CN101839860A - 激光拉曼光谱仪多波激发装置 - Google Patents

激光拉曼光谱仪多波激发装置 Download PDF

Info

Publication number
CN101839860A
CN101839860A CN 201010215160 CN201010215160A CN101839860A CN 101839860 A CN101839860 A CN 101839860A CN 201010215160 CN201010215160 CN 201010215160 CN 201010215160 A CN201010215160 A CN 201010215160A CN 101839860 A CN101839860 A CN 101839860A
Authority
CN
China
Prior art keywords
cutoff filter
cut
low
laser
pass
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN 201010215160
Other languages
English (en)
Inventor
黄笃之
李光辉
周达林
曹飞
赵军
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Henan University of Science and Technology
Hunan University of Science and Technology
Original Assignee
Hunan University of Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hunan University of Science and Technology filed Critical Hunan University of Science and Technology
Priority to CN 201010215160 priority Critical patent/CN101839860A/zh
Publication of CN101839860A publication Critical patent/CN101839860A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

一种激光拉曼光谱仪多波激发装置，它包括在激光激发样品的测试激发光路同一光轴中设置数组截止点大于激光波长或截止点小于激光波长的截止滤光片，截止滤光片与对应波长激光器适配成相对位置固定的“高通低反”与“高通低反”结合的或“低通高反”与“低通高反”结合的单一型滤光阵列组合和“高通低反”与“低通高反”结合的或“低通高反”与“高通低反”结合的混合型滤光阵列组合，并经不同波长激光器的开和关，实现数种不同波长激光束激发样品的技术方案；它克服了传统测试方法必需频繁更换相应的激光器和由此带来的反复调校工作等缺陷；它适合用于不同波长的激光激发样品的激光传输光路系统。

