CN101037043A - 液滴喷头及其制造方法、以及液滴喷出装置及其制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供即使液滴更微细化，也能够进行高精度描绘的液滴喷头的制造方法、液滴喷头以及液滴喷出装置的制造方法、液滴喷出装置。而且，即使喷嘴的指向有微小偏差，也能够实现高精度的描绘。液滴喷头具备与作为压力室的材料室连接、形成有作为喷出液滴的贯通部的喷嘴(21)的基板即喷嘴板(59)，具有在作为喷嘴板(59)的贯通部的喷嘴(21)上形成的用于引导液滴的多个液滴引导部(22)，各液滴引导部(22)朝喷出液滴的方向具有一定的曲率而延伸。

Description

液滴喷头及其制造方法、以及液滴喷出装置及其制造方法

技术领域

本发明涉及液滴喷头的制造方法、液滴喷头、及液滴喷出装置的制造方法、液滴喷出装置。

背景技术

目前，提案了利用喷墨式等液滴喷出技术描绘金属配线等微细图案的制造方法和其利用例。

例如专利文献1中所公开，提案的方法是，有关液滴喷头的结构，在液滴喷头的液滴喷出侧配置具有圆锥形状的喷嘴部，提高液滴直线飞行的稳定性，减少从各喷嘴喷出的液滴的喷出量的偏差。另外，作为液滴喷头的喷嘴部的制造方法，还提案了，在确保喷嘴直径的喷嘴板的流路侧层叠感光性树脂，通过从流路侧的相反侧进行曝光，将喷嘴部形成圆锥形状的制造方法。

专利文献1：特开平5-193144号公报

但是，专利文献1所示的液滴喷头，若要更进一步使液滴微细化，则由于空气阻力等而很难确保液滴直线飞行的稳定性，难于使液滴正确地飞到目标位置。为利用液滴喷出技术直接描绘更微细的图案，就必须使液滴更微细化。但是，随着液滴更微细化，很难保证液滴准确地命中目标位置。另外，在制造喷出微细化了的液滴的微细的喷嘴密集的喷嘴板时，有时会发生喷嘴朝向偏离的现象。其结果是，由于喷嘴朝向发生微小偏离，从而液滴往往不能命中目标位置而发生偏离。很难进行高精度的描绘。

发明内容

本发明的目的在于，提供即使液滴更加微细化，也能够进行高精度描绘的液滴喷头的制造方法、液滴喷头、及液滴喷出装置的制造方法、液滴喷出装置。另外，即使喷嘴朝向发生微小偏离，也能够实现高精度的描绘。

本发明提供液滴喷头，其具备与压力室连接、形成有喷出液滴的贯通部的基板，具有在所述基板的所述贯通部形成的用于引导所述液滴的多个液滴引导部，所述各液滴引导部朝喷出所述液滴的方向具有一定的曲率而延伸。

根据该发明，液滴引导部形成于贯通部，该液滴引导部朝喷出液滴的方向具有一定的曲率而延伸，因此，容易在液滴上施加旋转力，因此，容易使液滴集中在贯通部的中心。从贯通部喷出的液滴不容易受空气阻力的影响，能够笔直地在空间飞翔，因此，容易使液滴准确地命中捕获到的位置。能够提供使命中位置精度提高的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头，理想的是，在所述贯通部的表面，在相对喷出所述液滴的方向交叉的方向具备多个尖端，所述尖端包含于所述液滴引导部。

根据该发明，由于在所述贯通部的表面的液滴引导部形成有多个尖端，该多个尖端在相对喷出液滴的方向交叉的方向存在，因此，由于通过使液滴在前端交叉而容易对液滴施加旋转力，故液滴更容易集中到贯通部，因此，从贯通部喷出的液滴在空间飞翔时，能够笔直地飞翔，从而容易命中目标位置。能够提供使命中位置精度提高的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头，理想的是，所述液滴引导部表面的对所述液滴的润湿性不同于所述贯通部的所述液滴引导部以外的表面的对所述液滴的润湿性。

根据该发明，通过使液滴引导部表面的润湿性和贯通部的液滴引导部以外的表面的润湿性以不同的方式形成，从而在贯通部存在亲液部和疏液部，容易对液滴施加旋转力，因此，液滴更容易集中到贯通部的中心，所以，从贯通部喷出的液滴在空间飞翔时，能够笔直地飞翔，从而准确地命中目标位置。能够提供使命中位置精度提高的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头，其特征在于：具备与压力室连接、形成有喷出液滴的贯通部的基板，所述贯通部包括按照与所述压力室连接的方式形成的第一贯通部、和与所述第一贯通部连通的第二贯通部，在所述第一贯通部的表面和所述第二贯通部的表面中的至少一个所述表面，在相对喷出所述液滴的方向交叉的方向形成有多个尖端，所述各尖端分别由第一线和按照与所述第一线连接的方式配置的第二线构成，所述各尖端包含于在朝喷出所述液滴的方向具有一定的曲率而延伸的所述液滴引导部。

根据该发明，由第一线和第二线构成的具有多个尖端的液滴引导部在第一贯通部的表面和第二贯通部的表面中的至少一个表面形成。具备多个尖端的液滴引导部在朝喷出液滴的方向具有一定曲率而延伸，因此，通过对液滴更进一步施加旋转力，容易将液滴集中到贯通部的中心。从贯通部喷出的液滴在空间飞翔时，能够更笔直地飞翔，从而更准确地命中目标位置。能够提供使命中位置精度提高的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头，理想的是，所述第一线及第二线中的至少一个包含曲线部而形成。

根据该发明，由于在使液滴一边沿旋转方向旋转一边喷出时，在第一线及第二线中的任一个含有曲线部，故能够容易地使液滴在特定的旋转方向旋转，因此，能够提高指向性，所以，能够提供命中位置精度高的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头，理想的是，所述第一线的长度比所述第二线的长度长。

根据该发明，由于第一线的长度比上述第二线的长度长，故尖端的指向容易偏向特定的方向，因此，对液滴能够加强向特定旋转方向的指向性，所以，能够提供命中位置精度高的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头，理想的是，所述第一线和所述第二线的配置位置位于相对所述尖端的位置大致相等的位置。

根据该发明，由于相对尖端的位置，第一线和上述第二线的配置位置大致相等而形成，故多个尖端的指向容易与特定的方向一致，因此，对液滴能够增强向特定旋转方向的指向性，所以，能够提供命中位置精度高的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头，理想的是，所述第一线和所述第二线的配置位置位于相对所述尖端的位置对称的位置。

根据该发明，由于相对尖端的位置，第一线和上述第二线的配置位置配置在对称位置，故可使接受液滴的摩擦阻力接近大致均等，所以，能够抑制减少从液滴喷头喷出时产生的液滴的喷出方向的误差，从而能够提供命中位置精度高的液滴喷头。

本发明提供液滴喷出装置，其特征在于：是具备液滴喷头的液滴喷出装置，其具备上述记载的液滴喷头。

根据该发明，由于具备上述记载的命中位置精度高的液滴喷头，因此能够提供可以实现高精度描绘的液滴喷出装置。

本发明提供液滴喷头的制造方法，该液滴喷头具备与压力室连接、形成有喷出液滴的贯通部的基板，其特征在于：包括在所述基板的所述贯通部形成朝喷出所述液滴的方向具有一定曲率而延伸的多个液滴引导部的工序。

根据该发明，通过在贯通部形成朝喷出液滴的方向具有一定曲率而延伸的液滴引导部，从而容易对液滴施加旋转力，容易使液滴集中在贯通部的中心。由于从贯通部喷出的液滴不容易受空气阻力的影响，而笔直地在空间飞翔，故液滴能够准确地命中目标位置。能够制造可以使命中位置精度提高的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头的制造方法，理想的是，在形成所述液滴引导部的工序中，在所述贯通部的表面，沿相对喷出所述液滴的方向交叉的方向形成多个尖端。

根据该发明，通过在贯通部表面的液滴引导部形成多个尖端，从而该多个尖端存在于相对喷出上述液滴的方向交叉的方向，因此，由于通过将液滴在尖端交叉，容易对液滴施加旋转力，故液滴容易集中在贯通部的中心，所以，从贯通部喷出的液滴在空间飞翔时，能够更笔直地飞翔，从而更准确地命中目标位置。能够提供使命中位置精度提高的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头的制造方法，理想的是，在形成所述液滴引导部的工序中，按照所述液滴引导部表面的对所述液滴的润湿性不同于所述贯通部表面的对所述液滴的润湿性的方式形成。

根据本发明，通过使液滴引导部表面的润湿性和贯通部表面的润湿性不同而形成，从而在贯通部存在亲液部和疏液部，容易对液滴施加旋转力，因此，液滴更容易集中到贯通部的中心，所以，从贯通部喷出的液滴在空间飞翔时，能够笔直地飞翔，从而准确地命中目标位置。能够提供使命中位置精度提高的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头的制造方法，该液滴喷头具有连接压力室并喷出液滴的基板，其特征在于，包括：在所述基板上形成具有与所述压力室连接的第一贯通部和与所述第一贯通部连通的第二贯通部的贯通部的工序；在所述第一贯通部的表面和第二贯通部的表面中的至少一个所述表面上形成液滴引导部的工序，其中所述液滴引导部具有多个由第一线和按照与所述第一线连接的方式配置的第二线构成的尖端，并且，所述液滴引导部朝喷出所述液滴的方向具有一定的曲率而延伸。

