CN102011885A - 新型常开阀气体质量流量控制器 - Google Patents

新型常开阀气体质量流量控制器 Download PDF

Info

Publication number
CN102011885A
CN102011885A CN 201010544587 CN201010544587A CN102011885A CN 102011885 A CN102011885 A CN 102011885A CN 201010544587 CN201010544587 CN 201010544587 CN 201010544587 A CN201010544587 A CN 201010544587A CN 102011885 A CN102011885 A CN 102011885A
Authority
CN
China
Prior art keywords
valve
normally open
mass flow
gas mass
component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN 201010544587
Other languages
English (en)
Other versions
CN102011885B (zh
Inventor
苏乾益
宋志辉
沈卫国
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd
Beijing Sevenstar Huachuang Electronics Co Ltd
Original Assignee
Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd filed Critical Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd
Priority to CN 201010544587 priority Critical patent/CN102011885B/zh
Publication of CN102011885A publication Critical patent/CN102011885A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102011885B publication Critical patent/CN102011885B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Magnetically Actuated Valves (AREA)

Abstract

本发明公开了一种新型常开阀气体质量流量控制器，包括计量部分、控制部分和调节阀，调节阀为常开结构的常开阀组件，常开阀组件包括阀体组件，阀体组件的外部套有线圈，阀体组件的内腔设有阀芯组件，阀体组件的内腔的下口设有阀口，阀口与阀芯组件之间设有磁座，阀芯组件与阀体组件的内腔之间设有导向套。通电时，磁座产生的磁力将将阀芯组件向下吸，调节气体流量或关闭，断电时，磁座失磁，阀芯组件上移，阀门常开。结构紧凑、体积小、成本低、控制精度高。

