CN101989532A - 机台进行产品处理的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种机台进行产品处理的方法，包括以下步骤：获得所有要经过机台的货物的每两批货程式recipe之间的程式启动时间recipe set up time数据表及在制品范围WIPpool；以所述数据表及WIPpool为基础进行枚举计算，生成recipe set up time最短的派工单，对产品进行处理。采用该方法缩短了过货时间，从而大大提高了生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造领域，特别涉及一种机台进行产品处理的方法。
背景技术
目前，在半导体制造行业中，半导体制造工厂要同时生产种类繁多、数量不同的半导体器件，而且各种类型的半导体器件的加工工艺不同、加工的时间周期不同、加工的数量不同、各类半导体器件客户要求的交货日期和交货数量也各不相同。在这种复杂的条件下，如何提高机台的生产效率，越来越成为半导体企业在激烈竞争中生存及发展的关键所在。
具体地，在半导体生产线中，各设备确定未完成的产品，简称为在制品(WIP)在加工过程中有可能数次访问同一个机台，WIP要经过数次清洗、氧化、沉积、喷涂金属、刻蚀、离子注入及脱膜等工序，直到完成半导体产品。
近年来，半导体制造工业界普遍要求提高生产管理水平，以尽量降低产品生产周期。例如在湿法(wet)制程中，每批货要经过不同的酸槽，例如机台包括1至10个酸槽，共有3批货，第一批货lot A要进入1、3、7、8、9槽，第二批货lot B要进入6、9槽，第三批货lot C要进入1、4、7、9槽，其中槽9为必经的通用干燥槽。由于机台内控制系统设定，必须严格遵守先进先出原则，也就是说如果第一批货lot A先进入机台，则第一批货必须依次经过1、3后，第二批货lot B才可以进入机台进行制程。现有技术派工单中货物处理的顺序随机设置为lot A、lot B和lot C，那么依次处理lot A、lot
B和lot C所需要的时间为总过货时间。需要说明的是，每批货进行处理时，都有其所对应的程式(recipe)。recipe即为每批货要经过的工艺步骤，在湿法制程中就是经过机台酸槽的信息：每批货的recipe的处理时间。例如第一批货lot A进入酸槽1、3、7、8、9所需要的时间。在处理每一批货时，recipe要发生变化，并且每两批货之间的顺序不同，recipe变化引起的时间损失不同，这里recipe变化引起的时间损失，为程式启动时间(recipe set up time)。这样不同的过货顺序，就会产生不同的总过货时间。
如何缩短总过货时间，提高生产效率，越来越成为生产中所关注的问题。
发明内容
有鉴于此，本发明要解决的技术问题是：降低总过货时间。
为解决上述技术问题，本发明的技术方案具体是这样实现的：
本发明公开了一种机台进行产品处理的方法，包括以下步骤：
获得所有要经过机台的货物的每两批货程式recipe之间的程式启动时间recipe set up time数据表及在制品范围WIP pool；
以所述数据表及WIP pool为基础进行枚举计算，生成recipe set up time最短的派工单，对产品进行处理。
所述WIP pool为要经过处理的lots的范围，包括机台前正在处理的货物和未来一段时间内将会到达机台的货物。
所述机台前正在处理的货物信息包括货物的数量、每批货中包含晶片的数量以及每批货所具有的recipe。
所述未来一段时间内将会到达机台的货物信息包括货物的数量、每批货中包含晶片的数量以及每批货所具有的recipe。
所述程式启动时间为每两批货的recipe执行间机台的空置时间。
所述在生成recipe set up time最短的派工单之后，对产品进行处理之前该方法进一步包括：顺序检查该派工单，当发现一批货lot在机台可对其进行操作时尚未到达，使该派工单将引起机台闲置时，则将该lot从该派工单和WIP pool中删除后，生成派工单。
所述WIP pool为要经过处理的lots的范围，包括机台前正在处理的货物信息和未来一段时间内将会到达机台的货物信息；
所述未来一段时间内将会到达机台的货物信息进一步包括货物在未来的时间内何时到达机台；
所述顺序检查该派工单的方法为：根据所述数据表和货物在未来的时间内何时到达机台，由该派工单上所列lots从上至下进行遍历计算。
由上述的技术方案可见，本发明在统计出所要求范围内的所有要经过机台的货物的每两批货程式recipe之间的recipe set up time数据表和在制品范围(WIP pool)信息之后，以上述信息为基础，进行枚举计算，计算得到recipe seting up time最短的派工单，然后机台对产品进行处理。采用该方法使每批货的recipe seting up time最短，从而缩短了过货时间，大大提高了生产效率。
附图说明
图1为本发明优选实施例的生成总过货时间最短的派工单，机台对产品进行处理的流程示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案、及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例，对本发明进一步详细说明。