Description

激光拉曼光谱仪多波激发装置
技术领域
本发明涉及一种激光拉曼光谱仪多波激发装置。
背景技术
[0002]拉曼散射现象自1928年由印度物理学家拉曼发现以来，由于拉曼光谱具有信息丰富、拉曼位移与入射光频率无关、分析效率高和样品用量少等显著的特点越来越受到广泛的关注。近年来，拉曼光谱仪可以精确的检测出物质的组成、含量等，已经成为化学分析、表面化学、矿物学、半导体材料、考古学等众多领域重要的研究手段。为了增强激光对样品的激发效率、提高拉曼散射的强度、避免荧光，仪器中的外光路系统根据各种样品情况，需要不同波长的激光器激发样品。传统的方法是通过更换相应的激光器，达到“多波激发”的效果，这样做的缺点是光路调节困难，需要花费大量的时间进行机械的校准、光路的准直、激光器的调校等等，从而延误测量时间、增大测量成本、给测量带来不便，仪器整体的稳定性也大受影响。
发明内容
针对上述情况，本发明的目的是提供一种结构简单，载体性好，功能增加，成本降低，调节效率和测量精度提高，使用寿命延长，不需投入新的设备，便于普及推广的多种波长激光激发样品的外光路激光拉曼光谱仪多波激发装置。
为了实现上述目的，一种激光拉曼光谱仪多波激发装置，它包括在样品测试激发光路的同一光轴中设置数组截止点大于激光波长或截止点小于激光波长的截止滤光片，截止滤光片与对应波长激光器适配成相对位置固定的“高通低反”与“高通低反”结合的或“低通高反”与“低通高反”结合的单一型滤光阵列组合和“低通高反”与“高通低反”结合的或“高通低反”与“低通高反”结合的混合型滤光阵列组合，并经不同波长激光器的开和关，实现数种不同波长的激光激发样品。
为了实现结构优化，其进一步的措施还有。
“高通低反”与“高通低反”结合的单一型滤光阵列组合是：截止点大于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-L1与对应波长激光器2-A适配成反射光路和截止点大于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-F1与对应波长激光器2-B适配成反射光路；截止点小于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-L1与对应波长激光器2-B经截止滤光片1-F1反射适配成透射光路；截止点小于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-F1和1-L1与对应波长激光器2-C适配成透射光路。
“低通高反”与“低通高反”结合的单一型滤光阵列组合是：截止点小于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-L2与对应波长激光器2-C适配成反射光路和截止点小于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-F2与对应波长激光器2-B适配成反射光路；截止点大于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-L2与对应波长激光器2-B经截止滤光片1-F2反射适配成透射光路；截止点大于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-F2和1-L2与对应波长激光器2-A适配成透射光路。
“低通高反”与“高通低反”结合的混合型滤光阵列组合是：截止点小于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-L3与对应波长激光器2-C适配成反射光路和截止点大于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-F3与对应波长激光器2-A适配成反射光路；截止点小于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-L3与对应波长激光器2-A经截止滤光片1-F3反射适配成透射光路；截止点小于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-F3和截止点大于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-L3与对应波长激光器2-B适配成透射光路。
“高通低反”与“低通高反”结合的混合型滤光阵列组合是：截止点大于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-L4与对应波长激光器2-A适配成反射光路和截止点小于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-F4与对应波长激光器2-C适配成反射光路；截止点小于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-L4与对应波长激光器2-C经“低通高反”截止滤光片1-F4反射适配成透射光路；截止点大于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-F4和截止点小于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-L4与对应波长激光器2-B适配成透射光路。
本发明采用包括在样品测试激发光路的同一光轴中设置数组截止点大于激光波长或截止点小于激光波长的截止滤光片，截止滤光片与对应波长激光器适配成相对位置固定的“高通低反”与“高通低反”结合的或“低通高反”与“低通高反”结合的单一型滤光阵列组合和“低通高反”与“高通低反”结合的或“高通低反”与“低通高反”结合的混合型滤光阵列组合，并经不同波长激光器的开和关，实现数种不同波长的激光激发样品的技术方案，它克服了传统测试方法必需频繁更换相应的激光器和减少了由此带来的反复频繁的机械校准、光路准直和激光器调校工作量，从而增大了劳动强度，损耗了仪器零部件，调节效率较低，测量质量受到严重影响等缺陷。
本发明相比现有技术所产生的有益效果：
