的结构图。

图2为本发明的A向视图。

图3为DNA的吸收光谱。【1】

图4为本发明的空气消毒效果检测报告。【2】

符号说明

10：谐振腔兼工作腔；11：无极灯管的固定架；12：耦合口的密封板；13：耦合口；14：波导腔；15：压力调节装置；16：排气口；17：谐振腔两端的通气网；18：无极灯管；19：谐振腔外壳；20：进气口。

具体实施案例

参照附图，其中图1为本发明的结构图，图2为本发明的A向视图，本发明是通过如下方式进行实施的，微波源产生微波后，微波通过波导14的耦合口13进入谐振腔10，激励准分子灯管18内的放电用气体受激发生准分子紫外光，需要杀灭微生物的空气从进气口20进入，经过准分子紫外光杀灭微生物后从排气口16排出。谐振腔系统是由谐振腔外壳19、波导腔14的底板共同构成，波导14的耦合口13有密封板12密封。

如图1所示，谐振腔两端有可防止微波泄漏的通气网17，通气网分别连接排气口16及进气口20，排气口16有压力调节装置15来调节气体在工作腔内的停留时间。无极灯管系统则由无极灯管18、无极灯管的固定架11构成，固定板的材质可以是TEFION、PE或其它不吸收微波的材料。

见附图4，这是该款样品的测试报告，报告中的数据结果证实，207NM波段的准分子紫外光对微生物的灭杀效果是确实的，是完全具有实用价值的，一种新的波段的、环保的、绿色的、低碳的紫外光源将发挥巨大的作用。

虽然仅对本发明的一个实施例作了说明，但是，在不背离本发明的精神和范围的前提下，本发明显然还具有许多变化和改变的形式，例如谐振腔的形状也可以是方箱型，灯管也可以是任意长度和直径的灯管甚至灯泡。

参考文献：

1.张智渊。光谱法研究苯甲酸钠与DNA的体外作用。北京大学政学者论文集(2001年)

2.广州工业微生物检测中心检测报告。

Claims

1.一种无极准分子灯，其包括有微波发生源，波导系统，谐振腔系统，无极灯管等，通过微波的激励作用激励灯管内气体放电发光，其特征在于：谐振腔系统是封闭的，两端有通气网，一端有进气口，一端有排气口。

2.根据权利要求1所述的无极准分子灯，其特征在于：所说的谐振腔系统内面采用镜面设计。

3.根据权利要求1所述的无极准分子灯，其特征在于：所说的排气口有压力调节装置。

4.根据权利要求1所述的无极准分子灯，其特征在于：所说的谐振腔系统，内部可以串联或并联多支灯管。

5.根据权利要求1所述的无极准分子灯，其特征在于：所说的谐振腔系统可有多套微波发生源。

6.一种如权利要求1-5之一所述无极准分子灯，采用可产生207nm紫外光的无极灯管时，在灭杀微生物中的应用。