CN102022977A - 双轴mems扫描的外差干涉系统及方法 - Google Patents

Abstract

双轴MEMS扫描的外差干涉系统及方法，涉及一种基于快速光扫描的激光外差干涉仪系统和方法，解决了现有的正交偏振外差干涉仪技术工作波长为可见光波段，并且震动误差大的问题，方案为：利用2μm偏振正交激光经过分束棱镜分束后获得透射光束和反射光束，其中反射光束作为参考中频信号传递至计算机，透射光束中的S光被反射出去，P光被透射出去，P光经过第1/4波片、MEMS振镜和F-Theta透镜组透射过待测样品池，再按原光路返回，与P光混合，混合光束作为测量中频信号发送至计算机，经过计算机处理后得到待测样品的物理量信息。本发明适用于红外光学材料的检测领域。

Description

双轴MEMS扫描的外差干涉系统及方法

技术领域

本发明涉及一种基于快速光扫描的激光外差干涉仪系统和方法。

背景技术

外差干涉是使两束干涉光波频率产生一个频差，使原来的以光频为载波的被检信息转移到以这一频差为载波的视频信号，从而使光电探测器后的前置放大器可以用交流放大器代替原先的直流放大器，使信号的直流漂移及大部分随机噪声得到有效的抑制，提高了测量精度及重复性精度。外差干涉实时检测技术以其测量精度高，测量速度快，纵向分辨率和横向分辨率高而被广泛应用在超光滑表面检测，光学玻璃的面型测量以及薄膜厚度的测量方面。

作为正交偏振外差干涉仪系统中的光源发射系统，正交偏振光源的重要性就显得尤为重要。目前广泛应在激光外差干涉仪系统中的正交偏振光源大多是基于塞曼效应的He-Ne激光器，该激光器依靠在He-Ne激光管上外加磁场，由塞曼效应分裂后产生左旋光和右旋光。但是由于外加磁场的不理想，引起了正交偏振光的偏振方向不是严格的垂直正交。

随着红外光学材料的发展以及被广泛应用在各个领域，对于红外光学材料的检测也就随之被广泛关注。然而，目前的激光外差干涉仪系统中所用到的激光光源仍然停留在可见光波段附近，比较常用的光源一般采用光束质量较好He-Ne激光器，或者是具有一定带宽的半导体激光器。这些波长对于红外材料的高精度测量已经满足不了要求。

外差干涉仪系统不管是用来检测超光滑样品的表面还是薄膜的厚度测量，都是对整个待测样品表面的整体测量。早期的外差干涉仪系统中大都采用待测样品的机械运动的方式来达到对样品全局扫描测量的目的。这种方式简单易操作，但是由于机械运动的方式存在比较大的振动误差，给横向测量分辨率和纵向测量分辨率带来较大的影响。

总而言之，目前的正交偏振外差干涉仪系统中主要存在以下四方面的问题。(一)，工作波长停留在可见光波段。(二)扫描方式采用样品运动的方式来达到扫描的目的。(三)，干涉系统中光束的传播途径是自由空间的模式。(四)正交偏振光源采用塞曼效应的双频发射系统。

发明内容

本发明为了解决现有的正交偏振外差干涉仪技术工作波长为可见光波段，并且震动误差大的问题，提出一种双轴MEMS扫描的外差干涉系统及方法。

双轴MEMS扫描的外差干涉系统，它包括分束棱镜、检偏器、第一光电探测器、第二偏振分束棱镜、第三偏振分束棱镜、合束棱镜、第二光电探测器、计算机、1/4波片、MEMS振镜、F-Theta透镜组、待测样品池和反射镜，分束棱镜将入射至其中心位置的光束进行分束形成反射光束和透射光束，其中反射光束经过检偏器后聚焦至第一光电探测器的光敏面上，第一光电探测器的信号输出端与计算机的第一信号输入端相连，所述透射光束经过第二偏振分束棱镜透射的光束传播至第三偏振分束棱镜，所述透射光束经过第二偏振分束棱镜反射的光束传播至合束棱镜，第三偏振分束棱镜透射的光束先后经过1/4波片和MEMS振镜之后入射至F-Theta透镜组，所述MEMS振镜设置在F-Theta透镜组的系统焦点处，F-Theta透镜组的出射光束射入待测样品池，待测样品池的出射光束经过反射镜的反射沿原光路返回至第三偏振分束棱镜，第三偏振分束棱镜反射的光束传播至合束棱镜，合束棱镜的出射光束聚焦至第二光电探测器的光敏面上，第二光电探测器的信号输出端与计算机的第二信号输入端相连。

双轴MEMS扫描的正交偏振激光外差干涉方法，它是基于双轴MEMS扫描的正交偏振激光外差干涉系统实现的，偏振正交激光发射系统出射的光束经过分束棱镜后被分成第一透射光束和第一反射光束，所述第一反射光束和第一透射光束均为偏振正交光束，第一反射光束经过检偏器后变成偏振方向与纸面成45°的光束，并且入射至第一光电探测器的光敏面上，第一光电探测器的输出信号作为参考中频信号发送至计算机，第一透射光束经过第二偏振分束棱镜后光束中的S光被反射出去，P光被透射出去，所述P光经过第三偏振分束棱镜后再次被透射，入射至1/4波片，经过1/4波片透射出的光束变成右旋圆偏振光后，照射在MEMS振镜上，MEMS振镜的快轴和慢轴同时转动，在空间扫描出了一个空间范围，在空间的扫描光束透射过F-Theta透镜组变成平行光透射过待测样品池，经过反射镜的平行光沿原光路返回，再次透射过待测样品池、F-Theta透镜组、MEMS振镜和1/4波片，经过1/4波片的右旋圆偏振光变成S光后入射至第三偏振分束棱镜，经过第三偏振分束棱镜反射的S光和第二偏振分束棱镜反射的S光共同进入到合束棱镜中进行干涉，上述两束混合光束被第二光电探测器的光敏面接收，第二光电探测器的输出信号作为测量中频信号发送至计算机，经过计算机处理后得到待测样品的物理量信息，所述物理量信息包括表面轮廓起伏信息，厚度信息，折射率分布信息。

本发明的装置和方法采用人眼安全的2μm激光波长，激光光束是通过光纤来传播的，正交偏振激光发射系统通过采用两个声光移频器件来实现双光束发射的目的。快速扫描方式是通过MEMS振镜和F-Theta透镜组的组合光学扫描系统来实现对样品的扫描目的，本发明适用于红外光学材料的检测领域。

附图说明

图1为双轴MEMS扫描的外差干涉系统的结构示意图。图2为双轴MEMS扫描的外差干涉系统的另一种结构示意图。图3为具体实施方式十一中F-Theta透镜组18的结构示意图。图4为MEMS振镜17和F-Theta透镜组18结合的组合的结构示意图。

具体实施方式

具体实施方式一、结合图1和图2说明本实施方式，双轴MEMS扫描的外差干涉系统，它包括分束棱镜8、检偏器9、第一光电探测器10、第二偏振分束棱镜11、第三偏振分束棱镜12、合束棱镜13、第二光电探测器14、计算机15、1/4波片16、MEMS振镜17、F-Theta透镜组18、待测样品池19和反射镜20，分束棱镜8将入射至其中心位置的光束进行分束形成反射光束和透射光束，其中反射光束经过检偏器9后聚焦至第一光电探测器10的光敏面上，第一光电探测器10的信号输出端与计算机15的第一信号输入端相连，所述透射光束经过第二偏振分束棱镜11透射的光束传播至第三偏振分束棱镜12，所述透射光束经过第二偏振分束棱镜11反射的光束传播至合束棱镜13，第三偏振分束棱镜12透射的光束先后经过1/4波片16和MEMS振镜17之后入射至F-Theta透镜组18，所述MEMS振镜17设置在F-Theta透镜组18的系统焦点处，F-Theta透镜组18的出射光束射入待测样品池19，待测样品池19的出射光束经过反射镜20的反射沿原光路返回至第三偏振分束棱镜12，第三偏振分束棱镜12反射的光束传播至合束棱镜13，合束棱镜13的出射光束聚焦至第二光电探测器14的光敏面上，第二光电探测器14的信号输出端与计算机15的第二信号输入端相连。