（1）应用于传统激光拉曼激发样品装置，它只要通过开关不同的激光电源开关，就可得到所需要的多种激发波长的激光，扩大了普通激光拉曼光谱仪的使用功能，且无需增加新的设备投入，商业前景好；（2）对于多波激发装置的截止滤光片三维调节架，只要预先调节好各激发波长对应的截止滤光片三维调节架反射激光方向，照射到激发样品的同一区域激发，装置各截止滤光片三维调节架对其它激发激光方向没有影响，以后就只要通过开关不同的激光器电源开关即可，调校操作简单易行，节省了因反复频繁的机械校准、光路准直和激光器调校的工作量，调校操作强度大大降低；（3）结构简单、紧凑，制造容易，成本低，使用快捷，方便携带，免去了每次测量时激光激发光路非常麻烦而困难的调节，延长了仪器使用寿命，提高了测量精度，节约了大量的测量调节时间，工作效率高，适宜普及推广。
本发明适合用于不同波长的激光激发样品的激光传输光路系统。
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。
附图说明
图1为本发明的实现数种不同波长的激光激发样品的激光传输光路系统图。
图2为本发明截止点大于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-L1与对应波长激光器2-A适配成反射光路和截止点大于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-F1与对应波长激光器2-B适配成反射光路；截止点小于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-L1与对应波长激光器2-B经截止滤光片1-F1反射适配成透射光路；截止点小于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-F1和1-L1与对应波长激光器2-C适配成透射光路的激光激发样品的激光传输光路原理图。
图3为本发明截止点小于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-L2与对应波长激光器2-C适配成反射光路和截止点小于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-F2与对应波长激光器2-B适配成反射光路；截止点大于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-L2与对应波长激光器2-B经截止滤光片1-F2反射适配成透射光路；截止点大于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-F2和1-L2与对应波长激光器2-A适配成透射光路的激光激发样品的激光传输光路原理图。
图4为本发明截止点小于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-L3与对应波长激光器2-C适配成反射光路和截止点大于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-F3与对应波长激光器2-A适配成反射光路；截止点小于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-L3与对应波长激光器2-A经截止滤光片1-F3反射适配成透射光路；截止点小于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-F3和截止点大于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-L3与对应波长激光器2-B适配成透射光路的激光激发样品的激光传输光路原理图。
图5为本发明截止点大于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-L4与对应波长激光器2-A适配成反射光路和截止点小于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-F4与对应波长激光器2-C适配成反射光路；截止点小于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-L4与对应波长激光器2-C经“低通高反”截止滤光片1-F4反射适配成透射光路；截止点大于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-F4和截止点小于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-L4与对应波长激光器2-B适配成透射光路的激光激发样品的激光传输光路原理图。
图中：1、截止滤光片，2、激光器，3、支撑杆，4、支撑架，5、钢珠，6、螺钉，7、弹簧，8、弹簧固定杆，9、零件安装板，10、固定压环，11、三维调节架，12、光具座，截止滤光片1-L1，截止滤光片1-F1，截止滤光片1-L2，截止滤光片1-F2，截止滤光片1-L3，截止滤光片1-F3，截止滤光片1-L4，截止滤光片1-F4，激光器2-A，激光器2-B，激光器2-C，M1-反射镜，M2-凹面反射镜，M3-凹面反射镜，L1-聚焦透镜，L2-散射成像透镜，L3-散射成像透镜，P1-二分之一波长片，P2-滤光片，S-样品。
具体实施方式
由附图所示，它包括使用在激光拉曼光谱仪多波激发装置中的激发光路三维调节架11，并在样品测试激发光路的同一光轴中设置数组截止点大于激光波长或截止点小于激光波长的截止滤光片1，截止滤光片1与对应波长激光器2适配成相对位置固定的“高通低反”与“高通低反”结合的或“低通高反”与“低通高反”结合的单一型滤光阵列组合和“低通高反”与“高通低反”结合的或“高通低反”与“低通高反”结合的混合型滤光阵列组合，并经不同波长激光器2的开和关，实现数种不同波长的激光激发样品及其激光激发样品的测试。滤光阵列组合的截止滤光片1可为两组以上和四种以上不同波长激光激发。