Description

新型常开阀气体质量流量控制器
技术领域
本发明涉及一种气体质量流量控制器，尤其涉及一种新型常开阀气体质量流量控制器。
背景技术
质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。
现有技术中的质量流量控制器均采用常闭型的电磁阀来控制气体的流量。在一些特殊要求的场合，如：断电时，需要继续通气体作保护的设备，常闭型质量流量控制器就不适用于该种场合。
现有技术中也有少量常开型气体质量流量控制器。但存在体积大、结构复杂、加工难度大、成本高等诸多的技术问题。
发明内容
本发明的目的是提供一种结构紧凑、体积小、成本低、控制精度高的新型常开阀气体质量流量控制器。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的：
本发明的新型常开阀气体质量流量控制器，包括计量部分、控制部分和调节阀，所述的调节阀为常开结构，包括常开阀组件，所述的常开阀组件包括阀体组件，所述阀体组件的外部套有线圈，所述阀体组件的内腔设有阀芯组件，所述阀体组件的内腔的下口设有阀口，所述阀口与所述阀芯组件之间设有磁座，所述阀芯组件与所述阀体组件的内腔之间设有导向套。
由上述本发明提供的技术方案可以看出，本发明所述的新型常开阀气体质量流量控制器，由于常开阀组件包括阀体组件，阀体组件的外部套有线圈，阀体组件的内腔设有阀芯组件，阀体组件的内腔的下口设有阀口，阀口与阀芯组件之间设有磁座，阀芯组件与阀体组件的内腔之间设有导向套。通电时，磁座产生的磁力将将阀芯组件向下吸，调节气体流量或关闭，断电时，磁座失磁，阀芯组件上移，阀门常开。结构紧凑、体积小、成本低、控制精度高。
附图说明
图1为本发明新型常开阀气体质量流量控制器的拆分状态示意图；
图2为本发明新型常开阀气体质量流量控制器的结构示意图；
图3为本发明中调节阀组件的结构示意图；
图4为本发明中阀体组件的结构示意图；
图5a为本发明中阀芯组件的结构示意图；
图5b为本发明中芯体的结构示意图；
图6为本发明中气体质量流量控制器的工作原理图。
具体实施方式
本发明的新型常开阀气体质量流量控制器，其较佳的具体实施方式是：
包括计量部分、控制部分和调节阀，所述的调节阀为常开结构，包括常开阀组件，其特征在于，所述的常开阀组件包括阀体组件，所述阀体组件的外部套有线圈，所述阀体组件的内腔设有阀芯组件，所述阀体组件的内腔的下口设有阀口，所述阀口与所述阀芯组件之间设有磁座，所述阀芯组件与所述阀体组件的内腔之间设有导向套。
所述阀体组件包括衔铁、套圈、阀座，所述套圈装进所述阀座中部的圆槽内，所述衔铁装进所述套圈中部的圆槽内，所述套圈与所述阀座及所述衔铁与所述套圈之间的连接缝焊接密封。
所述阀芯组件包括芯体和弹簧片，所述芯体的下部设有圆台面，所述圆台面的上表面设有台阶，所述弹簧片装在所述圆台面上并套在所述台阶的外缘上，所述弹簧片与所述台阶之间进行焊接固定。
所述阀芯组件和导向套装入所述阀体组件的内腔之后，再将所述磁座和阀口依次装入到所述阀体组件的内腔，所述弹簧片的外缘被压在所述磁座与所述阀体组件内腔的上壁之间。
所述磁座与所述弹簧片之间设有调整垫。
所述常开阀组件装在底座上，所述阀口与所述底座之间及所述阀体组件与所述底座之间设有金属密封圈。现有的质量流量控制器普遍采用非金属材料密封，缺点是：一方面非金属材料易老化，可靠性低；另一方面耐腐蚀性能力有限，不能用于有较强腐蚀性气体，应用范围窄。本发明质量流量控制器，为了提高其耐腐蚀性，在所有要求密封处，均可以采用金属密封圈来密封。
下面通过具体实施例并结合附图对本申请进行详细的描述：
如图1、图2所示，本发明的质量流量控制器，包括底座1、接头2、分流器3、传感器4、常开阀组件5、电路板6、外壳7、螺钉8、支架9、螺钉10、螺钉61等。
在底座1一端的进气孔内装入分流器3，在底座1的另一端装有接头2；在底座1的上面装上传感器4和常开阀组件5，并用螺钉61拧紧固定；电路板6装在支架9上，支架9装在传感器4上，并用螺钉8固定；盖上外壳7，并用螺钉10固定在接头2上。
如图1、图3所示，常开阀组件5包括：导向套50、螺母51、阀罩52、线圈53、阀体组件54、阀芯组件55、调整垫56、磁座57、阀口58、大金属密封圈59、小金属密封圈60等。
先依次将导向套50、阀芯组件55、调整垫56、磁座57、阀口58装进阀体组件54的空腔内，接着把小金属密封圈60装进阀口58的腔内，再把大金属密封圈59套在阀口58的圆柱面外，然后将上述组件一起装在底座1的相应的空腔内；61螺钉装在阀体组件54相应的孔内，与底座1的上螺纹孔配合，拧紧所述的螺钉61。最后把线圈53，阀罩52依次装进阀体组件54的圆柱轴上，再拧紧螺母51。
如图4所示，阀体组件54，包括：衔铁541、套圈542、阀座543等。
阀体组件54是把套圈542装进阀座543的圆槽内，再把衔铁541装进套圈542的圆槽内。最后，将连接缝进行焊接密封。
如图5a、图5b所示，阀芯组件55包括芯体551和弹簧片552等。
阀芯组件55是把弹簧片552装进芯体551的圆台面5511上并套在台阶5512的外缘上再进行焊接固定。
由于芯体551下部的圆台面5511的面积大于芯体551上部的部分，因此，磁座57对阀芯组件55的吸力大于上部阀体组件54的吸力，磁座57很容易通过电磁力对阀芯组件55的位置进行控制。
如图2、图6所示，本发明的工作原理是：
当气体流进底座1的腔体内时，在分流器3的分流作用下，气体按一定的比例进行分配，一部分流过传感器4，另一部分从分流器3内部流过，最两路气体合并后一同进入常开阀组件5。当气体流过传感器4时，传感器4将输出流量计检测的信号，电路板6将该信号进行放大、输出，同时将放大后的信号与设定输入值进行比较，将所得的差值去驱动常开阀组件5，从而实现对气体流量的检测和控制。
对于常开阀组件5，在断电时，阀芯组件55静止在阀体组件54内的某一位置，并与阀口58有一定的距离，此时，流量为最大。给线圈53通电后，线圈53输入电压值变化，磁座57对阀芯组件55的吸力随着输入电压值的变化而变化，因此，阀芯组件55在阀体组件54内的位置随着输入电压值的变化而变化，从而使阀芯组件55与阀口58之间距离发生变化，实现调整流量的大小。当输入电压值增大到某一值时，使得阀芯组件55与阀口58之间距离为零，此时的流量就为零，此时该电磁调节阀实现了关闭的功能。
本发明的质量流量控制器，结构紧凑、体积小、控制精度高。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种新型常开阀气体质量流量控制器，包括计量部分、控制部分和调节阀，所述的调节阀为常开结构，包括常开阀组件，其特征在于，所述的常开阀组件包括阀体组件，所述阀体组件的外部套有线圈，所述阀体组件的内腔设有阀芯组件，所述阀体组件的内腔的下口设有阀口，所述阀口与所述阀芯组件之间设有磁座，所述阀芯组件与所述阀体组件的内腔之间设有导向套。
2.根据权利要求1所述的新型常开阀气体质量流量控制器，其特征在于，所述阀体组件包括衔铁、套圈、阀座，所述套圈装进所述阀座中部的圆槽内，所述衔铁装进所述套圈中部的圆槽内，所述套圈与所述阀座及所述衔铁与所述套圈之间的连接缝焊接密封。
3.根据权利要求2所述的新型常开阀气体质量流量控制器，其特征在于，所述阀芯组件包括芯体和弹簧片，所述芯体的下部设有圆台面，所述圆台面的上表面设有台阶，所述弹簧片装在所述圆台面上并套在所述台阶的外缘上，所述弹簧片与所述台阶之间进行焊接固定。
4.根据权利要求3所述的新型常开阀气体质量流量控制器，其特征在于，所述阀芯组件和导向套装入所述阀体组件的内腔之后，再将所述磁座和阀口依次装入到所述阀体组件的内腔，所述弹簧片的外缘被压在所述磁座与所述阀体组件内腔的上壁之间。
5.根据权利要求4所述的新型常开阀气体质量流量控制器，其特征在于，所述磁座与所述弹簧片之间设有调整垫。
6.根据权利要求1至5任一项所述的新型常开阀气体质量流量控制器，其特征在于，所述常开阀组件装在底座上，所述阀口与所述底座之间及所述阀体组件与所述底座之间设有金属密封圈。
CN 201010544587 2010-11-12 2010-11-12 新型常开阀气体质量流量控制器 Active CN102011885B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201010544587 CN102011885B (zh) 2010-11-12 2010-11-12 新型常开阀气体质量流量控制器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201010544587 CN102011885B (zh) 2010-11-12 2010-11-12 新型常开阀气体质量流量控制器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102011885A true CN102011885A (zh) 2011-04-13
CN102011885B CN102011885B (zh) 2012-11-14

