CN101352576A - 化学过滤网结构 - Google Patents
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Abstract
一种化学过滤网结构，是包括一正面框、至少一侧框以及至少一吸附单元，其中，该正面框设有至少一开口，该侧框是与该正面框活动结合，该吸附单元的二外侧是各设有滤网，且该二滤网间是设有吸附剂，而该吸附单元是结合于该侧框中；由此，当该吸附单元吸附饱满时，由活动拆离该侧框以抽换该吸附单元，以供重复更换使用。
Description
技术领域
本发明是有关一种化学过滤网结构，尤指一种由侧框与正面框活动结合的组合设计，而令该侧框可自正面框上活动拆离，方便拆卸该侧框以抽换该吸附单元，提供一重复更换使用的化学过滤网结构，适用于电子制造业的无尘室如IC、TFT、半导体制造业的无尘室或类似场地。
背景技术
随着半导体技术不断的进步，IC制程线径不断的缩小，最新进的半导体技术已进入45nm，未来将更进一步地跨入22及32nm制程技术，也由于IC线径不断的缩小，因此外部空气或无尘室内中含微污染(Airborne Molecular Contamination，AMC)物质，例如含硫物质：SOX、H2S、DMSO(Dimethyl Sulfoxide，(CH3)2SO)、DMS(Dimethyl Sulfide，(CH3)2S)等，酸性物质：NOX，碱性物质：NH3、MEA(MonoethanolAmine，NH2C2H4OH)等，含低沸点的挥发性有机化合物(Volatile Organic Compounds，VOCs)、IPA(Isopropyl Alcohol，C3H7OH)、丙酮等，以及含高沸点的挥发性有机化合物(Volatile OrganicCompounds，VOCs)等，对于制程良率的影响，日益扩大。为了提升制程良率，半导体厂通常需于外气空调箱及气流循环区加装化学过滤网。
目前市场上使用化学过滤网型式，其结构大多是于一框架内设有化学滤网，该化学滤网的型态可设为多孔性活性碳滤网、薄层多折式滤网、蜂巢状滤网…等型式，再将该框架置于气体过滤的风口以进行气体过滤；然，现有的化学滤网往往无法兼顾去除成份、去除效率、压力损失、使用寿命及制造成本等因素，且使用饱和后的化学滤网是与框架设为一体，故使用饱和后只能全部丢弃，无法再生重复使用，而产生另一种垃圾污染，故实际使用上仍不符使用者的所需。
发明内容
本发明的主要目的，在提供一种化学过滤网结构，由侧框与正面框活动结合的组合设计，而令该侧框可自正面框上活动拆离，方便拆卸该侧框以抽换该吸附单元，以提供一重复更换使用的化学过滤网结构，除可降低制造成本外，尚具环保功能，以增加本发明的实用性、经济性与环保性。
本发明的次一目的，在提供一种化学过滤网结构，由该吸附单元可替换成多种型式，而使本发明的化学过滤网可适用于各种场合及不同环境的需求，使去除效率更佳且降低了过滤的压力损失，并提高了化学过滤网的使用寿命，增加本发明的实用性与便利性。
为达上述目的，本发明提供一种化学过滤网结构，其特征在于，包括：
一正面框，设有至少一开口；
至少一侧框，该侧框与该正面框活动结合；以及
至少一吸附单元，该吸附单元的二外侧各设有滤网，且该二滤网间设有吸附剂，而该吸附单元结合于该侧框中；
由此，当该吸附单元吸附饱满时，由活动拆离该侧框以抽换该吸附单元，以供重复更换使用。
其中该吸附单元的二滤网间进一步设有一支撑结构，而该吸附剂设于该支撑结构中。
其中该吸附单元的二滤网间进一步设有多数个支撑结构，而该些支撑结构区隔为数层，且该些支撑结构间进一步设有滤网，由此设置不同的吸附剂。
其中该吸附单元进一步结合于一吸附剂边框后再与侧框结合。
其中该侧框上设有凸肋，而该吸附剂边框上设有凹槽，由侧框凸肋与吸附剂边框上凹槽的结合，以供该侧框与该吸附剂边框相互活动结合。
其中该吸附单元进一步设有吸附剂边框，该吸附剂边框上设有启闭口，以供倒入吸附剂。
其中该侧框的凸肋进一步设有气密条以防气体外泄。
其中该滤网为不织布滤网。
其中该滤网为细网。
其中该正面框背侧设有凹槽，而该侧框上相对设有凸块，由正面框凹槽与侧框上凸块的结合，以供该正面框与该侧框相互活动结合。
其中该正面框的开口上进一步设有滤网。
其中该侧框于外侧进一步设有一保护网。
附图说明
为使审查员方便简捷了解本发明的其它特征内容与优点及其所达成的功效能够更为显现，以下结合实施例及附图详细说明如后，其中：