结合附图1，激光拉曼光谱仪多波激发装置由数个装有不同截止点的截止滤光片1的三维调节架11与数个不同波长激光器2组成同一光轴激光激发样品的测试激发光路；三维调节架11包括支撑杆3，支撑杆3一端插入光具座12中，支撑杆3的另一端旋入支撑架4，支撑架4通过钢珠5和螺钉6，以及对应螺钉6安装的弹簧7，弹簧固定杆8与零件安装板9连接固定，截止滤光片1安装在零件安装板9中，由固定压环10旋紧固定在零件安装板9上；两颗螺钉6的顶头与钢珠5处于零件安装板9同一平面，通过调节两颗螺钉6的进出，由此可调节截止滤光片1反射面方位，使反射激光照射在激发样品的同一区域激发样品并实施样品测试。
结合附图2，在激光激发样品的测试激发光路同一光轴中设置二组截止滤光片1-L1、1-F1，截止滤光片1-L1和1-F1为“高通低反”与“高通低反”结合的单一型滤光阵列组合，截止滤光片1-L1和1-F1均为“高通低反”截止滤光片组，它们与对应波长激光器2-A、激光器2-B、激光器2-C适配成相对位置固定的滤光阵列组合的不同波长的激光激发样品的激光拉曼光谱仪多波激发装置。使用时，打开波长为473nm的蓝色激光器2-A，激光照射到截止滤光片1-L1上，由于截止滤光片1-L1的截止点为514nm，因此截止滤光片1-L1对波长小于截止点的激光起反射作用，此时截止滤光片1-L1相当于一面反射镜，出射光路得到蓝色激光；打开波长为532nm的绿色激光器2-B，激光照射到截止滤光片1-F1上，由于截止滤光片1-F1的截止点为589.3nm，因此截止滤光片1-F1对波长小于截止点的激光起反射作用，激光被反射到截止滤光片1-L1上，又因532nm大于514nm，所以激光可以直接透射过截止滤光片1-L1，出射到下一级光路系统，出射光路得到绿色激光；打开波长为632.8nm的红色激光器2-C，截止滤光片1-L1和1-F1对632.8nm的激光均起透射作用，出射光路得到红色激光。
图中M1为反射镜，反射镜M1将激光反射到样品池的样品S上；P1为二分之一波长片，P1可改变激光偏振方向；L1为聚焦透镜，L1将激光聚焦在样品池的样品上；M2和M3为凹面反射镜，反射加强散射光；L2和L3为散射成像透镜组，L2和L3将散射光聚焦在单色仪（光谱仪）狭缝上，以便于光谱分析，P2为滤光片，滤去瑞利散射光；激光拉曼光谱仪多波激发装置的截止滤光片1其截止点取在两相邻波长激光器2的波长之间；截止滤光片1截止点的典型应用有514nm、589.3nm、656nm。
结合附图3，在激光激发样品的测试激发光路同一光轴中设置二组截止滤光片1-L2、1-F2，1-L2截止滤光片和1-F2为“低通高反”与“低通高反”结合的单一型滤光阵列组合，截止滤光片1-L2和1-F2均为“低通高反”截止滤光片组，它们与对应波长激光器2-C、激光器2-B、激光器2-A适配成相对位置固定的滤光阵列组合的不同波长的激光激发样品的激光拉曼光谱仪多波激发装置。使用时，打开波长为632.8nm的红色激光器2-C，激光照射到截止滤光片1-L2上，由于截止滤光片1-L2的截止点为589.3nm，因此截止滤光片1-L2对波长大于截止点的激光起反射作用，此时截止滤光片1-L2相当于一面反射镜，出射光路得到红色激光；打开波长为532nm的绿色激光器2-B，激光照射到截止滤光片1-F2上，由于截止滤光片1-F2的截止点为514nm，因此截止滤光片1-F2对波长大于截止点的激光起反射作用，激光被反射到截止滤光片1-L2上，又因532nm小于589.3nm,所以激光可以直接透射过截止滤光片1-L2，出射到下一级光路系统，出射光路得到绿色激光；打开波长为473nm的蓝色激光器2-A，截止滤光片1-L2和1-F2对473nm的激光均起透射作用，出射光路得到蓝色激光。
结合附图4，在激光激发样品的测试激发光路同一光轴中设置二组截止滤光片1-L3、1-F3，截止滤光片1-L3和1-F3为“低通高反”与“高通低反”结合的混合型滤光阵列组合，截止滤光片1-L3为“低通高反”截止滤光片，截止滤光片1-F3为“高通低反”截止滤光片，截止滤光片1-L3与截止滤光片1-F3组成截止滤光片组，它们与对应波长激光器2-C、激光器2-A、激光器2-B适配成相对位置固定的滤光阵列组合的不同波长的激光激发样品的激光拉曼光谱仪多波激发装置。使用时，打开波长为632.8nm的红色激光器2-C，激光照射到1-L3上，由于截止滤光片1-L3的截止点为589.3nm，因此截止滤光片1-L3对波长大于截止点的激光起反射作用，此时截止滤光片1-L3相当于一面反射镜，出射光路得到红色激光；打开波长为473nm的蓝色激光器2-A，激光照射到截止滤光片1-F3上，由于截止滤光片1-F3的截止点为514nm，因此截止滤光片1-F3对波长小于截止点的激光起反射作用，激光被反射到截止滤光片1-L3上，又因473nm小于589.3nm，所以473激光可以直接透射过截止滤光片1-L3，出射到下一级光路系统，出射光路得到蓝色激光；打开波长为532nm的绿色激光器B，截止滤光片1-L3和1-F3对532nm的激光均起透射作用，出射光路得到绿色激光。
结合附图5，在激光激发样品的测试激发光路同一光轴中设置二组截止滤光片1-L4、1-F4，截止滤光片1-L4和1-F4为“高通低反”与“低通高反”结合的混合型滤光阵列组合，截止滤光片1-L4为“高通低反”截止滤光片，截止滤光片1-F4为“低通高反”截止滤光片。截止滤光片1-L4与截止滤光片1-F4组成截止滤光片组，它们与对应波长激光器2-A、激光器2-C、激光器2-B适配成相对位置固定的滤光阵列组合的不同波长的激光激发样品的激光拉曼光谱仪多波激发装置。使用时，打开波长为473nm的蓝色激光器2-A，激光照射到截止滤光片1-L4上，由于截止滤光片1-L4的截止点为514nm，因此截止滤光片1-L4对波长小于截止点的激光起反射作用，此时截止滤光片1-L4相当于一面反射镜，出射光路得到蓝色激光；打开波长为632.8nm的红色激光器2-C，激光照射到截止滤光片1-F4上，由于截止滤光片1-F4的截止点为589.3nm，因此截止滤光片1-F4对波长大于截止点的激光起反射作用，激光被反射到截止滤光片1-L4上，又因632.8nm大于514nm，所以632.8nm激光可以直接透射过截止滤光片1-L4，出射到下一级光路系统，出射光路得到红色激光；打开波长为532nm的绿色激光器B，截止滤光片1-L4和1-F4对532nm的激光均起透射作用，出射光路得到绿色激光。

