CN101643892B - 溅镀治具 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种溅镀治具,其包括一个托架及至少一个转动杆。所述托架包括两相对设置的第一侧边与第二侧边,所述第一侧边与第二侧边上分别开设有至少一组相对应的轴孔。所述转动杆穿置在所述轴孔内。所述溅镀治具进一步包括一主动件与至少二个从动件。所述至少二个从动件分别设置于对应的转动杆的一端上。所述主动件带动其中一转动杆与所述从动件转动。其他的转动杆在所述从动件的带动下一起转动,从而带动转动杆上的待溅镀的镜座转动。本发明的溅镀治具利用所述主动件与从动件的配合带动所述待溅镀的镜座在溅镀的过程中在托架内转动,不但可保证镜座溅镀均匀,同时可提高溅镀的良率。
Description
技术领域
本发明涉及一种治具,尤其涉及一种溅镀治具。
背景技术
溅镀是利用等离子体产生的离子去撞击阴极靶材,将靶材内的原子撞出而沉积在基材表面上堆积成膜层。由于溅镀可以达成较佳的沉积效率、精确的成份控制,以及较低的制造成本,因此在工业上被广泛应用。
当前手机数码相机镜头的应用已日渐普及,因此有必要提升其关键零部件的制造技术,以有效地降低其制造成本及提升其良率。作为相机镜头关键零部件之一的镜头模组通常包括镜座、镜筒以及收容在镜筒内的镜片、垫片(Spacer)、光圈、红外截止滤光片(IR-cut Filter)等元件。镜座的设计方法请参阅Chao等人在2000年IEEE系统、超声波会议(2000 IEEE UltrasonicsSymposium)上发表的论文Lens holder design。
然而,随着手机数码相机朝着功能多样化的方向发展,其元件也变得越来越复杂,且所述元件大多需通电才能工作,这导致所述手机数码相机容易因为电磁干扰而影响正常工作。为了降低所述镜头模组受电磁干扰的程度,在对所述镜头模组进行组装前,一般还需在所述镜头模组的镜座外表面涂上一层防电磁干扰(Electromagnetic Interference,EMI)膜层。
如图1所示,为现有的一种溅镀治具10,其用于为待溅镀的镜座20溅镀防电磁干扰膜层。该溅镀治具10包括一托架11、至少一个固定杆12及膜料(图未示)。所述待溅镀的镜座20包括一镜座顶部21及一与镜座顶部21相贯通的镜座底部22,所述镜座顶部21为中空柱状,镜座底部22为中空方体结构。所述固定杆12为圆柱状,且直径与待溅镀的镜座顶部21的直径相同,以防止溅射的膜料进入镜座20的内侧壁。
溅镀时,先将待溅镀的镜座20放置于托架11内,再将所述固定杆12分别插入至镜座顶部21的内侧壁,所述膜料设置于待溅镀的镜座20的上方,以原子流的形式由镜座顶部21向镜座底部22溅镀。然而,由于膜料是在镜座20的上方,原子流由镜座顶部21流向镜座底部22时,可能导致溅镀不均匀且镜座底部22的外侧壁222溅镀不到。影响了产品良率。
发明内容
有鉴于此,有必要提供一种可提高产品良率的溅镀治具。
一种溅镀治具,其包括一个托架及至少一个转动杆。所述托架包括两相对设置的第一侧边与第二侧边,所述第一侧边与第二侧边上分别开设有至少一组相对应的轴孔。所述转动杆穿置在所述轴孔内。所述溅镀治具进一步包括一主动件与至少二个从动件。所述至少二个从动件分别设置于对应的转动杆的一端上。所述主动件带动其中一转动杆与所述从动件转动。其他的转动杆在所述从动件的带动下一起转动,从而带动转动杆上的待溅镀的镜座转动。
相较于现有技术,所述溅镀治具利用所述主动件与从动件的配合带动所述待待溅镀的镜座在溅镀的过程中在托架内的转动,不但可保证溅镀均匀,同时可提高溅镀的良率。
附图说明
图1是采用现有的一种溅镀治具对镜座进行溅镀的立体示意图;
图2是采用本发明第一实施方式的溅镀治具的立体示意图;
图3是待溅镀镜座的立体示意图;
图4是图2中的溅镀治具的主动件与转动杆之间连接示意图;
图5是采用本发明第二实施方式的溅镀治具的立体示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明作进一步详细说明。
请一并参阅图2至图4,为本发明第一实施方式的溅镀治具100,其用于为如图3所示的待溅镀的镜座70溅镀防电磁干扰膜层。所述镜座70通常包括一个底座71及从该底座71延伸出来的一个圆筒状的镜座顶部72。所述溅镀治具100用于将膜料溅镀于镜座70的外表面上。该溅镀治具100包括一个托架30、至少一个转动杆40、主动件50及至少二个从动件60,所述至少二个从动件60分别设置于转动杆40的一端上,所述主动件50带动其中一转动杆40与所述从动件60转动,其他的转动杆40在所述从动件60的带动下一起转动,从而带动转动杆40上的待溅镀的镜座70转动。
所述托架30为一中空的框架,包括两个相对设置的第一侧边31与第二侧边32及分别均与第一侧边31与第二侧边32垂直连接的第三侧边33。本实施方式中,所述第一侧边31与第二侧边32设有至少一组相对应的轴孔312。所述轴孔312的组数与所述转动杆40的数量相对应。所述第二侧边32上还开设有一凹槽322。