图1是为本发明实施例的立体外观图。
图2是为本发明实施例的结合剖示图。
图3是为本发明实施例的使用示意图。
图4是为本发明实施例的部分立体分解图。
图5是为本发明实施例吸附单元与吸附剂边框的组合示意图。
图6是为本发明吸附单元与侧框的组合剖示图之一。
图7是为本发明吸附单元与侧框的组合剖示图之二。
图8是为本发明吸附单元(吸附剂设于该支撑结构中)与侧框的组合剖示图。
图9是为本发明吸附单元(吸附剂设于二层支撑结构中)与侧框的组合剖示图。
具体实施方式
请参图1～图5，本发明是包括：
一正面框10，该正面框10上是设有至少一开口11，该开口11是覆有滤网302，该正面框10的背侧是设有结合部101(请参图3，本实施例设为一凹槽)。
至少一侧框20，该侧框20是可设为V型或U型以扩大吸附的面积，该侧框20是设有第一结合部201，本实施例该第一结合部201是设为一凸块，该侧框20的凸块是结合于正面框10的凹槽中，以使该侧框20与正面框10相互活动结合，而该侧框20是另设有第二结合部202，本实施例中该第二结合部202是设为一凸肋，该凸肋并设有气密条(图未示)以防气体外泄，而侧框20外侧是可进一步设有保护网40。
至少一吸附单元30，该吸附单元30的二外侧是各设有滤网302，该滤网302可设为不织布滤网、细网或其它形式的滤网，且该些滤网302间设有吸附剂301，该吸附单元30的二滤网302间亦可进一步设有一支撑结构303(本实施例是设为一网格状结构，实际实施时亦可以蜂巢状或类似的结构代替)，而该吸附剂301是设于该支撑结构303中，且该吸附单元30是结合于该侧框20中，其中，该吸附单元30亦可先结合于一吸附剂边框31后再与侧框20相互活动结合，而该吸附剂边框31相对于该正面框10的结合部101而设有第一结合部311(本实施例是设为一凸肋)，以及相对于该侧框20的第二结合部202而设有第二结合部312(本实施例是设为一凹槽)。
请参图1～图5，本发明的特点是在于由一正面框10、至少一侧框20以及至少一吸附单元30的组合设计，利用该侧框20的第一结合部201、吸附剂边框31的第一结合部311与该正面框10的结合部101相互活动结合，该侧框20亦与吸附剂边框31活动结合，且吸附剂边框31内的吸附单元30吸附饱和后，由从正面框10上活动拆离该侧框20、吸附剂边框31以抽换该吸附单元30，进而可重复更换使用该化学过滤网以进行气体的过滤，而无须置换整组化学过滤网，使化学过滤网的制作成本大幅降低，减少垃圾污染以达环保功能；另，该吸附单元30亦可依需求与用途来选择置换，故可使微污染物质的去除效率更佳，并可降低过滤的压力损失，因此提高了化学过滤网的使用寿命，增加本发明的实用性与便利性。
请参图1～图9，图5中该吸附单元30是包括吸附剂301、二侧各有一滤网302及一支撑结构303，该吸附剂301是设于该支撑结构303中，二侧各设有一滤网302，再将该支撑结构303结合于吸附剂边框31上，由吸附剂边框31上的凹槽与侧框20的凸肋相互结合，而将吸附单元30活动结合于侧框20上，而图6、图7是为该吸附单元30与侧框20结合的组合剖示图，其中该侧框20的二侧是各结合一组吸附单元30，使用时，外气通过正面框10的滤网302，从开口11进入侧框20中心再往二旁的滤网302行进并通过吸附单元30，当外气通过该吸附单元30时微污染物质会被该吸附剂301吸收，接着再通过吸附单元30外侧的滤网302，最后经由保护网40排出以完成过滤。而当吸附单元30吸附饱和后，只需将侧框20自正面框10上取下，再将吸附剂边框31与侧框20活动拆离即可进行吸附单元30的抽换，而其余的化学过滤网结构如正面框10、侧框20及吸附剂边框31，甚至保护网40都可再使用，不但降低制造成本，尚具环保功能，且该吸附单元30是制成薄型，以利降低压力损失，而图7是为该吸附剂边框31上另设有启闭313，以供更换该吸附单元30时将吸附剂301直接倒入吸附剂边框31中。而该吸附单元30的二滤网302间是可进一步设有多数个支撑结构303，该些支撑结构303是区隔为数层，且该些支撑结构303间是进一步设有滤网302，由此设置不同的吸附剂，请参阅图8、图9，是为本发明的吸附单元30(吸附剂设于该支撑结构中)与侧框20结合的组合剖示图，该吸附单元30是设为支撑结构303中设有吸附剂301，而本实施例图9中该支撑结构303是区隔为第一支撑结构303a与第二支撑结构303b二层，且该第一支撑结构303a与第二支撑结构303b间是进一步设有一滤网302以作为分隔，由此可将不同吸附剂301区隔安装于各层支撑结构中，例如于第一支撑结构303a中置入高沸点的挥发性有机化合物吸附剂，而于第二支撑结构303b中置入低沸点的挥发性有机化合物吸附剂，故外气进入第一支撑结构303a中则可先去除高沸点的挥发性有机化合物，再进入第二支撑结构303b中去除低沸点的挥发性有机化合物，进而达成多种去除功效，使去除微污染污染物质的效率更佳，使本发明更具实用性与便利性。