Claims (5)

1.一种激光拉曼光谱仪多波激发装置，其特征在于它包括在样品测试激发光路的同一光轴中设置数组截止点大于激光波长或截止点小于激光波长的截止滤光片（1），截止滤光片（1）与对应波长激光器（2）适配成相对位置固定的“高通低反”与“高通低反”结合的或“低通高反”与“低通高反”结合的单一型滤光阵列组合和“低通高反”与“高通低反”结合的或“高通低反”与“低通高反”结合的混合型滤光阵列组合，并经不同波长激光器（2）的开和关，实现数种不同波长的激光激发样品。
2.根据权利要求1所述的激光拉曼光谱仪多波激发装置，其特征在于“高通低反”与“高通低反”结合的单一型滤光阵列组合是：截止点大于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-L1与对应波长激光器2-A适配成反射光路和截止点大于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-F1与对应波长激光器2-B适配成反射光路；截止点小于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-L1与对应波长激光器2-B经截止滤光片1-F1反射适配成透射光路；截止点小于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-F1和1-L1与对应波长激光器2-C适配成透射光路。
3.根据权利要求1所述的激光拉曼光谱仪多波激发装置，其特征在于“低通高反”与“低通高反”结合的单一型滤光阵列组合是：截止点小于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-L2与对应波长激光器2-C适配成反射光路和截止点小于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-F2与对应波长激光器2-B适配成反射光路；截止点大于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-L2与对应波长激光器2-B经截止滤光片1-F2反射适配成透射光路；截止点大于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-F2和1-L2与对应波长激光器2-A适配成透射光路。
4.根据权利要求1所述的激光拉曼光谱仪多波激发装置，其特征在于“低通高反”与“高通低反”结合的混合型滤光阵列组合是：截止点小于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-L3与对应波长激光器2-C适配成反射光路和截止点大于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-F3与对应波长激光器2-A适配成反射光路；截止点小于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-L3与对应波长激光器2-A经截止滤光片1-F3反射适配成透射光路；截止点小于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-F3和截止点大于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-L3与对应波长激光器2-B适配成透射光路。
5.根据权利要求1所述的激光拉曼光谱仪多波激发装置，其特征在于“高通低反”与“低通高反”结合的混合型滤光阵列组合是：截止点大于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-L4与对应波长激光器2-A适配成反射光路和截止点小于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-F4与对应波长激光器2-C适配成反射光路；截止点小于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-L4与对应波长激光器2-C经“低通高反”截止滤光片1-F4反射适配成透射光路；截止点大于激光波长的“低通高反”截止滤光片1-F4和截止点小于激光波长的“高通低反”截止滤光片1-L4与对应波长激光器2-B适配成透射光路。
CN 201010215160 2010-07-01 2010-07-01 激光拉曼光谱仪多波激发装置 Pending CN101839860A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201010215160 CN101839860A (zh) 2010-07-01 2010-07-01 激光拉曼光谱仪多波激发装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201010215160 CN101839860A (zh) 2010-07-01 2010-07-01 激光拉曼光谱仪多波激发装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101839860A true CN101839860A (zh) 2010-09-22

Family

ID=42743366

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201010215160 Pending CN101839860A (zh) 2010-07-01 2010-07-01 激光拉曼光谱仪多波激发装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101839860A (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102410998A (zh) * 2011-12-16 2012-04-11 湖南科技大学 激光光散射-拉曼光谱联用装置
CN104833450A (zh) * 2015-05-31 2015-08-12 厦门大学 一种原位测试led应力的拉曼测试系统及其测试方法
CN105758770A (zh) * 2015-11-03 2016-07-13 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种集成式物质成分及粒度分析系统及其分析方法
US11874229B2 (en) 2022-04-07 2024-01-16 Onto Innovation Inc. Apparatus and method for multiple source excitation Raman spectroscopy