根据本发明，由于在第一贯通部的表面和第二贯通部的表面中的至少一个表面形成由第一线和第二线构成的具有多个尖端的液滴引导部，且具备多个尖端的液滴引导部朝喷出液滴方向具有一定曲率而延伸，故容易在液滴上施加旋转力，因此，能够容易使液滴集中在贯通部的中心。从贯通部喷出的液滴在空间飞翔时，能够笔直地飞翔，从而准确地命中目标位置。能够提供使命中位置精度提高的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头的制造方法，理想的是，在形成所述液滴引导部的工序中，所述第一线以及所述第二线中的至少一个包含曲线部而形成。

根据本发明，在液滴一边沿旋转方向旋转一边喷出时，第一线及第二线中的任一个含有曲线部，由此，可使液滴容易地沿特定的旋转方向旋转，因此，可增强指向性，所以，能够制造命中位置精度高的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头的制造方法，理想的是，在形成所述液滴引导部的工序中，按照所述第一线的长度比所述第二线的长度长的方式形成。

根据本发明，由于通过使第一线的长度比上述第二线的长度长，使尖端部的指向容易偏向特定的方向，故对液滴能够增强向特定旋转方向的指向性，因此，能够制造命中位置精度高的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头的制造方法，理想的是，在形成所述液滴引导部的工序中，按照相对所述尖端的位置使所述第一线和所述第二线的配置位置成为大致相等的位置的方式形成。

根据本发明，相对上述尖端的位置，使第一线和第二线配置位置大致相等，由此，容易使多个尖端部的指向与特定方向一致，因此，对液滴能够增强向特定旋转方向的指向性，所以，能够制造命中位置精度高的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头的制造方法，理想的是，在形成所述液滴引导部的工序中，按照相对所述尖端的位置使所述第一线和所述第二线的配置位置成为大致对称的位置的方式形成。

根据本发明，对于上述尖端的位置，将第一线和第二线配置在对称位置，由此，可使液滴受到的摩擦力接近大致均等，因此，能够抑制减少从液滴喷头喷出时发生的液滴喷出方向的误差，所以，能够制造命中位置精度高的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头的制造方法，其特征在于：该液滴喷出装置具备液滴喷头，其特征在于：具备用上述记载的液滴喷头的制造方法形成的所述液滴喷头。

根据本发明，由于具有能够提高命中位置精度的液滴喷头，所以能够制造可以实现提高描绘精度的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头，其特征在于：具备连接压力室、形成有喷出液滴的贯通部的基板，具有在所述基板的所述贯通部形成的用于引导所述液滴的多个液滴引导部，所述各液滴引导部朝喷出所述液滴的方向疏密地延伸。

根据本发明，液滴引导部形成于基板的贯通部，该液滴引导部朝喷出液滴的方向疏密地延伸，因此，能够微妙地控制液滴的喷出方向。即使贯通部指向的方向有偏差，也能够抑制液滴喷出方向的偏差，因此，能够使液滴容易地命中目标位置。能够提供可提高命中位置精度高的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头，理想的是，所述液滴引导部相对喷出所述液滴的方向平行或倾斜地形成，所述液滴引导部具备疏密分布的槽。

根据本发明，通过以朝喷出液滴的方向疏密地分布的方式将平行或具有倾斜的槽作为液滴引导部形成，对喷出的液滴在特定的方向成为阻力，因此，容易使具有微妙倾斜的液滴从贯通部飞出。即使贯通部指向的方向有偏差，也能够根据贯通部指向的方向修正液滴的喷出方向，调节飞行方向，因此，其结果是，即使是微细化的液滴，也能够准确地命中目标位置。能够制造可提高命中位置精度的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头，理想的是，所述液滴引导部相对喷出所述液滴的方向平行或倾斜地形成，所述液滴引导部具备疏密分布的润湿性不同的所述图案。

根据本发明，通过以朝喷出液滴的方向疏密地分布的方式将平行或具有倾斜的槽作为液滴引导部形成，对喷出的液滴在特定的方向成为阻力，因此，容易使具有微妙倾斜的液滴从贯通部飞出。即使贯通部指向的方向有偏差，也能够根据贯通部指向的方向修正液滴的喷出方向，调节飞行方向，因此，其结果是，即使是微细化的液滴，也能够准确地命中目标位置。能够制造可提高命中位置精度的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头，理想的是，所述液滴引导部相对喷出所述液滴的方向平行或倾斜地形成，所述液滴引导部具备疏密分布的多个微小的凹凸部。

根据本发明，通过以朝喷出液滴的方向疏密地分布的方式形成多个微小的凹凸部，对喷出的液滴在特定的方向成为阻力，因此，容易使具有微妙倾斜的液滴从贯通部飞出。即使贯通部指向的方向有偏差，也能够根据贯通部指向的方向修正液滴的喷出方向，调节飞行方向，因此，其结果是，即使是微细化的液滴，也能够准确地命中目标位置。能够制造可提高命中位置精度的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头，理想的是，所述贯通部具备与所述压力室连接的第一贯通部、和与所述第一贯通部连通的第二贯通部，所述液滴引导部在所述第一贯通部形成。

根据本发明，由于第一贯通部做成圆锥状，故通过在第一贯通部的表面形成液滴引导部，容易引导液滴。

本发明提供液滴喷出装置，其特征在于：其具备液滴喷头，其特征在于：具备上述记载的液滴喷头。

根据本发明，由于具备上述记载的命中精度高的液滴喷头，故能够提供可以实现高精度描绘的液滴喷出装置。

本发明的液滴喷头的制造方法，所述液滴喷头具备连接压力室、形成有喷出液滴的贯通部的基板，其特征在于：包括在所述基板的所述贯通部形成朝喷出所述液滴的方向疏密延伸的多个液滴引导部的工序。

根据该本发明，通过在贯通部形成朝喷出液滴的方向疏密延伸的液滴引导部，可以微妙地控制液滴的喷出方向。即使贯通部指向的方向有偏差，也能够抑制从贯通部喷出的液滴的喷出方向的偏差，因此，就容易准确地使液滴正确命中目标位置。能够制造可使命中位置精度提高的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头的制造方法，理想的是：在形成所述液滴引导部的工序中，在所述贯通部的表面，以朝喷出所述液滴的方向疏密分布的方式形成平行或倾斜的多个槽。

根据该本发明，通过以朝喷出液滴的方向疏密地分布的方式将平行或具有倾斜的槽作为液滴引导部形成，对喷出的液滴在特定的方向成为阻力，因此，容易使具有微妙倾斜的液滴从贯通部飞出。即使贯通部指向的方向有偏差，也能够根据贯通部指向的方向修正液滴的喷出方向，调节飞行方向，因此，其结果是，即使是微细化的液滴，也能够准确地命中目标位置。能够制造可提高命中位置精度的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头的制造方法，理想的是：在形成所述液滴引导部的工程中，在所述贯通部的表面，以朝液滴喷出方向疏密分布方式形成平行或具有斜度的多个润湿性不同的图案。

根据该本发明，通过以朝喷出液滴的方向疏密地分布的方式形成平行或具有倾斜润湿性不同的图案，对喷出的液滴在特定的方向成为阻力，因此，容易使具有微妙倾斜的液滴从贯通部飞出。即使贯通部指向的方向有偏差，也能够根据贯通部指向的方向修正液滴的喷出方向，调节飞行方向，因此，其结果是，即使是微细化的液滴，也能够准确地命中目标位置。能够制造可提高命中位置精度的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头的制造方法，理想的是：在形成所述液滴引导部的工序中，在所述贯通部的表面，以朝喷出所述液滴的方向疏密分布的方式形成多个微小的凹凸部。

根据该本发明，通过以朝喷出液滴的方向疏密地分布的方式形成多个微小的凹凸部，对喷出的液滴在特定的方向成为阻力，因此，容易使具有微妙倾斜的液滴从贯通部飞出。即使贯通部指向的方向有偏差，也能够根据贯通部指向的方向修正液滴的喷出方向，调节飞行方向，因此，其结果是，即使是微细化的液滴，也能够准确地命中目标位置。能够制造可提高命中位置精度的液滴喷头。

本发明提供液滴喷头的制造方法，该液滴喷出装置具备液滴喷头，其特征在于：具备用如上所述的液滴喷头的制造方法形成的所述液滴喷头。

根据该本发明，由于具备可以提高命中位置精度的液滴喷头，所以，能够制造可以实现描绘精度提高的液滴喷出装置。

附图说明

图1是表示第一实施例液滴喷头的喷嘴板的例子的概略图，(a)是平面图，(b)是沿(a)的A-A线的剖面图，(c)是沿(b)的B-B线的剖面图；

图2是用于说明液滴喷头的喷嘴板的制造方法的图，(a)是概略图，b)是沿(a)的A-A线的剖面图；

图3是表示第二实施例的液滴喷头的喷嘴板的例子的概略图，(a)是平面图，(b)是沿(a)的A-A线的剖面图，(c)是沿(b)的B-B线的剖面图；

图4是用于说明液滴喷头的喷嘴板的制造方法的图，(a)是概略图，(b)是沿(a)的A-A线的剖面图；

图5是表示第三实施例的液滴喷头的喷嘴板的例子的概略图，(a)是平面图，(b)是沿(a)的A-A线的剖面图；

图6是用于说明液滴喷头的喷嘴板的制造方法的图，(a)是光掩膜概略图，b)是加载光掩膜时的图；

图7是表示液滴喷头的喷嘴板的制造方法顺序的流程图；

图8是表示第四实施例的液滴喷头的喷嘴板的例子的概略图，(a)是平面图，(b)是沿(a)的A-A线的剖面图，(c)是沿(b)的B-B线的剖面图；

图9用于说明液滴喷头的喷嘴板的制造方法的图，(a)是概略图，b)是沿(a)的A-A线的剖面图；

图10是表示第五实施例的液滴喷头的喷嘴板的例子的概略图，(a)是平面图，(b)是沿(a)的A-A线的剖面图；

图11用于说明液滴喷头的喷嘴板的制造方法的图，(a)是光掩膜概略图，(b)是加载光掩膜时的图；

图12是局部表示液滴喷头的主要部分的图，(a)是概略立体图，(b)是概略剖面图；

图13是表示液滴喷出装置的概略构成图；

图14是表示变形例1的液滴喷头的喷嘴板的例子的概略图，(a)是平面图，(b)是沿(a)的A-A线的剖面图，(c)是沿(b)的B-B线的剖面图；

图15是表示变形例2的液滴喷头的喷嘴板例子的概略图，(a)是平面图，(b)是沿(a)的A-A线的剖面图，(c)是沿(b)的部分放大图；

图16是表示变形例3的液滴喷头的喷嘴板的例子的概略图，(a)是平面图，(b)是沿(a)的A-A线的剖面图；

符号说明

20液滴喷头

21(121、221、321、421、521、621、721)作为贯通部的喷嘴

21a(121a、221a、321a、421a、521a、621a、721a)第一贯通部

21b(121b、221b、321b、421b、521b、621b、721b)第二贯通部

22(122、222、322、422、522、622、722)液滴引导部

23第一线

24第二线

25尖端

59作为第二基板的喷嘴板

62作为第一基板的隔板部件

63作为压力室的材料室

100液滴喷出装置

F疏密部

G致密部

L液滴

P作为基体的基板

R曲线部

具体实施方式

(第一实施例)

在本实施例中，对在作为贯通部的喷嘴具备作为液滴引导部的螺旋状的细槽的液滴喷头进行说明。所谓液滴引导部，是指在基板上形成的贯通部的表面雕刻的槽和突起等物理构造或在贯通部的表面形成的亲液区域或非亲液区域等化学构造。都具有辅助液滴通过贯通部作用的效果。

首先，说明在本发明液滴喷出装置上搭载的液滴喷头的构成。

图12是部分表示液滴喷头的主要部分的图，(a)是概略立体图，(b)同一图的是概略剖面图。

如图12(a)所示，液滴喷头20具有作为第二基板的喷嘴板59、与之对向的振动板61、将它们彼此接合的作为第一基板的隔板部件62。在该喷嘴板59和振动板61之间，通过隔板部件62形成作为多个压力室的材料室63储液室64。这些材料室63的储液室64通过通路68彼此连通。

在振动板61上形成有材料供给孔66。该材料供给孔66连接材料供给装置67。该材料供给装置67向材料供给孔66供给材料。如此供给的材料N充满储液室64，进而通过通路68充满材料室63。

如图12(b)所示，在喷嘴板59上设有用于将材料N作为液滴L从材料室63喷出的喷嘴21。另外，在面临振动板61的材料室63面的里面，对应于该材料室63安装有材料加压体69。该材料加压体69具有压电元件71以及夹持该元件的一对电极72a及72b。压电元件71按照通过向电极72a及72b通电而向箭头C所示的外侧突出的方式挠曲变形，由此，材料室63的容积增大。于是，与增大的容积部分相当的材料N从储液室通过通路68流入材料室63。

其后，如果解除对压电元件71通电，则该压电元件71和振动板61同时返回初始形状，由此，材料室63也返回到初始容积，因此，在材料室63内部的材料N的压力上升，材料N从喷嘴21成为液滴L喷出。另外，在喷嘴21的周边，为了防止液滴L曲线飞行或喷嘴21堵塞，例如也可以设置由Ni-四氟乙烯共析镀敷层构成的防墨材料层73。

在此，图1是表示第一实施例的液滴喷头的喷嘴板的例子的概略图，(a)是平面图，(b)是沿(a)的A-A线的剖面图，(c)是沿(b)的B-B线的剖面图；图2是用于说明液滴喷头的喷嘴板的制造方法的图，(a)是概略图，(b)是沿(a)的A-A线的剖面图。参照图1以及图2，说明发明液滴喷头的喷嘴板以及其制造方法。

如图1(a)所示，在作为第二基板的喷嘴板59上形成有作为贯通部的喷嘴21。喷嘴板59是构成液滴喷头的部件之一。在该喷嘴21上形成有多个能够引导液滴L的液滴引导部22。如同图所示，在喷嘴21上形成的液滴引导部22的个数为六个。在本实施例中，将液滴引导部22的个数设为六个，但不局限于此，也可以进行适宜的增加，当然也可以使其减少。通过增加液滴引导部22的个数，期待高效率从喷嘴21向喷出口21c(图1(b))引导液滴L。通过减少液滴引导部22的个数，从而在制作液滴引导部22时，个数减少，因此，减少了制作程序，所以，可以提高效率。再者，本实施例的喷嘴板59，其材质是不锈钢，但不限于此。例如，在第一基板和第二基板一体形成的情况等，可使用和第一基板相同的材质。作为喷嘴板59的材料，也可以使用SUS(不锈钢)，当然也可以在基板表面形成金属膜、电介质膜、有机膜等作为基底层。

如图1(b)所示，在第二基板的喷嘴板59上形成的作为贯通部的喷嘴21由第一贯通部21a、第二贯通部21b、喷口21c构成。第一贯通部21a做成圆椎状(碗状)，第二贯通部21b做成圆筒状。液滴引导部22以从第一贯通部21a连接第二贯通部21b的方式形成。第一贯通部21a和第二贯通部21b以液滴L能够从喷口喷出的方式构成。第一贯通部21a的直径的大小为50μm程度，第二贯通部21b的直径的大小为20μm程度。再者，喷嘴21的数量根据液滴喷头20(参照图12(a)、(b))的用途而不同，在喷嘴板59上配置有多个。

图1(b)中，液滴引导部22从喷嘴板59的表面侧(同一图的上侧)向里面侧(同一图的下侧)形成，被螺旋状配置。液滴引导部22是细槽。液滴引导部22在第一贯通部21a的表面形成，如同图所示，各液滴引导部22分别朝喷出液滴L方向具有一定曲率而延伸。

如图1(c)所示，液滴引导部22具备第一线23和第二线24。第一线23和第二线24在交叉部位具有尖端25。第一线23和第二线24相对中心线C-C线对称配置。而且，第一线23距中心线C-C的间隔m1和第二线24的间隔m2配置为几乎相等。在此，第一线23是曲线，第二线24是直线。作为曲线的第一线23具备曲线部R。本实施例中，将第一线23做成曲线，将第二线24做成直线，但不限于此。例如，也可以将第一线23做成直线，将第二线24做成曲线。

如图1(c)所示，液滴引导部22的剖面形状大致呈三角形，是凹状的槽。该凹状槽的大小为宽约1μm、深约1μm的细槽。另外，该凹状的槽不限于三角形状，也可以为包含四角形状和五角形状的多角形状。液滴引导部22的剖面形状呈凹状槽形成，但不限于此，也可以凸状形成。而且，和凹状槽一样，凸状的断面形状也不局限于此，也可以包含四角形状和五角形状的多角形状。

下面，说明液滴引导部22的制造方法。

如图2(a)所示，作为用于本实施例的制造方法的结构，例如，可以利用金属模具的构造。该构造大致由冲头10、脱模板11、阴模13、设置在阴模13上的孔14构成。在冲头10的圆锥部分，螺旋状形成有对应液滴引导部22(参照图1(b)、(c))的凸部12(参照图1(a))，冲头10形成与喷嘴21(参照图1(b)、(c))一致的形状，而且，设置在阴模13上的孔14构成为比冲头10的顶端直径稍大的形状。

将喷嘴板坯料59a配置在阴模13上，通过冲头10抵接并贯通该喷嘴板坯料59a，形成冲裁废料15，该冲裁废料15从孔14落下。于是，就可以形成作为具有第一贯通部21a和第二贯通部21b的贯通部的喷嘴21。同时，通过凸部12抵接喷嘴板坯料59a，就可以在第一贯通部21a形成液滴引导部22(参照图1(a))。而且，在冲头10的圆锥部分，由于凸部12螺旋状形成，所以，螺旋状形成液滴引导部22(参照图1(a))。而且，能够在第一贯通部21a(参照图1(b))形成具备螺旋状的液滴引导部22的喷嘴板59。

如图2(b)所示，在冲头10的圆锥部分形成的凸状的凸部12有多个。凸部12的个数对应液滴引导部22(参照图1(a))的个数。在对应于第一线23(参照图1(a))的位置形成有第一凸部23a。同样，在对应于第二线24(参照图1(a))的位置形成有第二凸部24a。而且，在对应于尖端25(参照图1(a))的位置形成有尖端部25a。在此，第一凸部23a是曲线，第二凸部24a是直线。第一凸部23a和第二凸部24a相对中心线C-C线对称配置。而且，第一凸部23a距中心线C-C的间隔m1和第二凸部24a的间隔m2配置为大致相等。和这些第一凸部23a、第二凸部24a交叉的部位是尖端部25a。

如果使具备凸部12的冲头10抵接喷嘴板坯料59a，其中所述凸部12具有具备第一凸部23a和第二凸部24a的尖端部25a，则就能够形成具备第一线23和第二线24的尖端25的液滴引导部22(参照图1(a))。而且，相对中心线C-C对称配置第一线23(参照图1(a))和第二线24(参照图1(a))，而且，能够将第一凸部23a距中心线C-C的间隔m1和第二凸部24a的间隔m2形成为大致相等。

构成本实施例的液滴喷头的喷嘴板的喷嘴的形状以及其制造方法如上，对从液滴喷头喷出液滴时的液滴的喷出方法进行说明。

液滴L，通过喷嘴21从喷出口喷出时，液滴L沿液滴引导部22喷出。液滴引导部22，在呈圆锥状(碗状)的第一贯通部21a上形成，而且，因为是螺旋状的细槽，故液滴L容易沿该螺旋状的细槽从喷出口21c喷出。因此，从喷出口21喷出时的液滴L就容易沿旋转方向给其施加旋转力，容易指向喷嘴21的中心。而且，从喷嘴21喷出的液滴在空间飞行时，更可以笔直地飞翔，更容易准确地命中捕获到目标位置。而且，液滴引导部22具有具备第一线23和第二线24的尖端25，因此，对液滴L更能够容易施加旋转力。能够提供可以使液滴L提高命中位置精度的液滴喷头20(图12(a)、(b))。

在本实施例中，得到以下效果。

(1)液滴引导部22在作为贯通部的喷嘴21上形成，由于液滴引导部22在朝喷出液滴的方向具有一定曲率而延伸，故容易对液滴L施加旋转力，因此，容易使液滴L集中到喷嘴21的中心。从喷嘴21喷出的液滴L不易受空气阻力的影响，能够笔直地在空间飞翔，因此，容易使液滴L准确地命中目标位置。

(2)多个尖端部25在喷嘴21的液滴引导部22形成，该多个尖端部25存在于相对喷出液滴L的方向交叉的方向，因此，通过液滴L在尖端25交叉，就容易对液滴L施加旋转力。而且，由于更容易将液滴L集中到喷嘴21的中心，故从喷嘴21喷出的液滴L在空间飞行时，就会笔直地飞翔，就容易使液滴L准确地命中目标位置。

(3)由第一线23和第二线24构成的具有尖端25的液滴引导部22，在第一贯通部21a的表面形成有多个，具有尖端25的液滴引导部22朝喷出液滴L的方向具有一定曲率而延伸，因此，由于对液滴更容易地施加旋转力，从而更容易使液滴L集中到喷嘴21的中心。从喷嘴21喷出的液滴L在空间飞行时，就会笔直地飞翔，更容易使液滴L准确地命中目标位置。

(4)在使液滴L一边沿旋转方向旋转一边喷出时，若在第一线23和第二线24的任一方包含曲线部，则由于在特定的旋转方向能够使液滴L容易旋转，故可以增强指向性，因此，可以使命中位置精度提高。

(5)由于第一线23的长度比第二线24的长度长，故尖端25的指向容易靠向特定的方向，因此，能够增强相对液滴L向特定的旋转方向的指向性，所以，能够使命中位置精度提高。

(6)由于对于尖端25的位置，第一线23和第二线24的配置位置大致相等形成，故多个尖端25的指向容易与特定方向一致，因此，能够相对液滴L增强向特定旋转方向的指向性，所以，能够使命中位置精度提高。

(7)通过对于尖端25的位置，将第一线23和第二线24的配置位置配置在对称位置，能够使液滴L受到的摩擦阻力大致均等，因此，能够抑制减少液滴L的喷出方向的误差，所以，能够使命中位置精度提高。

(第二实施例)

在本实施例中，对喷嘴板的喷嘴部具有直线状的槽的液滴喷头进行说明。直线状的槽形成于第一贯通部。

图3是表示第二实施例的液滴喷头的喷嘴板之一例的概略图，(a)是平面图，(b)是沿(a)的A-A线的剖面图，(c)是沿(b)的B-B线的剖面图；图4是用于说明液滴喷头的喷嘴板的制造方法的图，(a)是概略图，(b)是沿(a)的A-A线的剖面图。参照图3及图4，说明本发明的液滴喷头的喷嘴板及其制造方法。还有，本实施例和上述第一实施例不同的点在于：液滴引导部不用螺旋状的细槽，而用直线状的槽形成。再者，具有和上述第一实施例相同的部件以及相同功能的部件用同一符号表示，省略其说明。

如图3(a)所示，在作为第二基板的喷嘴板59上形成有作为贯通部的喷嘴121。在该喷嘴121上形成有多个能够引导液滴L的液滴引导部122。如同图所示，形成于喷嘴121上的液滴引导部122直线状形成，其个数是六个。

如图3(b)所示，在第一贯通部121a的表面上形成有液滴引导部122。液滴引导部122以从第一贯通部121a朝第一贯通部121b连接的方式形成。

在图3(b)中，液滴引导部122从喷嘴板59表面侧(同图中上侧)朝里面侧(同一图的下侧)形成，直线状配置。该液滴引导部122是槽。如同图所示，各液滴引导部122朝喷出液滴L的方向延伸。

如图3(c)所示，液滴引导部122和液滴引导部22(参照图1(c))具有相同的形状。即，第一线123和图1(c)所示第一线23对应，第二线124和图1(c)所示第二线24对应。因此，在第一贯通部121a，液滴引导部122从喷嘴板59的表面向第二贯通部121b成为锤状，因此，液滴引导部122截面面积与喷嘴板59表面附近比，在第二贯通部121b附近变小。即，第一线123的长度与喷嘴板59表面附近比，在第二贯通部121b附近变短。同样，第二线24长度与喷嘴板59表面附近相比，也在第二贯通部121b附近变短。

其次，对液滴引导部的制造方法进行说明。

如图4(a)所示，在冲头10的圆锥部分，对应液滴引导部122(图3(b)、图3(c))的凸部112形成直线状(图3(a))，冲头10为与喷嘴121(参照图3(b)、图3(c))对应的形状。而且，设于阴模13上的孔14形成为比冲头10的顶端的直径稍大的形状。而且，在冲头10的圆锥部分，凸部112形成直线状，通过使冲头10抵接喷嘴板坯料59a，形成第一贯通部121a。在第一贯通部121a的表面，能够形成呈直线状的液滴引导部122(图3(a))。而且，能够形成在第一贯通部121a(参照图3(b))具备直线状的液滴引导部122(图3(b))的喷嘴板59。再者，凸部112与液滴引导部122的形状对应，从第一贯通部121a朝第二贯通部121b形成锤状。

如图4(b)所示，在冲头10的圆锥部分形成的凸状的凸部112形成有多个，凸部112的数量对应液滴引导部122(参照图3(a))的数量。凸部112，其截面与第一实施例中的图2(b)的形状相同。但是，在第一贯通部121a，凸部112(参照图4(a))从第一贯通部121a朝第二贯通部121b成为锤状，因此，凸部112的截面面积与喷嘴板59的表面附近相比，在第二贯通部121b附近变小。即，第一线123a的长度与喷嘴板59的表面附近相比，在第二贯通部121b附近变短。同样，第一线124a的长度与喷嘴板59的表面附近相比，也在第二贯通部121b附近变短。假如使用该冲头10，就能够形成如图3(a)、(b)、(c)所示的液滴引导部122。

如上所述是构成本实施例的液滴喷头的喷嘴板的喷嘴形状及其制作方法，下面，对从液滴喷头喷出液滴时的液滴的喷出方法进行说明。

液滴L通过喷嘴121从喷出口121c喷出时，液滴L沿液滴引导部122喷出。液滴引导部122在呈斜面状的第一贯通部121a上形成，而且是直线状的槽，因此，液滴L沿该直线状的槽从喷出口121c喷出。因此，从喷出口121c喷出时的液滴L沿从第一贯通部121a朝第二贯通部121b锥状形成的液滴引导部122喷出，因此，容易指向喷嘴121的中心。而且，从喷嘴121喷出的液滴L在空间飞行时，更能笔直地飞翔，更容易准确地命中捕获到目标位置。能够提供可以使命中位置精度提高的液滴喷头20(参照图12)。

在本实施例中，除第一实施例中得到的效果以外，还能得到以下效果。

(8)液滴引导部122是直线状，形成与喷嘴板59的表面附近相比，在第二贯通部121b附近变小的锤状的槽，由于形状简单，故能够很容易高效率地制作冲头10。

(第三实施例)

在本实施例中，对喷嘴板的喷嘴部具备润湿性不同的图案的液滴喷头进行说明。润湿性不同的图案在第一贯通部形成。

图5是表示第三实施例的液滴喷头的喷嘴板的例子的概略图，(a)是平面图，(b)是沿(a)的A-A线的剖面图；图6是用于说明液滴喷头的喷嘴板的制造方法的图，(a)是光掩模的概略图，(b)是加载光掩模时的图；图7是表示液滴喷头的喷嘴板的制造方法顺序的流程图。参照图5～图7，对本发明的液滴喷头的喷嘴板及其制造方法进行说明。本实施例与前述第一实施例以及第二实施例不同点在于，液滴引导部用螺旋状的细槽和直线状的槽，而用润湿性不同的图案形成。另外，和前述第一实施例及第二实施例相同的部件及具有相同功能的部件用同一符号表示，省略说明。

如图5(a)所示，在作为第二基板的喷嘴基板59上形成有作为贯通部的喷嘴221。在该喷嘴221上形成有多个能够引导液滴L的液滴引导部222。如同图所示，在喷嘴221上形成的液滴引导部222直线状形成，其个数为六个。该液滴引导部222是相对于液滴L其润湿性低的区域，疏液性高。没有形成液滴引导部222的其他部分是对液滴L润湿性高的区域，亲液性高。

