CN101201547A - 一种镜头的热效应补偿装置和方法 - Google Patents

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CN101201547A CNA2007101719676A CN200710171967A CN101201547A CN 101201547 A CN101201547 A CN 101201547A CN A2007101719676 A CNA2007101719676 A CN A2007101719676A CN 200710171967 A CN200710171967 A CN 200710171967A CN 101201547 A CN101201547 A CN 101201547A
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储兆祥
黄玲
武珩
朱立荣
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Abstract

本发明提供的一种镜头的热效应补偿装置和方法，包含镜筒和内部镜组，所述的内部镜组包含一个光阑(AS)和四个镜组，其中第一镜组(G1)和第四镜组(G4)相对于光阑对称、第二镜组(G2)和第三镜组(G3)相对于光阑对称；所述的第二镜组(G2)、第三镜组(G3)和第四镜组(G4)为可动镜组，沿镜筒轴向运动，所述的第二镜组(G2)和第三镜组(G3)相对于光阑进行对称的轴向运动。本发明使用镜头内部镜组之间的相对轴向运动，补偿镜头在热效应作用下导致的镜片面形变化和镜片温度非对称性变化产生的成像质量的影响，如放大倍率、离焦、畸变、象散和场曲等像质的变化，使得镜头可以满足超大曝光剂量和较高产率的需求。

Description

一种镜头的热效应补偿装置和方法
技术领域
本发明涉及一种光学镜头的热效应补偿装置和方法，尤其涉及一种应用在需要处理镜头热效应的领域内的光学镜头的热效应补偿装置和方法。
背景技术
随着投影光学技术的发展，投影光学系统的性能逐步提高，并可以适用于集成电路制造等多种领域。现已将投影光刻技术成功应用于亚微米分辨率集成电路制造领域。在半导体封装技术中，投影光刻技术应用于相对较低的分辨率(如几微米)、较大的焦深、较高产率的金凸块/锡凸块、硅片级芯片尺寸封装(WLCSP)技术等领域。
在半导体封装领域内，通常需要的光功率很大(如ghi三线(光谱线宽)在硅片面内的光功率大于60W)，导致投影物镜在曝光过程中产生的热效应影响及其严重，如镜头的倍率误差、焦面漂移、畸变、象散和场曲等，因此在曝光过程中需要设法校正由于镜头热效应产生的影响。
如美国专利US 6,617,555，B1中使用在投影物镜镜筒外壁添加温度传感器测试整个镜筒的温度变化情况。为了补偿热产生的影响，专利US6,617,555，B1使用在镜筒的不同区域进行加热或制冷，从而达到补偿镜头倍率误差的效果，然而该专利使用的这种方法仅仅补偿了镜头热分布不均匀产生的影响，而不能补偿镜头镜片热效应导致像质变化产生的影响。
为了能够满足投影物镜适用于大的曝光剂量(＞10000mJ/cm2)和较高产率的需求，需要提供一种镜头热效应补偿方法来满足上述需求。
发明内容
本发明提供了一种镜头的热效应补偿装置和方法，能够补偿镜头热效应产生的影响，满足镜头对超大曝光剂量和较高产率的需求。
为了达到上述目的，本发明提供了一种镜头的热效应补偿装置，包含镜筒和内部镜组，特点在于，内部镜组包含一个光阑和四个镜组，从物面到像面依次为第一镜组、第二镜组、光阑、第三镜组和第四镜组，其中第一镜组和第四镜组相对于光阑对称、第二镜组和第三镜组相对于光阑对称；
所述的第二镜组、第三镜组和第四镜组为可动镜组，沿镜筒轴向运动，所述的第二镜组和第三镜组相对于光阑进行对称的轴向运动；
所述的镜组包含若干镜片；
本发明还提供了一种利用上述热效应补偿装置对镜头进行热效应补偿的方法，该方法包含以下步骤：
步骤1、建立热效应前馈校正模型，该模型可以提供镜头在不同的工作状态下，不同时刻镜头的像质参数和倍率畸变参数；
步骤2、建立各可动镜组对应各像质参数的灵敏度矩阵，包括倍率和畸变的灵敏度；
步骤3、根据热效应前馈校正模型和灵敏度矩阵，获得调整第二镜组和第三镜组的准确位置，使其相对于光阑进行对称的轴向运动，主要用于校正镜头镜片温度变化梯度相对于光阑的非对称性产生的像差如象散、畸变和倍率误差，同时避免在校正热效应影响的同时产生非对称性垂轴像差如彗差；
步骤4、根据热效应前馈校正模型和灵敏度矩阵，获得调整第四镜组中的最后一片镜片做轴向运动的准确位置，主要校正镜头的倍率误差，同时匹配第二镜组和第三镜组共同校正轴向色差。
本发明提供的一种镜头的热效应补偿装置和方法，能够补偿镜头热效应产生的影响，满足镜头对超大曝光剂量和较高产率的需求，本装置和方法同样也适用于校正小曝光剂量的投影光学系统，且适用于多种曝光波长的投影光学系统，如gh i线、gh线、i线、248nm、193nm等波长，本发明适用于半导体封装领域内的投影光刻技术中来处理镜头的热效应，也同样适用于其他需要处理镜头热效应的领域，如航天、应用于高温或低温环境的光学系统等。
附图说明
图1是本发明的实施例中投影物镜的结构示意图；