Family

ID=43842164

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201010544587 Active CN102011885B (zh) 2010-11-12 2010-11-12 新型常开阀气体质量流量控制器

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102011885B (zh)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102518847A (zh) * 2011-11-30 2012-06-27 北京七星华创电子股份有限公司 一种新型气体调节装置
CN102996792A (zh) * 2012-12-24 2013-03-27 北京七星华创电子股份有限公司 一种金属密封圈
CN104995443A (zh) * 2013-01-08 2015-10-21 伊利诺斯工具制品有限公司 力致动的控制阀
CN105840904A (zh) * 2016-06-14 2016-08-10 中国人民解放军国防科学技术大学 高速重复脉冲式径向流动微量气体供给阀
CN110500406A (zh) * 2019-06-27 2019-11-26 北京七星华创流量计有限公司 密封结构和质量流量控制器
WO2020014975A1 (zh) * 2018-07-17 2020-01-23 北京七星华创流量计有限公司 流体传感器及质量流量控制器
CN111853329A (zh) * 2020-07-23 2020-10-30 北京七星华创流量计有限公司 电磁阀及质量流量控制器
CN113867434A (zh) * 2021-11-22 2021-12-31 北京七星华创流量计有限公司 气体质量流量控制器

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5711342A (en) * 1993-07-23 1998-01-27 Hitachi Metals, Ltd. Mass flow controller, operating method and electromagnetic valve
US20010018928A1 (en) * 2000-03-02 2001-09-06 Gill Rajinder S. Method of operation of mass flow controller
CN2856614Y (zh) * 2005-12-27 2007-01-10 北京七星华创电子股份有限公司 质量流量控制器的电磁调节阀
CN200969048Y (zh) * 2006-11-20 2007-10-31 芦惠云 一种气体质量流量控制器
CN201310673Y (zh) * 2008-11-26 2009-09-16 北京七星华创电子股份有限公司 全金属密封常开型电磁调节阀