如图5(b)所示，在第一贯通部221a的表面上形成有液滴引导部222。液滴引导部222按照从第一贯通部221a朝第二贯通部221b连接的方式形成。

在图5(b)，液滴引导部222从喷嘴基板59的表面侧(同图的上侧)朝里面侧(同一图的下侧)形成，配置成直线状。液滴引导部222是具有疏液性的图案。如同图所示，各液滴引导部222朝喷出液滴L的方向延伸。

下面，对液滴引导部的制造方法进行说明。

图6(a)是光掩模91。如同图所示，光掩模91具备用于在喷嘴基板59的喷嘴221上形成液滴引导部的图案222a。

如图6(b)所示，在具有喷嘴221的喷嘴基板坯料59a上载置光掩模91，如果从光掩模91的上面侧(同一图的上侧)照射UV光(紫外线光)，则UV光的一部分被光掩模91的图案222a遮挡，照射不到第一贯通部221a的表面。由此，在第一贯通部221a的表面，就能够形成相对液滴L相对具有疏液性的区域和具有亲液性的区域。由此，例如，能够形成相对具有疏液性液滴引导部222(参照图5(a))。另外，也能够形成相对具有亲液性的液滴引导部222。有关更具体的制造方法，参照图7进行说明。

在图7的步骤S11中，在喷嘴基板坯料59a上形成疏液膜。作为疏液膜的形成方法，有形成单分子膜的方法。所谓单分子膜，通过具备能够与基材结合的官能基、和其反对侧的亲液基或疏液基这种将基材的表面性改质(控制表面能)的官能基、和连接这些官能基的碳的直链或一部分分开的碳链的分子集合体形成。

自组织化膜，由可与基材表面的构成原子反应的结合性官能基和其他的直链分子构成，是通过直链分子的相互作用使极具高定向性的化合物定向形成的膜。自组织化膜与光致抗蚀剂材料等树脂膜不同，由于使单分子定向形成，所以，形成的膜厚度可以很薄。而且，因分子程度而成为均匀的膜。由于在膜的表面设置相同的分子，所以，能够在膜的表面均匀地形成。而且，能够赋予优良的疏液形和亲液形。

例如，在使用氟烷基硅烷作为化合物在基材表面形成膜时，由于氟烷基位于膜基材表面的相反侧，故相对于水等极性溶剂的基材的疏液性强。作为化合物的具体例，可以列举十七氟四氢癸基三乙氧基硅烷、十七氟四氢癸基三氯硅烷、十三氟四氢辛基三氯硅烷、三氟丙基三甲氧基硅烷等氟烷基硅烷(下面，称为“FAS”)。在使用时，优选单独使用一个化合物，但也可以将两种以上的化合物组合使用。化合物具有R₂SiX_(4-n)(X为水解基团)的结构，通过水解形成硅醇，与基材(玻璃、硅)表面的羟基反应以硅氧烷键键合。另一方面，由于R具有(CF₀)(CF₃)等氟烷基，故可以在不润湿基材表面(表面能低)的表面改性。

自组织化膜，将上述的原料化合物和基材放入同一个密闭容器中，在室温下放置2～3日后，在基材上形成。另外，通过将密闭容器整体保持在100℃程度，以3个小时程度在基材上形成。以上所述是根据气相的自组织化膜的形成法，但也可以根据液相形成自组织化膜。例如，通过在含有原料化合物的溶液中浸湿基材、对其进行洗净、干燥，由此在基材上得到自组织化膜。

作为其它化合物的例子，例如有：具有硫醇(-SH)基、二硫(-S-S-)基、一硫(-S-)基、噻吩等含硫官能团的含硫有机分子。其中，优选具有硫醇基或二硫基的有机分子，特别优选具有硫醇基的有机分子。作为有机分子例如有：可以具有取代基的碳数1～22、优选4～18的直链或分支的脂肪族饱和烷基、脂肪族不饱和烷基等，作为取代基例如有：可以进一步取代的苯氧基、碳数1～22的氟烷基、羧酸基、氨基、氰基、酰胺基、酯基、磺酸基、卤原子(溴基、氯基、碘基等)、吡啶基、肽基、二茂铁基、各种聚合物链、蛋白质及核酸碱等生物体关联物质等。作为含硫有机分子的具体例，例如有：十八硫醇、偶氮酚盐癸烷硫醇、过氟辛基戊烷硫醇、丁烷硫醇、己烷硫醇、辛烷硫醇、十二烷硫醇、双十八烷二硫化物、半胱氨酸、六亚甲基四胺、噻吩、巯基十八基胺、巯基十八醇、巯基十八烷酸等。

自组织化膜，通过在上述的含硫磺的有机分子氛围气下放置一定时间的气化吸附法(也包含蒸镀)，在含硫磺的有机分子稀薄溶液中浸渍一定时间的浸渍法形成。自组织化膜形成的时间，在1mmol的溶液中浸渍时通常是数分钟～24小时，得到分子链长度相当的膜厚的单分子膜。

下面，在图7的步骤S12中，如图6(b)所示，将光掩膜91配置在喷嘴板坯料59a上。为在第一贯通部221a高精度地形成液滴引导部222(参照图4(a)、(b))，而优选将光掩膜91配置在高精度的喷嘴板坯料59a上。

下面，在图7的步骤S12中，对喷嘴板坯料59a照射UV光(紫外线光)。与最终得到的机能性薄膜的形状一致，构图自组织化膜。除去自组织化膜中的UV光照射过的部分，形成露出喷嘴板坯料59a的表面的露出部分和自组织化膜部分残存的残存部分。露出部分和残存部分相比，成为对液滴L相对具有润湿性的亲液性的部分，如果残存部分和露出部分比较，则成为对液滴L相对不具有润湿性的疏液性的部分。

作为自组织化膜的构图方法，可以应用紫外线照射法、电子光束照射法、X线照射法、(SPM)法等，本实施例，优选使用紫外线照射法。紫外线照射法通过由形成用于形成机能性薄膜形状的开口的光掩膜91，对自组织化膜照射规定波长的紫外线光进行。这样，通过照射紫外线光，将形成自组织化膜的分子分解、去除，进行构图。因此，紫外线照射法中，亲液部及疏液部可与各光掩膜上形成的图案222a的形状一致而形成。

此时，采用的UV光(紫外线光)的波长及照射时间，根据自组织化膜的原材料化合物适宜决定，优选使用200nm以下波长的UV光(紫外线光)。

最后，在图7的步骤S14中，疏液膜的一部分被疏液化，能够制造具有疏液性的液滴引导部222的喷嘴板。

如上所述是构成本实施例的液滴喷头的喷嘴板的喷嘴形状及其制造方法，下面，对从液滴喷头喷出液滴时的液滴的喷出发方法进行说明。

在液滴L通过喷嘴221从喷出口221c喷出时，液滴L沿液滴引导部222喷出。液滴引导部222在呈斜面状的第一贯通部221a上形成，而且，因为液滴引导部222具有疏液性，因此，液滴L沿具有该疏液性的液滴引导部222从喷出口221c喷出。因此，从喷出口221c喷出之际的液滴L就容易沿旋转方向赋予旋转力，所以容易指向喷嘴221的中心。而且，从喷出口221c喷出的液滴L在空间飞行时，就更能笔直地飞翔，准确地命中目标位置。能够提供能使命中位置精度提高的液滴喷头20(参照图12)。

本实施例中，除在第一实施例以及第二实施例中得到的效果以外，还得到以下效果。

(9)由于液滴引导部222利用光掩膜91形成，故结构比较简单，所以生产效率高。而且，由于光掩膜91具有的图案222a的形状可以自由改变，因此，液滴引导部222能够形成任意形状。

(第四实施例)

本实施例中，对在作为贯通部的喷嘴上疏密地具有作为液滴引导部细槽的液滴喷头进行说明。该喷嘴形成于作为第二基板的喷嘴板上。

图8是表示第四实施例的液滴喷头的喷嘴板的例子的概略图，(a)是平面图，(b)是沿(a)的A-A线的剖面图，(c)是沿(b)的B-B线的剖面图；图9用于说明液滴喷头的喷嘴板的制造方法的图，(a)是概略图，b)是沿(a)的A-A线的剖面图。参照图8以及图9，对本实施例的液滴喷头的喷嘴板及其制造方法进行说明。本实施例，与上述第一实施例、第二实施例以及第三实施例不同点在于，液滴引导部疏密分布地形成。另外，和上述第一实施例、第二实施例以及第三实施例相同的部件以及具有相同机能的部件用相同的符号表示，省略说明。

如图8(a)所示，在作为第二基板的喷嘴板59上形成有作为贯通部的喷嘴321。另外，喷嘴板59是构成液滴喷头20(参照图12)的部件之一。在该喷嘴321上形成有多个能够引导液滴L(参照图12)的液滴引导部322。另外，液滴引导部322在第一贯通部321a(参照图(b))的表面，朝喷嘴321的中心具有一定倾斜而配置，但不限于此，也可以平行配置。如同图所示，在第一贯通部321a(参照图(b))的表面上形成的液滴引导部322有多个，其疏密分布。有配置有多个液滴引导部322的致密部G和配置的液滴引导部322的数量比致密部G少的疏密部F。另外，喷嘴板59其材质是不锈钢。

如图8(b)所示，形成于喷嘴板59上的作为贯通部的喷嘴321由第一贯通部321a、第二贯通部321b、喷出口321c构成。第一贯通部321a做成圆锥状(碗状)，第二贯通部321b做成圆筒状。液滴引导部322以从321a连接到第二贯通部321b的方式形成。另外，形成于第一贯通部321a的液滴引导部322以与第二贯通部321b连接的方式形成，但不局限于此，也可以不与第二贯通部321b连接。连通第一贯通部321a和第二贯通部321b，液滴L(参照图12)，能够从喷出口321c喷出。第一贯通部321a的直径大小为50μm，第二贯通部321b的直径大小为20μm。另外，喷嘴321的数量根据液滴喷头20(参照图12)的用途也有差异，但在喷嘴板59上配置有多个。

在图8(b)中，液滴引导部322从喷嘴板59的表面侧(同图中上侧)朝里面侧(同一图的下侧)形成，按照疏密分布的方式配置。液滴引导部322是细槽。液滴引导部322在第一贯通部321a的表面形成，如同图所示，各液滴引导部322向喷出液滴L的方向延伸。而且，通过与朝喷嘴321的方向一致，研究对称配置液滴引导部322的疏密部F和致密部G，就能够修正液滴L的喷出方向。例如，相对喷嘴板59的表面侧(或里面侧)，喷嘴321不在垂直方向形成而是倾斜形成时，液滴L就沿喷嘴321的倾斜面喷出。于是，液滴L就不能够笔直飞行，因此，就难以准确地命中目标位置。液滴喷头20(参照图12)具备的喷嘴321的数量根据其用途而不同，在喷嘴板59上形成有多个喷嘴321。即在液滴喷头20具备的喷嘴321，根据其加工精度也可以不同，有时朝向的方向各自不同。

如图8(c)所示，液滴引导部322具有疏密分布的疏密部F和致密分布的致密部G。液滴引导部322致密分布的致密部G与液滴引导部322疏密分布的疏密部F相比，以大约2倍的密度分布。

在图8(c)中，液滴引导部322的截面形状大致为三角形状，是凹状的槽。该凹状槽的大小是宽约1μm，深约1μm的细槽。另外，该凹状槽不限于三角形状，也可以是含四角形状和五角形状的多角形状。另外，液滴引导部322的截面形状以成为凹状槽的方式形成，但不限于此，也可以形成凸状。而且，与凹状槽一样，凸状的截面形状不限于三角形状，也可以是含四角形状和五角形状的多角形状。

下面，对液滴引导部的制造方法进行说明。

如图9(a)所示，作为用于本实施例的制造方法的是，例如，可以利用金属模型。该结构大致由冲头10、脱模板11、阴模13、设于阴模13上的孔14构成。在冲头10的圆锥部分直线状形成有对应液滴引导部322(参照图8(b)、(c))的凸部212，冲头10做成与喷嘴321(参照图8(a)、(b))一致的形状。而且，设于阴模13上的孔14做成稍比冲头10顶端的直径大的形状。

喷嘴板坯料59a配置于阴模13上，通过冲头10抵接并贯通该喷嘴板坯料59a，形成冲裁废料15，该冲裁废料15从孔14落下。于是，就可以形成作为具有第一贯通部321a和第二贯通部321b的贯通部的喷嘴321。同时，通过凸部212抵接喷嘴板坯料59a，就可以在第一贯通部321a形成液滴引导部322(参照图8(a))。而且，在冲头10的圆锥部分形成凸部122，所以，能够形成液滴引导部322(参照图8(a))。而且，能够在第一贯通部321a(参照图8(b))，形成具备液滴感滴引导部322(参照图8(b))的喷嘴板59。在冲头10的圆锥部分形成凸状的凸部212有多个。凸部122的数量与液滴引导部322(参照图8(a))的数量相对应。

如图9(b)所示，对应液滴引导部322凸状的凸部212具有疏密分布的疏密部F和致密分布的致密部G。致密分布的致密部G与疏密分布的疏密部F相比，以大约2倍的密度分布凸部212。

在图9(b)中，凸部212的截面形状大致呈三角形，是凹状的槽，和液滴引导部322截面形状相对应。

以上说明的是构成本实施例的液滴喷头的喷嘴板的喷嘴形状及其制造方法，下面说明从液滴喷头喷出液滴时的液滴喷出的方法。

液滴L通过喷嘴321从喷出口321c喷出时，液滴L沿液滴引导部322喷出。液滴引导部322在呈圆锥状(碗状)的第一贯通部321a上形成，而且，因为是细槽，故液滴L容易沿该细槽从喷出口321c喷出。配置在喷嘴板59上的喷嘴321，其朝向有时偏向形成。于是，对应其各喷嘴321朝向而疏密配置液滴引导部322在其各喷嘴321上形成疏密部F和致密部G。于是，液滴引导部322疏密分布的疏密部F比液滴引导部322致密分布的致密部G，对液滴L的阻力减弱，因此，液滴L就能容易迅速从具有喷嘴321的喷出口321c喷出。即，通过研究均衡配置疏密部F和致密部G，对各喷嘴321，就能够修正液滴L的喷出方向。通过修正液滴L的喷出方向，可以使液滴L飞行到目标位置，因此，能够提高液滴L的命中位置精度。能够提供可以使液滴L的命中位置精度提高的液滴喷头20(参照图12)。

本实施例能够得到以下效果。

(10)液滴引导部322形成于作为贯通部的喷嘴321的第一贯通部321a的表面，该液滴引导部322朝喷出液滴L方向疏密地延伸，因此，可以微妙的修正液滴L的喷出方向。即使配置在喷嘴板59上喷嘴321的朝向有偏差，也能够修正液滴L喷出方向的偏差，所以，能够使液滴L容易准确地命中到目标位置。

(11)通过以朝喷出液滴L的方向疏密地分布的方式将平行或具有倾斜的槽作为液滴引导部322形成，对喷出的液滴L在特定的方向成为阻力，因此，能够微妙地修正液滴L的喷出方向。即使在喷嘴板59上配置的多个喷嘴321的各朝向方向上有偏差，也可以对应喷嘴321指向的方向修正液滴L的喷出方向，调整飞行方向，其结果是，即使是微细化的液滴L，也能够是液滴L容易准确地命中目标位置。

(第五实施例)

本实施例中，对在喷嘴板的喷嘴部具备润湿性不同的液滴喷头进行说明。润湿性不同的图案形成于第一贯通部。

图10是表示第五实施例的液滴喷头的喷嘴板的例子的概略图，(a)是平面图，(b)是沿(a)的A-A线的剖面图；图11用于说明液滴喷头的喷嘴板的制造方法的图，(a)是光掩膜的概略图，(b)是加载光掩膜后的图。还有，液滴喷头的喷嘴板制造方法的顺序与图7所示的流程图相同，所以省略说明。参照图10、图11，对本发明的液滴喷头的喷嘴板及其制造方法进行说明。本实施例与上述的第一实施例、第二实施例、第三实施例、及第四实施例的不同点在于，液滴引导部以具有粗和密的润湿性不同的图案形成。另外，与上述的第一实施例、第二实施例、第三实施例、第四实施例相同的部件以及具有相同机能的部件用同一符号表示，省略说明。

如图10(a)所示，在作为第二基板的喷嘴板59上形成有作为贯通部的喷嘴421。在该喷嘴421上形成有多个能够引导液滴L的液滴引导部422。如同图所示，在第一贯通部421a(参照图1(b))的表面形成的液滴引导部422直线状形成，其个数有多个。该液滴引导部422是相对液滴L润湿性低的区域，其疏液性高。没有形成液滴引导部422的剩余部分是相对液滴L润湿性高的区域，其亲液性低。

如图10(b)所示，在第一贯通部421a的表面上形成有液滴引导部422。液滴引导部422按照从第一贯通部421a朝第二贯通部421b连接的方式形成。

在图10(b)中，液滴引导部422从喷嘴板59的表面侧(同一图的上侧)朝里面侧(同一图的下侧)形成，直线状配置。液滴引导部422是具有疏液性的图案。如同图所示，各液滴引导部422朝喷出液滴L的方向延伸。

下面，对液滴引导部制造方法进行说明。

图11(a)是光掩膜191。如同图所示，光掩膜191具备用于在喷嘴板59的喷嘴421上形成液滴引导部422图案422a。

如图11(b)所示，在具有喷嘴421的喷嘴基材上载置光掩膜191，通过从光掩膜191的上侧面(同一图的上侧)照射UV光(紫外线光)，能够在第一贯通部421a的表面上形成具备疏液性和亲液性的区域。而且，能够形成具备疏液性的液滴引导部422。

以上是构成本实施例的液滴喷头的喷嘴板的喷嘴形状及其制造方法，下面，对从液滴喷头喷出液滴时的液滴喷出方法进行说明。

在液滴L通过喷嘴421从喷出口421c喷出时，液滴L沿液滴引导部422喷出。液滴引导部422，形成于呈圆锥状(碗状)的第一贯通部421a上，而且，是具有疏液性的槽，因此，液滴L容易沿该槽从喷出口421c喷出。配置在喷嘴板59上的喷嘴421，其指向有时有偏差。于是，通过相对各喷嘴421的朝向疏密配置液滴引导部422，在各喷嘴421上形成疏密部F和致密部G，能够对各喷嘴421修正液滴L的喷出方向。更具体地说，在形成疏密部F的部分，与形成致密部G相比，液滴L更容易通过，因此，在从喷出口421c喷出液滴L时，能够修正液滴L的飞行方向和喷嘴421的朝向一致。通过修正液滴L的喷出方向，就能够使液滴L笔直地飞行到目标位置，能够提高液滴L的命中位置精度。能够提供可以使命中位置精度提高的液滴喷出头20(参照图12)。

本实施例得到以下效果。

(13)由于液滴引导部422利用光掩膜191形成，故可只在第一贯通部421a的表面简单照射UV光(紫外线光)，是有效的。并且，由于可以自由改变光掩膜191的图案形状，所以，能够形成任意形状的液滴引导部422。

下面，对本发明的液滴喷头的制造方法、从液滴喷头喷出液滴(滴下)的液滴喷出装置进行说明。在此，在说明液滴喷头的制造方法、液滴喷出装置构成特征之前，首先，对在液滴喷出方法中形成膜图案时用的膜材料、液滴喷出方法、膜材料的硬化处理方法依次进行说明。

(膜材料)

作为用液滴喷出方法形成膜图案时的膜材料，由使导电性微粒子分散到分散介质上的分散液组成。在本实施例中，作为导电性微粒子，例如，除使用含金、银、铜、铁、铬、锰、钼、钛、钯、钨及镍中的任一个的金属微粒子之外，还使用这些氧化物及导电性聚合物和超导电性的微粒子。这些导电性的微粒子，为了提高分散型，也可以在表面涂敷有机物等而使用。导电性微粒子的粒子直径优选1nm以上0.1μm以下。若大于0.1μm，恐怕就会堵塞后述的液滴喷头20的喷嘴21(喷嘴121、221、321、421)。另外，若小于1nm，则相对导电性的微粒子体积比变大，得到的膜中的有机物的比例将过多。

作为分散剂，是可以分散上述的导电性微粒子的分散剂，只要不引起凝聚就没有特别限定。例如除水之外，可以例示：甲醇、乙醇、丙醇、丁醇等醇类；正丁烷、正辛烷、癸烷、十二烷、十四烷、甲苯、二甲苯、甲基异丙基苯、暗煤、茚、二戊烯、四氢化萘、十氢化萘、环己基苯等烃系化合物；另外有乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲基乙基醚、1，2-二甲氧基乙烷、二(2-甲氧基乙基)醚、对二噁烷等醚系化合物；还有丙烯碳酸酯、γ-丁内酯、N-甲基-2-吡咯烷酮、二甲基甲酰胺、二甲基亚砜、环己烷等极性化合物。其中，在微粒子的分散性和分散液的稳定性、另外对液滴吐出法的实用等容易程度方面，优选水、醇类、烃系化合物、醚系化合物，之外更优选的分散液，可以列举水、烃系化合物。

上述导电性微粒子的分散液的表面张力优选0.02N/m～0.07N/m的范围内。用液滴喷出方法喷出液滴L之际，若表面张力不到0.02N/m，则由于功能液组成物的对喷嘴的润湿性增大，而容易产生曲线飞行，若超过0.07N/m，则由于在喷嘴顶端的弯液面的形状不稳定，从而将难以控制喷出量和喷出时机。为调节表面张力，上述分散液中最好在不大幅度降低与基板的接触角的范围内微量添加氟类、硅类、非离子物质类等表面张力调节剂。非离子物质类表面张力调节剂是，使液体对基板的润湿性提高，改良膜的均匀性，防止膜产生微细凹凸等的调节剂。上述表面张力调节剂根据需要也可以含有乙醇、乙醚、酯、酮等有机化合物。

上述分散液的粘度优选1mPa～501mPa的范围内。用液滴喷出法喷出液体材料作为液滴L之际，在粘度小于11mPa的情况下，喷嘴周边部分由于有功能液流出，而容易被污染，在粘度大于50mPa的情况下，喷嘴被堵塞的频率增加而使平滑喷出变困难。

(液滴喷出方法)

作为液滴喷出方法的喷出技术，有多种，但由于可根据情况形成微细的图案，故优选喷墨法。作为喷墨法，比如有带电控制方式、加压振动方式、电机械变换式、电热变换式、静电吸引式等。在此，带电控制方式是，用带电电极给材料赋予电荷，用偏向电极控制材料的飞翔方向，从喷嘴喷出。加电振动方式是，在材料3上施加30kg/cm²的超高压，在喷嘴前端部使材料喷出，在不施加控制电压的情况下，材料直进，从喷嘴喷出，当施加控制电压时，在材料之间会引起静电反应，使材料飞散，不从喷嘴喷出。另外，电机械变换式是，利用压电元件(压电元件)接收脉冲的电信号而变形的性质，通过使压电元件变形，经由可挠物质对储存材料的空间施加压力，从该空间押出材料，从喷嘴喷出。

另外，电热变换方式是，通过设置在储存有材料的空间内的加热器，使材料急剧气化，产生气泡(泡)，通过气泡的压力使空间内的材料喷出。静电吸引方式是，在储存材料的空间施加微小压力，在喷嘴形成弯液面，在该状态下施加静电引力，吸引出材料。另外，也可以利用由电场引起流体粘性变化的方式和用放电火化飞出的方式等的技术。液滴喷出方法的优点在于，在材料的使用上浪费少，而且，能够确保将所希望的量配置在所希望的位置。再者，由液滴喷出方法喷出的液体材料一滴的量，例如是1～300毫微克。

(膜材料的硬化处理)

膜材料的硬化处理方法，也称作烧成处理，通常在大气中进行，根据需要，也可以在氢气、氩气、氦气等的惰性气体氛围气，或氢气等还原氛围气中进行。烧结处理的处理温度，考虑分散介质的沸点(蒸汽压力)、环境气体的种类和压力、微粒子的分散性和碳化性等的热的举动、有涂敷材料的有无及量、基材的耐热温度等，做适宜决定。在本实施例中，对膜材料，在200℃下大约经过60分钟的烧结处理。通过以上步骤，可以形成膜层(图中省略)，可以确保微粒子之间电连接。

这种烧结处理，除由通常的热板、电炉等进行的处理外，也可以通过光退火进行。作为用于光退火的光的光源，没有特别限制，作为光源，可使用红外线灯、氙灯、YAG激光、氩光、炭酸气激光、XeF、XeCl、XeBr、KrF、KrCl、ArF、ArCl等激准分子激光等。这些光源通常使用输出10W～500W的范围的光，但本实施例中，100W～1000W的范围即可。

而且，使用液滴喷出方法配置膜材料，通过将该膜材料硬化，能够形成所希望的膜图案。

下面，参照图12对本发明的液滴喷头的制造方法，简单进行说明。

形成作为第一基板的隔板部件62。其次，形成作为具备液滴引导部22(或液滴引导部122、222、322、422)的第二基板的喷嘴板59。再次，形成作为第三基板的振动板61。最后，将这些隔板部件62和喷嘴板59和振动板61粘贴，形成液滴喷头20。

本发明的液滴喷头20如上述的第一实施例～第五实施例所示，通过在喷嘴板59的喷嘴21(或，喷嘴121、221、321、421)上形成液滴引导部22(或，液滴引导部122、222、322、422)的结构，能够提供液滴L的命中位置精度高的液滴喷头20。

下面，对本发明的液滴喷出装置的结果进行说明。

图13是液滴喷出装置100的立体图。在图13中，X方向是基板101的左右方向，Y方向是前后方向，Z方向是上下方向。液滴喷出装置100主要由载置液滴喷头20和基板P的载物台103构成。另外，液滴喷出装置100的动作通过控制装置110控制。

载置基板P的载物台103通过第一移动装置102可以在Y方向移动及定位，通过电动机104可以在θ_Z方向摆动及定位。另一方面，液滴喷头20通过第二移动装置102可以在X方向移动及定位，线性电动机108可以在Z方向移动及定位。另外，液滴喷头20通过电动机105、106、107分别可以在α、β、γ方向移动及定位。由此，液滴喷出装置100能够正确地控制墨水向液滴喷头20的喷出面52P和与载物台103上的基板P相对的位置以及姿势。

图13所示的封盖组件56是为防止液滴喷头20的喷出面52P的干燥而在液滴喷出装置100待机时将喷出面52P封盖的组件。另外，清洗组件58是为清除液滴喷头20的喷嘴堵塞而在喷嘴内部吸引的组件。另外，清洗组件58，为清除液滴喷头20的喷出面52P的污物，也可以进行喷出面52P的清洗。

本发明的液滴喷出装置100上搭载有即使液滴L的大小更微细，也能够提高液滴L的命中位置精度的液滴喷头20，所以，可以实现高精度的描绘。在例如将液滴L作为墨水使用的喷墨式打印机等印刷装置等中，可提供可提高印刷品质的印刷装置。

以上，举例说明了优选的实施例，但本发明不限于上述各实施例，也包含以下所述的变形例，在能够实现本发明目的的范围内，可以设定其他任意具体的结构以及形状。

(变形例1)

在上述第一实施例～第三实施例中，液滴喷头20为在作为贯通部的喷嘴21(或喷嘴121、221)的表面配置液滴引导部22(或，液滴引导部122、222)的结构，但不限于此。例如图14(a)、(b)、(c)所示，也可以在第一贯通部521a上形成液滴引导部522，在作为第二基板的喷嘴板59的表面配置突起部522a。即使这样，也能够得到与上述第一实施例～第三实施例相同的效果，能够使液滴L的直线飞行性稳定，因此，能够提供可以使命中位置精度提高的液滴喷头20。

(变形例2)

在上述第一实施例～第三实施例中，液滴喷头20为在作为贯通部的喷嘴21(或喷嘴121、221)的表面配置有液滴引导部22(或，液滴引导部122、222)的结构，但不限于此。例如图15(a)、(b)、(c)所示，也可以在第二贯通部621a形成液滴引导部622，在作为第二基板的喷嘴板59的表面设置突起部622a。即使这样，也能够得到与上述第一实施例～第三实施例相同的效果，能够使液滴L的直线飞行性稳定，因此，能够提供可以使命中位置精度提高的液滴喷头20。

(变形例3)

在上述第四实施例～第五实施例中，液滴喷头20为在贯通部321a的(或，第一贯通部421a)的表面按照疏密地分布液滴引导部322(或，液滴引导部422)的方式配置，但不限于此。例如图16(a)、(b)所示，也可以疏密分布配置作为凹凸部的液滴引导部722。即使这样，也能够得到与上述第四实施例以及第五实施例相同的效果，能够使液滴L的直线飞行性稳定，因此，能够提供可以使命中位置精度提高的液滴喷头20。

(变形例4)

在上述第四实施例、第五实施例以及变形例3中，液滴喷头20为在第一贯通部321a的(或，第一贯通部421a)的表面，疏密分布地配置液滴引导部322(或，液滴引导部422)的方式配置，但不限于此。例如，第一贯通部321a(或第一贯通部421a)的一部分也可以只配置致密部G。即使这样，也能够得到与上述第四实施例以及变形施例3相同的效果，能够提供可以使命中位置精度提高的液滴喷头20。

(变形例5)

在上述第四实施例、第五实施例以及变形例3中，液滴喷头20，在第一贯通部321a的(或，第一贯通部421a)的表面按照疏密地分布液滴引导部322(或，液滴引导部422)的方式配置，但不限于此。例如，在第一贯通部321a(或第一贯通部421a)表面的局部，也可以只配置疏密部F。即使这样，也能够得到与上述第四实施例、第五实施例及变形施例3相同的效果，能够提供可以使命中位置精度提高的液滴喷头20。

(变形例6)

在上述第四实施例、第五实施例、及变形例3中，液滴喷头20以在第一贯通部321a的(或，第一贯通部421a)的表面疏密地分布液滴引导部322(或，液滴引导部422、722)的方式配置，但不限于此。例如，也可以在第一贯通部321a(或第一贯通部421a、721a)和第二贯通部321b(或，液滴引导部422、722)两者的表面配置液滴引导部322(或，液滴引导部422、722)。即使这样，也能够得到与上述第四实施例、第五实施例以及变形施例5相同的效果，能够提供可以使命中位置精度提高的液滴喷头20。

(变形例7)

在上述第四实施例、第五实施例以及变形例3中，液滴喷头20以在第一贯通部321a的(或，第一贯通部421a、721a)的表面疏密地分布液滴引导部322(或，液滴引导部422、722)的方式配置，但不限于此。例如，也可以在第二贯通部321b(或第二贯通部421b、721b)的表面配置液滴引导部322(或，液滴引导部422、722)。即使这样，也能够得到与上述第四实施例、第五实施例以及变形施例3相同的效果，能够提供可以使命中位置精度提高的液滴喷头20。

Claims (29)

1、一种液滴喷头，其特征在于：

具备与压力室连接、形成有喷出液滴的贯通部的基板，

具有在所述基板的所述贯通部形成的用于引导所述液滴的多个液滴引导部，

所述各液滴引导部朝喷出所述液滴的方向具有一定的曲率而延伸。

2、如权利要求1所述的液滴喷头，其特征在于：

在所述贯通部的表面，在相对喷出所述液滴的方向交叉的方向具备多个尖端，

所述尖端包含于所述液滴引导部。

3、如权利要求1或2所述的液滴喷头，其特征在于：所述液滴引导部表面的对所述液滴的润湿性不同于所述贯通部的所述液滴引导部以外的表面的对所述液滴的润湿性。

4、一种液滴喷头，其特征在于：

具备与压力室连接、形成有喷出液滴的贯通部的基板，

所述贯通部包括按照与所述压力室连接的方式形成的第一贯通部、和与所述第一贯通部连通的第二贯通部，

在所述第一贯通部的表面和所述第二贯通部的表面中的至少一个所述表面，在相对喷出所述液滴的方向交叉的方向形成有多个尖端，

所述各尖端分别由第一线和按照与所述第一线连接的方式配置的第二线构成，所述各尖端包含于在朝喷出所述液滴的方向具有一定的曲率而延伸的所述液滴引导部。

5、如权利要求4所述的液滴喷头，其特征在于，所述第一线及第二线中的至少一个包含曲线部而形成。

6、如权利要求4或5所述的液滴喷头，其特征在于：所述第一线的长度比所述第二线的长度长。

7、如权利要求4～6中任一项所述的液滴喷头，其特征在于：所述第一线和所述第二线的配置位置位于相对所述尖端的位置大致相等的位置。

8、如权利要求4～7中任一项所述的液滴喷头，其特征在于：所述第一线和所述第二线的配置位置位于相对所述尖端的位置对称的位置。

9、一种液滴喷出装置，其具备液滴喷头，其特征在于：作为液滴喷头，具备权利要求1～8中任一项所述的液滴喷头。

10、一种液滴喷头的制造方法，该液滴喷头具备与压力室连接、形成有喷出液滴的贯通部的基板，其特征在于：包括在所述基板的所述贯通部形成朝喷出所述液滴的方向具有一定曲率而延伸的多个液滴引导部的工序。

11、如权利要求10所述的液滴喷头的制造方法，其特征在于：

在形成所述液滴引导部的工序中，

在所述贯通部的表面，沿相对喷出所述液滴的方向交叉的方向形成多个尖端。

12、如权利要求10或11所述液滴喷头的制造方法，其特征在于：

在形成所述液滴引导部的工序中，

按照所述液滴引导部表面的对所述液滴的润湿性不同于所述贯通部表面的对所述液滴的润湿性的方式形成。

13、一种液滴喷头的制造方法，该液滴喷头具有连接压力室并喷出液滴的基板，其特征在于，包括：

在所述基板上形成具有与所述压力室连接的第一贯通部和与所述第一贯通部连通的第二贯通部的贯通部的工序；

在所述第一贯通部的表面和第二贯通部的表面中的至少一个所述表面上形成液滴引导部的工序，其中所述液滴引导部具有多个由第一线和按照与所述第一线连接的方式配置的第二线构成的尖端，并且，所述液滴引导部朝喷出所述液滴的方向具有一定的曲率而延伸。

14、如权利要求13所述的液滴喷头制造方法，其特征在于：

在形成所述液滴引导部的工序中，

所述第一线以及所述第二线中的至少一个包含曲线部而形成。

15、如权利要求13或14所述的液滴喷头制造方法，其特征在于：

在形成所述液滴引导部的工序中，

按照所述第一线的长度比所述第二线的长度长的方式形成。

16、如权利要求13～15中任一项所述的液滴喷头的制造方法，其特征在于：

在形成所述液滴引导部的工序中，

按照相对所述尖端的位置使所述第一线和所述第二线的配置位置成为大致相等的位置的方式形成。

17、如权利要求13～16中任一项所述的液滴喷头的制造方法，其特征在于：

在形成所述液滴引导部的工序中，

按照相对所述尖端的位置使所述第一线和所述第二线的配置位置成为大致对称的位置的方式形成。

18、一种液滴喷出装置的制造方法，该液滴喷出装置具备液滴喷头，其特征在于：具备用权利要求10～17中任一项所述的液滴喷头的制造方法形成的所述液滴喷头。

19、一种液滴喷头，其特征在于：

具备连接压力室、形成有喷出液滴的贯通部的基板，

具有在所述基板的所述贯通部形成的用于引导所述液滴的多个液滴引导部，

所述各液滴引导部朝喷出所述液滴的方向疏密地延伸。

20、如权利要求19所述的液滴喷头，其特征在于：

所述液滴引导部相对喷出所述液滴的方向平行或倾斜地形成，

所述液滴引导部具备疏密分布的槽。

21、如权利要求19所述的液滴喷头，其特征在于：

所述液滴引导部相对喷出所述液滴的方向平行或倾斜地形成，

所述液滴引导部具备疏密分布的润湿性不同的所述图案。

22、如权利要求19所述的液滴喷头，其特征在于：

所述液滴引导部相对喷出所述液滴的方向平行或倾斜地形成，

所述液滴引导部具备疏密分布的多个微小的凹凸部。

23、如权利要求19～22中任一项所述的液滴喷头，其特征在于：

所述贯通部具备与所述压力室连接的第一贯通部、和与所述第一贯通部连通的第二贯通部，

所述液滴引导部在所述第一贯通部形成。

24、一种液滴喷出装置，其具备液滴喷头，其特征在于：作为所述液滴喷头，具备权利要求19～23中任一项所述的液滴喷头。

25、一种液滴喷头的制造方法，所述液滴喷头具备连接压力室、形成有喷出液滴的贯通部的基板，其特征在于：

包括在所述基板的所述贯通部形成朝喷出所述液滴的方向疏密延伸的多个液滴引导部的工序。

26、如权利要求25所述的液滴喷头的制造方法，其特征在于：

在形成所述液滴引导部的工序中，

在所述贯通部的表面，以朝喷出所述液滴的方向疏密分布的方式形成平行或倾斜的多个槽。

27、如权利要求25所述的液滴喷头的制造方法，其特征在于：

在形成所述液滴引导部的工序中，

在所述贯通部的表面，以朝喷出所述液滴的方向疏密分布的方式形成平行或倾斜的多个润湿性不同的图案。

28、如权利要求25所述的液滴喷头的制造方法，其特征在于：

在形成所述液滴引导部的工序中，

在所述贯通部的表面，以朝喷出所述液滴的方向疏密分布的方式形成多个微小的凹凸部。

29、一种液滴喷出装置的制造方法，该液滴喷出装置具备液滴喷头，其特征在于：

具备用权利要求25～28中任一项所述的液滴喷头的制造方法形成的所述液滴喷头。

Images