CN100468202C - 一种精密可调定位装置 - Google Patents
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Abstract
一种精密可调定位装置,包括二定位机构、调节机构和二锁紧机构;调节机构由柔性块、右螺母、左螺母和调节螺栓构成,左右螺母用调节螺栓靠螺纹配合连接;一定位销固定在柔性块的顶部,整个调节机构靠紧二定位块;二锁紧机构分别包括四个固定螺钉、二个锁定销、锁定板、楔形块、锁紧螺钉、弹簧垫圈,二锁定销插入到柔性块的侧面孔中,通过固定螺钉与锁定板把锁定销固定在柔性块内,楔形块插入二个锁定销间,用锁紧螺钉和弹簧垫圈把楔形块的斜面压紧于锁定销的斜面上,楔形块与柔性块的中间间隙小于楔形块的长度。它解决现有凸轮结构的调节定位机构,精度低、易受摩擦温度影响的技术问题,用于具有高精度定位要求,并且有间距微调要求的物体间。
Description
技术领域
本发明涉及一种精密可调定位装置,适用于具有高精度定位要求,并且有间距微调要求的物体间。它用于生产中,如在集成电路光刻设备中的主基板和测量基板的连接中。
背景技术
普通的调节定位机构装置,一般应用凸轮结构,其不足之处在于:其一调节量小时,很难保证精度;其二有摩擦的影响;其三容易受温度影响。
发明内容
本发明的目的是提供一种精密可调定位装置,解决现有凸轮结构的调节定位机构,精度低、易受摩擦影响和易受温度影响的技术问题。
为解决上述技术问题,本发明的技术方案是:
一种精密可调定位装置,其特征在于:它包括二个定位机构、调节机构和二个锁紧机构;
该调节机构由柔性块、右螺母、左螺母和调节螺栓构成,柔性块的中间孔能够产生弹性变形,调节螺栓分为两段,一段是左螺纹,一段是右螺纹,右螺母、左螺母中心孔分别加工成右螺纹与左螺纹并具有相同的螺距,调节螺栓的前端直径较小部分为右螺纹,后端直径较大部分为左螺纹,调节螺栓旋入左螺母,并将左螺母固定在柔性块的一侧上,右螺母从另一侧固定于柔性块上并藉由螺纹与调节螺栓螺合;
二个定位机构是定位块,一定位销固定在柔性块的顶部,整个调节机构靠紧二个定位块;
二个锁紧机构具有相同结构,它们分别包括四个固定螺钉、二个锁定销、锁定板、楔形块、锁紧螺钉、弹簧垫圈,二个锁定销插入到柔性块的侧面孔中,通过固定螺钉与锁定板共同把锁定销固定在柔性块内,楔形块插入到二个锁定销间,用锁紧螺钉和弹簧垫圈把楔形块的斜面压紧于锁定销的斜面上,楔形块与柔性块的中间间隙小于楔形块的长度。
该左螺母通过螺钉、弹簧垫片固定在柔性块上,该右螺母通过螺钉和弹簧垫片固定在柔性块上。
二个锁定销前端大,中间小,锁定销先插入到柔性块的侧面大孔中,然后卡入侧面小孔。
本发明具有如下优点:
1、本发明把锁紧机构和调节机构作为一个整体用定位机构来定位,一旦调节机构上方的定位销的精度达到要求,利用定位块上的定位销孔定位,同时用两个螺钉锁紧。
2、本发明的柔性块中间挖空,可以进行较大的弹性变形,一面用螺钉连接内有左螺纹的螺母,另一面也用螺钉连接内有右螺纹的螺母,左右螺母用调节螺栓连接,靠螺纹配合,调节螺栓分为两段,一段是左螺纹,一段是右螺纹,这样调节螺栓旋转时,由于左右螺母有同样的螺距,两个螺母同时等量向两边移动,由于中间孔发生弹性变形,中间张开,柔性块相应的高度相应降低,达到调节两物体间间距的目的。
3、本发明如果在轻微振动的条件下,可以把锁紧销插入到柔性块的大侧孔中,然后卡入小侧孔中,用螺钉从下往上把锁紧板固定于锁紧销中,这样,锁紧销通过锁紧板固定并且卡入柔性块内,由于锁紧销前端直径大于小的侧孔,所以它就牢牢锁于柔性块内;楔形块置于锁紧销的上面,锁紧螺钉插入其腰形孔中,下面旋入锁紧板的螺孔,这样通过锁紧螺钉压紧楔形块,柔性块受到一个压紧力,使左、右螺母和调节螺母之间的螺纹产生一个预紧力,达到锁紧调节机构的目的。
附图说明
图1是本发明的机构模块图。
图2是本发明的立体结构分解图。
图3是本发明的使用状态示意图。
图4是本发明中调节机构的前侧结构分解图。
图5是本发明中调节机构的后侧结构分解图。
图6是本发明中锁紧机构的结构分解图。
图中:
11、12—定位机构;
