CN101504446A - 薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器 - Google Patents
薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101504446A CN101504446A CNA2009100792762A CN200910079276A CN101504446A CN 101504446 A CN101504446 A CN 101504446A CN A2009100792762 A CNA2009100792762 A CN A2009100792762A CN 200910079276 A CN200910079276 A CN 200910079276A CN 101504446 A CN101504446 A CN 101504446A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- magnetic
- thin film
- wave
- sensor
- magnetofluid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
本发明公开了薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器,包括压电基片、两个叉指换能器IDT、一层磁流体薄膜及两组收发电磁波信号的天线,所述两个叉指能换能器IDT分别位于基片的两端;所述磁流体薄膜填注在传感器表面两个叉指换能器之间的浅槽中并封装;两组收发外界射频信号的天线,分别连接在两个IDT的两条汇流条上。该传感器可实现无源无线高精度实时的磁场强度测量,通过天线接收射频信号在IDT上激发水平剪切声表面波,由于磁流体对外磁场变化的零迟滞响应,瞬时改变声表面波延迟线的延迟时间,即磁流体的粘度变化改变声波波速,再将波速变化后的声表面波经IDT转换为电磁波由天线发射出去,根据延迟时间与磁场强度变化的对应关系,即可准确测量出磁场变化。
Description
技术领域
本发明涉及磁传感器的生产及应用领域,尤其涉及薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器。
背景技术
目前,随着信息产业、工业自动化、电力电子技术、交通运输、医疗仪器、办公自动化、家用电器等飞速发展和电子计算机应用的普及,需要大量传感器将被测非电参量转换成可与计算机兼容的电讯号,这就为磁传感器的快速发展提供了机会,形成了相当可观的磁传感器产业。
传统的磁传感器多为基于磁阻效应的磁敏电阻或巨磁电阻加工制成测量磁场的磁传感器。包括最早的基于霍尔效应的霍尔效应器件,基于载流子畴磁场调制的载流子畴器件,基于磁敏电阻的各向异性的金属膜磁敏器件,基于巨磁阻抗或巨磁感应效应的巨磁阻抗传感器,基于磁致伸缩效应的磁致伸缩传感器,基于法拉第电磁感应效应的磁电感应传感器,基于材料的B-H饱和特性的磁通门磁强计,基于核磁共振的核磁共振磁强计,基于法拉第效应或磁致伸缩的磁光传感器等。
声磁传感器基于材料的磁致伸缩效应,当对其施加交变磁场激励信号,并且交变激励信号的频率与材料的固有频率相等时,材料将产生磁力共振,接收装置检测到材料由于共振而产生的声波信号,并经过处理得到声磁传感器的共振频率及响应幅值,从而反映磁场变化。用声表面波器件进行磁场测量的方法,目前是以超磁致伸缩材料为间接媒质,将超磁致伸缩材料受外磁场变化产生的应力转化为谐振器的频率、幅值变化,进而通过测量声表面波谐振器频率幅值的变化来测量外磁场变化。
上述各种磁传感器测量磁场强度范围受其各自原理限制,即使是超磁致伸缩材料制成的磁传感器反应灵敏度也不够高,实时性不够好,且上述磁传感器均不易实现无源无线的信号激励和收发控制。
发明内容
本发明的目的在于通过磁流体膜在外加磁场变化时有明显的粘度变化,即磁流体对声表面波产生的粘性负载效应明显变化而改变声表面波延迟线的延迟时间,即外磁场变化改变声表面波传播的波速;使外磁场强度变化与SH-SAW器件延迟时间变化建立起对应关系,可以精确,实时地测量磁场强度变化,即形成磁传感器。
为了达到上述目的,本发明提出薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器,本发明是通过以下技术方案实现的:
本发明所涉及的薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器,包括:
所述装置包括:压电基片、两个叉指换能器IDT、磁流体薄膜及两组天线,所述叉指换能器位于压电基片的两端,所述磁流体填注于压电基片表面中间的浅槽中形成磁流体薄膜,并将具有磁流体薄膜的浅槽进行封装,所述天线分别连接于叉指换能器IDT的两条汇流条上。
所述传感器的基片材料为石英晶体,采用36°Y切割X方向传播的加工方式,使得基片表面激发水平剪切声表面波SH-SAW。
所述传感器在压电基片表面将叉指换能器IDT加工成指条宽度为四分之一水平剪切声表面波波长的等周期和等指长的叉指电极;所述传感器的叉指换能器材料为金属铜。
所述磁流体薄膜位于传感器两叉指换能器之间的浅槽中,浅槽厚度小于水平剪切声表面波波长,使得传感器通过磁流体薄膜粘度变化导致的声波波速变化对外磁场强度变化进行测量。
所述传感器是利用磁流体的粘性负载效应对声表面波波速产生影响,从而影响延迟线延迟时间实现被测磁场变化的测量,该磁-声耦合发生在微米数量级,使得传感器测量精度较高,且所述的磁传感器采用的磁流体膜对外磁场变化响应无延时,以实现实时监测。
