CN101640379A - 新型低成本叠层阵列液体制冷半导体激光器及其制备方法 - Google Patents
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011022923A1 (zh) * | 2009-08-31 | 2011-03-03 | 西安炬光科技有限公司 | 激光器用制冷模抉、其制作方法以及包含它的半导体激光器 |
CN102082388A (zh) * | 2011-01-04 | 2011-06-01 | 西安电子科技大学 | 固体激光器的串联扇形辐射式微通道晶体热沉冷却方法 |
CN103078254A (zh) * | 2012-12-28 | 2013-05-01 | 西安炬光科技有限公司 | 窄光谱高功率半导体激光器叠阵及其制备方法 |
CN103532018A (zh) * | 2013-10-29 | 2014-01-22 | 西安炬光科技有限公司 | 用于激光加工多波长高功率半导体激光器光源系统 |
CN103715600A (zh) * | 2013-12-25 | 2014-04-09 | 西安炬光科技有限公司 | 一种低热应力结构的高功率半导体激光器 |
CN103956649A (zh) * | 2014-05-15 | 2014-07-30 | 西安炬光科技有限公司 | 一种具有防腐结构的液体制冷型半导体激光器 |
CN104577707A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-29 | 西安炬光科技有限公司 | 一种叠层阵列液体制冷型高功率半导体激光器 |
CN104810722A (zh) * | 2015-05-26 | 2015-07-29 | 北京弘光浩宇科技有限公司 | 半导体激光器单片式宏通道热沉及半导体激光器 |
CN108666869A (zh) * | 2017-03-29 | 2018-10-16 | 山东华光光电子股份有限公司 | 一种红光大功率激光模组及其组装方法 |
CN111082310A (zh) * | 2019-12-25 | 2020-04-28 | 苏州长光华芯光电技术有限公司 | 半导体激光器、半导体激光器制冷结构及其制造方法 |
CN113659426A (zh) * | 2021-07-19 | 2021-11-16 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种光源芯片阵列散热结构 |
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2009
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Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8737441B2 (en) | 2009-08-31 | 2014-05-27 | Xi'an Focuslight Technologies Co., Ltd. | Cooling module for laser, fabricating method thereof, and semiconductor laser fabricated from the module |
WO2011022923A1 (zh) * | 2009-08-31 | 2011-03-03 | 西安炬光科技有限公司 | 激光器用制冷模抉、其制作方法以及包含它的半导体激光器 |
CN102082388A (zh) * | 2011-01-04 | 2011-06-01 | 西安电子科技大学 | 固体激光器的串联扇形辐射式微通道晶体热沉冷却方法 |
CN102082388B (zh) * | 2011-01-04 | 2012-08-22 | 西安电子科技大学 | 固体激光器的串联扇形辐射式微通道晶体热沉冷却方法 |
CN103078254A (zh) * | 2012-12-28 | 2013-05-01 | 西安炬光科技有限公司 | 窄光谱高功率半导体激光器叠阵及其制备方法 |
CN103532018B (zh) * | 2013-10-29 | 2016-06-15 | 西安炬光科技有限公司 | 用于激光加工多波长高功率半导体激光器光源系统 |
CN103532018A (zh) * | 2013-10-29 | 2014-01-22 | 西安炬光科技有限公司 | 用于激光加工多波长高功率半导体激光器光源系统 |
CN103715600A (zh) * | 2013-12-25 | 2014-04-09 | 西安炬光科技有限公司 | 一种低热应力结构的高功率半导体激光器 |
CN103715600B (zh) * | 2013-12-25 | 2017-01-04 | 西安炬光科技股份有限公司 | 一种低热应力结构的高功率半导体激光器 |
CN103956649B (zh) * | 2014-05-15 | 2017-01-25 | 西安炬光科技股份有限公司 | 一种具有防腐结构的液体制冷型半导体激光器 |
CN103956649A (zh) * | 2014-05-15 | 2014-07-30 | 西安炬光科技有限公司 | 一种具有防腐结构的液体制冷型半导体激光器 |
CN104577707A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-29 | 西安炬光科技有限公司 | 一种叠层阵列液体制冷型高功率半导体激光器 |
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CN108666869A (zh) * | 2017-03-29 | 2018-10-16 | 山东华光光电子股份有限公司 | 一种红光大功率激光模组及其组装方法 |
CN111082310A (zh) * | 2019-12-25 | 2020-04-28 | 苏州长光华芯光电技术有限公司 | 半导体激光器、半导体激光器制冷结构及其制造方法 |
CN113659426A (zh) * | 2021-07-19 | 2021-11-16 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种光源芯片阵列散热结构 |
CN113659426B (zh) * | 2021-07-19 | 2023-01-06 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 一种光源芯片阵列散热结构 |
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