2—调节机构; 21—柔性块; 22—右螺母;
23—左螺母; 24—调节螺栓; 25—定位销;
231、221—螺钉; 232、222—弹簧垫片;
31、32—锁紧机构;
311—固定螺钉; 312—锁定销; 313—锁定板;
314—楔形块; 315—锁紧螺钉; 316弹簧垫圈;
4—底部零件。
具体实施方式
请参阅图1,它是本发明精密可调定位装置的机构模块图。如图所示:它包括二个定位机构11、12、调节机构2和二个锁紧机构31、32。
再请参阅图2、4、5,如图所示:该调节机构2中柔性块21的中间孔能够产生弹性变形,调节螺栓24分为两段,一段是左螺纹,一段是右螺纹,这样调节螺栓24旋转时,,右螺母22、左螺母23中心孔分别加工成右螺纹与左螺纹且螺距相同,调节螺栓24的前端直径较小部分为右螺纹,后端直径较大部分为左螺纹,首先把调节螺栓24旋入左螺母23,再把两个零件通过左螺母用螺钉231和弹簧垫片232固定在柔性块21上,由于已经装入了调节螺栓24,右螺母22只能旋入柔性块21内,再用螺钉221和弹簧垫片222固定右螺母22。这样,当旋转调节螺栓24时,左螺母23和右螺母22向两边张开,迫使柔性块21中心孔向两边同时张开,达到微量调节柔性块21高度的目的。在这里,螺纹螺距的大小不同,可以使柔性调节精度不同。
装置中,定位销25的中心轴作为X、Y向的定位精度测量值,它的上部分和其它物体进行配合,保证精度,下部分和柔性块21配合,并且它用二个螺钉251固定在柔性块21的顶部,整个调节机构2靠紧定位块11、12,定位块11、12通过定位销和螺钉与底部零件4相连,这样,通过不断修磨定位块12左侧面和定位块11前侧面来保证定位销25的精度,当定位销25的中心轴位置确定之后,在底部零件4的底面用螺钉锁紧调节机构中的柔性块21底部的螺纹孔。
请参阅图2、6,当柔性块21的高度调节好之后,系统中有轻微的振动,会使调节螺栓25松动,为此增加了锁紧机构31、32。从图6中可以看出,锁紧机构31、32由同样结构的两部分组成,都包括四个固定螺钉311、二个锁定销312、锁定板313、楔形块314、锁紧螺钉315、弹簧垫圈316。首先,把二个锁定销312插入到柔性块21的侧面大孔中,然后卡入侧面小孔,因为锁定销312前端大,中间小,这样保证锁定销312不会拔出,在二个锁定销312底面各有两个螺纹孔,正好与锁定板313上的四个螺纹孔相配,固定螺钉311与锁定板313共同把锁定销312固定在柔性块21内。再把楔形块314插入到二个锁定销312间,用锁紧螺钉315和弹簧垫圈316把楔形块314的斜面压紧于锁定销312的斜面上,由于楔形块314与柔性块21的中间间隙小于楔形块314的长度,这样压紧柔性块21,使左螺母23、右螺母22夹紧调节螺栓24,起到锁紧功能。
综上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并非用来限定本发明的实施范围。即凡依本发明申请专利范围的内容所作的等效变化与修饰,都应为本发明的技术范畴。
Claims (3)
1、一种精密可调定位装置,其特征在于:它包括二个定位机构(11、12)、调节机构(2)和二个锁紧机构(31、32);
该调节机构(2)由柔性块(21)、右螺母(22)、左螺母(23)和调节螺栓(24)构成,柔性块(21)的中间孔能够产生弹性变形,调节螺栓(24)分为两段,一段是左螺纹,一段是右螺纹,右螺母(22)、左螺母(23)中心孔分别加工成右螺纹与左螺纹并具有相同的螺距,调节螺栓(24)的前端直径较小部分为右螺纹,后端直径较大部分为左螺纹,调节螺栓(24)旋入左螺母(23),并将左螺母(23)固定在柔性块(21)的一侧上,右螺母(22)从另一侧固定于柔性块(21)上并藉由螺纹与调节螺栓(24)螺合;
二个定位机构(11、12)是定位块,一定位销(25)固定在柔性块(21)的顶部,整个调节机构(2)靠紧二个定位块(11、12);
