CN101934900A - 一种特殊化学品的安全输送装置 - Google Patents

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曾庆腾
张敏
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Shanghai Xintong Semiconductor Equipment Co Ltd
Shanghai Yixin Electronic Technology Co Ltd
SHANGHAI ZHENGFAN TECHNOLOGY Co Ltd
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Abstract

本发明提供了一种特殊化学品的安全输送装置，包括外壳及其上盖，外壳分为上下两部分，外壳的上下两部分之间以及外壳与上盖之间皆设有密封装置，其特征在于，外壳的内侧设有缓冲装置，缓冲装置内侧设有石英内胆，石英内胆的上部分设于外壳的上部分内，外壳的上部分侧面设有把手，石英内胆的顶端设有第一气体阀和第一液体阀，第一气体阀和第一液体阀分别通过气体管路和液体管路连接第二气体阀和第二液体阀，第二气体阀和第二液体阀设于不锈钢板上，不锈钢板固定于外壳的上部分内侧。本发明的优点是安全可靠。

Description

一种特殊化学品的安全输送装置
技术领域
本发明涉及一种特殊化学品的安全输送装置，用于安全输送半导体制造等工艺中所需的特殊化学品。
背景技术
一些在半导体、太阳能、集成电路等特定领域中应用的特殊化学品，常常具有强腐蚀性、强氧化性、剧毒、遇水剧烈反应等特性，一旦泄露不仅严重威胁操作人员的身体健康，而且严重污染环境，为企业、个人，社会造成不必要的损失和伤害。因此储存、运输、操作过程中都需十分谨慎。针对适合盛放此类化学品的装置材料，金属材料中只有哈氏合金可以满足防腐蚀、防污染的要求，但价格非常昂贵，不便于推广使用。
目前用户使用此类特殊化学品均采用400ml或1500ml高纯石英瓶容器包装。由于石英瓶易碎，长途运输过程中化学品泄漏风险较高，操作过程中频繁换瓶也使操作风险和人工维护成本居高不下。
发明内容
本发明的目的是克服已有技术存在的缺陷，杜绝由于石英易碎带来的安全隐患，使操作和运输过程中的纯度、泄漏风险降至最低，为特殊化学品提供一种运输方便、安全可靠的输送装置。
为了达到上述目的，本发明的技术方案是提供一种特殊化学品的安全输送装置，包括外壳及其上盖，外壳分为上下两部分，外壳的上下两部分之间以及外壳与上盖之间皆设有密封装置，其特征在于，外壳的内侧设有缓冲装置，缓冲装置内侧设有石英内胆，石英内胆的上部分设于外壳的上部分内，外壳的上部分侧面设有把手，石英内胆的顶端设有第一气体阀和第一液体阀，第一气体阀和第一液体阀分别通过气体管路和液体管路连接第二气体阀和第二液体阀，第二气体阀和第二液体阀设于不锈钢板上，不锈钢板固定于外壳的上部分内侧。
进一步地，所述上盖设有视镜，视镜内设有指示剂。
本发明的优点是：
1、配套设计安全可靠，彻底消除安全隐患；
2、连接方式简单便携，应用范围广；
3、提高化学品利用率，降低换瓶操作次数，大大降低运行和维护成本；
4、保证运输方便安全，降低物流成本；
5、有效降低环境污染。
附图说明
图1为特殊化学品的安全输送装置结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例来具体说明本发明。
实施例
如图1所示，为特殊化学品的安全输送装置结构示意图。所述的特殊化学品的安全输送装置包括外壳1及其上盖12，外壳1分为上下两部分，外壳1的上下两部分之间以及外壳1与上盖12之间皆设有密封装置11，外壳1内侧设有缓冲装置2，缓冲装置2内侧设有石英内胆3，石英内胆3的上部分设于外壳1的上部分内，外壳1的上部分侧面设有把手4，石英内胆3的顶端设有第一气体阀5和第一液体阀6，第一气体阀5和第一液体阀6分别通过气体管路和液体管路连接第二气体阀7和第二液体阀8，第二气体阀7和第二液体阀8设于不锈钢板9上，不锈钢板9固定于外壳1的上部分内侧。所述上盖12设有视镜10，视镜10内设有指示剂。
所述石英内胆3用于盛装三氯氧磷、四氯化硅等特殊化学品，其材料为高纯石英，容积约为19L，顶部分别设置气体管路和液体管路。第一气体阀5、第一液体阀6、第二气体阀7和第二液体阀8皆为PTFE阀门，第一气体阀5和第一液体阀6通常处于开启状态，必要时关闭可阻断化学品向下游输出，起到密封装置的作用。第二气体阀7和第二液体阀8是进行开关动作的操作阀，不直接在石英进出管处进行开关操作，完全避免因开关阀门导致石英管断裂而造成的危险，有效地保证了装置系统安全。操作时打开4只阀，由气体管路向石英内胆3内输送氮气，气体的进入将石英内胆3中的化学品压出，流向下游，从而实现化学品的输送。石英内胆3外部包裹EPE珍珠棉等材料的缓冲装置2，并由坚固的不锈钢制成的外壳1固定，在装置整体受到碰撞、冲击时缓冲装置2保证石英内胆3不受破坏，整体安全性能大大提高。视镜10的安装使操作人员在需要时方便的观察瓶内的化学品状态，同时视镜10内放置的甲基橙等指示剂可在泄漏出现时变色，从而提醒巡检人员泄漏的出现，及时启动相应应急反应，起到泄漏侦测的作用。密封装置11主要包括密封垫片和卡箍，垫片放置在外壳部件的连接处，由卡箍从外侧固定，从而保证输送装置整体的固定和安全，并在装置发生倾斜、颠倒时保证化学品不直接喷射、溅撒，缓解化学品的外泄速度，以便操作人员及时采取相应措施。把手4的设置是为了在需要时方便转移输送装置。
整套输送装置，不仅充分满足了化学品的纯度要求，同时大容积大大减少了原有的换瓶次数，增加了化学品的利用率，降低换瓶中的泄露风险，降低系统运行和维护成本，保证了化学品在输送过程中的安全性，改善了可操作性，大大降低了物流风险。

Claims (2)

1.一种特殊化学品的安全输送装置，包括外壳(1)及其上盖(12)，外壳(1)分为上下两部分，外壳(1)的上下两部分之间以及外壳(1)与上盖(12)之间皆设有密封装置(11)，其特征在于，外壳(1)内侧设有缓冲装置(2)，缓冲装置(2)内侧设有石英内胆(3)，石英内胆(3)的上部分设于外壳(1)的上部分内，外壳(1)上部分侧面设有把手(4)，石英内胆(3)的顶端设有第一气体阀(5)和第一液体阀(6)，第一气体阀(5)和第一液体阀(6)分别通过气体管路和液体管路连接第二气体阀(7)和第二液体阀(8)，第二气体阀(7)和第二液体阀(8)设于不锈钢板(9)上，不锈钢板(9)固定于外壳(1)的上部分内侧。
2.如权利要求1所述的特殊化学品的安全输送装置，其特征在于，所述上盖(12)设有视镜(10)，视镜(10)内设有指示剂。
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