所述传感器的两组天线分别连接于IDT的两条汇流条上接收和发送射频信号,以实现水平剪切声表面波的激发及波速变化后声波转换为电磁波的发射。
所述传感器还能实现无源无线的磁场强度变化检测。
本发明提供的技术方案的有益效果是:
1、温度特性好(温度系数为零),传播损耗小(声表面波有效的机电耦合系数大),加工容易且成本低廉;
2、有效测量静磁场和交变、高频磁场强度变化,零迟滞,精度高;
3、该传感器可实现无源无线的磁场强度测量,尤其对于不宜采用电源或需遥测的传感系统较之传统的有源有线传感器更为适用;
4、器件小、稳定,适合集成到微型检测系统中。
附图说明
图1为薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器的二维立体结构示意图;
图2为薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器的平面结构俯视图;
图3为薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器的传感原理图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述:
本实施例提供了薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器。
参见图1与图2分别为薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器的二维立体结构及平面结构俯视图,该传感器包括压电基片2、两个叉指换能器(IDT)4、磁流体薄膜3及两组天线1,其中,两个叉指换能器4分别位于压电基片2两端,磁流体薄膜3位于压电基片2中间的浅槽中并进行封装,两组天线1分别连接于两个IDT的两条汇流条上。该传感器可实现无源无线高精度实时的磁场强度测量,通过天线接受射频信号在输入IDT上激发水平剪切声表面波,由于磁流体对外磁场变化的零迟滞响应,瞬时改变声表面波延迟线的延迟时间,即磁流体的粘度变化改变声波波速,再将波速变化后的声波经IDT转换为电磁波由天线发射出去,根据延迟时间与磁场强度变化的对应关系,即可准确测量出磁场变化。
结合原理图3进一步描述压电基片2,材料为石英晶体。石英晶体制作的声表面波器件,除具有频带宽度窄、稳定度高的特点,还具有零温度系数切割,传播损耗小的特点,并且加工工艺成熟。为避免声纵波在与基片垂直方向的能量衰减,使基片表面激发水平剪切声表面波SH-SAW,采用36°Y切割X方向传播的加工方式。由于接收端压电基片的逆压电效应,在输入端IDT上的交变电压使得基片表面产生交替的形变,该形变以弹性机械振动的形式,即水平剪切声表面波的形式传播,再经发送端压电基片的压电效应将声波的机械振动转变为基片的周期性形变,从而在输出端IDT上产生交变输出电压。
结合原理图3进一步描述叉指换能器4,材料为金属铜,加工于压电基片两端,在基片表面形成指条宽度为四分之一水平剪切声表面波波长的等周期和等指长叉指电极。器件一边的IDT接受天线输入的电信号激发出声信号,器件另一边的IDT将声信号变换为电信号从天线输出,其中的延迟时间长短反映了磁流体粘度变化对声波的影响,即外磁场变化对声波波速的影响。
结合原理图3进一步描述磁流体薄膜3,位于传感器两叉指换能器之间的浅槽中,浅槽厚度小于水平剪切声表面波波长,填注形成磁流体薄膜后进行封装。磁流体材料是由纳米强磁性粒子、基液以及表面活性剂三者混合而成的一种稳定胶状溶液。该流体在静态时无磁吸引力,当外加磁场作用时,才表现出有磁性。磁流体薄膜在外磁场强度变化时粘度发生变化,对在基片表面传播的水平剪切声表面波产生的粘性负载效应发生变化,从而影响声波波速产生时间延迟。
结合原理图3进一步描述天线1,两组天线分别连接于叉指换能器IDT的两条汇流条上。其中接收天线通过接收到特定频率的射频信号(射频激励信号频率与石英基片的固有频率和IDT的中心频率严格相同)在输入IDT上激发的水平剪切声表面波,经磁流体薄膜延迟后,声波经输出IDT转换为电磁波信号通过发送天线发送出去。
虽然通过实施例描绘了本发明,本领域普通技术人员知道,本发明有许多变形和变化而不脱离本发明的精神,本发明的申请文件的权利要求包括这些变形和变化。
Claims (7)
1、薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器,其特征在于,所述装置包括:压电基片、两个叉指换能器IDT、磁流体薄膜及两组天线,所述叉指换能器位于压电基片的两端,所述磁流体填注于压电基片表面中间的浅槽中形成磁流体薄膜,并将具有磁流体薄膜的浅槽进行封装,所述天线分别连接于叉指换能器IDT的两条汇流条上。
2、根据权利要求1所述的薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器,其特征在于,所述传感器的基片材料为石英晶体,采用36°Y切割X方向传播的加工方式,使得基片表面激发水平剪切声表面波SH-SAW。
3、根据权利要求1所述的薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器,其特征在于,所述传感器在压电基片表面将叉指换能器IDT加工成指条宽度为四分之一水平剪切声表面波波长的等周期和等指长的叉指电极;所述传感器的叉指换能器材料为金属铜。
4、根据权利要求1所述的薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器,其特征在于,所述磁流体薄膜位于传感器两叉指换能器之间的浅槽中,浅槽厚度小于水平剪切声表面波波长,使得传感器通过磁流体薄膜粘度变化导致的声波波速变化对外磁场强度变化进行测量。
5、根据权利要求1或4所述的薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器,其特征在于,所述传感器是利用磁流体的粘性负载效应对声表面波波速产生影响,从而影响延迟线延迟时间实现被测磁场变化的测量,该磁-声耦合发生在微米数量级,使得传感器测量精度较高,且所述的磁传感器采用的磁流体膜对外磁场变化响应无延时,以实现实时监测。
6、根据权利要求1所述的薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器,其特征在于,所述传感器的两组天线分别连接于IDT的两条汇流条上接收和发送射频信号,以实现水平剪切声表面波的激发及波速变化后声波转换为电磁波的发射。
7、根据权利要求1所述的薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器,其特征在于,所述传感器还能实现无源无线的磁场强度变化检测。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2009100792762A CN101504446B (zh) | 2009-03-06 | 2009-03-06 | 薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2009100792762A CN101504446B (zh) | 2009-03-06 | 2009-03-06 | 薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101504446A true CN101504446A (zh) | 2009-08-12 |
CN101504446B CN101504446B (zh) | 2011-04-20 |
Family
ID=40976745
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2009100792762A Expired - Fee Related CN101504446B (zh) | 2009-03-06 | 2009-03-06 | 薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101504446B (zh) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102288674A (zh) * | 2011-07-20 | 2011-12-21 | 宁波大学 | 一种利用表面声波传感器实现液体性能测量的方法 |
CN104215917A (zh) * | 2014-09-12 | 2014-12-17 | 瑞声光电科技(常州)有限公司 | 边界波谐振式磁传感器 |
CN104330470A (zh) * | 2014-09-30 | 2015-02-04 | 成都柏森松传感技术有限公司 | 基于saw传感器的检测装置 |
CN106405446A (zh) * | 2016-11-28 | 2017-02-15 | 中国船舶重工集团公司第七〇九研究所 | 磁传感器阵列集成结构及其制作方法 |
CN107991632A (zh) * | 2018-01-03 | 2018-05-04 | 宁波大红鹰学院 | 一种新型磁流体-压电薄膜结构器件及其制造方法 |
WO2018099506A1 (de) * | 2016-12-01 | 2018-06-07 | Christian-Albrechts-Universität Zu Kiel | Sensorelement für magnetfelder mit hoher frequenzbandbreite |
CN108205118A (zh) * | 2016-12-19 | 2018-06-26 | 南京理工大学 | 一种谐振型磁传感器敏感单元及数字频率输出磁传感器 |
CN109891748A (zh) * | 2016-08-22 | 2019-06-14 | 艾皮乔尼克控股有限公司 | 用于材料和结构感测的表面声波rfid传感器 |
CN110470731A (zh) * | 2014-09-30 | 2019-11-19 | 京瓷株式会社 | 传感器装置 |
US20190385586A1 (en) * | 2016-12-14 | 2019-12-19 | The Regents Of The University Of California | Magnetic field sensor using acoustically driven ferromagnetic resonance |
WO2020065941A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | Tdk株式会社 | 弾性波変調素子及び物理量センサ |
WO2020136876A1 (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-02 | Tdk株式会社 | 弾性波変調素子及び物理量センサ |
CN113092875A (zh) * | 2021-03-29 | 2021-07-09 | 江苏冠猴智能控制设备有限公司 | 一种声表面波磁传感器测试平台 |