本发明优选在统计出所要求范围内的所有要经过机台的货物的每两批货程式recipe之间的recipe set up time数据表和WIP pool信息之后，以上述信息为基础，进行枚举计算，计算得到recipe seting up time最短的派工单，然后顺序检查该派工单，将会引起机台闲置的货次从WIP pool中删除，重新生成派工单，直至生成总过货时间最短的派工单，然后机台对产品进行处理。
下面详细说明本发明第一实施例的生成总过货时间最短的派工单，机台对产品进行处理的方法，该方法包括：
步骤101、获得所有要经过机台的货物的每两批货recipe执行间机台的空置等待时间，即recipe变化引起的时间损失，穷尽所有recipe，并建立数据表。
步骤102、由机台内的制造执行系统数据库(MES database)获得机台前将要处理的货物的信息，即为机台当站信息。其中MES database与机台连接，实时更新机台信息。
MES database获得的信息包括机台当站货物的数量、每批货中包含晶片的数量以及每批货所具有的recipe，即该货物要经过的具体酸槽。
步骤103、由MES database获得未来一段时间内将会到达机台当站的货物信息。
MES database获得的信息包括机台前站货物的数量、每批货中包含晶片的数量以及每批货所具有的recipe。
步骤104、以步骤102和步骤103得到的总WIP信息为进行计算的WIP范围(WIP pool)，即为要经过处理的货(lots)的范围。
步骤105、以步骤104得到的WIP范围(WIP pool)信息和步骤101得到的数据表为基础做枚举算法，计算得到recipe seting up time最短的派工单。其中，所做的枚举算法，就是将机台前站和当站的计算在内的所有lots，根据每批lot之间recipe seting up time的不同，得到各种lot排列顺序不同的派工单，其中recipe seting up time最短的派工单，正是本发明所需要得到的。
举例来说，第一批货lot A要进入1、3、7、8、9槽，第二批货lot B要进入6、9槽，第三批货lot C要进入1、4、7、9槽，如果执行完lot A之后紧接着执行lot B的recipe set up time，相对于紧接着执行lot C的recipe set up time要长，因为lot B在lot A进行完1，3槽的制程才会进入第6槽，而lotC在lot A进完槽1之后就能紧接着进槽1，但是在lot A进槽9的时候C已经进完槽7，需要等待执行槽9；lot A，B，C的排列最优方式是lot B，lot C，lot A，lot B在槽6制程的时候lot C进行槽1制程，lot A等待；lot B进行槽9制程的时候lot C进行槽4，lot A进行槽1的制程；以此类推，假设每个槽的制程时间都是T，则lot B、lot C、lot A的排列方式需要6T的总过货时间，而现有技术中按照lot A、lot B、lot C的派货方式需要7T的总过货时间。上述以lot B、lot C、lot A排列的最优方式是通过枚举算法得到，以该实施例中的排列方式，每批货的recipe set up time最短，从而保证了最短的过货时间。至此，可以按照上述排列结果进行产品的处理。
值得注意的是，上述具体实施例的排列结果，并没有区分lot A、lot B、lot C是否处于机台前站还是机台当站，也就是说理想地认为按照lot B、lotC、lot A排列得到的派工单，对货物进行处理时，每批货都能够及时地到达机台当站，即机台不会出现闲置(idle)的情况。
此时虽然得到recipe seting up time最短的派工单，但是处于机台前站的lots，因为其未到达当站，有可能出现若直接按照该派工单处理，lot在轮到被处理的时候尚未到达的状况，其极端状况是排在派工单第一位的lot尚未到站。那么，势必会延长以lot B、lot C、lot A为过货顺序的总过货时间，这就需要进一步地确定，如果按照recipe seting up time最短的派工单对货物进行处理，是否会出现机台闲置。
本发明优选实施例的生成总过货时间最短的派工单，机台对产品进行处理的方法，具体流程示意图如图1所示。
步骤201、获得所有要经过机台的货物的每两批货recipe执行间机台的空置等待时间，即recipe变化引起的时间损失，穷尽所有recipe，并建立数据表。也就是说数据表中不但列出每批货recipe的处理时间，而且列出每两批货的recipe之间的recipe seting up time。
步骤202、由机台内的MES database获得机台前将要处理的货物的信息，即为机台当站信息。
MES database获得的信息包括机台当站货物的数量、每批货中包含晶片的数量以及每批货所具有的recipe。
步骤203、由MES database获得未来一段时间内将会到达机台当站的货物信息。
MES database获得的信息包括机台前站货物的数量、每批货中包含晶片的数量以及每批货所具有的recipe，还包括前站货物在未来的时间内何时到达机台当站。
步骤204、以步骤202和步骤203得到的总WIP信息为进行计算的WIP范围，即为要经过处理的货物的范围。