惟以上所述的，仅为本发明的较佳实施例，当不能用以限定本发明可实施的范围，凡习于本专业的人士所明显可作变化与修饰，皆应视为不脱离本发明的实质内容。
综上所述，本发明确可达到创作的预期目的，提供一种化学过滤网结构，具有实用价值无疑，故依法提出发明专利申请。
Claims (12)
1、一种化学过滤网结构，其特征在于，包括：
一正面框，设有至少一开口；
至少一侧框，该侧框与该正面框活动结合；以及
至少一吸附单元，该吸附单元的二外侧各设有滤网，且该二滤网间设有吸附剂，而该吸附单元结合于该侧框中；
由此，当该吸附单元吸附饱满时，由活动拆离该侧框以抽换该吸附单元，以供重复更换使用。
2、如权利要求1所述的化学过滤网结构，其特征在于，其中该吸附单元的二滤网间进一步设有一支撑结构，而该吸附剂设于该支撑结构中。
3、如权利要求1所述的化学过滤网结构，其特征在于，其中该吸附单元的二滤网间进一步设有多数个支撑结构，而该些支撑结构区隔为数层，且该些支撑结构间进一步设有滤网，由此设置不同的吸附剂。
4、如权利要求1、2或3所述的化学过滤网结构，其特征在于，其中该吸附单元进一步结合于一吸附剂边框后再与侧框结合。
5、如权利要求4所述的化学过滤网结构，其特征在于，其中该侧框上设有凸肋，而该吸附剂边框上设有凹槽，由侧框凸肋与吸附剂边框上凹槽的结合，以供该侧框与该吸附剂边框相互活动结合。
6、如权利要求1所述的化学过滤网结构，其特征在于，其中该吸附单元进一步设有吸附剂边框，该吸附剂边框上设有启闭口，以供倒入吸附剂。
7、如权利要求5所述的化学过滤网结构，其特征在于，其中该侧框的凸肋进一步设有气密条以防气体外泄。
8、如权利要求1所述的化学过滤网结构，其特征在于，其中该滤网为不织布滤网。
9、如权利要求1所述的化学过滤网结构，其特征在于，其中该滤网为细网。
10、如权利要求1所述的化学过滤网结构，其特征在于，其中该正面框背侧设有凹槽，而该侧框上相对设有凸块，由正面框凹槽与侧框上凸块的结合，以供该正面框与该侧框相互活动结合。
11、如权利要求1所述的化学过滤网结构，其特征在于，其中该正面框的开口上进一步设有滤网。
12、如权利要求1所述的化学过滤网结构，其特征在于，其中该侧框于外侧进一步设有一保护网。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CNA2007101363695A CN101352576A (zh) | 2007-07-26 | 2007-07-26 | 化学过滤网结构 |
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| CNA2007101363695A CN101352576A (zh) | 2007-07-26 | 2007-07-26 | 化学过滤网结构 |
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN109985269A (zh) * | 2019-04-10 | 2019-07-09 | 朱化儒 | 一种疾病预防用消毒装置 |
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2007
- 2007-07-26 CN CNA2007101363695A patent/CN101352576A/zh active Pending
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| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
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