CN114899591A (zh) * | 2022-05-11 | 2022-08-12 | 电子科技大学 | 一种多周期体声波磁电天线 |
WO2023108877A1 (zh) * | 2021-12-18 | 2023-06-22 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 基于人工结构的微米级声场生成装置及其制备方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100355182C (zh) * | 2004-09-01 | 2007-12-12 | 重庆大学 | 一种电磁能自供电传感器 |
US7205701B2 (en) * | 2004-09-03 | 2007-04-17 | Honeywell International Inc. | Passive wireless acoustic wave chemical sensor |
-
2009
- 2009-03-06 CN CN2009100792762A patent/CN101504446B/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102288674A (zh) * | 2011-07-20 | 2011-12-21 | 宁波大学 | 一种利用表面声波传感器实现液体性能测量的方法 |
CN104215917A (zh) * | 2014-09-12 | 2014-12-17 | 瑞声光电科技(常州)有限公司 | 边界波谐振式磁传感器 |
CN104330470A (zh) * | 2014-09-30 | 2015-02-04 | 成都柏森松传感技术有限公司 | 基于saw传感器的检测装置 |
CN104330470B (zh) * | 2014-09-30 | 2018-04-10 | 成都柏森松传感技术有限公司 | 基于saw传感器的检测装置 |
CN110470731A (zh) * | 2014-09-30 | 2019-11-19 | 京瓷株式会社 | 传感器装置 |
CN109891748A (zh) * | 2016-08-22 | 2019-06-14 | 艾皮乔尼克控股有限公司 | 用于材料和结构感测的表面声波rfid传感器 |
CN106405446A (zh) * | 2016-11-28 | 2017-02-15 | 中国船舶重工集团公司第七〇九研究所 | 磁传感器阵列集成结构及其制作方法 |
CN106405446B (zh) * | 2016-11-28 | 2023-08-18 | 中国船舶重工集团公司第七一九研究所 | 磁传感器阵列集成结构及其制作方法 |
US11137457B2 (en) | 2016-12-01 | 2021-10-05 | Christian-lbrechts-Universitaet zu Kiel | Sensor element for magnetic fields having high frequency bandwidth |
WO2018099506A1 (de) * | 2016-12-01 | 2018-06-07 | Christian-Albrechts-Universität Zu Kiel | Sensorelement für magnetfelder mit hoher frequenzbandbreite |
US20190385586A1 (en) * | 2016-12-14 | 2019-12-19 | The Regents Of The University Of California | Magnetic field sensor using acoustically driven ferromagnetic resonance |
CN108205118A (zh) * | 2016-12-19 | 2018-06-26 | 南京理工大学 | 一种谐振型磁传感器敏感单元及数字频率输出磁传感器 |
CN107991632A (zh) * | 2018-01-03 | 2018-05-04 | 宁波大红鹰学院 | 一种新型磁流体-压电薄膜结构器件及其制造方法 |
JPWO2020065941A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2021-02-15 | Tdk株式会社 | 弾性波変調素子及び物理量センサ |
WO2020065941A1 (ja) * | 2018-09-28 | 2020-04-02 | Tdk株式会社 | 弾性波変調素子及び物理量センサ |
JPWO2020136876A1 (ja) * | 2018-12-28 | 2021-09-09 | Tdk株式会社 | 弾性波変調素子及び物理量センサ |
WO2020136876A1 (ja) * | 2018-12-28 | 2020-07-02 | Tdk株式会社 | 弾性波変調素子及び物理量センサ |
CN113092875A (zh) * | 2021-03-29 | 2021-07-09 | 江苏冠猴智能控制设备有限公司 | 一种声表面波磁传感器测试平台 |
WO2023108877A1 (zh) * | 2021-12-18 | 2023-06-22 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 基于人工结构的微米级声场生成装置及其制备方法 |