所述转动杆40的形状与所述镜座顶部72的形状对应。由于待溅镀的镜座70的镜座顶部72通常中空圆柱状,因此,所述转动杆40对应为圆柱状。且该转动杆40的直径与所述待溅镀的镜座70的镜座顶部72的直径相同。优选地,所述一个转动杆40上可同时套设多个待溅镀的镜座70。所述转动杆40的两端分别设有一个棱柱形的收容孔412。
请一并参阅图2与图4,所述主动件50为一个马达,用于带动转动杆40转动。该主动件50包括一个固定部502及一个转轴504。所述固定部502为一圆柱状结构,该固定部502通过螺接或胶合的方式固定于所述托架30的凹槽312内。所述转轴504的结构与所述转动杆40的收容孔412相匹配。本实施方式中,所述转轴504为棱柱体。该转轴504套接在所述转动杆40一端的收容孔412内,以驱动该转动杆40同步转动。
所述至少二个从动件60分别为齿轮。本实施方式中,所述至少二个齿轮分别设置于所述托架30第一侧边31的外侧壁313上,并相互啮。所述从动件60包括一个啮合部61及一个轴杆(图未示)。所述至少二个从动件60的啮合部61相互啮合。所述轴杆的结构也与所述转动杆40的收容孔412相匹配为棱柱体。该轴杆穿过所述托架30第三侧边33上的轴孔312并套接在所述转动杆40另一端的收容孔412内。
组装时,将转动杆40一端穿过所述第一侧边31上的轴孔312;然后将待溅镀的镜座70分别套接在各转动杆40上,将转动杆40的一端套设于所述第二侧边32的轴孔322内,且其中有一与主动件50相对应的转动杆40的收容孔412套接于所述主动件50的转轴504。将从动件60的轴孔套接在转动杆40另一端的收容孔412内。
使用时,所述从动件50带动其中一转动杆40转动,该转动的转动杆40上的从动件60的啮合部61与其他转动杆40上的从动件60的啮合部61相啮合,各转动杆40相互啮合的从动件60带动其他转动杆40一起转动,因此,套设在转动杆40上的待溅镀的镜座70随着转动杆40的转动而转动。
实际应用中,也可将从动件60分别套接在转动杆40的两端。同样可以理解,所述从动件60也可进一步包括一皮带,所述主动件50固定于托架30的第三侧边33上。所述主动件50的转轴504做成圆柱状。优选地,所述皮带一端套接于一最靠近所述第三侧边33的转动杆40上,另一端套接在主动件50的转轴504上,并不限于本实施方式。
请参阅图5为本发明第二实施方式的溅镀治具200的示意图。所述第二实施方式溅镀治具200的结构与第一实施方式的溅镀治具100的结构大体相同,主要差异在于:所述从动件71包括至少一个皮带轮710及至少一皮带712,所述转动杆80伸出于所述托架90第一侧边91上的轴孔912,所述皮带轮710设有与所述转动杆80的收容孔(图未示)相匹配的轴杆。该皮带轮710的轴杆套设在所述转动杆80一端的收容孔内,所述皮带712分别套设在所述皮带轮710上。实际应用中,也可通过螺接的方式使所述皮带轮710螺接于所述转动杆80的一端,并不限于本实施方式。
所述溅镀治具利用所述主动件与从动件的配合带动所述待溅镀的镜座在溅镀的过程中在托架内的转动,不但可保证溅镀均匀,同时可提高溅镀的良率。
可以理解的是,对于本领域的普通技术人员来说,可以根据本发明的技术构思做出其它各种相应的改变与变形,而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。
Claims (7)
1.一种溅镀治具,其包括一个托架及至少一个转动杆,所述托架包括两相对设置的第一侧边与第二侧边,其特征在于:所述第一侧边与第二侧边上分别开设有至少一组相对应的轴孔,所述转动杆穿置在所述轴孔内,所述溅镀治具进一步包括一主动件与至少二个从动件,所述至少二个从动件分别设置于对应的转动杆的一端上,所述主动件带动其中一转动杆与所述从动件转动,其他的转动杆在所述从动件的带动下一起转动,从而带动转动杆上的待溅镀的镜座转动。
2.如权利要求1所述的溅镀治具,其特征在于:所述第二侧边上开设一凹槽,所述主动件固设于所述凹槽内。
3.如权利要求2所述的溅镀治具,其特征在于:所述转动杆的两端分别开设有一收容孔,所述主动件包括一固定部与一转轴,所述主动件的转轴套设于所述其中一转动杆的收容孔内。
4.如权利要求3所述的溅镀治具,其特征在于:所述主动件的转轴为一棱柱体结构,所述转动杆的收容孔的形状对应为棱柱形。
5.如权利要求2所述的溅镀治具,其特征在于:所述至少二个从动件为齿轮,其分别设置于所述转动杆的一端,并相互啮合。
6.如权利要求5所述的溅镀治具,其特征在于:所述从动件进一步包括一皮带,所述托架进一步包括分别与第一侧边与第二侧边垂直连接的第三侧边,所述主动件固设于该第三侧边上,所述主动件的转轴为圆柱状,所述皮带一端套接在所述主动件的转轴上,另一端套接其中一个最靠近所述主动件的转动杆上。
7.如权利要求2所述的溅镀治具,其特征在于:所述从动件包括一皮带及至少一皮带轮,所述皮带轮固设于所述转动杆上,所述皮带套设在所述皮带轮上。
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