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5711342A (en) * 1993-07-23 1998-01-27 Hitachi Metals, Ltd. Mass flow controller, operating method and electromagnetic valve
US20010018928A1 (en) * 2000-03-02 2001-09-06 Gill Rajinder S. Method of operation of mass flow controller
CN2856614Y (zh) * 2005-12-27 2007-01-10 北京七星华创电子股份有限公司 质量流量控制器的电磁调节阀
CN200969048Y (zh) * 2006-11-20 2007-10-31 芦惠云 一种气体质量流量控制器
CN201310673Y (zh) * 2008-11-26 2009-09-16 北京七星华创电子股份有限公司 全金属密封常开型电磁调节阀

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102518847A (zh) * 2011-11-30 2012-06-27 北京七星华创电子股份有限公司 一种新型气体调节装置
CN102518847B (zh) * 2011-11-30 2014-06-11 北京七星华创电子股份有限公司 一种新型气体调节装置
CN102996792A (zh) * 2012-12-24 2013-03-27 北京七星华创电子股份有限公司 一种金属密封圈
CN102996792B (zh) * 2012-12-24 2015-11-25 北京七星华创电子股份有限公司 一种金属密封圈
CN104995443A (zh) * 2013-01-08 2015-10-21 伊利诺斯工具制品有限公司 力致动的控制阀
CN104995443B (zh) * 2013-01-08 2018-06-01 伊利诺斯工具制品有限公司 一种用于控制流体的流量的质量流量控制器
CN105840904B (zh) * 2016-06-14 2017-11-28 中国人民解放军国防科学技术大学 高速重复脉冲式径向流动微量气体供给阀
CN105840904A (zh) * 2016-06-14 2016-08-10 中国人民解放军国防科学技术大学 高速重复脉冲式径向流动微量气体供给阀
WO2020014975A1 (zh) * 2018-07-17 2020-01-23 北京七星华创流量计有限公司 流体传感器及质量流量控制器
US11334096B2 (en) 2018-07-17 2022-05-17 Beijing Sevenstar Flow Co., Ltd. Fluid sensor and mass flow controller
CN110500406A (zh) * 2019-06-27 2019-11-26 北京七星华创流量计有限公司 密封结构和质量流量控制器
CN111853329A (zh) * 2020-07-23 2020-10-30 北京七星华创流量计有限公司 电磁阀及质量流量控制器
CN111853329B (zh) * 2020-07-23 2022-06-03 北京七星华创流量计有限公司 电磁阀及质量流量控制器
CN113867434A (zh) * 2021-11-22 2021-12-31 北京七星华创流量计有限公司 气体质量流量控制器
CN113867434B (zh) * 2021-11-22 2024-01-12 北京七星华创流量计有限公司 气体质量流量控制器

Also Published As

Publication number Publication date
CN102011885B (zh) 2012-11-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102011885B (zh) 新型常开阀气体质量流量控制器
CN102094865B (zh) 智能型电液流量伺服阀
CN102155570B (zh) 一种超磁致伸缩驱动的气动高速开关阀
CN102537486B (zh) 一种智能阀门定位器
CN100497964C (zh) 双相对置超磁致伸缩自传感力反馈二级伺服阀及控制方法
CN202302220U (zh) 一种高精度气动比例压力阀
CN204436910U (zh) 一种非对称液压伺服阀
CN101418872B (zh) 电磁调节阀
CN103912707A (zh) 一种用于贴片机的电磁阀模块
CN102242743A (zh) 多喷嘴挡板电液伺服阀及其工作方法
CN104455652B (zh) 卸荷式电磁阀
CN202266694U (zh) 一种大口径常开直动式电磁阀
CN201310673Y (zh) 全金属密封常开型电磁调节阀
CN201116605Y (zh) 远程信号反馈电磁阀
Han et al. Investigation on the Modeling and Dynamic Characteristics of a Novel Hydraulic Proportional Valve Driven by a Voice Coil Motor.
CN101900213B (zh) 带有循环的膜片式流量调节阀
CN204573279U (zh) 常闭电磁阀
CN204141008U (zh) 一种流体控制用的电磁阀
CN201621117U (zh) 一种智能型电液流量伺服阀
CN201110285Y (zh) 双相对置超磁致伸缩自传感力反馈二级伺服阀
CN107703241A (zh) 用于油气色谱在线监测检测的六通阀结构及其使用方法
CN101714003A (zh) 质量流量控制器
CN201190659Y (zh) 双螺杆空气压缩机压力控制装置
CN203516755U (zh) 电子式电动精小型单座调节阀
CN201301978Y (zh) 一种汽车用新型二位三通常通气路电磁控制阀

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant