CN101191776A - 聚焦离子束显微镜样品台及其使用方法 - Google Patents

聚焦离子束显微镜样品台及其使用方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种聚焦离子束显微镜样品台，所述样品台边缘刻有一凹槽，以该凹槽为原点设有平面坐标轴，在样品台表面沿该坐标轴的X、Y方向分别刻有若干条间隔一致的细槽线，形成数十个大小相等的正方形，并在正方形内标有标识符。本发明还公开了该样品台的使用方法。本发明的聚焦离子束显微镜样品台能进行高效、简便地定位操作，节省工作时间，提高工作效率。

Description

聚焦离子束显微镜样品台及其使用方法
技术领域
本发明涉及半导体测试分析技术领域，尤其涉及一种聚焦离子束显微镜样品台及其使用方法。
背景技术
聚焦离子束显微镜(Focus Ion Beam Microscope，FIB)是一种离子束切割加工仪器，传统的FIB具有样品断面的切割制作功能。目前聚焦离子束显微镜广泛应用于半导体电子产业及IC工业上，其主要用途有：(1)半导体芯片微小断面的切割制作；(2)芯片电子回路的修改；(3)透射电子显微镜样品的制备。FIB的工作原理是通过一种重金属离子撞击样品来有效控制去除材料，它利用高能离子入射固体样品，与样品的原子核和核外电子发生弹性或非弹性散射，激发样品产生二次电子，通过电子检测器，接收信号形成图像来进行有效控制。
FIB待分析样品需要固定在其标准的金属样品放置平台上进行操作。首先将需要分析的样品利用铜胶、铝胶或碳胶固定在样品台上，放入FIB进行定位，必需通过FIB外接显示器提示，调整样品台位置进行对样品的寻找，找到样品并调节样品的纵、横轴(以下简称X、Y)后才能进行分析、加工。当一个样品完成加工后，需要再通过显示器寻找才能加工另一个样品，耗费时间比较长。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种聚焦离子束显微镜样品台，能进行快速、有效地定位。为此，本发明还要提供一种上述聚焦离子束显微镜样品台的使用方法。
为了解决上述技术问题，本发明的聚焦离子束显微镜样品台采用如下技术方案：
所述样品台边缘刻有一凹槽，以该凹槽为原点设有平面坐标轴，在样品台表面沿该坐标轴的X、Y方向分别刻有若干条间隔一致的细槽线，形成数十个大小相等的正方形，并在正方形内标有标识符。
一种上述聚焦离子束显微镜样品台的使用方法，包括如下步骤：
(1)将样品台放入聚焦离子束显微镜，用外接显示器找到样品台正方形中心小孔的位置，把该位置以正方形内的标识符为名称进行保存；
(2)重复步骤(1)，直至完成所有正方形中心小孔位置的保存；
(3)将已存样品位置的样品台保存到聚焦离子束显微镜的内置硬盘中；
(4)把样品贴在样品台正方形上，以小孔为中心，样品的X、Y方向对应样品台的X、Y方向；
(5)把贴有样品的样品台放入聚焦离子束显微镜，调出步骤(3)保存的样品台，点击与样品放置位置一致的标识符即可找到样品。
由于采用上述技术方案，本发明的聚焦离子束显微镜样品台，能进行高效、简便地定位操作，节省工作时间，提高工作效率。
附图说明
图1是本发明聚焦离子束显微镜样品台的示意图；
图2是本发明聚焦离子束显微镜样品台的使用方法的流程图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。
本发明的聚焦离子束显微镜样品台，应用于集成电路失效分析技术领域中聚焦离子束显微镜的硅片样品的放置，所述样品台边缘刻有一凹槽，以该凹槽为原点设有平面坐标轴，在样品台表面沿该坐标轴的X、Y方向分别刻有若干条间隔一致的细槽线，形成数十个大小相等的正方形，并在正方形内标有标识符。所述标识符可采用数字、字母或图形。
所述正方形中央设有便于外接显示器确定该正方形位置的小孔。
所述样品台可设为圆盘状。
在本发明的一个实施例中，样品台为直径200mm圆盘，厚度、底部构造与FIB的标准金属样品放置平台相同。在该圆盘的边缘刻出一个标识，开一个长2mm，宽1mm，深0.5mm的凹槽，以凹槽为坐标，垂直于凹槽的为X方向，平行于凹槽为Y方向。两个方向各划宽1mm，深0.5mm的细槽，槽与槽间隔可根据需要自行设定。例如，可根据芯片大小，将槽与槽间隔设定为20mm，细槽线形成20×20mm的正方形，在正方形中间挖直径2mm，深0.5mm的小孔，右下方用数字进行编号(见图1)。将样品台放入FIB，用外接显示器找到样品台正方形中的小孔，利用FIB位置保存功能将该位置以正方形右下角数字编号进行保存。重复操作，直到完成所有表面正方形中心小孔位置保存，并将已存样品位置的样品台保存到FIB内置硬盘中。
使用时，将样品贴在样品台正方形上，以小孔为中心，硅片的X、Y方向对应样品台的X、Y方向。将样品台放入FIB，调出已保存的样品台，点击与样品放置位置一致的编号不需要通过外接显示器即可找到样品(见图2)。如需转换到另一个样品直接点击另一个编号即可。

Claims (5)

1.一种聚焦离子束显微镜样品台，其特征在于，所述样品台边缘刻有一凹槽，以该凹槽为原点设有平面坐标轴，在样品台表面沿该坐标轴的X、Y方向分别刻有若干条间隔一致的细槽线，形成数十个大小相等的正方形，并在正方形内标有标识符。
2.如权利要求1所述的聚焦离子束显微镜样品台，其特征在于，所述正方形中央设有便于外接显示器确定该正方形位置的小孔。
3.如权利要求1所述的聚焦离子束显微镜样品台，其特征在于，所述标识符可采用数字、字母或图形。
4.如权利要求1所述的聚焦离子束显微镜样品台，其特征在于，所述样品台可设为圆盘状。
5.一种权利要求1所述的聚焦离子束显微镜样品台的使用方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)将样品台放入聚焦离子束显微镜，用外接显示器找到样品台正方形中心小孔的位置，把该位置以正方形内的标识符为名称进行保存；
(2)重复步骤(1)，直至完成所有正方形中心小孔位置的保存；
(3)将已存样品位置的样品台保存到聚焦离子束显微镜的内置硬盘中；
(4)把样品贴在样品台正方形上，以小孔为中心，样品的X、Y方向对应样品台的X、Y方向；
(5)把贴有样品的样品台放入聚焦离子束显微镜，调出步骤(3)保存的样品台，点击与样品放置位置一致的标识符即可找到样品。
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