图2是本发明的实施例中投影物镜在冷镜头状态下的成像质量光学传递函数；
图3是本发明的实施例中镜头产生热效应时的成像质量光学传递函数；
图4是本发明的实施例中对镜头进行热效应补偿后的成像质量光学传递函数。
具体实施方式
以下根据图1～图4具体说明本发明的较佳实施例：
如图1所示，本发明提供了一种镜头的热效应补偿装置，包含镜筒和内部镜组，特点在于，内部镜组包含一个光阑AS和四个镜组，从物面到像面依次为第一镜组G1、第二镜组G2、光阑AS、第三镜组G3和第四镜组G4，其中第一镜组G1和第四镜G4组相对于光阑对称、第二镜组G2和第三镜组G3相对于光阑对称；
所述的第二镜组G2、第三镜组G3和第四镜组G4为可动镜组，沿镜筒轴向运动，所述的第二镜组G2和第三镜组G3相对于光阑进行对称的轴向运动；
物镜的系统指标参数见下表：
  工作波长   360nm-440nm
  像方数值孔径NA   0.10
  放大倍率   -1.0
  像方视场(直径)   62.93mm
  物像距离   900mm
  物方工作距   46.27mm
  像方工作距   46.27mm
  透过率   ＞70％
所述的四组镜组都分别包含四个镜片，如图1所示，分别为L1～L16镜头数据见下表；
  表面   半径(mm)   厚度/间距(mm)   1/2孔径(mm)   所属对象   材料
  0   1.00E+18   46.272706   /
  1   -207.3487   28   35.877347   L1   SiO2
  2   268.52853   22.033191   40.170929
  3   -68.50177   28   41.51265   L2   PBM2Y
  4   -96.6388   3.1088622   53.194252
  5   -392.577   16.603952   57.953424   L3   PBM2Y
  6   -135.1599   1   59.711668
  7   248.33935   19.05446   62.001272   L4   PBM2Y
  8   -456.2938   212.46694   61.695858
  9   -105.006   6   25.945403   L5   PBM2Y
  10   330.29291   10.147328   25.995901
  11   230.70347   11.344964   26.647123   L6   S-FPL51Y
  12   -128.2116   1   26.652681
  13   562.64632   6   26.16982   L7   SiO2
  14   124.9913   5.786722   25.455611
  15   175.37795   9.7568698   25.288879   L8   S-FPL51Y
  16   -333.0079   23.424058   24.790162
  17   1.00E+18   23.424058   21.201299   AS
  18   333.00794   9.7568698   24.798899   L9   S-FPL51Y
  19   -175.3779   5.786722   25.297404
  20   -124.9913   6   25.46391   L10   SiO2
  21   -562.6463   1   26.17819
  22   128.21165   11.344964   26.661221   L11   S-FPL51Y
  23   -230.7035   10.147328   26.655424
  24   -330.2929   6   26.00341   L12   PBM2Y
  25   105.00602   212.46694   25.952554
  26   456.29376   19.05446   61.701626   L13   PBM2Y
  27   -248.3393   1   62.006883
  28   135.15991   16.603952   59.716173   L14   PBM2Y
  29   392.57699   3.1088622   57.958058
  30   96.638797   28   53.197594   L15   PBM2Y
  31   68.501768   22.033191   41.514803
  32   -268.5285   28   40.173347   L16   SiO2
  33   207.34869   44.72   35.878659
  34   1.00E+18   1.5518374   31.467
上述投影物镜在冷镜头状态下的成像质量光学传递函数如图2所示，当在汞灯(ghi三线，波长：360nm-440nm)的照射下，当曝光剂量＞10000mJ/cm2时，镜头达到热稳态时镜片表面温度变化梯度如下表所示，其中M代表镜片装配边缘处的半径，温度T单位为摄氏度，半径R单位为mm；