二个锁紧机构(31、32)具有相同结构,它们分别包括四个固定螺钉(311)、二个锁定销(312)、锁定板(313)、楔形块(314)、锁紧螺钉(315)、弹簧垫圈(316),二个锁定销(312)插入到柔性块(21)的侧面孔中,通过固定螺钉(311)与锁定板(313)共同把锁定销(312)固定在柔性块(21)内,楔形块(314)插入到二个锁定销(312)间,用锁紧螺钉(315)和弹簧垫圈(316)把楔形块(314)的斜面压紧于锁定销(312)的斜面上,楔形块(314)与柔性块(21)的中间间隙小于楔形块(314)的长度。
2、根据权利要求1所述的精密可调定位装置,其特征在于:该左螺母(23)通过螺钉(231)、弹簧垫片(232)固定在柔性块(21)上,该右螺母(22)通过螺钉(221)和弹簧垫片(222)固定在柔性块(21)上。
3、根据权利要求1所述的精密可调定位装置,其特征在于:该定位块(11、12)通过定位销和螺钉与底部零件(4)相连。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNB2005100240167A CN100468202C (zh) | 2005-02-23 | 2005-02-23 | 一种精密可调定位装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CNB2005100240167A CN100468202C (zh) | 2005-02-23 | 2005-02-23 | 一种精密可调定位装置 |
Publications (2)
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---|---|
CN1670627A CN1670627A (zh) | 2005-09-21 |
CN100468202C true CN100468202C (zh) | 2009-03-11 |
Family
ID=35041923
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNB2005100240167A Active CN100468202C (zh) | 2005-02-23 | 2005-02-23 | 一种精密可调定位装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN100468202C (zh) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100399093C (zh) * | 2005-12-27 | 2008-07-02 | 上海微电子装备有限公司 | 调平调焦机构 |
CN102141741B (zh) * | 2011-04-15 | 2012-07-25 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种光刻机投影物镜微调平机构 |
CN104163326B (zh) * | 2014-07-23 | 2017-01-18 | 安徽卓金标准件有限公司 | 一种可切换矩阵机构 |
CN106141654B (zh) * | 2015-03-26 | 2019-04-12 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种调节锁紧装置 |
CN111550955A (zh) * | 2020-04-29 | 2020-08-18 | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 | 温度监控系统 |
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- 2005-02-23 CN CNB2005100240167A patent/CN100468202C/zh active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
CN1670627A (zh) | 2005-09-21 |
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