CN101709986B - 质量流量传感器 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种热式质量流量传感器，其包括传感器底座(1)，安装于所述传感器底座(1)上的第一外罩(2)和第二外罩(3)，所述第一外罩(2)与所述第二外罩(3)相互贴合，且所述第一外罩(2)与所述第二外罩(3)之间设有凹槽；所述凹槽内设有扁平电缆(8)，还包括：设置于所述传感器底座(1)的底部的焊块(7)，设置于所述焊块(7)的孔内的传感管(6)以及缠绕于所述传感管(6)上的所述传感丝(9)；所述焊块(7)的孔与所述凹槽导通。本发明的所述质量流量传感器具有体积小、重量轻、易安装等优点；并且具有零漂小，抗干扰能力强，响应快，对安装的方位不敏感，重复精度高和传感丝不易断等特点。
Description
技术领域
本发明涉及气体质量流量控制器领域，特别是涉及一种气体质量流量控制器上的质量流量传感器。
背景技术
质量流量传感器应用于气体质量流量控制器上，作为测量气体质量流量的关键部件，它的性能对气体质量流量控制器的整体性能有很的影响。普通的热式质量流量传感器体积较大，制作工艺复杂，而且传感管与传感器底座之间的连接方式都是采用胶粘的形式，其缺点是：胶粘的可靠性不能保证，胶冷热交变下容易老化脱漏，胶的耐腐蚀性差等。还有，在实际使用过程中出现诸多的问题如：零漂大，抗干扰能力差，对安装的方位很敏感，重复精度差，响应时间长和传感丝易断等缺点。气体质量流量控制器性能改进，要求优先改进其传感器的性能，基于现状需要提出一种新型热式质量流量传感器。该新型。
发明内容
本发明的目的是提供一种能够克服普通的热式质量流量传感器所存在的缺点，并且具有制作工艺简单和低成本等优点的新型热式质量流量传感器。
为达到上述目的，提供一种依照本发明实施方式的热式质量流量传感器，其包括传感器底座，安装于所述传感器底座上的第一外罩和第二外罩，所述第一外罩和第二外罩相互贴合且所述第一外罩与所述第二外罩之间设有凹槽；所述凹槽内设有扁平电缆，设置于所述传感器底座的底部的焊块，设置于所述焊块的孔内的传感管以及缠绕于所述传感管上的所述传感丝，所述焊块的孔与所述凹槽导通。
优选地，所述传感丝为两组，对称缠绕于所述传感管的中间位置。
优选地所述扁平电缆具有四个端头，所述两组传感丝的四个线头和所述扁平电缆的四个端头一一对应焊接。
优选地，所述凹槽内设有铜支架，所述扁平电缆用胶粘固定于所述铜支架上。
优选地，所述第一外罩与第二外罩的贴合面分别具有位置和形状相适配的半圆槽，以使第一外罩和第二外罩贴合时形成容置所述扁平电缆的凹槽。
优选地，所述半圆槽内安装有保温层。
优选地，所述保温层和所述传感管焊接。
优选地，所述第二外罩的半圆槽内的保温层通过紧固螺钉与所述第二外罩以及传感器底座固定。
上述用于质量流量控制器上的质量流量传感器具有体积小、重量轻、易安装等优点；并且具有零漂小，抗干扰能力强，响应快，对安装的方位不敏感，重复精度高和传感丝不易断等特点。
附图说明
图1是根据本发明实施例的热式质量流量传感器的结构分解图；
图2是根据本发明实施例的热式质量流量传感器的侧视图；
图3是图2的A-A剖视图；
图4是根据本发明实施例的热式质量流量传感器的传感器底座示意图；
图5是根据本发明实施例的热式质量流量传感器的第一外罩结构示意图；
图6是根据本发明实施例的热式质量流量传感器的第二外罩结构示意图；
图7是根据本发明实施例的热式质量流量传感器的保温层结构示意图；
图8是根据本发明实施例的热式质量流量传感器的铜支架结构示意图；
图9是根据本发明实施例的热式质量流量传感器的传感管结构示意图；
图10是根据本发明实施例的热式质量流量传感器的焊块结构示意图；