步骤205、以步骤204得到的WIP pool信息和步骤201得到的数据表为基础做枚举算法，计算得到recipe seting up time最短的派工单。其中，所做的枚举算法，就是将机台前站和当站的计算在内的所有lots，根据每批lot之间recipe seting up time的不同，得到各种lot排列顺序不同的派工单。
步骤206、顺序检查该派工单，即由派工单上所列lots从上至下进行遍历计算，根据步骤201得到的数据表和步骤203获得的lots何时到达机台时间，来判断是否会出现机台idle，如果没有出现机台idle，则直接执行步骤208，生成最后派工单。如果是，也就是说当发现一个lot在机台可对其进行操作时尚未到达，使该派工单将引起机台闲置时，则执行步骤207，将引起idle的lot从该派工单和WIP pool中删除，然后重新执行步骤205、206，直至没有出现机台idle，则执行步骤208，生成最后派工单，然后机台按照该派工单对产品进行处理。该派工单为在WIP pool中的lots以过货时间最短的排列方式。其中，引起idle的lot从该派工单和WIP pool中删除后，进入下一批派工单的计算中，最终从更大的货物范围内，缩短总过货时间。
例如要将7批货生成派工单，其中，5批货到达机台当站等待处理，为lot 1至lot 5，2批货仍然在机台前站等待，分别为lot 6和lot 7，这两批货到达当站所需要的时间分别为T1和T2(T1＞T2)，第一次枚举算法得出的机台轮到处理lot 6和lot 7的时间分别为T3和T4(T3＜T4)，则顺序遍历，先判断lot 6是否会引起机台idle，若T1＞T3，则机台会idle，若T1＜T3，则机台不会idle，此时因为T1＞T2以及T3＜T4，则T2＜T4，lot 7亦不会引起机台idle，遍历完毕，输出派工单。反之若T1＜T3，则表示lot 6将引起机台idle，跳出遍历，将lot 6从该WIP pool中删除，以剩余的6批货为WIP pool，重新执行步骤105、106，直至没有出现机台idle，则执行步骤208，生成最后派工单。与现有技术中机台按照顺序处理lot 1至lot 7的派工单，进行产品处理的方法相比，不但在枚举算法后，就可以缩短过货时间，而且进一步将引起机台idle的货物放置在下一次时处理，从更多货物范围的角度来看，总过货时间进一步大大缩短，使生产效率有效提高。
如果在步骤206中，判断没有出现机台idle，则直接执行步骤208，生成最后派工单。
需要说明的是，派工单是实时生成的，所以即使上述的第6批货，即lot6从派工单中删除掉，仍然有机会参与下一次派工单的生成，如果在下一次派工单的生成过程中，lot 6没有引起机台idle，则lot 6就会出现在下一次生成的派工单中。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换以及改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种机台进行产品处理的方法，包括以下步骤：
获得所有要经过机台的货物的每两批货程式recipe之间的程式启动时间recipe set up time数据表及在制品范围WIP pool；
以所述数据表及WIP pool为基础进行枚举计算，生成recipe set up time最短的派工单，对产品进行处理。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述WIP pool为要经过处理的lots的范围，包括机台前正在处理的货物和未来一段时间内将会到达机台的货物。
3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述机台前正在处理的货物信息包括货物的数量、每批货中包含晶片的数量以及每批货所具有的recipe。
4.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述未来一段时间内将会到达机台的货物信息包括货物的数量、每批货中包含晶片的数量以及每批货所具有的recipe。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述程式启动时间为每两批货的recipe执行间机台的空置时间。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在生成recipe set up time最短的派工单之后，对产品进行处理之前该方法进一步包括：顺序检查该派工单，当发现一批货lot在机台可对其进行操作时尚未到达，使该派工单将引起机台闲置时，则将该lot从该派工单和WIP pool中删除后，生成派工单。
7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述WIP pool为要经过处理的lots的范围，包括机台前正在处理的货物信息和未来一段时间内将会到达机台的货物信息；
所述未来一段时间内将会到达机台的货物信息进一步包括货物在未来的时间内何时到达机台；
所述顺序检查该派工单的方法为：根据所述数据表和货物在未来的时间内何时到达机台，由该派工单上所列lots从上至下进行遍历计算。
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