具体实施方式二、结合图1和图2说明本实施方式，本实施方式是对具体实施方式一的进一步说明，双轴MEMS扫描的外差干涉系统，它还包括正交偏振激光发射系统，该正交偏振激光发射系统包括激光器1、光纤分束器2、第一偏振移频模块k1、第二偏振移频模块k2和第一偏振分束棱镜7，激光器1发射的线偏振光进入光纤分束器2，被分为两个支路，其中第一支路的光束经过第一偏振移频模块k1后变成第一线偏振光入射至第一偏振分束棱镜7，第一线偏振光后经过第一偏振分束棱镜7被透射出去，第二支路的光束经过第二偏振移频模块k2后变成第二线偏振光入射至第一偏振分束棱镜7，第二线偏振光经过第一偏振分束棱镜7被反射出去，第一偏振分束棱镜7的透射光束与反射光束形成一束光发射至分束棱镜8的中心位置，所述第一线偏振光和第二线偏振光偏振方向相互垂直。

具体实施方式三、本实施方式是对具体实施方式二的进一步说明，激光器1为2μm激光器。

激光器1的工作波长处于人眼安全的2μm波段。

具体实施方式四、本实施方式是对具体实施方式二或三的进一步说明，第一偏振移频模块k1由第一声光频移器3和第一偏振器5组成，第二偏振移频模块k2由第二声光频移器4和第二偏振器6组成，第一支路的光束经过第一声光频移器3后入射至第一偏振器5，第一偏振器5出射的光束为第一线偏振光；第二支路的光束经过第二声光频移器4后入射至第二偏振器6，第二偏振器6出射的光束为第二线偏振光；

具体实施方式五、本实施方式是对具体实施方式二或三的进一步说明，第一偏振移频模块k1由第一声光频移器3和第一偏振器5组成，第二偏振移频模块k2由第二声光频移器4和第二偏振器6组成，第一支路的光束经过第一偏振器5后入射至第一声光频移器3，第一声光频移器3出射的光束为第一线偏振光，第二支路的光束经过第二偏振器6后入射至第二声光频移器4，第二声光频移器4出射的光束为第二线偏振光。

具体实施方式六、本实施方式是对具体实施方式四或五的进一步说明，第一偏振移频模块k1使得第一线偏振光的偏振方向垂直于纸面，第二偏振移频模块k2使得第二线偏振光的偏振方向平行于纸面。

具体实施方式七、本实施方式是对具体实施方式一、二、三、四、五或六的进一步说明，分束棱镜8的分光比为50∶50。

具体实施方式八、本实施方式是对具体实施方式六或七的进一步说明，检偏器9的偏振方向与纸面夹角为45°。

具体实施方式九、本实施方式是对具体实施方式六的进一步说明，第一偏振分束棱镜7、第二偏振分束棱镜11和第三偏振分束棱镜12均是透射偏振方向垂直于纸面光束，反射偏振方向平行于纸面的光束。

具体实施方式十、本实施方式是对具体实施方式一、二、三、四、五、六、七、八或九的进一步说明，MEMS振镜17接收光束直径为1mm，并且二维最大空间扫描角度为40度。

具体实施方式十一、本实施方式是对具体实施方式一、二、三、四、五、六、七、八、九或十的进一步说明，F-Theta透镜组18由第一透镜18-1、第二透镜18-2和第三透镜18-3组成，所述第一透镜18-1和第二透镜18-2的材料是SF11，第三透镜18-3的材料是BK7，其中第一透镜18-1的第一表面的曲率半径为-241mm，第二表面的曲率半径为-197.70mm，中心厚度为31.15mm，边沿厚度为25.72mm，第二透镜18-2的第一表面的曲率半径为-1472.30mm，第二表面的曲率半径为-510.50mm，中心厚度为19.87mm，边沿厚度为5.00mm，第三透镜18-3的的第一表面的曲率半径为1432.20mm，第二表面的曲率半径为-1260.83mm，中心厚度为24.16mm，边沿厚度为5.00mm。

所述第一透镜18-1、第二透镜18-2和第三透镜18-3的具体参数如下表所示：

F-Theta透镜组18由三片折射性透镜组成，第一透镜18-1和第二透镜18-2的材料是SF11，第三透镜18-3的材料是BK7。F-Theta透镜组18的前工作距离是242.24mm，第一透镜18-1到第二透镜18-2的距离是188.54mm，第二透镜18-2到第三透镜18-3的距离是16.28mm，后工作距离是328.50mm，系统的焦距是430mm，F数等于430。F-Theta透镜组18扫描出的光线是以完全平行的光束照射在反射镜的表面。

具体实施方式十二、结合图1和图2说明本实施方式，双轴MEMS扫描的正交偏振激光外差干涉方法，它是基于双轴MEMS扫描的正交偏振激光外差干涉系统实现的，分束棱镜8将入射光束分成第一透射光束和第一反射光束，所述入射光由偏振方向正交的两束光束组成，所述第一反射光束和第一透射光束均由偏振方向正交的两束光束组成，第一反射光束经过检偏器9后偏振方向改变45°，并且入射至第一光电探测器10的光敏面上，第一光电探测器10的输出信号作为参考中频信号发送至计算机15，第一透射光束经过第二偏振分束棱镜11后光束中的S光被反射出去，P光被透射出去，所述P光经过第三偏振分束棱镜12后再次被透射，入射至1/4波片16，经过1/4波片16透射出的光束变成右旋圆偏振光后，照射在MEMS振镜17上，MEMS振镜17的快轴和慢轴同时转动，在空间扫描出了一个空间范围，在空间的扫描光束透射过F-Theta透镜组18变成平行光透射过待测样品池19，经过反射镜20的平行光沿原光路返回，再次透射过待测样品池19、F-Theta透镜组18、MEMS振镜17和1/4波片16，经过1/4波片16的右旋圆偏振光变成S光后入射至第三偏振分束棱镜12，经过第三偏振分束棱镜12反射的S光和第二偏振分束棱镜11反射的S光共同进入到合束棱镜13中进行干涉形成混合光束，上述混合光束被第二光电探测器14的光敏面接收，第二光电探测器14的输出信号作为测量中频信号发送至计算机15，计算机15对接收到的参考中频信号和测量中频信进行处理后得到待测样品的物理量信息，所述物理量信息包括表面轮廓起伏信息，厚度信息，折射率分布信息。

本实施方式中，计算机15根据接收到的参考中频信号和测量中频信号获得待测样品的物理量信息的过程，是本领域技术人员采用所应当掌握的知识能够实现的过程。下面举例说明该过程：在计算机15中，参考中频信号和测量中频信号经过正交解调处理，得到两路电中频信号，它们是：

其中，

代表常量相位差，R代表的是光电探测器的响应率，A_s代表的样品表面每一处的反射系数，A_R代表的是从样品表面表面反射光的振幅，P_LO代表的是参考光束的功率值大小，代表的是参考光束和测试光束的初始相位差。因此待测相位信息可以表示为：

当该系统连续对样品进行扫描的过程中，通过对

的处理，就可以获取样品的厚度以及折射率信息。

具体实施方式十三、本实施方式是对具体实施方式十二的进一步说明，偏振正交激光发射系统出射光束的获得方法为：激光器1发射任意方向的线偏振光，线偏振光入射至光纤分束器2，线偏振光被分为第一支路2-1和第二支路2-2，第一支路2-1经过第一偏振移频模块k1后生成具有频率移动Δ1的偏振方向垂直于纸面的P光，第二支路2-2经过第二偏振移频模块k2后生成具有频率移动Δ2的偏振方向平行于纸面的S光，生成的P光和S光经过第一偏振分束棱镜7的传播后，形成正交偏振激光。

具体实施方式十四、本实施方式是对具体实施方式十三的进一步说明，第一声光频移器3将第一支路2-1光束的频率移动Δ1＝99.9MHz，第二声光频移器4将第二支路2-2光束的频率移动Δ2＝100MHz。

正交偏振激光发射系统是一种能够发射一束混合的激光光束，该光束中的信号光是由两束偏振方向正交，频率差为100KHz的近红外光束组成。

参考中频信号是直接由偏振正交发射系统发射的偏振正交光的干涉过程所产生的，参考中频信号的频率为100KHz。在产生参考中频信号的过程中，由于这两束不同频率的光是相互正交的，因此我们通过检偏器9的作用，把这两束光引入到相同的方向上来，从而得到了参考中频信号。测试中频信号是由系统中的扫描光束信号经过第三偏振分束棱镜12反射回的光信号和第二偏振分束棱镜11反射的信号干涉所形成的。测试中频信号的频率依然是100KHz。

MEMS：Micro-Electro-Mechanical Systems，中文名称是：微机电系统，在本发明中所表示作在微机电系统上面的反射振镜。即是将普通的反射镜和微机电系统集成在了一起，通过控制该微机电系统，就可以控制反射振镜的振动状态。

本发明的装置和方法在红外玻璃面型检测和薄膜检测领域有着广泛的应用价值。尤其是红外光学玻璃检测以及薄膜的检测方面有着广泛的应用价值。所述双轴MEMS扫描的正交偏振激光外差干涉系统和方法中采用MEMS振镜和F-Theta透镜组组合的方式来达到对样品的扫描目的。和传统的激光外差干涉仪相比，近红外激光外差干涉仪系统具有以下几个特点：一，把传统干涉仪的工作波长从可见光波段扩展到人眼安全的近红外波段。二，传统的激光外差干涉仪系统中采用待测样品运动方式来达到对样品的扫描目的，而该系统中的扫描方式是采用MEMS振镜和F-Theta透镜相结合的方式来达到扫描的目的。三，干涉仪系统中的光信号大部分是在光纤内传播的，这样就避免了由于环境的温度起伏对系统测量结果的影响。本系统中的偏振正交光源发射系统中采用两个声光移频器的方式来使得中频信号的频率大幅度降低，这种非常低的中频信号有利于后续信号的处理和检测。

Claims (10)

1.双轴MEMS扫描的外差干涉系统，其特征在于它包括分束棱镜(8)、检偏器(9)、第一光电探测器(10)、第二偏振分束棱镜(11)、第三偏振分束棱镜(12)、合束棱镜(13)、第二光电探测器(14)、计算机(15)、1/4波片(16)、MEMS振镜(17)、F-Theta透镜组(18)、待测样品池(19)和反射镜(20)，分束棱镜(8)将入射至其中心位置的光束进行分束形成反射光束和透射光束，其中反射光束经过检偏器(9)后聚焦至第一光电探测器(10)的光敏面上，第一光电探测器(10)的信号输出端与计算机(15)的第一信号输入端相连，所述透射光束经过第二偏振分束棱镜(11)透射的光束传播至第三偏振分束棱镜(12)，所述透射光束经过第二偏振分束棱镜(11)反射的光束传播至合束棱镜(13)，第三偏振分束棱镜(12)透射的光束先后经过1/4波片(16)和MEMS振镜(17)之后入射至F-Theta透镜组(18)，所述MEMS振镜(17)设置在F-Theta透镜组(18)的系统焦点处，F-Theta透镜组(18)的出射光束射入待测样品池(19)，待测样品池(19)的出射光束经过反射镜(20)的反射沿原光路返回至第三偏振分束棱镜(12)，第三偏振分束棱镜(12)反射的光束传播至合束棱镜(13)，合束棱镜(13)的出射光束聚焦至第二光电探测器(14)的光敏面上，第二光电探测器(14)的信号输出端与计算机(15)的第二信号输入端相连。

2.双轴MEMS扫描的外差干涉系统，其特征在于它还包括正交偏振激光发射系统，该正交偏振激光发射系统包括激光器(1)、光纤分束器(2)、第一偏振移频模块(k1)、第二偏振移频模块(k2)和第一偏振分束棱镜(7)，激光器(1)发射的线偏振光进入光纤分束器(2)，被分为两个支路，其中第一支路的光束经过第一偏振移频模块(k1)后变成第一线偏振光入射至第一偏振分束棱镜(7)，第一线偏振光后经过第一偏振分束棱镜(7)被透射出去，第二支路的光束经过第二偏振移频模块(k2)后变成第二线偏振光入射至第一偏振分束棱镜(7)，第二线偏振光经过第一偏振分束棱镜(7)被反射出去，第一偏振分束棱镜(7)的透射光束与反射光束形成一束光发射至分束棱镜(8)的中心位置，所述第一线偏振光和第二线偏振光偏振方向相互垂直。

3.根据权利要求2所述的双轴MEMS扫描的外差干涉系统，其特征在于激光器(1)为2μm激光器。

4.根据权利要求2或3所述的双轴MEMS扫描的外差干涉系统，其特征在于第一偏振移频模块(k1)由第一声光频移器(3)和第一偏振器(5)组成，第二偏振移频模块(k2)由第二声光频移器(4)和第二偏振器(6)组成，第一支路的光束经过第一声光频移器(3)后入射至第一偏振器(5)，第一偏振器(5)出射的光束为第一线偏振光；第二支路的光束经过第二声光频移器(4)后入射至第二偏振器(6)，第二偏振器(6)出射的光束为第二线偏振光；

或者第一支路的光束经过第一偏振器(5)后入射至第一声光频移器(3)，第一声光频移器(3)出射的光束为第一线偏振光，第二支路的光束经过第二偏振器(6)后入射至第二声光频移器(4)，第二声光频移器(4)出射的光束为第二线偏振光。