  半径   8个温度梯度
  温度   1   2   3   4   5   6   7   8
  R1   0   8   14   19   24   30   37   M
  T1   27.806   27.722   27.638   27.554   27.47   27.386   27.302   27.218
  R2   0   12   20   27   33   40   48   M
  T2   36.454   35.123   33.792   32.461   31.13   29.799   28.468   27.137
  R3   0   21   30   37   44   50   57   M
  T3   35.31   34.073   32.836   31.599   30.362   29.125   27.888   26.651
  R4   0   20   30   38   45   52   59   M
  T4   33.82   32.739   31.658   30.577   29.496   28.415   27.334   26.253
  R5   0   8.5   12.5   15.5   18   21.5   25   M
  T5   29.338   28.68   28.022   27.364   26.706   26.048   25.39   24.732
  R6   0   10   14.5   18   21   24   26.5   M
  T6   26.076   25.878   25.68   25.482   25.284   25.086   24.888   24.69
  R7   0   9   13   16.5   19.5   22.5   25.5   M
  T7   25.35   25.251   25.152   25.053   24.954   24.855   24.756   24.657
  R8   0   10   14.5   18   20   23   25   M
  T8   25.722   25.571   25.42   25.269   25.118   24.967   24.816   24.665
  R9   0   10   14.5   18   20   23   25   M
  T9   25.674   25.528   25.382   25.236   25.09   24.944   24.798   24.652
  R10   0   8   12.5   16   19   22   25   M
  T10   25.186   25.108   25.03   24.952   24.874   24.796   24.718   24.64
  R11   0   10   15   18.5   21   24   26.5   M
  T11   25.934   25.754   25.574   25.394   25.214   25.034   24.854   24.674
  R12   0   9   13   16   19   22   25   M
  T12   28.771   28.192   27.613   27.034   26.455   25.876   25.297   24.718
  R13   0   20   29   37   44   51   59   M
  T13   32.498   31.552   30.606   29.66   28.714   27.768   26.822   25.876
  R14   0   20   30   37   44   50   57   M
  T14   32.688   31.717   30.746   29.775   28.804   27.833   26.862   25.891
  R15   0   13   21   28   34   41   49   M
  T15   32.743   31.786   30.829   29.872   28.915   27.958   27.001   26.044
  R16   0   10   17.5   23   27   32.5   38.5   M
T16 26.478 26.422 26.366 26.31 26.254 26.198 26.142 26.086
投影物镜镜片表面温度分布梯度处于上表所示的情况下，对应的成像质量光学传递函数如图3所示，从光学传递函数中可以准确地判断出镜头热效应产生的影响主要体现在象散和场曲，同时镜头的倍率和畸变也产生较大的变化；
为了克服上述热效应产生的影响，本发明还提供了一种利用上述热效应补偿装置对镜头进行热效应补偿的方法，校正结果如图4所示。该方法包含以下步骤：
步骤1、建立热效应前馈校正模型，该模型可以提供镜头在不同的工作状态下，不同时刻镜头的像质参数和倍率畸变参数；
步骤2、建立各可动镜组对应各像质参数的灵敏度矩阵，包括倍率和畸变的灵敏度；
步骤3、根据热效应前馈校正模型和灵敏度矩阵，获得调整第二镜组G2和第三镜组G3的准确位置，使其相对于光阑AS进行对称的轴向运动，主要用于校正镜头镜片温度变化梯度相对于光阑AS的非对称性产生的像差如象散、畸变和倍率误差，同时避免在校正热效应影响的同时产生非对称性垂轴像差如彗差；
步骤4、根据热效应前馈校正模型和灵敏度矩阵，获得调整第四镜组G4中的最后一片镜片L16做轴向运动的准确位置，主要校正镜头的倍率误差，同时匹配第二镜组G2和第三镜组G3共同校正轴向色差。
本发明提供的一种镜头的热效应补偿装置和方法，能够补偿镜头热效应产生的影响，满足镜头对超大曝光剂量和较高产率的需求，本装置和方法同样也适用于校正小曝光剂量的投影光学系统，且适用于多种曝光波长的投影光学系统，如ghi线、gh线、i线、248nm、193nm等波长，本发明适用于半导体封装领域内的投影光刻技术中来处理镜头的热效应，也同样适用于其他需要处理镜头热效应的领域，如航天、应用于高温或低温环境的光学系统等。

Claims (4)

1.一种镜头的热效应补偿装置，包含镜筒和内部镜组，其特征在于，所述的内部镜组包含一个光阑(AS)和四个镜组；
从物面到像面依次为第一镜组(G1)、第二镜组(G2)、光阑(AS)、第三镜组(G3)和第四镜组(G4)，其中第一镜组(G1)和第四镜组(G4)相对于光阑对称、第二镜组(G2)和第三镜组(G3)相对于光阑对称；
所述的第二镜组(G2)、第三镜组(G3)和第四镜组(G4)为可动镜组，沿镜筒轴向运动，所述的第二镜组(G2)和第三镜组(G3)相对于光阑进行对称的轴向运动。
2.如权利要求1所述的镜头的热效应补偿装置，其特征在于，所述的镜组(G1、G2、G3、G4)包含若干镜片。
3.如权利要求2所述的镜头的热效应补偿装置，其特征在于，所述的镜组(G1、G2、G3、G4)分别包含四个镜片，依次为L1～L16，所述镜片和光阑的参数如下：
L1的半径为-207.3487mm，厚度/间距为28mm，1/2孔径为35.877347mm，材料为SiO2；
L2的半径为-68.50177mm，厚度/间距为28mm，1/2孔径为41.51265mm，材料为PBM2Y；
L 3的半径为-392.577mm，厚度/间距为16.603952mm，1/2孔径为57.953424mm，材料为PBM2Y；
L4的半径为248.33935mm，厚度/间距为19.05446mm，1/2孔径为62.001272mm，材料为PBM2Y；
L5的半径为-105.006mm，厚度/间距为6mm，1/2孔径为25.945403mm，材料为PBM2Y；
L6的半径为230.70347mm，厚度/间距为11.344964mm，1/2孔径为26.647123mm，材料为S-FPL51Y；
L7的半径为562.64632mm，厚度/间距为6mm，1/2孔径为26.16982mm，材料为SiO2；
L8的半径为175.37795mm，厚度/间距为9.7568698mm，1/2孔径为25.288879mm，材料为S-FPL51Y；
光阑AS的半径为1.00E+18mm，厚度/间距为23.424058mm，1/2孔径为21.201299mm；
L9的半径为333.00794mm，厚度/间距为9.7568698mm，1/2孔径为24.798899mm，材料为S-FPL51Y；
L10的半径为-124.9913mm，厚度/间距为6mm，1/2孔径为25.46391mm，材料为SiO2；
L11的半径为128.21165mm，厚度/间距为11.344964mm，1/2孔径为26.661221mm，材料为S-FPL51Y；
L12的半径为-330.2929mm，厚度/间距为6mm，1/2孔径为26.00341mm，材料为PBM2Y；
L13的半径为456.29376mm，厚度/间距为19.05446mm，1/2孔径为61.701626mm，材料为PBM2Y；
L14的半径为135.15991mm，厚度/间距为16.603952mm，1/2孔径为59.716173mm，材料为PBM2Y；
L15的半径为96.638797mm，厚度/间距为28mm，1/2孔径为53.197594mm，材料为PBM2Y；
L16的半径为-268.5285mm，厚度/间距为28mm，1/2孔径为40.173347mm，材料为SiO2；
所述镜片组成的物镜系统的参数如下：
工作波长：360nm-440nm；
像方数值孔径NA：0.10；
放大倍率：-1.0；
像方视场(直径)：62.93mm；
物像距离：900mm；
物方工作距：46.27mm；
像方工作距：46.27mm；
透过率＞70％。
4.一种利用权利要求1所述的热效应补偿装置对镜头进行热效应补偿的方法，其特征在于，该方法包含以下步骤：
步骤1、建立热效应前馈校正模型，该模型可以提供镜头在不同的工作状态下，不同时刻镜头的像质参数和倍率畸变参数；
步骤2、建立各可动镜组对应各像质参数的灵敏度矩阵，包括倍率和畸变的灵敏度；
步骤3、根据热效应前馈校正模型和灵敏度矩阵，获得调整第二镜组(G2)和第三镜组(G3)的准确位置，使其相对于光阑(AS)进行对称的轴向运动，主要用于校正镜头镜片温度变化梯度相对于光阑(AS)的非对称性产生的像差如象散、畸变和倍率误差，同时避免在校正热效应影响的同时产生非对称性垂轴像差如彗差；
步骤4、根据热效应前馈校正模型和灵敏度矩阵，获得调整第四镜组(G4)中的最后一片镜片(L16)做轴向运动的准确位置，主要校正镜头的倍率误差，同时匹配第二镜组(G2)和第三镜组(G3)共同校正轴向色差。
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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102004297A (zh) * 2010-09-17 2011-04-06 中国科学院上海技术物理研究所 一种光学平板补偿离焦的低温光学装调方法
CN102981255A (zh) * 2011-09-07 2013-03-20 上海微电子装备有限公司 一种大视场投影物镜
CN107077722A (zh) * 2014-08-29 2017-08-18 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 图像捕获装置及图像捕获方法
CN107560638A (zh) * 2017-09-05 2018-01-09 上海航天控制技术研究所 一种星敏感器变温标定参数的获取方法
CN108986171A (zh) * 2018-07-05 2018-12-11 大连理工大学 视觉测量系统中镜头热影响误差补偿方法
US10506206B2 (en) 2015-05-06 2019-12-10 Dolby Laboratories Licensing Corporation Thermal compensation in image projection
CN114637092A (zh) * 2022-03-10 2022-06-17 西安应用光学研究所 一种用于高低温试验箱的除霜除雾多光谱光学窗口装置

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102004297B (zh) * 2010-09-17 2012-03-21 中国科学院上海技术物理研究所 一种光学平板补偿离焦的低温光学装调方法
CN102004297A (zh) * 2010-09-17 2011-04-06 中国科学院上海技术物理研究所 一种光学平板补偿离焦的低温光学装调方法
CN102981255A (zh) * 2011-09-07 2013-03-20 上海微电子装备有限公司 一种大视场投影物镜
CN102981255B (zh) * 2011-09-07 2016-04-20 上海微电子装备有限公司 一种大视场投影物镜
CN107077722A (zh) * 2014-08-29 2017-08-18 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 图像捕获装置及图像捕获方法
CN107077722B (zh) * 2014-08-29 2020-12-11 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 图像记录设备及用于记录图像的方法
US11323669B2 (en) 2015-05-06 2022-05-03 Dolby Laboratories Licensing Corporation Thermal compensation in image projection
US10506206B2 (en) 2015-05-06 2019-12-10 Dolby Laboratories Licensing Corporation Thermal compensation in image projection
US11889233B2 (en) 2015-05-06 2024-01-30 Dolby Laboratories Licensing Corporation Thermal compensation in image projection
CN107560638A (zh) * 2017-09-05 2018-01-09 上海航天控制技术研究所 一种星敏感器变温标定参数的获取方法
CN107560638B (zh) * 2017-09-05 2019-09-06 上海航天控制技术研究所 一种星敏感器变温标定参数的获取方法
CN108986171A (zh) * 2018-07-05 2018-12-11 大连理工大学 视觉测量系统中镜头热影响误差补偿方法
CN108986171B (zh) * 2018-07-05 2020-06-16 大连理工大学 视觉测量系统中镜头热影响误差补偿方法
CN114637092A (zh) * 2022-03-10 2022-06-17 西安应用光学研究所 一种用于高低温试验箱的除霜除雾多光谱光学窗口装置
CN114637092B (zh) * 2022-03-10 2024-04-30 西安应用光学研究所 一种用于高低温试验箱的除霜除雾多光谱光学窗口装置

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