图11是根据本发明实施例的热式质量流量传感器的扁平电缆示意图。
其中，1：传感器底座；2：第一外罩；3：第二外罩；4：保温层；5：铜支架；6：传感管；7：焊块；8：扁平电缆；9：传感丝；10：紧固螺钉。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
参考图1到图3，本发明实施例提供了一种热式质量流量传感器，其包括传感器底座1、第一外罩2、第二外罩3、保温层4、铜支架5、传感管6、焊块7、扁平电缆8、传感丝9、紧固螺钉10。所述焊块7为两块，所述传感丝9为两组。
其中，所述两个焊块7安装于所述感器底座1相应的两个孔内；所述两组传感丝9绕在所述传感管6中间的对称位置上；所述传感管6伸进所述的焊块7的孔内，再进行焊接；所述的铜支架5安装在外罩2相应的槽内；在所述第一外罩2和第二外罩3上各加工了一个狭小的半圆槽，并在所述半圆槽内安装保温层4，将所述外罩2安装在所述传感器底座1上，然后所述铜支架5与所述传感管6之间通过焊接连接；所述扁平电缆8用胶粘固定在所述的铜支架5上，所述两组传感丝9的四个线头一一对应地焊接在所述扁平电缆8的四个端子上；所述外罩3装上所述保温层4后，用所述紧固螺钉10将其与所述第一外罩2和所述传感器底座1连接固定。
通过在所述第一外罩1和第二外罩2上各加工一个狭小的半圆槽，能够有效地减少传感管可移动的空间，从而提高其响应速度；通过在所述半圆槽内安装采用高性能的保温材料的保温层4，防止了内外热交引起的传感器内部热量分布不平衡，起到抑制零点漂移的作用，同时又能保护所述的传感丝在受到振动时不容易断裂。通过将所述铜支架6与所述传感管4之间焊接，可以保证传感管的稳定，传感丝不易损坏，起到稳定和保护的作用。优选地，所述扁平电缆8采用特殊工艺制作而成超薄型引入线，大大减少了工作空间，提高响应速度。通过将所述传感管6伸进所述焊块7的孔内再进行安装，提高了耐腐蚀性和密封的可靠性。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。
Claims (6)
1.一种热式质量流量传感器，其特征在于，所述传感器包括传感器底座(1)，安装于所述传感器底座(1)上的第一外罩(2)和第二外罩(3)，所述第一外罩(2)与所述第二外罩(3)相互贴合，且所述第一外罩(2)与所述第二外罩(3)之间设有凹槽；所述凹槽内设有扁平电缆(8)，还包括：设置于所述传感器底座(1)的底部的焊块(7)，设置于所述焊块(7)的孔内的传感管(6)以及缠绕于所述传感管(6)上的传感丝(9)；所述焊块(7)的孔与所述凹槽导通；
所述传感丝(9)为两组，对称缠绕于所述传感管(6)的中间位置；
所述扁平电缆(8)具有四个端头，所述两组传感丝(9)的四个线头和所述扁平电缆(8)的四个端头一一对应焊接。
2.如权利要求1所述的热式质量流量传感器，其特征在于，所述凹槽内设有铜支架(5)，所述扁平电缆(8)用胶粘固定于所述铜支架(5)上。
3.如权利要求2所述的热式质量流量传感器，其特征在于，所述第一外罩(2)与第二外罩(3)的贴合面分别具有相适配的半圆槽。
4.如权利要求3所述的热式质量流量传感器，其特征在于，所述半圆槽内安装有保温层(4)。
5.如权利要求4所述的热式质量流量传感器，其特征在于，所述保温层(4)和所述传感管(6)焊接。
6.如权利要求5所述的热式质量流量传感器，其特征在于，所述第二外罩(3)的半圆槽内的保温层(4)通过紧固螺钉(10)与所述外罩(2)以及传感器底座(1)固定。
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