CN101768445B - 一种环保型氧化物薄膜蚀刻膏 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种环保型氧化物薄膜蚀刻膏，由30-60％的甲酸、10-30％的草酸、1-20％的增稠剂、0.2-3％的消泡剂及1-18％的水混合而成；本发明的蚀刻膏为水性组份，不含强酸，形成导电走线后直接用水冲洗即可，因此对设备和操作人员无不良影响，环保而且使用方便。
Description
技术领域
本发明涉及用于液晶屏、触摸屏、太阳能电池等导电走线的氧化物薄膜蚀刻膏。
背景技术
传统走线的形成一般采用光刻胶，其工序较多，容易产生有害废液，近年来开始采用蚀刻膏来对氧化物薄膜蚀刻，尤其是用于液晶屏、触摸屏、太阳能电池等导电走线的形成。
市面上的蚀刻膏通常是由电路板用蚀刻液调整而来，其组份中的强酸对设备有强烈腐蚀性，会对操作人员造成不良的影响，不环保而且使用不方便。
发明内容
本发明的目的是提供一种环保、使用方便的氧化物薄膜蚀刻膏。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种环保型氧化物薄膜蚀刻膏，由甲酸、草酸、增稠剂、消泡剂及水混合而成。
其中，各组份的重量百分比如下：甲酸30-60％，草酸10-30％，增稠剂1-20％，消泡剂0.2-3％，水1-18％。
本发明的蚀刻膏为水性组份，不含强酸，形成导电走线后直接用水冲洗即可，因此对设备和操作人员无不良影响，环保而且使用方便。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步详细说明。
实施例一
一种环保型氧化物薄膜蚀刻膏，由甲酸、草酸、增稠剂、消泡剂及水混合而成，各组份的重量百分比为：甲酸30％、草酸30％、增稠剂20％、消泡剂3％、水17％。
实施例二
一种环保型氧化物薄膜蚀刻膏，由甲酸、草酸、增稠剂、消泡剂及水混合而成，各组份的重量百分比为：甲酸60％、草酸10％、增稠剂10％、消泡剂2％、水18％。
本发明的蚀刻膏为水性组份，不含强酸，形成导电走线后直接用水冲洗即可，因此对设备和操作人员无不良影响，环保而且使用方便。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，以及部分运用的实施例，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。
Claims (1)
1.一种环保型氧化物薄膜蚀刻膏，其特征在于：由甲酸、草酸、增稠剂、消泡剂及水混合而成，其各组份的重量百分比如下：
甲酸 30-60%；
草酸 10-30%；
增稠剂 1-20%；
消泡剂 0.2-3%；
水 1-18%。
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