5.根据权利要求1所述的双轴MEMS扫描的外差干涉系统，其特征在于分束棱镜(8)的分光比为50∶50。

6.根据权利要求2所述的双轴MEMS扫描的外差干涉系统，其特征在于第一偏振移频模块(k1)使得第一线偏振光的偏振方向垂直于纸面，第二偏振移频模块(k2)使得第二线偏振光的偏振方向平行于纸面，检偏器(9)的偏振方向与纸面夹角为45°。

7.根据权利要求1所述的双轴MEMS扫描的外差干涉系统，其特征在于F-Theta透镜组(18)由第一透镜(18-1)、第二透镜(18-2)和第三透镜(18-3)组成，所述第一透镜(18-1)和第二透镜(18-2)的材料均是SF11，第三透镜(18-3)的材料是BK7，其中第一透镜(18-1)的第一表面的曲率半径为-241mm，第二表面的曲率半径为-197.70mm，中心厚度为31.15mm，边沿厚度为25.72mm，第二透镜(18-2)的第一表面的曲率半径为-1472.30mm，第二表面的曲率半径为-510.50mm，中心厚度为19.87mm，边沿厚度为5.00mm，第三透镜(18-3)的的第一表面的曲率半径为1432.20mm，第二表面的曲率半径为-1260.83mm，中心厚度为24.16mm，边沿厚度为5.00mm。

8.双轴MEMS扫描的正交偏振激光外差干涉方法，其特征在于它是基于双轴MEMS扫描的外差干涉系统实现的，分束棱镜(8)将入射光束分成第一透射光束和第一反射光束，所述入射光由偏振方向正交的两束光束组成，所述第一反射光束和第一透射光束均由偏振方向正交的两束光束组成，第一反射光束经过检偏器(9)后偏振方向改变45°，并且入射至第一光电探测器(10)的光敏面上，第一光电探测器(10)的输出信号作为参考中频信号发送至计算机(15)，第一透射光束经过第二偏振分束棱镜(11)后光束中的S光被反射出去，P光被透射出去，所述P光经过第三偏振分束棱镜(12)后再次被透射，入射至1/4波片(16)，经过1/4波片(16)透射出的光束变成右旋圆偏振光后，照射在MEMS振镜(17)上，MEMS振镜(17)的快轴和慢轴同时转动，在空间扫描出了一个空间范围，在空间的扫描光束透射过F-Theta透镜组(18)变成平行光透射过待测样品池(19)，经过反射镜(20)的平行光沿原光路返回，再次透射过待测样品池(19)、F-Theta透镜组(18)、MEMS振镜(17)和1/4波片(16)，经过1/4波片(16)的右旋圆偏振光变成S光后入射至第三偏振分束棱镜(12)，经过第三偏振分束棱镜(12)反射的S光和第二偏振分束棱镜(11)反射的S光共同进入到合束棱镜(13)中进行干涉形成混合光束，上述混合光束被第二光电探测器(14)的光敏面接收，第二光电探测器(14)的输出信号作为测量中频信号发送至计算机(15)，计算机(15)对接收到的参考中频信号和测量中频信进行处理后得到待测样品的物理量信息，所述物理量信息包括表面轮廓起伏信息，厚度信息，折射率分布信息。

9.基于权利要求8所述的双轴MEMS扫描的正交偏振激光外差干涉方法，其特征在于偏振正交激光发射系统出射光束的获得方法为：激光器(1)发射任意方向的线偏振光，线偏振光入射至光纤分束器(2)，线偏振光被分为第一支路(2-1)和第二支路(2-2)，第一支路(2-1)经过第一偏振移频模块(k1)后生成具有频率移动Δ1的偏振方向垂直于纸面的P光，第二支路(2-2)经过第二偏振移频模块(k2)后生成具有频率移动Δ2的偏振方向平行于纸面的S光，生成的P光和S光经过第一偏振分束棱镜(7)的传播后，形成正交偏振激光。

10.根据权利要求9所述的双轴MEMS扫描的正交偏振激光外差干涉方法，其特征在于第一声光频移器(3)将第一支路(2-1)光束的频率移动Δ1＝99.9MHz，第二声光频移器(4)将第二支路(2-2)光束的频率移动Δ2＝100MHz。

Images