CN114899591A (zh) * | 2022-05-11 | 2022-08-12 | 电子科技大学 | 一种多周期体声波磁电天线 |
CN114899591B (zh) * | 2022-05-11 | 2023-05-02 | 电子科技大学 | 一种多周期体声波磁电天线 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101504446B (zh) | 2011-04-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101504446B (zh) | 薄膜式结构磁流体-声表面波集成磁传感器 | |
CN101504445B (zh) | 背槽式结构磁流体-声表面波集成磁传感器 | |
CN102052986A (zh) | 无线无源声表面波阻抗负载传感器 | |
US7735373B2 (en) | Apparatus for measuring pressure in a vessel using magnetostrictive acoustic transducer | |
CN103954823A (zh) | 声表面波电流传感器 | |
CN107289883B (zh) | 一种差分式谐振器型的无线无源声表面波应变传感器 | |
CN108205118B (zh) | 一种谐振型磁传感器敏感单元及数字频率输出磁传感器 | |
CN106404247A (zh) | 基于瑞利波模式的声表面波双谐振器一体化扭矩传感器 | |
CN107015048B (zh) | 一种基于磁致伸缩效应的声表面波电流传感器 | |
CN101813670A (zh) | 一种管道轴向超声导波换能探头 | |
Mohimi et al. | Development of high temperature ultrasonic guided wave transducer for continuous in service monitoring of steam lines using non-stoichiometric lithium niobate piezoelectric ceramic | |
CN102095478A (zh) | 磁致伸缩液位传感器 | |
Li et al. | Wireless surface acoustic wave radio frequency identification (SAW-RFID) sensor system for temperature and strain measurements | |
Affanni et al. | Design and characterization of magnetostrictive linear displacement sensors | |
Salas et al. | Wireless actuation of piezo-elements for the structural health monitoring of carbon-fiber-reinforced-polymers | |
CN110988756A (zh) | 采用双磁致伸缩单元磁路结构的差分谐振式磁传感器 | |
CN108594311A (zh) | 一种基于磁致伸缩线缆的谐波源检测装置及方法 | |
Liu et al. | Performance optimization of magnetostrictive guided wave sensor based on waveguide wire | |
Bohachev et al. | Novel small-aperture transducers based on magnetostrictive effect for diagnostic systems | |
CN106289385B (zh) | 一种多功能传感器 | |
Salas et al. | Low-frequency inductive power transmission for piezo-wafer-active-sensors in the structural health monitoring of carbon-fiber-reinforced-polymer | |
Deng et al. | Enhancing MPS signal by bipolar pulse excitation and interference of reflection wave | |
RU2475716C1 (ru) | Чувствительный элемент для измерения физических величин на магнитостатических волнах | |
Deng et al. | Acoustic actuator antenna system based on magnetoelectric laminated composites | |
RU2393444C1 (ru) | Чувствительный элемент датчика физических величин с отражающими структурами |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20110420 Termination date: 20140306 |