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1316641A (zh) * 2001-04-20 2001-10-10 上海爱普特仪器有限公司 同轴多激光光源
CN2551994Y (zh) * 2002-06-19 2003-05-21 中国科学院上海光学精密机械研究所 生物基因芯片的扫描装置
CN1668913A (zh) * 2002-05-14 2005-09-14 阿默森生物科学英国有限公司 评价生物膜的方法
US7133130B2 (en) * 2002-06-11 2006-11-07 Leica Microsystems Cms Gmbh Method for scanning microscopy, scanning microscope, and apparatus for coding an illuminating light beam
US7262918B1 (en) * 2006-09-06 2007-08-28 Wafermasters Incorporated Light beam conditioner
EP1830174A2 (en) * 2005-02-03 2007-09-05 Samsung Electronics Co., Ltd Multi-channel fluorescence measuring optical system and multi-channel fluorescence sample analyzer
CN201780271U (zh) * 2010-07-01 2011-03-30 湖南科技大学 激光拉曼光谱仪多波激发装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1316641A (zh) * 2001-04-20 2001-10-10 上海爱普特仪器有限公司 同轴多激光光源
CN1668913A (zh) * 2002-05-14 2005-09-14 阿默森生物科学英国有限公司 评价生物膜的方法
US7133130B2 (en) * 2002-06-11 2006-11-07 Leica Microsystems Cms Gmbh Method for scanning microscopy, scanning microscope, and apparatus for coding an illuminating light beam
CN2551994Y (zh) * 2002-06-19 2003-05-21 中国科学院上海光学精密机械研究所 生物基因芯片的扫描装置
EP1830174A2 (en) * 2005-02-03 2007-09-05 Samsung Electronics Co., Ltd Multi-channel fluorescence measuring optical system and multi-channel fluorescence sample analyzer
US7262918B1 (en) * 2006-09-06 2007-08-28 Wafermasters Incorporated Light beam conditioner
CN201780271U (zh) * 2010-07-01 2011-03-30 湖南科技大学 激光拉曼光谱仪多波激发装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102410998A (zh) * 2011-12-16 2012-04-11 湖南科技大学 激光光散射-拉曼光谱联用装置
CN104833450A (zh) * 2015-05-31 2015-08-12 厦门大学 一种原位测试led应力的拉曼测试系统及其测试方法
CN105758770A (zh) * 2015-11-03 2016-07-13 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种集成式物质成分及粒度分析系统及其分析方法
US11874229B2 (en) 2022-04-07 2024-01-16 Onto Innovation Inc. Apparatus and method for multiple source excitation Raman spectroscopy

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7453265B2 (ja) コンパクトなビーム成形およびステアリングアセンブリ
US7036979B2 (en) Photothermal transducing spectroscopic analyzer
US20190271652A1 (en) Scanning type laser induced spectrum analysis and detection system
CN111256821A (zh) 双波长拉曼-荧光联合光谱仪
CN108563034B (zh) 反射型空间滤波器调试装置和方法
CN102246015A (zh) 具有可变波长选择器以及可调干扰滤波器的单色光镜
CN101839860A (zh) 激光拉曼光谱仪多波激发装置
CN103196879A (zh) 一种激光诱导荧光光谱检测装置
CN101718621B (zh) 声光可调谐滤波器参数定标系统
JP2009156861A (ja) 照明光学装置
CN201780271U (zh) 激光拉曼光谱仪多波激发装置
CN203164121U (zh) 一种激光诱导荧光光谱检测装置
CN112539697A (zh) 一种发光装置及其光斑调整方法、检测设备
CN103344574A (zh) 有机薄膜光增益性能测试装置
CN215493172U (zh) 基于单光子计数法的显微圆偏振荧光光谱探测系统
CN110966928B (zh) 激光加工形态性能时间分辨差动共焦光谱测量方法及装置
KR100933101B1 (ko) 분석 장치
CN109387903A (zh) 光路耦合系统及光学测量系统
CN209927721U (zh) 一种基于外腔谐振的拉曼增强结构
CN102507443A (zh) 用于近红外光谱分析中宽波段多led光源合成装置
CN201014977Y (zh) 临床检验分析仪器的光路装置
JP4446396B2 (ja) 顕微フォトルミネッセンス測定装置及び測定方法
CN217605122U (zh) 一种基于荧光高光谱成像系统的匀化光路结构
CN110966929A (zh) 一种激光加工形态性能时间分辨共焦光谱测量方法及装置
JP4331126B2 (ja) 熱レンズ分光分析装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C12 Rejection of a patent application after its publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20100922